JP4853093B2 - 基板トレイ、および成膜装置 - Google Patents
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- 成膜室内に配置するプラズマ放電用の電極と、
前記成膜室内に対して基板を搬出入する基板トレイとを備え、
前記基板トレイは、少なくとも1枚の基板をほぼ垂直方向に支持する支持面と、当該支持面の背面側に配置した加熱手段とを有し、
前記電極は、片面に電極面を有する外電極と、両面に電極面を有する中央電極とを、両電極面を所定の間隔を開けて対向配置して備え、
前記基板トレイは、前記外電極面と中央電極面とで挟まれる隙間に対して出し入れ自在であり、
前記加熱手段は、前記支持面を加熱し、支持面に支持された基板を当該支持面を介して加熱する又は保温することを特徴とする、成膜装置。 - 前記基板トレイは、加熱手段を挟んで背面側で対向する2つの支持面を有することを特徴とする、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記成膜室の内外を開閉する扉を有し、
前記扉には、前記基板トレイの一部が、その基板トレイの支持面が縦方向又は傾斜方向となるように取り付けられ、
当該扉の開閉により、基板トレイに載置した基板を成膜室に対して縦方向又は傾斜方向で出し入れ自在とすることを特徴とする、請求項1又は2に記載の成膜装置。
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