JP4848745B2 - Sheet laminate manufacturing method and sheet laminate manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、積層チップコンデンサーや積層チップインダクター等のセラミックグリーンシートを積層してなる積層型の電子部品を製造するための製造方法、およびその製造方法に用いる製造装置に関するものである。   The present invention relates to a manufacturing method for manufacturing a multilayer electronic component formed by stacking ceramic green sheets such as a multilayer chip capacitor and a multilayer chip inductor, and a manufacturing apparatus used in the manufacturing method.

積層型の電子部品の最も代表的な例である積層セラミックコンデンサは、内部電極パターンが印刷されたグリーンシートを積層することによって得られたシート積層体を、内部電極が端面に露出するようにしてチップ状に切断した後に、焼成することによって製造される。かかる積層セラミックコンデンサの製造においては、内部電極が印刷されたグリーンシートを積層する際に、印刷された内部電極の位置にずれが生じると、積層セラミックコンデンサに取得される静電容量にばらつきが生じてしまう。それゆえ、グリーンシートの積層時における位置ズレを防止する方法として、従来は、グリーンシートの孔明け工程で位置決め孔を穿設し、その位置決め孔を基準に印刷を行い、位置決め孔にピンを挿入しつつ各グリーンシートを積層する方法や、特許文献１の如く、アライメントマーク認識装置によってグリーンシートに予め付されたアライメントマークの位置を認識し、その位置情報に基づいてアライメント装置を作動させることにより各グリーンシートを位置決めする方法が採用されていた。   A multilayer ceramic capacitor, which is the most typical example of a multilayer electronic component, is a sheet laminate obtained by laminating green sheets on which an internal electrode pattern is printed, with the internal electrodes exposed on the end faces. It is manufactured by firing after cutting into chips. In the production of such a multilayer ceramic capacitor, when the green sheets on which the internal electrodes are printed are laminated, if the position of the printed internal electrodes is shifted, the capacitance obtained in the multilayer ceramic capacitor will vary. End up. Therefore, as a method to prevent misalignment when laminating green sheets, conventionally, a positioning hole was drilled in the green sheet drilling process, printing was performed based on the positioning hole, and a pin was inserted into the positioning hole. However, the method of laminating each green sheet, or the position of the alignment mark previously attached to the green sheet by the alignment mark recognition device as in Patent Document 1, and operating the alignment device based on the position information A method of positioning each green sheet has been adopted.

特開平０３−１４２９１０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 03-142910

しかしながら、グリーンシートに穿設された位置決め孔にピンを挿入しつつ各シートを積層する方法は、位置決め孔と印刷位置にズレが生じたり、位置決め孔をピンよりもある程度大きくしなければならないため、精度の高い位置決めをすることができない。一方、アライメントマーク認識装置とアライメント装置とを利用して各シートを位置決めする方法は、同一の積層装置内で、アライメントマークの認識、アライメント動作、グリーンシートの積層という複数の動作を行う必要があるため、短時間の内にシート積層体を形成することができないし、積層装置が複雑なものとなるため、メンテナンスが難しくなる、という不具合がある。   However, the method of laminating each sheet while inserting a pin into the positioning hole drilled in the green sheet causes a displacement between the positioning hole and the printing position, or the positioning hole must be made somewhat larger than the pin. Positioning with high accuracy cannot be performed. On the other hand, in the method of positioning each sheet using the alignment mark recognition device and the alignment device, it is necessary to perform a plurality of operations such as alignment mark recognition, alignment operation, and green sheet stacking in the same stacking device. Therefore, the sheet laminate cannot be formed within a short time, and the laminating apparatus becomes complicated, so that there is a problem that maintenance becomes difficult.

本発明の目的は、上記従来のシート積層体の製造方法の問題点を解消し、各シートを高精度で位置決めすることが可能な上、短時間で効率的にシート積層体を形成することが可能なシート積層体の製造方法を提供することにある。また、そのような効率的なシート積層体の製造を可能とするシート積層体の製造装置を提供することにある。   An object of the present invention is to solve the problems of the conventional sheet laminate manufacturing method, position each sheet with high accuracy, and efficiently form a sheet laminate in a short time. An object of the present invention is to provide a method for producing a possible sheet laminate. Moreover, it is providing the manufacturing apparatus of a sheet laminated body which enables manufacture of such an efficient sheet laminated body.

かかる本発明の内、請求項１に記載された発明は、複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造方法であって、シートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでシートのアライメントマーク位置を認識してその位置情報に基づいてシートを位置決めし、その後、次のシートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでそのシートを位置決めした後、先に位置決めしたシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、その後、仮接合されたシート積層体を、積層ステーションに搬送し、加熱すると共に加圧して熱圧着する一方、積層ステーションでシート積層体を熱圧着している間に、仮接合ステーションで次の新たなシートを位置決めし、熱圧着したシート積層体を仮接合ステーションに搬送し、その後、位置決めした新たなシートを先に熱圧着されたシート積層体に積層すると共に部分的に加熱して前記仮接合と同様な方法で仮接合し、その後、熱圧着されたシート積層体に新たなシートが仮接合されたシート積層体を積層ステーションに搬送して熱圧着し、以後これらの動作を繰返し、複数枚のシートを一体的に積層してなるシート積層体を製造するものであり、かつ、シートの下面を吸着保持した状態で仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートの上面を吸着保持した状態でシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて下面を吸着保持されているシートの上側に積層すると共に部分的に加熱して仮接合し、その後、仮接合したシートの下面を吸着保持した状態で積層ステーションに搬送し、積層ステーションで、仮接合状態のシートを上下側から加熱すると共に加圧して熱圧着することを特徴とするものである。
Among the present inventions, the invention described in claim 1 is a method for manufacturing a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets, wherein the sheet is conveyed to a temporary joining station, and the sheet is obtained at the temporary joining station. The position of the alignment mark is recognized and the sheet is positioned based on the position information. After that, the next sheet is transported to the temporary joining station, and after positioning the sheet at the temporary joining station, it is stacked on the previously positioned sheet. At the same time, it is partially heated and temporarily joined by heat fusion, and then the temporarily laminated sheet laminate is transported to the laminating station and heated and pressurized and thermocompression bonded, while the sheet laminated body at the laminating station During thermocompression bonding, the next new sheet is positioned at the temporary joining station, and the heat-pressed sheet laminate is temporarily attached to the temporary joining station. Then, the newly positioned sheet was laminated on the previously heat-bonded sheet laminate and partially heated to be temporarily bonded in the same manner as the temporary bonding. A sheet laminate in which a new sheet is temporarily joined to the sheet laminate is transported to a laminating station and thermocompression bonded, and thereafter, these operations are repeated to produce a sheet laminate in which a plurality of sheets are laminated integrally. The sheet is transported to the temporary joining station with the lower surface of the sheet being sucked and held, and after positioning the sheet with the upper surface of the sheet being sucked and held at the temporary joining station, the positioned sheet is moved first. Laminate on the upper side of the sheet that is positioned and sucked and held, partially heat and temporarily bond, then stack with the lower surface of the temporarily bonded sheet held and sucked Transported to the station, at lamination station, it is characterized in that the pressurizing with heating a provisional joining state sheet from the top and bottom side thermocompression bonding.

請求項２に記載された発明は、複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造方法であって、シートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでシートのアライメントマーク位置を認識してその位置情報に基づいてシートを位置決めし、その後、次のシートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでそのシートを位置決めした後、先に位置決めしたシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、以後これらの動作を所定回数繰返して、所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を形成し、その後、その仮接合状態のシート積層体を、積層ステーションに搬送し、加熱すると共に加圧して熱圧着する一方、積層ステーションでシートを熱圧着している間に、仮接合ステーションで次の新たなシートを位置決めし、しかる後、熱圧着したシート積層体を仮接合ステーションに搬送し、位置決めした新たなシートを、先に熱圧着したシート積層体上に積層すると共に前記仮接合と同様な方法で仮接合し、以後これらの動作を所定回数繰返して、熱圧着後のシート積層体上に所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を形成し、しかる後、そのシート積層体を熱圧着し、以後同様な動作を繰返して、複数枚のシートを積層してなるシート積層体を製造するものであり、かつ、シートの下面を吸着保持した状態で仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートの上面を吸着保持した状態でシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて下面を吸着保持されているシートの上側に積層すると共に部分的に加熱して仮接合し、その後、仮接合したシートの下面を吸着保持した状態で積層ステーションに搬送し、積層ステーションで、仮接合状態のシートを上下側から加熱すると共に加圧して熱圧着することを特徴とするものである。
The invention described in claim 2 is a method for manufacturing a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets, the sheet being conveyed to a temporary joining station, and the alignment mark position of the sheet being recognized at the temporary joining station. Then, the sheet is positioned based on the position information, and then the next sheet is conveyed to the temporary bonding station, and after positioning the sheet at the temporary bonding station, the sheet is laminated on the previously positioned sheet and partially heated. Then, temporary bonding is performed by heat fusion, and thereafter, these operations are repeated a predetermined number of times to form a sheet laminated body in which a predetermined number of sheets are temporarily bonded, and then the temporarily laminated sheet laminated body is laminated. While the sheet is transported to the station and heated and pressurized and thermocompression bonded, while the sheets are thermocompression bonded at the laminating station, the temporary joining station The next new sheet is positioned, and then the thermocompression-bonded sheet laminate is transported to a temporary joining station, and the positioned new sheet is laminated on the previously thermocompression-bonded sheet laminate and the temporary joining. Temporary joining is performed in a similar manner, and thereafter, these operations are repeated a predetermined number of times to form a sheet laminated body in which a predetermined number of sheets are temporarily joined on the sheet laminated body after thermocompression bonding. The body is thermocompression-bonded, and thereafter the same operation is repeated to produce a sheet laminated body formed by laminating a plurality of sheets , and transported to a temporary joining station with the lower surface of the sheet adsorbed and held. After positioning the sheet with the upper surface of the sheet being sucked and held at the temporary joining station, the positioned sheet is first positioned and the lower surface is placed on the upper side of the sheet held by suction. The layers are temporarily heated and partially bonded to each other, and thereafter, the lower surfaces of the temporarily bonded sheets are sucked and held and conveyed to the laminating station. At the laminating station, the temporarily bonded sheets are heated and applied from the upper and lower sides. It is characterized by being pressed and thermocompression bonded .

請求項３に記載された発明の構成は、複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造方法であって、複数枚のシートを順次仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートのアライメントマーク位置情報に基づいてシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて仮接合されているシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、以後これらの動作を繰返して所定枚数のシートを前記仮接合と同様な方法で仮接合し、その後、その所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を積層ステーションに搬送し、そのシート積層体を、積層ステーションで、一括で加熱すると共に加圧して熱圧着して、所定枚数のシートを一体的に積層してなるシート積層体を製造するものであり、かつ、シートの下面を吸着保持した状態で仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートの上面を吸着保持した状態でシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて下面を吸着保持されているシートの上側に積層すると共に部分的に加熱して仮接合し、その後、仮接合したシートの下面を吸着保持した状態で積層ステーションに搬送し、積層ステーションで、仮接合状態のシートを上下側から加熱すると共に加圧して熱圧着することを特徴とするものである。
The configuration of the invention described in claim 3 is a manufacturing method of a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets, sequentially transporting a plurality of sheets to a temporary joining station, After positioning the sheet based on the alignment mark position information of the sheet, the positioned sheet is laminated on the previously positioned and temporarily bonded sheet and partially heated and temporarily bonded by thermal fusion, and thereafter By repeating these operations, a predetermined number of sheets are temporarily bonded in the same manner as the temporary bonding, and then the sheet laminate formed by temporarily bonding the predetermined number of sheets is conveyed to a laminating station. the at lamination station, and thermocompression bonding is pressurized while heating in bulk, which produce a sheet laminate formed by laminating integrally a predetermined number of sheets The sheet is conveyed to the temporary joining station with the lower surface of the sheet being sucked and held, and after the sheet is positioned with the upper surface of the sheet being sucked and held at the temporary bonding station, the positioned sheet is first positioned. Laminate the lower surface on the upper side of the sheet held by suction and temporarily heat it to temporarily bond it, then transport it to the stacking station with the lower surface of the temporarily bonded sheet held by suction, and temporarily bond it at the stacking station. The sheet in a state is heated from above and below and pressed and thermocompression bonded .

請求項４に記載された発明の構成は、請求項１乃至３の何れかに記載の発明において、シートをフイルム付シートとし、そのフイルム付シートを仮接合ステーションに搬送するに先立ってシートからフイルムを剥離し、仮接合ステーションで、フイルムを剥離した状態のシートを位置決めすることにある。
 According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the sheet is a film-attached sheet, and the film-attached sheet is transported from the sheet to the temporary joining station before being conveyed. Is to position the sheet in a state where the film is peeled off at a temporary joining station.

請求項５に記載された発明の構成は、複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造装置であって、シートを1枚ずつ搬入する搬入ステーションと、搬送されたシートを積層して先のシートに仮接合する仮接合ステーションと、仮接合した積層シートを加熱すると共に加圧して熱圧着する積層ステーションと、熱圧着したシート積層体を搬出する搬出ステーションを備え、シートの下面を吸着保持可能な第一昇降テーブルを備えて搬入ステーションと仮接合ステーションを往復移動可能な第一搬送装置と、シートの下面を吸着保持可能な第二昇降テーブルを備えて仮接合ステーションと積層ステーションを往復移動可能な第二搬送装置と、シートを保持可能な保持手段を備えて積層ステーションと搬出ステーションを往復移動可能な第三搬送装置を設け、仮接合ステーションにシートの上面を吸着保持した状態でシートのアライメントマーク位置情報に基づいてシートを位置決め可能なアライメント装置と位置決めしたシートを第二昇降テーブル上の先のシートの上面に電熱コテにて仮接合可能な仮接合装置を設け、積層ステーションに仮接合されている第二昇降テーブルの上の積層シートを加熱可能な加熱装置を備えてその積層シートを上側から加圧可能なプレス装置を設けてなることにある。
 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a sheet laminate manufacturing apparatus in which a plurality of ceramic sheets are laminated, wherein a carry-in station for carrying sheets one by one and a conveyed sheet are laminated. A temporary joining station that temporarily joins the preceding sheet, a lamination station that heats and presses and temporarily presses the temporarily joined laminated sheet, and a carry-out station that carries out the thermo-compressed sheet laminate, A first conveying device that can move back and forth between the carry-in station and the temporary joining station with a first lifting table that can hold the suction, and a second lifting table that can hold the lower surface of the sheet by sucking and holding the temporary joining station and the stacking station. The stacking station and unloading station can be moved back and forth with a second transfer device that can move back and forth and holding means that can hold the sheet. A third conveying device capable of positioning the sheet on the basis of the alignment mark position information of the sheet while the upper surface of the sheet is sucked and held at the temporary joining station and the position of the positioned sheet on the second lifting table A temporary joining device that can be temporarily joined with an electric heating iron is provided on the upper surface of the sheet, and a heating device that can heat the laminated sheet on the second lifting table temporarily joined to the laminating station is provided, and the laminated sheet is placed on the upper side. A press device capable of pressurization is provided.

請求項６に記載された発明の構成は、請求項５に記載の発明において、搬入ステーションと仮接合ステーションと積層ステーションを一列状に順に配置し、第一搬送装置に第一昇降テーブルを搬入ステーションと仮接合ステーションに往復案内可能な第一案内レールを設け、第二搬送装置に第二昇降テーブルを仮接合ステーションと積層ステーションに往復案内可能な第二案内レールを設け、第一案内レールと第二案内レールを共通の直線状の案内レールで構成してなることにある。
 According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect of the present invention, the carry-in station, the temporary joining station, and the stacking station are sequentially arranged in a line, and the first lifting table is placed in the first transport device. The first guide rail capable of reciprocating guidance is provided at the temporary joining station, the second lifting table is provided at the second transport device, and the second guide rail capable of reciprocating guidance is provided between the temporary joining station and the laminating station. The two guide rails consist of a common linear guide rail.

請求項７に記載された発明の構成は、請求項５に記載の発明において、仮接合ステーションに固定的に支持されている支持部材を設け、アライメント装置に、支持部材に対して水平面内でＸ方向、Ｙ方向、旋回方向へ移動可能に設けたアライメントテーブルと、アライメントテーブルにシートの上面を吸着保持可能に設けた吸着板と、支持部材にアライメントテーブルと吸着板の貫通孔を通してシートのアライメントマーク位置を認識するように位置調整可能に設けたカメラと、支持部材にカメラからのアライメントマーク位置情報に基づいてアライメントテーブルをＸ方向、Ｙ方向、旋回方向へ移動させるように設けた制御装置を備え、仮接合装置に、支持部材に対してアライメントテーブルと吸着板の貫通孔を通して孔開口部へ向けて昇降可能に設けた加熱コテを備えてなることにある。
 According to a seventh aspect of the present invention, in the fifth aspect of the present invention, a support member fixedly supported by the temporary joining station is provided, and the alignment device has an X in a horizontal plane with respect to the support member. Alignment table provided so as to be movable in the direction, Y direction and turning direction, suction plate provided on the alignment table so that the upper surface of the sheet can be sucked and held, and alignment mark of the sheet through the alignment table and the suction plate through-hole A camera provided so that the position can be adjusted so as to recognize the position, and a control device provided on the support member so as to move the alignment table in the X direction, the Y direction, and the turning direction based on the alignment mark position information from the camera. In the temporary joining device, the support member is raised toward the hole opening through the alignment table and the through hole of the suction plate. Capable in by comprising a heating iron provided.

請求項８に記載された発明の構成は、請求項５に記載の発明において、積層ステーションに固定的に支持されている支持部材を設け、プレス装置に、支持部材に対してピストンロッドを下向きにして固着した油圧シリンダと、支持部材に対して昇降可能に支持されてピストンロッドに連結されている昇降体と、昇降体に固着されてヒータを内蔵している上型と、昇降体に対して上型の側方の全周と上型の上方を囲むように昇降可能に設けた吸引ケースと、吸引ケースの内部空間から空気を吸引可能な真空装置を備え、昇降体を下降させると途中で吸引ケースが第二昇降テーブルに当接して下降が停止されると共に吸引ケース内を気密に閉鎖することにある。
 According to an eighth aspect of the present invention, in the invention according to the fifth aspect , a support member fixedly supported by the laminating station is provided, and the piston rod faces the support member downward with respect to the support member. A fixed hydraulic cylinder, a lifting body supported by a support member so as to be movable up and down and connected to a piston rod, an upper mold fixed to the lifting body and incorporating a heater, and a lifting body A suction case that can be raised and lowered to surround the entire circumference of the side of the upper die and the upper die, and a vacuum device that can suck air from the internal space of the suction case. The suction case comes into contact with the second lifting table to stop the lowering and closes the inside of the suction case in an airtight manner.

請求項１の発明は、シートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでシートのアライメントマーク位置を認識してその位置情報に基づいてシートを位置決めし、その後、次のシートを、仮接合ステーションに搬送して位置決めした後、先に位置決めしたシートに積層すると共に熱融着により仮接合し、その後、仮接合されたシート積層体を、積層ステーションに搬送し、その積層ステーションにおいて熱圧着することを特徴とするので、シートを正確に位置決めして積層できると共にその位置関係を維持した状態で一体的に積層でき、シート積層体の積層精度を高精度にできてシート積層体の品質を高くすることができる。
また、積層ステーションでシート積層体を熱圧着している間に、仮接合ステーションで次のシートを位置決めし、その位置決めしたシートを先に熱圧着されたシート積層体に仮接合し、その後、仮接合されたシート積層体を積層ステーションに搬送して熱圧着することを特徴とするので、シートを位置決め（アライメント）して仮接合する動作とシート積層体を加圧して熱圧着するプレス動作とを同時並行処理することができ、シート積層体製造のタクトタイムを短縮することができて生産性を高くできる。
さらに、位置保持状態のシートの上面に位置決めしたシートを効率良く積層して正確に仮接合でき、シート積層体を効率よく製造できる。
The invention of claim 1 conveys a sheet to a temporary joining station, recognizes the alignment mark position of the sheet at the temporary joining station, positions the sheet based on the positional information, and then places the next sheet on the temporary joining station. After being transported and positioned, the sheet is laminated on the previously positioned sheet and temporarily bonded by thermal fusion, and then the temporarily bonded sheet stack is transported to the stacking station and thermocompression bonded at the stacking station. Since the sheet can be positioned and stacked accurately, the sheets can be stacked integrally while maintaining the positional relationship, and the stacking accuracy of the sheet stack can be increased to increase the quality of the sheet stack. be able to.
In addition, while the sheet laminate is being thermocompression bonded at the laminating station, the next sheet is positioned at the temporary joining station, and the positioned sheet is temporarily joined to the previously heat-pressed sheet laminate. Since the bonded sheet laminate is transported to the laminating station and thermocompression bonded, the operation of positioning (aligning) the sheets and temporarily joining them and the press operation of pressurizing and thermocompressing the sheet laminate are performed. Simultaneous parallel processing can be performed, and the tact time of sheet laminate manufacturing can be shortened, so that productivity can be increased.
Furthermore, the sheet positioned on the upper surface of the position-maintained sheet can be efficiently laminated and accurately temporarily joined, and the sheet laminate can be manufactured efficiently.

請求項２の発明は、シートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでシートのアライメントマーク位置を認識してその位置情報に基づいてシートを位置決めし、その後、次のシートを、仮接合ステーションに搬送して位置決めした後、先に位置決めしたシートに積層すると共に熱融着により仮接合し、以後これらの動作を繰返して複数枚のシートを仮接合し、その後、仮接合された複数枚のシート積層体を、積層ステーションに搬送し、当該積層ステーションにおいて熱圧着することを特徴とするので、複数枚のシートを正確に位置決めして積層できると共にその位置関係を維持した状態で一体的に接合でき、シート積層体の積層精度を高くできる。
また、積層ステーションでシート積層体を熱圧着している間に、仮接合ステーションで次のシートを位置決めし、その位置決めしたシートを先に熱圧着したシート積層体に積層して仮接合し、以後これらの動作を所定回数繰返して、熱圧着後のシート積層体上に所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を形成し、しかる後、そのシート積層体を熱圧着し、以後同様な動作を繰返して、複数枚のシートを積層してなるシート積層体を製造することを特徴とするので、複数枚のシートのアライメント動作および仮接合と複数枚のシートの加圧および熱圧着のプレス動作を同時並行処理することができ、シート積層体製造のタクトタイムを短縮することができて生産性を高くできる。
さらに、位置保持状態のシートの上面に位置決めしたシートを効率良く積層して正確に仮接合でき、シート積層体を効率よく製造できる。
The invention according to claim 2 conveys the sheet to the temporary joining station, recognizes the alignment mark position of the sheet at the temporary joining station, positions the sheet based on the positional information, and then places the next sheet on the temporary joining station. After being transported and positioned, the sheet is laminated on the previously positioned sheet and temporarily bonded by thermal fusion. Thereafter, these operations are repeated to temporarily bond a plurality of sheets, and then the temporarily bonded sheets The sheet laminate is transported to the laminating station and thermocompression bonded at the laminating station, so that multiple sheets can be accurately positioned and laminated and bonded together while maintaining the positional relationship. And the lamination accuracy of the sheet laminate can be increased.
Also, while the sheet laminate is being thermocompression bonded at the laminating station, the next sheet is positioned at the temporary joining station, and the positioned sheet is laminated on the previously thermocompressed sheet laminate and temporarily joined. By repeating these operations a predetermined number of times, a sheet laminated body is formed by temporarily joining a predetermined number of sheets on the sheet laminated body after thermocompression bonding, and then the sheet laminated body is thermocompression bonded. Since it is characterized by manufacturing a sheet laminated body formed by laminating a plurality of sheets by repeating the operation, a press for alignment operation and temporary bonding of a plurality of sheets, pressurization of a plurality of sheets, and thermocompression bonding The operations can be processed simultaneously in parallel, and the tact time for manufacturing the sheet laminate can be shortened to increase productivity.
Furthermore, the sheet positioned on the upper surface of the position-maintained sheet can be efficiently laminated and accurately temporarily joined, and the sheet laminate can be manufactured efficiently.

請求項３の発明は、複数枚のシートを順次仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートのアライメントマーク位置情報に基づいてシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて仮接合されているシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、以後これらの動作を繰返して複数枚のシートを仮接合し、その後仮接合状態のシート積層体を積層ステーションに搬送し、当該積層ステーションにおいて熱圧着し、複数枚のシート積層体を熱圧着して一体的に積層されたシート積層体を製造することを特徴とするので、複数枚のシートを正確に位置決めして積層できると共にその位置関係を維持した状態で一体的に接合でき、シート積層体の積層精度を高くできる。
また、仮接合状態のシート積層体を積層ステーションに搬送し、当該積層ステーションにおいて熱圧着してシート積層体を製造することを特徴とするので、複数枚のシートの仮接合動作と複数枚のシートのプレス動作を同時並行処理することができ、シート積層体製造のタクトタイムを短縮することができて生産性を高くできる。
さらに、位置保持状態のシートの上面に位置決めしたシートを効率良く積層して正確に仮接合でき、シート積層体を効率よく製造できる。
The invention according to claim 3 sequentially conveys a plurality of sheets to the temporary joining station, and after positioning the sheet based on the alignment mark position information of the sheet at the temporary joining station, the positioned sheet is first positioned. Laminate the temporarily bonded sheets and partially heat them and temporarily bond them by thermal fusion, then repeat these operations to temporarily bond a plurality of sheets, and then stack the temporarily bonded sheet stacks. Transported to a station, thermocompressed at the laminating station, and a plurality of sheet laminates are thermocompression bonded to produce a sheet laminate integrally laminated. It can be positioned and laminated, and can be integrally joined while maintaining its positional relationship, and the lamination accuracy of the sheet laminate can be increased.
In addition, since the sheet laminated body in the temporarily bonded state is transported to the laminating station, and the sheet laminated body is manufactured by thermocompression bonding in the laminating station, the temporary bonding operation of the plurality of sheets and the plurality of sheets are performed. These press operations can be processed simultaneously in parallel, and the tact time for manufacturing the sheet laminate can be shortened, so that productivity can be increased.
Furthermore, the sheet positioned on the upper surface of the position-maintained sheet can be efficiently laminated and accurately temporarily joined, and the sheet laminate can be manufactured efficiently.

請求項４の発明によれば、フイルム付シートであっても、そのフイルムを剥離して複数枚のシートを正確に位置決めして仮接合でき、シート積層体の積層精度を高くできる。
According to invention of Claim 4 , even if it is a sheet | seat with a film, the film can be peeled, a several sheet | seat can be correctly positioned and temporarily joined, and the lamination | stacking precision of a sheet laminated body can be made high.

請求項５の発明によれば、シートを仮接合ステーションに搬送して位置決めした後、先に位置きめしたシートに積層すると共に部分的に加熱して仮接合することや、仮接合したシートを積層ステーションに搬送して加熱すると共に加圧して熱圧着することができ、複数枚のシートを一体的に積層したシート積層体を機械的に製造できる。
According to invention of Claim 5 , after conveying and positioning a sheet | seat to a temporary joining station, it laminates | stacks on the sheet | seat previously positioned, and it heats partially and laminates | stacks the temporarily joined sheet | seat. It can be conveyed to a station, heated and pressurized, and thermocompression bonded, and a sheet laminate in which a plurality of sheets are integrally laminated can be mechanically manufactured.

請求項６の発明によれば、シートを仮接合ステーションと積層ステーションに簡易な機構で高率良く搬出入できる。
According to invention of Claim 6 , a sheet | seat can be carried in / out with high efficiency with a simple mechanism in the temporary joining station and the lamination station.

請求項７の発明によれば、仮接合ステーションに搬送したシートの上面を吸着して正確に位置決めした後、そのシートを下方に搬送された別のシートに容易に仮接合でき、複数枚のシートを簡易な機構で効率良く仮接合できる。
According to the invention of claim 7 , after the upper surface of the sheet conveyed to the temporary bonding station is adsorbed and accurately positioned, the sheet can be easily temporarily bonded to another sheet conveyed downward, and a plurality of sheets Can be temporarily joined efficiently with a simple mechanism.

請求項８の発明によれば、積層ステーションに搬送した複数枚の積層シートを大気圧より低い真空領域内で加熱および加圧して熱圧着することができ、積層シートを急速に加圧しても積層シートのシート相互間に気泡が残るのを防止でき、シート積層体の製造効率を良くできる。
According to the invention of claim 8 , a plurality of laminated sheets conveyed to the laminating station can be thermocompression-bonded by heating and pressurizing in a vacuum region lower than the atmospheric pressure, and the laminated sheets can be laminated even if they are rapidly pressurized. Air bubbles can be prevented from remaining between the sheets of the sheets, and the manufacturing efficiency of the sheet laminate can be improved.

以下に、本発明に係るシート積層体の製造装置、およびシート積層体の製造方法の一実施形態について、図面にしたがって詳細に説明する。   Hereinafter, an embodiment of a sheet laminate manufacturing apparatus and a sheet laminate manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１、図２は、シート積層体の製造装置を示したものであり、シート積層体の製造装置（以下、単に積層装置という）４１は、シートを1枚ずつ搬入するための搬入ステーション２と、搬送されたシートを積層して先のシートに仮接合するための仮接合ステーション３と、仮接合した積層シートを加熱すると共に加圧して熱圧着するための積層ステーション４と、熱圧着されたシート積層体を搬出するための搬出ステーション５とが、一列に順に配置されている。   1 and 2 show a sheet laminate manufacturing apparatus. A sheet laminate manufacturing apparatus (hereinafter simply referred to as a stacking apparatus) 41 includes a loading station 2 for loading sheets one by one. A temporary joining station 3 for laminating the transported sheets and temporarily joining them to the preceding sheet; a laminating station 4 for heating and pressurizing and temporarily pressing the temporarily joined laminated sheets; An unloading station 5 for unloading the sheet stack is arranged in a line in order.

また、積層装置４１の支持板４２の上には、搬入ステーション２と仮接合ステーション３の間を往復移動可能な第一搬送装置６と、仮接合ステーション３と積層ステーション４の間を往復移動可能な第二搬送装置７と、積層ステーション４と搬出ステーション５の間を往復移動可能な第三搬送装置８とが設けられている。図３は、第一搬送装置６および第二搬送装置７を示したものであり、第一搬送装置６には、セラミックグリーンシート（以下、単にシートという）１の下面を吸着保持可能な第一昇降テーブル９が設けられており、第二搬送装置７には、同様にシートの下面を吸着保持可能な第二昇降テーブル１０が設けられている。一方、第三搬送装置８には、シートの四隅際を保持して搬出ステーション５から外部へシートを搬出するための保持手段１１が設けられている。   Further, on the support plate 42 of the laminating apparatus 41, the first transporting apparatus 6 capable of reciprocating between the carry-in station 2 and the temporary joining station 3 and the reciprocating movement between the temporary joining station 3 and the laminating station 4 are possible. A second transport device 7 and a third transport device 8 capable of reciprocating between the stacking station 4 and the unloading station 5 are provided. FIG. 3 shows the first transport device 6 and the second transport device 7, and the first transport device 6 has a first surface capable of adsorbing and holding the lower surface of a ceramic green sheet (hereinafter simply referred to as a sheet) 1. A lift table 9 is provided, and the second transport device 7 is similarly provided with a second lift table 10 that can hold the lower surface of the sheet by suction. On the other hand, the third conveying device 8 is provided with holding means 11 for holding the corners of the sheet and carrying out the sheet from the carry-out station 5 to the outside.

上記した第一搬送装置６、第二搬送装置７は、直線状で平行に配置された一対の案内レール１７と、案内レール１７の上にスライド可能に載置されている台車６Ａ，７Ａと、第一搬送装置６、第二搬送装置７の下側にそれぞれ支持板４２に固定された一対の支承板１８Ａ，１９Ａによって支承されて案内レール１７と平行に配置されると共に、第一搬送装置６、第二搬送装置７の台車６Ａ，７Ａに螺合されているねじ軸１８，１９と、支持板４２に固定配置されてねじ軸１８，１９の端部に連結されているサーボモータ１８Ｂ，１９Ｂとを備えている。第一搬送装置６の台車６Ａと第二搬送装置７の台車７Ａには、それぞれ第一昇降テーブル９と第二昇降テーブル１０を昇降させるための前後一対の昇降シリンダ９Ａ，１０Ａと第一昇降テーブル９と第二昇降テーブル１０の昇降を案内するための図示しない案内手段が取着されている。また、第一搬送装置６の第一昇降テーブル９には、第一昇降テーブル９上に載置されたシートを位置決めするための前後一対の位置決めシリンダ９Ｂ，９Ｃ（図２に記載）が付設されている。一方の位置決めシリンダ９Ｂは、シートを位置決めするストッパを前後移動させるものであり、他方の位置決めシリンダ９Ｃはシートをストッパに当接するように押すためのものである。また、第一昇降テーブル９と第二昇降テーブル１０には、金枠等の枠に張り付けたシートを用いる場合に、金枠等の４角部分を昇降させるための４個の枠昇降シリンダ（図示省略）が内蔵され、シートを上方に位置する後述のアライメントテーブルの吸着板に受け渡す際に金枠等を押し上げて確実に吸着板に受け渡すようになっている。支持板４２の上には、第二搬送装置７の台車７Ａを仮接合ステーション３において正確な位置に停止させるための位置決めセンサ６０が設けられている。そして、案内レール１７の内、ねじ軸１８側の部分が、第一昇降テーブル９を搬入ステーション２と仮接合ステーション３とに往復案内する第一案内レール２０として機能し、ねじ軸１９側の部分が、第二昇降テーブル１０を仮接合ステーション３と積層ステーション４とに往復案内する第二案内レール２１として機能するようになっている。   The first transport device 6 and the second transport device 7 described above include a pair of guide rails 17 that are linearly arranged in parallel, and carts 6A and 7A that are slidably mounted on the guide rails 17; The first transfer device 6 and the second transfer device 7 are supported by a pair of support plates 18A and 19A fixed to the support plate 42 below the first transfer device 6 and arranged parallel to the guide rail 17, respectively. , Screw shafts 18 and 19 screwed to the carriages 6A and 7A of the second transfer device 7, and servo motors 18B and 19B fixedly arranged on the support plate 42 and connected to the ends of the screw shafts 18 and 19, respectively. And. A cart 6A of the first transport device 6 and a cart 7A of the second transport device 7 include a pair of front and rear lifting cylinders 9A, 10A and a first lifting table for lifting the first lifting table 9 and the second lifting table 10, respectively. 9 and a guide means (not shown) for guiding the raising and lowering of the second lifting table 10 are attached. Further, a pair of front and rear positioning cylinders 9B and 9C (described in FIG. 2) for positioning a sheet placed on the first lifting table 9 are attached to the first lifting table 9 of the first transport device 6. ing. One positioning cylinder 9B is for moving a stopper for positioning the sheet back and forth, and the other positioning cylinder 9C is for pushing the sheet so as to contact the stopper. In addition, when using a sheet attached to a frame such as a metal frame, the first elevating table 9 and the second elevating table 10 are provided with four frame elevating cylinders (not shown) for raising and lowering the four corners such as the metal frame. (Omitted) is built in, and when a sheet is transferred to a suction plate of an alignment table, which will be described later, a metal frame or the like is pushed up to be reliably transferred to the suction plate. On the support plate 42, a positioning sensor 60 for stopping the carriage 7A of the second transport device 7 at an accurate position at the temporary joining station 3 is provided. A portion of the guide rail 17 on the screw shaft 18 side functions as a first guide rail 20 for reciprocally guiding the first lifting table 9 to the carry-in station 2 and the temporary joining station 3, and a portion on the screw shaft 19 side. However, the second elevating table 10 functions as a second guide rail 21 for reciprocally guiding the temporary joining station 3 and the stacking station 4.

また、仮接合ステーション３においては、支持板４２の上に４本の支柱２２，２２・・が立設され、それらの各支柱２２の上端部に支持部材４３が水平に固着されている。そして、その支持部材（フレーム）４３には、シート１に予め付されたアライメントマークの位置に関する情報に基づいてシート１を位置決めするためのアライメント装置１２が設けられている。図４、図５は、アライメント装置１２の設置部位を示したものであり、アライメント装置１２は、支持部材４３の下面に固着された中空の取付基板１２Ａと、取付基板１２Ａの下側に水平面内で移動可能に取り付けられているアライメントテーブル２３を備えている。アライメントテーブル２３は、特開２０００−９８６３１号公報等に記載されているように、取付基板１２Ａに設けた従来公知の機構により、制御装置２６による指令に基づいて、水平面内でＸ方向、Ｙ方向、旋回方向（θ方向）へ移動可能になっている。支持部材４３と取付基板１２Ａの上面には中央部分に大きな開口部４３Ｃ，１２Ｃが設けられている。   Further, in the temporary joining station 3, four support columns 22, 22... Are erected on a support plate 42, and a support member 43 is fixed horizontally to the upper end portion of each support column 22. The support member (frame) 43 is provided with an alignment device 12 for positioning the sheet 1 based on information regarding the position of the alignment mark previously attached to the sheet 1. 4 and 5 show an installation site of the alignment device 12. The alignment device 12 includes a hollow mounting substrate 12A fixed to the lower surface of the support member 43, and a horizontal plane below the mounting substrate 12A. The alignment table 23 is mounted so as to be movable. As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-98631, etc., the alignment table 23 is arranged in the X direction and Y direction within a horizontal plane based on a command from the control device 26 by a conventionally known mechanism provided on the mounting substrate 12A. It is possible to move in the turning direction (θ direction). Large openings 43 </ b> C and 12 </ b> C are provided in the central portion on the upper surfaces of the support member 43 and the mounting substrate 12 </ b> A.

さらに、アライメントテーブル２３は、中央部分に大きな開口部２３Ａを備え、その下面には開口部２３Ａを塞ぐように、シートの上面を吸着保持するための吸着保持板２４が設けられている。吸着保持板２４には、その下面のシートを吸着する領域の縁部の一部を除いた位置に吸引可能な多孔質材料からなる略四角形の吸着板２４Ａが面一になるように固着され、その吸着板２４Ａの上側に位置する内部には吸引室２４Ｂが設けられ、吸着保持板２４の上面に吸引室２４Ｂの真空吸引と真空破壊を行うための複数本の吸引管２４Ｃが連結されている。また、吸引保持板２４には、複数本の金枠に張り付けたシートを用いる場合のために、シートを吸引する領域の側方の複数箇所に、金枠を吸着可能な磁石２４Ｄが埋設されると共に、それらの磁石に吸引された金枠を離脱させるための複数のピンシリンダ２４Ｅが下向きに配置されている。また、吸引保持板２４には、シートを吸着する領域の縁部の一部に、４個の貫通孔３６，３６・・と、後に示す仮接合のための４個の貫通孔２６，２６・・とが穿設されている。各貫通孔３６の内部には、それぞれ、シート１に付されたアライメントマークを認識するためのカメラ（ＣＣＤカメラ）２５，２５・・が、支持部材４３の上面に取着された支持ブラケット２５Ａによって支持されることで、位置調整可能に設置されている。   Further, the alignment table 23 includes a large opening 23A at the center portion, and a suction holding plate 24 for sucking and holding the upper surface of the sheet is provided on the lower surface of the alignment table 23 so as to close the opening 23A. To the suction holding plate 24, a substantially square suction plate 24A made of a porous material that can be sucked is fixed so as to be flush with a position excluding a part of the edge of the region that sucks the sheet on the lower surface thereof, A suction chamber 24B is provided inside the suction plate 24A, and a plurality of suction tubes 24C for performing vacuum suction and vacuum breakage of the suction chamber 24B are connected to the upper surface of the suction holding plate 24. . In addition, in order to use a sheet attached to a plurality of metal frames, magnets 24 </ b> D capable of attracting the metal frames are embedded in the suction holding plate 24 at a plurality of locations on the side of the region where the sheets are sucked. In addition, a plurality of pin cylinders 24E for detaching the metal frame attracted by the magnets are disposed downward. Further, the suction holding plate 24 has four through holes 36, 36,... And four through holes 26, 26,. -And are drilled. In each through hole 36, cameras (CCD cameras) 25, 25... For recognizing alignment marks attached to the sheet 1 are respectively supported by a support bracket 25 A attached to the upper surface of the support member 43. By being supported, it is installed so that the position can be adjusted.

また、アライメントテーブル２３の上方には、位置決めしたシート１を先に位置決めされたシートの上面に仮接合可能な仮接合装置１３が設けられている。そして、仮接合装置１３においては、支持部材４３の上面に取着された支持ブラケット１３Ａに、仮接合手段としての４個の電熱コテ１４，１４・・が下向きに昇降可能に設けられている。かかる電熱コテ１４，１４・・は、アライメントテーブル２３の開口部２３Ａおよび吸着保持板２４に穿設された貫通孔２６，２６・・を通って孔開口部２７から出没可能になっている。   In addition, a temporary joining device 13 capable of temporarily joining the positioned sheet 1 to the upper surface of the previously positioned sheet is provided above the alignment table 23. And in the temporary joining apparatus 13, the four electric heating irons 14, 14, ... as temporary joining means are provided in the support bracket 13A attached to the upper surface of the support member 43 so that raising / lowering is possible downward. The electric heating irons 14, 14... Can enter and exit from the hole openings 27 through the openings 23 A of the alignment table 23 and the through holes 26, 26.

一方、積層ステーション４においては、基板４２の上に４本の支柱２８，２８・・が立設され、それらの各支柱２８の上端部に支持部材（フレーム）２８Ａが固着されている。そして、その支持部材２８Ａには、仮接合された第二昇降テーブル９の上の積層シートを加熱可能な加熱装置１５を備えて加熱した積層シートを上側から加圧可能なプレス装置１６が設けられている。   On the other hand, in the laminating station 4, four columns 28, 28... Are erected on the substrate 42, and a support member (frame) 28 </ b> A is fixed to the upper end portion of each column 28. The supporting member 28A is provided with a pressing device 16 that includes a heating device 15 that can heat the laminated sheet on the temporarily lifted second elevating table 9 and that can press the heated laminated sheet from above. ing.

図６は、加熱装置１５、プレス装置１６の設置部位を示したものであり、プレス装置１６には、ピストンロッド３０を下向きにして支持部材２８Ａの上面に固着した油圧シリンダ２９と、支持部材２８Ａに固着された一対の案内ブッシュ２８Ｂ，２８Ｂによって昇降自在に案内される一対の案内ロッド３１Ａと、案内ロッド３１Ａの下端部に固着されると共に油圧シリンダ２９のピストンロッド３０に連結されている昇降体３１を備えている。そして、その昇降体３１には、ヒータ３２を内蔵した上型３３が支持体３３Ａを介して固着されている。   FIG. 6 shows an installation site of the heating device 15 and the press device 16. The press device 16 includes a hydraulic cylinder 29 fixed to the upper surface of the support member 28A with the piston rod 30 facing downward, and the support member 28A. A pair of guide rods 31A guided by a pair of guide bushes 28B, 28B fixed to the upper and lower ends of the guide rod 31A, and a lift body fixed to the lower end of the guide rod 31A and connected to the piston rod 30 of the hydraulic cylinder 29. 31 is provided. And the upper mold | type 33 incorporating the heater 32 is being fixed to the raising / lowering body 31 via the support body 33A.

また、昇降体３１には、左右一対の昇降ロッド３４Ａを案内する一対の案内ブッシュ３１Ｂが固定され、昇降ロッド３４Ａの下端部に吸引ケース３４が設けられており、降下位置において、上型３３の側方の全周と上型３３の上方を囲むようになっている。吸引ケース３４の上壁に設けた嵌合孔３４Ｂは上型３３の支持体３３Ａに気密に上下摺動自在に嵌合され、吸引ケース３４の下降は図示しないストッパにより阻止されている。また、吸引ケース３４は、チューブ３５Ａによって、基板４２の下側に設置された真空装置３５に接続されており、内部から空気を吸引して真空にしたり真空破壊したりすることができるようになっている。そして、昇降体３１が下降すると、その下降の途中で、吸引ケース３４が第二昇降テーブル９に当接して吸引ケース３４の下降が停止されると共に気密にシールされ、吸引ケース３４の内部が脱気した状態で保たれるようになっている。第三搬送装置８は、積層ステーション４の側方に互いに水平に配設された第三案内レール４４と空気圧作動のロッドレスシリンダ４４Ａを備えており、第三案内レール４４に案内されてロッドレスシリンダ４４Ａによって水平移動される移動体４４Ｂに、積層ステーション４に移動された状態で積層ステーション４の第二搬送装置７の上方へ張り出すように保持手段１１を設けて構成してある。保持手段１１は、熱圧着されたシート積層体の上面を空気吸引により吸着可能な吸着手段を備えている。また、保持手段１１は、金枠等に張り付けたシートを使用する場合のために、第二昇降テーブル１０に設けた枠昇降シリンダによって僅かに上昇させた状態の金枠等の左右の縁部の下方へ出没可能な係止部材を備え、金枠等の左右の縁部を持ち上げて搬送するようになっている。   A pair of guide bushes 31B for guiding a pair of left and right lifting rods 34A is fixed to the lifting body 31, and a suction case 34 is provided at the lower end of the lifting rod 34A. The entire circumference of the side and the upper part of the upper mold 33 are surrounded. A fitting hole 34B provided in the upper wall of the suction case 34 is fitted to the support 33A of the upper die 33 so as to be airtightly slidable up and down, and the lowering of the suction case 34 is prevented by a stopper (not shown). Further, the suction case 34 is connected to a vacuum device 35 installed on the lower side of the substrate 42 by a tube 35A, so that air can be sucked from the inside to be evacuated or broken. ing. When the elevating body 31 is lowered, the suction case 34 comes into contact with the second elevating table 9 in the middle of the lowering, and the lowering of the suction case 34 is stopped and hermetically sealed, so that the inside of the suction case 34 is removed. It is designed to be kept in a state of concern. The third transfer device 8 includes a third guide rail 44 and a rodless cylinder 44A that are pneumatically arranged on the sides of the laminating station 4 and are guided by the third guide rail 44 to be rodless. A holding body 11 is provided on a moving body 44B horizontally moved by a cylinder 44A so as to protrude above the second transfer device 7 of the stacking station 4 while being moved to the stacking station 4. The holding unit 11 includes an adsorption unit that can adsorb the upper surface of the thermocompression-bonded sheet laminate by air suction. In addition, the holding means 11 is used for the left and right edge portions of the metal frame and the like slightly raised by the frame elevating cylinder provided on the second elevating table 10 in order to use a sheet attached to the metal frame or the like. A locking member that can be projected and lowered is provided, and the left and right edges of the metal frame and the like are lifted and conveyed.

以下、上記の如く構成された積層装置４１を用いたシート積層体の製造方法の一例について説明する。なお、以下の説明は、シートの位置決め→仮接合→熱圧着という一連の動作を１枚のシート毎に繰り返すことによって、最終的に必要な枚数（たとえば、４０枚）のシートを積層したシート積層体を製造する方法についてのものである。   Hereinafter, an example of the manufacturing method of the sheet | seat laminated body using the lamination apparatus 41 comprised as mentioned above is demonstrated. In the following description, a sheet lamination in which a necessary number of sheets (for example, 40 sheets) are finally laminated by repeating a series of operations of sheet positioning → temporary bonding → thermocompression bonding for each sheet. It is about the method of manufacturing a body.

シート１は、所定の大きさの矩形に切断され、予め、所定のパターンをもって電気的要素を構成する材料膜（たとえば、内部電極）が印刷等により形成されている。また、シート１の四隅際には、位置決め用のアライメントマークが印刷されている。かかるシート１は、搬入ステーション２まで搬送されて、第一搬送装置６の上の第一昇降テーブル９上に載置される。第一昇降テーブル９上にシート１が載置されると、位置決めシリンダ９Ｂ，９Ｃが作動してシート１が位置決めされた後、第一昇降テーブル９の外周際に設けられた吸引孔（図示せず）から吸引が行われることによって、シート１の下面が第一昇降テーブル９上に固定される。そして、シート１が第一昇降テーブル９上に載置された後には、第一搬送装置６が第一案内レール２０に沿って仮接合ステーション３まで搬送される（図１における右側へスライドする）。なお、第一搬送装置６の台車６Ａの移動位置は、ねじ軸１８の回転によって規制される。   The sheet 1 is cut into a rectangle having a predetermined size, and a material film (for example, an internal electrode) constituting an electrical element with a predetermined pattern is formed in advance by printing or the like. In addition, alignment marks for positioning are printed at the four corners of the sheet 1. The sheet 1 is transported to the carry-in station 2 and placed on the first lifting table 9 on the first transport device 6. When the seat 1 is placed on the first lifting table 9, the positioning cylinders 9B and 9C are actuated to position the seat 1, and then a suction hole (not shown) provided on the outer periphery of the first lifting table 9 is shown. The lower surface of the sheet 1 is fixed on the first lifting table 9 by suction. And after the sheet | seat 1 is mounted on the 1st raising / lowering table 9, the 1st conveying apparatus 6 is conveyed to the temporary joining station 3 along the 1st guide rail 20 (slides to the right side in FIG. 1). . Note that the movement position of the carriage 6 </ b> A of the first transport device 6 is regulated by the rotation of the screw shaft 18.

上述の如くシート１を吸着保持した第一搬送装置６がスライドすることによって仮接合ステーション３に搬送されると、昇降シリンダ９Ａが作動して第一昇降テーブル９が上昇し、アライメント装置１２の下端に設けられた吸着板２４Ａとシート１を介して当接する（すなわち、シート１が第一昇降テーブル９と吸着板２４Ａとによって軽くプレスされた状態になる）。そのようにシート１が吸着板２４Ａと当接すると、吸着板２４Ａの下面全体から吸引が行われることによって、シート１の上面が吸着板２４Ａに固定される。また、それと同時に、第一昇降テーブル９がシート１の吸引を停止することによって、シート１が第一昇降テーブル９から吸着板２４Ａへと受け渡される。シート１が吸着板２４Ａへ受け渡されると、第一昇降テーブル９が最下位置まで下降を開始すると同時に、第一搬送装置６が第一案内レール２０に沿って搬入ステーション２まで移動する（図１における左側へスライドする）。   As described above, when the first conveying device 6 holding the sheet 1 by suction is slid and conveyed to the temporary joining station 3, the elevating cylinder 9A is actuated to raise the first elevating table 9, and the lower end of the alignment device 12 is moved. The sheet 1 comes into contact with the suction plate 24A provided on the sheet 1 (that is, the sheet 1 is lightly pressed by the first lifting table 9 and the suction plate 24A). When the sheet 1 comes into contact with the suction plate 24A in this manner, suction is performed from the entire lower surface of the suction plate 24A, whereby the upper surface of the sheet 1 is fixed to the suction plate 24A. At the same time, the first lifting table 9 stops the suction of the sheet 1, whereby the sheet 1 is transferred from the first lifting table 9 to the suction plate 24 </ b> A. When the sheet 1 is delivered to the suction plate 24A, the first elevating table 9 starts to descend to the lowest position, and at the same time, the first transport device 6 moves along the first guide rail 20 to the carry-in station 2 (see FIG. Slide to the left in 1).

また、シート１が吸着板２４Ａへ受け渡されると、吸着板２４に内臓された４個のカメラ２５，２５・・が、シート１に付されたアライメントマークを認識する。そして、そのアライメントマークの位置情報に基づいて、アライメントテーブル２３が制御装置２６からの指令によりＸ方向、Ｙ方向、旋回方向（θ方向）へ移動することによって、シート１が吸着板２４Ａとともに所定の位置に位置決めされる。   When the sheet 1 is transferred to the suction plate 24A, the four cameras 25, 25,... Built in the suction plate 24 recognize the alignment marks attached to the sheet 1. Then, based on the position information of the alignment mark, the alignment table 23 is moved in the X direction, the Y direction, and the turning direction (θ direction) according to a command from the control device 26, whereby the sheet 1 together with the suction plate 24A has a predetermined value. Positioned.

一方、上記の如くシート１が位置決めされている間に、第二搬送装置７が第二案内レール２１に沿って仮接合ステーション３まで移動して位置決めセンサ６０によって正確な位置に停止される（図１における左側へスライドする）。なお、第二搬送装置７の移動は、ねじ軸１９の回転によって規制される。そして、第二搬送装置７が仮接合ステーション３へ搬送されると、第二昇降テーブル１０が上昇して、アライメント装置１２の下端の吸着板２４Ａと、シート１を介して当接する（すなわち、シート１が第二昇降テーブル１０と吸着板２４Ａとによって軽くプレスされた状態になる）。そのようにシート１が第二昇降テーブル１０と当接すると、第二昇降テーブル１０の外周際に設けられた吸引孔（図示せず）から吸引が行われることによって、シート１の下面が第二昇降テーブル１０に固定される。また、それと同時に、吸着板２４Ａがシート１の吸引を停止することによって、シート１が吸着板２４Ａから第二昇降テーブル１０へと受け渡される。なお、上述の如く、シート１は吸着板２４Ａ上で位置決めされているので、その位置決めされた状態を保ったまま、第二昇降テーブル１０に受け渡される。シート１が第二昇降テーブル１０へ受け渡されると、第二昇降テーブル１０が最下位置に向けて下降すると共に第二搬送装置７が第二案内レール２１に沿って積層ステーション４へ移動される。   On the other hand, while the sheet 1 is positioned as described above, the second transport device 7 moves along the second guide rail 21 to the temporary joining station 3 and is stopped at an accurate position by the positioning sensor 60 (FIG. Slide to the left in 1). The movement of the second transport device 7 is restricted by the rotation of the screw shaft 19. When the second transport device 7 is transported to the temporary joining station 3, the second lifting table 10 is lifted and comes into contact with the suction plate 24 </ b> A at the lower end of the alignment device 12 via the sheet 1 (that is, the sheet 1 is lightly pressed by the second lifting table 10 and the suction plate 24A). When the sheet 1 comes into contact with the second elevating table 10 in this way, suction is performed from a suction hole (not shown) provided at the outer periphery of the second elevating table 10, so that the lower surface of the sheet 1 is second. Fixed to the lifting table 10. At the same time, the suction plate 24 </ b> A stops the suction of the sheet 1, whereby the sheet 1 is transferred from the suction plate 24 </ b> A to the second lifting table 10. Since the sheet 1 is positioned on the suction plate 24A as described above, the sheet 1 is delivered to the second lifting table 10 while maintaining the positioned state. When the sheet 1 is transferred to the second elevating table 10, the second elevating table 10 is lowered toward the lowest position, and the second conveying device 7 is moved along the second guide rail 21 to the stacking station 4. .

前記のように、１枚目のシート１が位置決めされて、第二昇降テーブル１０に受け渡されるている間に、２枚目のシート（所定の大きさの矩形に切断されたシート）１が、搬入ステーション２まで搬送されて、第一搬送装置６上の第一昇降テーブル９上に載置され、１枚目のシート１と同様の方法で、位置決め、吸引固定され、第二搬送装置７が仮接合ステーション３から積層ステーション４へ移動し始めた後に仮接合ステーション３に搬送される。そして、１枚目のシート１と同様の方法で、吸着板２４Ａに受け渡されて、位置決めされる。   As described above, while the first sheet 1 is positioned and transferred to the second elevating table 10, the second sheet (sheet cut into a rectangle of a predetermined size) 1 is provided. , Transported to the carry-in station 2, placed on the first lifting table 9 on the first transport device 6, positioned and sucked and fixed in the same manner as the first sheet 1, and the second transport device 7 Is transferred to the temporary bonding station 3 after starting to move from the temporary bonding station 3 to the laminating station 4. Then, it is transferred to the suction plate 24A and positioned by the same method as that for the first sheet 1.

上記の如く、２枚目のシート１が位置決めされている間に、一枚目のシート１を吸引固定した第二搬送装置７が、再度、第二案内レール２１に沿って仮接合ステーション３まで移動する（図１における左側へスライドする）。そして、第二搬送装置７が仮接合ステーションへ移動して位置決め停止されると、第二昇降テーブル１０が上昇して、２枚目のシート１と１枚目のシート１とを介して、吸着板２４Ａと当接する（すなわち、２枚のシート１，１が第二昇降テーブル１０と吸着板２４Ａとによって軽くプレスされた状態になる）。さらに、そのように２枚のシート１，１が第二昇降テーブル１０と吸着板２４Ａとによって軽くプレスされると、仮接合装置１３の加熱状態の４個の電熱コテ１４，１４・・が下降して、２枚のシート１，１を所定の位置（四隅際）において仮接合させる（熱融着させる）。なお、２枚のシート１，１は、上述の如く、いずれも吸着板２４Ａ上において位置決めされているので、位置決めされた状態を保ったまま、仮接合される。   As described above, while the second sheet 1 is being positioned, the second conveying device 7 that sucks and fixes the first sheet 1 again moves along the second guide rail 21 to the temporary joining station 3. Move (slide to the left in FIG. 1). Then, when the second transport device 7 moves to the temporary joining station and stops positioning, the second lifting table 10 is lifted and sucked through the second sheet 1 and the first sheet 1. The plate 24A comes into contact (that is, the two sheets 1 and 1 are lightly pressed by the second lifting table 10 and the suction plate 24A). Further, when the two sheets 1 and 1 are lightly pressed by the second elevating table 10 and the suction plate 24A, the four electric heating irons 14, 14,. Then, the two sheets 1 and 1 are temporarily joined (heat-sealed) at predetermined positions (at the four corners). Since the two sheets 1 and 1 are both positioned on the suction plate 24A as described above, they are temporarily joined while maintaining the positioned state.

そのように２枚のシート１，１が仮接合されると、第二昇降テーブル１０の吸引孔（図示せず）から吸引が行われることによって、１枚目のシート１の下面が第二昇降テーブル１０に固定されると同時に、吸着板２４Ａが２枚目のシート１の吸引を停止することによって、仮接合されたシート１，１が吸着板２４Ａから第二昇降テーブル１０へと受け渡される。なお、上述の如く、２枚のシート１，１は位置決めされた状態で仮接合されているので、その位置決めされた状態を保ったまま、第二昇降テーブル１０に受け渡される。   When the two sheets 1 and 1 are temporarily joined in this manner, suction is performed from a suction hole (not shown) of the second lifting table 10 so that the lower surface of the first sheet 1 is lifted and lowered by the second. At the same time as being fixed to the table 10, the suction plate 24 </ b> A stops sucking the second sheet 1, whereby the temporarily joined sheets 1, 1 are transferred from the suction plate 24 </ b> A to the second lifting table 10. . As described above, since the two sheets 1 and 1 are temporarily joined in a positioned state, they are delivered to the second lifting table 10 while maintaining the positioned state.

そして、２枚のシート１，１が位置決めされた状態で第二昇降テーブル１０へ受け渡されると、第二昇降テーブル１０が最下位置まで下降を開始すると同時に、第二搬送装置７が第二案内レール２１に沿って積層ステーション４まで移動する（図１における右側へスライドする）。第二搬送装置７が積層ステーション４へ搬送されると、プレス装置１６の油圧シリンダ２９の作動によって、ヒータ３２によって加熱された上型３３と吸引ケース３４を設けた昇降体３１が下降する。そして、吸引ケース３４の下端の正方形状の周縁が第二昇降テーブル１０の上面と当接することによって、吸引ケース３４内が外部と気密に遮断される。なお、吸引ケース３４内の気密性を高めるには、吸引ケース３４の下端にシール材を付設するのが好ましい。さらに、その状態において、真空装置３５によって吸引ケース３４内の空気が吸引される。また、前記のように昇降体３１が下降されると、吸引ケース３４が第二昇降テーブル１０に当接した後も昇降体３１が更に下降することにより、ヒータ３２によって加熱された上型３３が下降して、第二昇降テーブル１０と当接する（第二昇降テーブル１０上に吸引固定された仮接合後の２枚のシート１，１を介して当接する）。しかる後、所定の圧力が加えられることによって、２枚のシート（仮接合後のシート）１，１が熱圧着される（位置決めされた状態を保ったまま、熱圧着される）。そして、２枚のシート１，１が熱圧着されると、吸引ケース３４内に空気が充填されて真空破壊された後に、吸引ケース３４と上型３３とが最上位置まで上昇する。   Then, when the two sheets 1 and 1 are positioned and delivered to the second elevating table 10, the second elevating table 10 starts to descend to the lowest position, and at the same time the second transport device 7 It moves to the lamination station 4 along the guide rail 21 (slides to the right side in FIG. 1). When the second transport device 7 is transported to the stacking station 4, the operation of the hydraulic cylinder 29 of the press device 16 lowers the elevating body 31 provided with the upper mold 33 and the suction case 34 heated by the heater 32. Then, when the square peripheral edge at the lower end of the suction case 34 comes into contact with the upper surface of the second lifting table 10, the inside of the suction case 34 is shut off from the outside. In order to increase the airtightness in the suction case 34, it is preferable to attach a sealing material to the lower end of the suction case 34. Further, in this state, the air in the suction case 34 is sucked by the vacuum device 35. Further, when the elevating body 31 is lowered as described above, the elevating body 31 is further lowered even after the suction case 34 comes into contact with the second elevating table 10, so that the upper mold 33 heated by the heater 32 becomes. It descends and comes into contact with the second lift table 10 (contacts via the two sheets 1 and 1 after temporary joining that are suction-fixed on the second lift table 10). Thereafter, by applying a predetermined pressure, the two sheets (sheets after provisional bonding) 1 and 1 are thermocompression bonded (thermocompression bonding is performed while maintaining the positioned state). When the two sheets 1 and 1 are thermocompression-bonded, the suction case 34 and the upper mold 33 are raised to the uppermost position after the suction case 34 is filled with air and broken in vacuum.

一方、そのように１枚目のシートと２枚目のシートとが熱圧着されている間に、３枚目のシート（所定の大きさの矩形に切断されたシート）１が、搬入ステーション２まで搬送されて、第一搬送装置６上の第一昇降テーブル９上に載置され、１，２枚目のシートと同様の方法で、吸引固定された後に仮接合ステーション３に搬送される。そして、１，２枚目のシート１，１と同様の方法で、吸着板２４Ａに受け渡されてアライメントされ、位置決めされる。   On the other hand, while the first sheet and the second sheet are thermocompression-bonded as described above, the third sheet (sheet cut into a rectangle of a predetermined size) 1 is loaded into the carry-in station 2. To the first elevating table 9 on the first conveying device 6 and sucked and fixed in the same manner as the first and second sheets, and then conveyed to the temporary joining station 3. Then, in the same manner as the first and second sheets 1 and 1, the sheet is transferred to the suction plate 24A, aligned, and positioned.

また、３枚目のシート１が位置決めされている間に、熱圧着された１，２枚目のシート１，１を吸引固定した第二搬送装置７が、再度、第二案内レール２１に沿って仮接合ステーション３まで移動する（図１における左側へスライドする）。そして、第二搬送装置７が仮接合ステーション３まで移動して位置決めされると、第二昇降テーブル１０が上昇して、１，２枚目のシート（熱圧着されたシート）１，１と３枚目のシート１とを介して、吸着板２４Ａと当接する。さらに、そのように３枚のシート１，１，１が第二昇降テーブル１０と吸着板２４Ａとによって軽くプレスされると、仮接合装置１３の４個の電熱コテ１４，１４・・が下降することにより、１，２枚目のシート１，１と３枚目のシート１とを所定の位置（四隅際）において仮接合させる（熱融着させる）。なお、３枚のシート１，１，１は、上述の如く、いずれも吸着板２４上で位置決めされているので、位置決めされた状態を保ったまま、仮接合される。   In addition, while the third sheet 1 is positioned, the second conveying device 7 that sucks and fixes the first and second sheets 1 and 1 that are thermocompression bonded again extends along the second guide rail 21. To the temporary joining station 3 (slide to the left in FIG. 1). And if the 2nd conveying apparatus 7 moves to the temporary joining station 3 and is positioned, the 2nd raising / lowering table 10 will raise, and the 1st, 2nd sheet | seat (thermocompression-bonded sheet | seat) 1,1,3 It contacts the suction plate 24A via the first sheet 1. Further, when the three sheets 1, 1, 1 are lightly pressed by the second lifting table 10 and the suction plate 24A, the four electric heating irons 14, 14,. Thus, the first and second sheets 1 and 1 and the third sheet 1 are temporarily joined (heat-sealed) at predetermined positions (at the four corners). Since the three sheets 1, 1, 1 are all positioned on the suction plate 24 as described above, they are temporarily joined while maintaining the positioned state.

そのように３枚のシートが仮接合されると、それらの３枚のシート１，１，１が吸着板２４Ａから第二昇降テーブル１０へ受け渡され、第二昇降テーブル１０が積層ステーション４までスライドする。そして、１，２枚目のシート１，１を熱圧着したときと同様の工程によって、吸引ケース３４内を脱気した状態の下で、加熱された上型３３によって３枚のシート（仮接合された３枚のシート）１，１，１が熱圧着される。   When the three sheets are temporarily joined in this manner, the three sheets 1, 1, 1 are transferred from the suction plate 24 </ b> A to the second lifting table 10, and the second lifting table 10 reaches the stacking station 4. Slide. Then, the three sheets (temporary bonding) are performed by the heated upper mold 33 in a state where the inside of the suction case 34 is degassed by the same process as when the first and second sheets 1 and 1 are thermocompression bonded. The three sheets 1, 1, 1 are thermocompression bonded.

そして、上記したような搬入→位置決め→仮接合→熱圧着を所定回数だけ繰り返すことによって、最終的に必要な枚数のシート１，１・・を積層したシート積層体が形成される。しかる後、形成されたシート積層体は、第三搬送装置８に設けられた保持手段１１に保持された状態で、積層ステーション４から搬出ステーション５へと搬出される。なお、第三搬送装置８は、第一搬送装置６、第二搬送装置７と同様に、第三案内レール４４に導かれて、積層ステーション４と搬出ステーション５との間を移動可能になっている。   And by repeating the above-mentioned carrying-in-> positioning-> temporary joining-> thermocompression bonding a predetermined number of times, a sheet laminated body in which the necessary number of sheets 1, 1,. Thereafter, the formed sheet laminate is carried out from the lamination station 4 to the carry-out station 5 while being held by the holding means 11 provided in the third conveying device 8. In addition, the 3rd conveying apparatus 8 is guide | induced to the 3rd guide rail 44 similarly to the 1st conveying apparatus 6 and the 2nd conveying apparatus 7, and can move between the lamination station 4 and the unloading station 5. Yes.

積層装置４１による上記の如きシート積層体の製造方法によれば、各シート１，１・・を正確に位置決めして積層できると共にその位置関係を維持した状態で一体的に積層でき、シート積層体の積層精度を高精度にできてシート積層体の品質を高くすることができる。また、各シート１，１・・を位置決め（アライメント）して仮接合する動作とシート加圧して熱圧着するプレス動作と同時並行処理することができ、シート積層体製造のタクトタイムを短縮することができるため、きわめて生産性が高い。   According to the method for manufacturing a sheet laminate as described above by the laminating apparatus 41, the sheets 1, 1... Can be accurately positioned and laminated and can be laminated integrally while maintaining the positional relationship. The sheet stacking body can be made highly accurate and the quality of the sheet laminate can be increased. Also, the operation of positioning (aligning) the sheets 1, 1... And temporarily joining them and the press operation of pressing and thermocompression of the sheets can be performed simultaneously and in parallel, thereby reducing the tact time of sheet laminate manufacturing. Is extremely productive.

また、積層装置４１は、シート１を仮接合ステーション３に搬送して位置決めした後、先に位置きめしたシート１に積層すると共に部分的に加熱して仮接合することや、仮接合したシート１を積層ステーション４に搬送して加熱すると共に加圧して熱圧着することができ、複数枚のシート１，１・・を一体的に積層したシート積層体を機械的に製造することができる。   Further, the laminating apparatus 41 transports and positions the sheet 1 to the temporary bonding station 3, then stacks the sheet 1 on the previously positioned sheet 1 and partially heats and temporarily bonds the sheet 1 or temporarily bonded sheet 1. Can be conveyed to the laminating station 4 and heated and pressed and thermocompression bonded, so that a sheet laminated body in which a plurality of sheets 1, 1.

なお、本発明のシート積層体の製造方法、およびシート積層体の積層装置の構成は、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、搬入ステーション、仮接合ステーション、積層ステーション、搬出ステーション、第一搬送装置、第二搬送装置、第三搬送装置、アライメント装置、仮接合装置、加熱装置、プレス装置、第一案内レール、第二案内レール、第三案内レール等の形状・構造等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、必要に応じて適宜変更することができる。   In addition, the manufacturing method of the sheet laminated body of this invention and the structure of the lamination apparatus of a sheet laminated body are not limited to the aspect of the said embodiment at all, A carrying-in station, a temporary joining station, a laminating station, a carrying-out station, Configurations such as shapes, structures, etc. of the first transport device, second transport device, third transport device, alignment device, temporary joining device, heating device, press device, first guide rail, second guide rail, third guide rail, etc. Can be appropriately changed as necessary without departing from the spirit of the present invention.

たとえば、本発明のシートの積層方法は、上記の如く、１枚のシート毎に位置決め→仮接合→熱圧着を繰り返すことによって、最終的に必要な枚数のシートを積層したシート積層体を形成する方法に限定されず、所定の枚数（たとえば、１０枚）になるまで１枚ずつの位置決め→仮接合を繰り返してシート積層体（所定枚数の積層体）を形成した後に、それらのシート積層体同士を熱圧着し、しかる後に、１枚毎のシート位置決め、仮接合、熱圧着を繰り返し、最終的に必要な枚数のシートを積層したシート積層体を形成する方法に変更することも可能である。かかる積層方法を採用した場合でも、上記実施形態の如き積層方法と同様に、複数枚のシートを正確に位置決めして積層できると共に、その位置関係を維持した状態で一体的に接合でき、シート積層体の積層精度を高くすることができる。加えて、複数枚のシートのアライメント動作および仮接合と複数枚のシートの加圧および熱圧着のプレス動作を同時並行処理することができ、シート積層体製造のタクトタイムを短縮することができて生産性を高くすることができる。   For example, in the method for laminating sheets according to the present invention, as described above, a sheet laminate in which a necessary number of sheets are finally laminated is formed by repeating positioning → temporary bonding → thermocompression for each sheet. It is not limited to the method, and after forming a sheet laminated body (predetermined number of laminated bodies) by repeating positioning → temporary joining one by one until a predetermined number of sheets (for example, 10) is reached, the sheet laminated bodies It is also possible to change to a method of forming a sheet laminated body in which the necessary number of sheets are finally laminated by repeating the sheet pressing, temporary positioning and temporary bonding and thermocompression bonding. Even when such a laminating method is adopted, a plurality of sheets can be accurately positioned and laminated as well as the laminating method as in the above embodiment, and can be integrally joined while maintaining the positional relationship. The body stacking accuracy can be increased. In addition, the alignment operation and provisional bonding of multiple sheets and the press operation of pressurization and thermocompression bonding of multiple sheets can be processed simultaneously in parallel, and the tact time of sheet laminate manufacturing can be shortened. Productivity can be increased.

加えて、本発明のシートの積層方法は、最終的に必要な枚数になるまで１枚ずつの位置決め→仮接合を繰り返して、最終的に必要な枚数を積層したシート積層体を形成した後に、そのシート積層体を熱圧着する積層方法に変更することも可能である。かかる積層方法を採用した場合でも、上記実施形態の如き積層方法と同様に、複数枚のシートを正確に位置決めして積層できると共にその位置関係を維持した状態で一体的に接合でき、シート積層体の積層精度を高くすることができる。加えて、複数枚のシートの仮接合動作と複数枚のシートのプレス動作を同時並行処理することができ、シート積層体製造のタクトタイムを短縮することができて生産性を高くすることができる。また、シートがフイルム付きシートである場合には、特許第２７２７７３９号公報や特開平８−２４４０１９号公報等に開示されている公知のフイルム剥離手段を用いて、シートからフイルムを剥離することが必要であるが、本発明においては、フイルム付きシートを仮接合ステーションに搬送するに先立ってシートからフイルムを剥離し、仮接合ステーションで、フイルムを剥離した状態のシートを位置決めするので、フイルム剥離に伴うシートの位置ズレを防止することができる。   In addition, the method for laminating sheets of the present invention is to repeat the positioning → temporary bonding one by one until finally reaching the required number of sheets, and finally form a sheet laminate in which the required number of sheets is laminated, It is also possible to change to a lamination method in which the sheet laminate is thermocompression bonded. Even when such a laminating method is adopted, a plurality of sheets can be accurately positioned and laminated as well as the laminating method as in the above embodiment, and can be integrally joined while maintaining the positional relationship. The stacking accuracy of can be increased. In addition, a plurality of sheets can be temporarily joined and a plurality of sheets can be pressed simultaneously in parallel, and the tact time for manufacturing the sheet laminate can be shortened to increase productivity. . Further, when the sheet is a sheet with a film, it is necessary to peel the film from the sheet by using a known film peeling means disclosed in Japanese Patent No. 2727739, Japanese Patent Laid-Open No. 8-244019, or the like. However, in the present invention, the film is peeled off from the sheet prior to transporting the film-attached sheet to the temporary joining station, and the sheet with the film peeled is positioned at the temporary joining station. Sheet misalignment can be prevented.

また、本発明のシートの積層方法は、仮接合ステーションにシートを搬入するまでは、シートを保護用のフイルムで被覆してフィルム付きシートとしておき、仮接合ステーションにおいて、シートからフイルムを剥離し、フイルムを剥離した状態のシートを位置決めするように構成することも可能である。かかる構成を採用した場合には、シートに粉塵が付着する事態を防止し、電気特性の優れたシート積層体を製造することができる、というメリットがある。   Further, in the method for laminating sheets according to the present invention, until the sheet is carried into the temporary joining station, the sheet is covered with a protective film and left as a film-coated sheet, and the film is peeled from the sheet at the temporary joining station, It is also possible to configure the sheet in a state where the film is peeled off. When such a configuration is adopted, there is an advantage that it is possible to prevent a situation where dust adheres to the sheet and to manufacture a sheet laminate having excellent electrical characteristics.

また、積層装置は、アライメントマークを認識するためのカメラが４個設置されたものに限定されず、３個以下のカメラを設けることも可能であるし、５個以上のカメラを設けることも可能である。また、仮接合させるための手段は、電熱コテに限定されず、その他の手段を用いることも可能である。加えて、電熱コテの設置個数も４個に限定されず、３個以下であっても良いし、５個以上とすることも可能である。   In addition, the stacking apparatus is not limited to the one in which four cameras for recognizing the alignment mark are installed, and it is possible to provide three or less cameras or five or more cameras. It is. Further, the means for temporary joining is not limited to the electric heating iron, and other means can be used. In addition, the number of installed electric heating irons is not limited to four, and may be three or less, or five or more.

シート積層体製造装置の正面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the front of a sheet | seat laminated body manufacturing apparatus. シート積層体製造装置を上から見た状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which looked at the sheet | seat laminated body manufacturing apparatus from the top. 第一搬送装置、第二搬送装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a 1st conveying apparatus and a 2nd conveying apparatus. アライメント装置を上から見た状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which looked at the alignment apparatus from the top. アライメント装置の鉛直断面を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the vertical cross section of an alignment apparatus. 加熱装置、プレス装置の設置部位を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the installation site | part of a heating apparatus and a press apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１・・シート、２・・搬入ステーション、３・・仮接合ステーション、４・・積層ステーション、５・・搬出ステーション、６・・第一搬送装置、７・・第二搬送装置、８・・第三搬送装置、９・・第一昇降テーブル、１０・・第二昇降テーブル、１１・・保持手段、１２・・アライメント装置、１３・・仮接合装置、１４・・電熱コテ、１５・・加熱装置、１６・・プレス装置、２０・・第一案内レール、２１・・第二案内レール、２３・・アライメントテーブル、２４・・吸着板、２５・・カメラ、２６・・制御装置、２７・・孔開口部、２８Ａ・・フレーム（支持部材）、２９・・油圧シリンダ、３０・・ピストンロッド、３１・・昇降体、３２・・ヒータ、３３・・上型、３４・・吸引ケース、３５・・真空装置、４１・・積層装置、４３・・支持部材。
1 .... sheet, 2 .... loading station, 3 .... temporary joining station, 4 .... stacking station, 5 .... unloading station, 6 .... first transfer device, 7 .... second transfer device, 8 .... Three conveying devices, 9 ... First lifting table, 10 ... Second lifting table, 11 ... Holding means, 12 ... Alignment device, 13 ... Temporary joining device, 14 ... Heating iron, 15 ... Heating device , 16..Pressing device, 20..First guide rail, 21..Second guide rail, 23..Alignment table, 24..Suction plate, 25..Camera, 26..Control device, 27..Hole Opening, 28A ... Frame (support member) 29 ... Hydraulic cylinder 30 ... Piston rod 31 ... Lifting body 32 ... Heater 33 ... Upper mold 34 ... Suction case 35 ... Vacuum equipment, 41 ... Lamination equipment 43 ... support member.

Claims (8)

複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造方法であって、
シートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでシートのアライメントマーク位置を認識してその位置情報に基づいてシートを位置決めし、その後、次のシートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでそのシートを位置決めした後、先に位置決めしたシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、
その後、仮接合されたシート積層体を、積層ステーションに搬送し、加熱すると共に加圧して熱圧着する一方、積層ステーションでシート積層体を熱圧着している間に、仮接合ステーションで次の新たなシートを位置決めし、熱圧着したシート積層体を仮接合ステーションに搬送し、その後、位置決めした新たなシートを先に熱圧着されたシート積層体に積層すると共に部分的に加熱して前記仮接合と同様な方法で仮接合し、その後、熱圧着されたシート積層体に新たなシートが仮接合されたシート積層体を積層ステーションに搬送して熱圧着し、以後これらの動作を繰返し、複数枚のシートを一体的に積層してなるシート積層体を製造するものであり、かつ、
シートの下面を吸着保持した状態で仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートの上面を吸着保持した状態でシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて下面を吸着保持されているシートの上側に積層すると共に部分的に加熱して仮接合し、その後、仮接合したシートの下面を吸着保持した状態で積層ステーションに搬送し、積層ステーションで、仮接合状態のシートを上下側から加熱すると共に加圧して熱圧着することを特徴とするシート積層体の製造方法。 A method for producing a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets,
The sheet is conveyed to the temporary bonding station, the position of the alignment mark of the sheet is recognized at the temporary bonding station, the sheet is positioned based on the position information, and then the next sheet is transferred to the temporary bonding station, where the temporary bonding station After positioning the sheet, it is laminated to the previously positioned sheet and partially heated and temporarily joined by thermal fusion,
After that, the temporarily laminated sheet laminate is transported to the laminating station, heated and pressurized, and thermocompression bonded, while the sheet laminate is thermocompression bonded at the laminating station, A sheet laminated body that has been positioned and thermocompression-bonded is transported to a temporary joining station, and then the new sheet that has been positioned is laminated on the sheet laminated body that has been previously thermocompression-bonded and partially heated to perform the temporary joining. After that, the sheet laminate in which a new sheet is temporarily joined to the thermo-compressed sheet laminate is transported to the laminating station and thermocompression bonded. Thereafter, these operations are repeated to obtain a plurality of sheets. A sheet laminate formed by integrally laminating the sheets , and
The sheet is transported to the temporary bonding station with the lower surface of the sheet held by suction, and after positioning the sheet with the upper surface of the sheet being sucked and held at the temporary bonding station, the positioned sheet is first positioned and the lower surface is sucked and held. Laminate on the upper side of the sheet, and partially heat and temporarily join, and then transport to the laminating station with the lower surface of the temporarily joined sheet sucked and held. A method for producing a sheet laminate, comprising heating and pressing from above and below and thermocompression bonding . 複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造方法であって、
シートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでシートのアライメントマーク位置を認識してその位置情報に基づいてシートを位置決めし、その後、次のシートを仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションでそのシートを位置決めした後、先に位置決めしたシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、以後これらの動作を所定回数繰返して、所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を形成し、
その後、その仮接合状態のシート積層体を、積層ステーションに搬送し、加熱すると共に加圧して熱圧着する一方、積層ステーションでシートを熱圧着している間に、仮接合ステーションで次の新たなシートを位置決めし、
しかる後、熱圧着したシート積層体を仮接合ステーションに搬送し、位置決めした新たなシートを、先に熱圧着したシート積層体上に積層すると共に前記仮接合と同様な方法で仮接合し、
以後これらの動作を所定回数繰返して、熱圧着後のシート積層体上に所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を形成し、しかる後、そのシート積層体を熱圧着し、
以後同様な動作を繰返して、複数枚のシートを積層してなるシート積層体を製造するものであり、かつ、
シートの下面を吸着保持した状態で仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートの上面を吸着保持した状態でシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて下面を吸着保持されているシートの上側に積層すると共に部分的に加熱して仮接合し、その後、仮接合したシートの下面を吸着保持した状態で積層ステーションに搬送し、積層ステーションで、仮接合状態のシートを上下側から加熱すると共に加圧して熱圧着することを特徴とするシート積層体の製造方法。 A method for producing a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets,
The sheet is conveyed to the temporary bonding station, the position of the alignment mark of the sheet is recognized at the temporary bonding station, the sheet is positioned based on the position information, and then the next sheet is transferred to the temporary bonding station, where the temporary bonding station After the sheet is positioned, the sheet is laminated on the previously positioned sheet, partially heated and temporarily bonded by thermal fusion, and thereafter, these operations are repeated a predetermined number of times to temporarily bond a predetermined number of sheets. Forming a sheet laminate,
Thereafter, the sheet laminate in the temporarily bonded state is transported to the laminating station, heated and pressurized and thermocompression bonded, while the sheet is thermocompression bonded at the laminating station, while the next new Position the sheet,
After that, the thermocompression-bonded sheet laminate is transported to a temporary joining station, and the newly positioned sheet is laminated on the previously thermocompression-bonded sheet laminate and temporarily joined in the same manner as the temporary joining,
Thereafter, these operations are repeated a predetermined number of times to form a sheet laminate formed by temporarily joining a predetermined number of sheets on the thermocompression-bonded sheet laminate, and then the sheet laminate is thermocompression bonded.
Thereafter, the same operation is repeated to produce a sheet laminate formed by laminating a plurality of sheets , and
The sheet is transported to the temporary bonding station with the lower surface of the sheet held by suction, and after positioning the sheet with the upper surface of the sheet being sucked and held at the temporary bonding station, the positioned sheet is first positioned and the lower surface is sucked and held. Laminate on the upper side of the sheet, and partially heat and temporarily join, and then transport to the laminating station with the lower surface of the temporarily joined sheet sucked and held. A method for producing a sheet laminate, comprising heating and pressing from above and below and thermocompression bonding . 複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造方法であって、
複数枚のシートを順次仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートのアライメントマーク位置情報に基づいてシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて仮接合されているシートに積層すると共に部分的に加熱して熱融着により仮接合し、
以後これらの動作を繰返して所定枚数のシートを前記仮接合と同様な方法で仮接合し、その後、その所定枚数のシートを仮接合してなるシート積層体を積層ステーションに搬送し、そのシート積層体を、積層ステーションで、一括で加熱すると共に加圧して熱圧着して、所定枚数のシートを一体的に積層してなるシート積層体を製造するものであり、かつ、
シートの下面を吸着保持した状態で仮接合ステーションに搬送し、仮接合ステーションで、シートの上面を吸着保持した状態でシートを位置決めした後、その位置決めしたシートを先に位置決めされて下面を吸着保持されているシートの上側に積層すると共に部分的に加熱して仮接合し、その後、仮接合したシートの下面を吸着保持した状態で積層ステーションに搬送し、積層ステーションで、仮接合状態のシートを上下側から加熱すると共に加圧して熱圧着することを特徴とするシート積層体の製造方法。 A method for producing a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets,
A plurality of sheets are sequentially conveyed to the temporary joining station, and after the sheets are positioned based on the alignment mark position information of the sheets at the temporary joining station, the positioned sheets are first positioned and temporarily joined to the sheets. Laminate and partially heat and temporarily bond by thermal fusion,
Thereafter, by repeating these operations, a predetermined number of sheets are temporarily bonded in the same manner as the temporary bonding, and thereafter, a sheet laminate formed by temporarily bonding the predetermined number of sheets is conveyed to a stacking station, and the sheet stacking is performed. The body is heated at a laminating station in one batch and pressed and thermocompression bonded to produce a sheet laminated body obtained by integrally laminating a predetermined number of sheets , and
The sheet is transported to the temporary bonding station with the lower surface of the sheet held by suction, and after positioning the sheet with the upper surface of the sheet being sucked and held at the temporary bonding station, the positioned sheet is first positioned and the lower surface is sucked and held. Laminate on the upper side of the sheet, and partially heat and temporarily join, and then transport to the laminating station with the lower surface of the temporarily joined sheet sucked and held. A method for producing a sheet laminate, comprising heating and pressing from above and below and thermocompression bonding . シートをフイルム付シートとし、そのフイルム付シートを仮接合ステーションに搬送するに先立ってシートからフイルムを剥離し、仮接合ステーションで、フイルムを剥離した状態のシートを位置決めすることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のシート積層体の製造方法。 Claims a sheet and film sheet with, peeling the film from the sheet prior to carrying the film sheet with the temporary bonding station, the temporary bonding station, characterized by positioning a sheet in a state of peeling the film method for producing a sheet laminate according to any one of 1 to 3. 複数枚のセラミックシートを積層してなるシート積層体の製造装置であって、
シートを1枚ずつ搬入する搬入ステーションと、搬送されたシートを積層して先のシートに仮接合する仮接合ステーションと、仮接合した積層シートを加熱すると共に加圧して熱圧着する積層ステーションと、熱圧着したシート積層体を搬出する搬出ステーションを備え、シートの下面を吸着保持可能な第一昇降テーブルを備えて搬入ステーションと仮接合ステーションを往復移動可能な第一搬送装置と、シートの下面を吸着保持可能な第二昇降テーブルを備えて仮接合ステーションと積層ステーションを往復移動可能な第二搬送装置と、シートを保持可能な保持手段を備えて積層ステーションと搬出ステーションを往復移動可能な第三搬送装置を設け、仮接合ステーションにシートの上面を吸着保持した状態でシートのアライメントマーク位置情報に基づいてシートを位置決め可能なアライメント装置と位置決めしたシートを第二昇降テーブル上の先のシートの上面に電熱コテにて仮接合可能な仮接合装置を設け、積層ステーションに仮接合されている第二昇降テーブルの上の積層シートを加熱可能な加熱装置を備えてその積層シートを上側から加圧可能なプレス装置を設けてなるシート積層体の製造装置。 An apparatus for manufacturing a sheet laminate formed by laminating a plurality of ceramic sheets,
A carry-in station for carrying the sheets one by one, a temporary joining station for laminating the transported sheets and temporarily joining them to a previous sheet, a laminating station for heating and pressurizing and temporarily pressing the temporarily joined laminated sheets, A first conveying device that includes a first elevating table that is capable of sucking and holding the lower surface of the sheet, and is capable of reciprocating between the loading station and the temporary joining station, and a lower surface of the sheet. A second transport device that can move back and forth between the temporary joining station and the stacking station with a second lifting table that can hold and hold the suction, and a third transport device that can move back and forth between the stacking station and the unloading station with holding means that can hold the sheet. With the transport device installed, the upper surface of the sheet is sucked and held at the temporary joining station. An alignment device that can position the sheet based on the position information and a temporary bonding device that can temporarily bond the positioned sheet to the upper surface of the previous sheet on the second lifting table with an electric heating iron are temporarily bonded to the stacking station. An apparatus for producing a sheet laminate, comprising a heating device capable of heating the laminated sheet on the second lifting table, and a press device capable of pressing the laminated sheet from above. 搬入ステーションと仮接合ステーションと積層ステーションを一列状に順に配置し、第一搬送装置に第一昇降テーブルを搬入ステーションと仮接合ステーションに往復案内可能な第一案内レールを設け、第二搬送装置に第二昇降テーブルを仮接合ステーションと積層ステーションに往復案内可能な第二案内レールを設け、第一案内レールと第二案内レールを共通の直線状の案内レールで構成してなる請求項５記載のシート積層体の製造装置。 The carry-in station, the temporary joining station, and the stacking station are sequentially arranged in a line, and the first transport device is provided with a first guide rail capable of reciprocating guidance between the carry-in station and the temporary joint station. reciprocating guidable second guide rail is provided a second lifting table to the temporary bonding station and the laminating station, according to claim 5, wherein the first guide rail and a second guide rail formed by of a common linear guide rail Sheet laminate manufacturing equipment. 仮接合ステーションに固定的に支持されている支持部材を設け、アライメント装置に、支持部材に対して水平面内でＸ方向、Ｙ方向、旋回方向へ移動可能に設けたアライメントテーブルと、アライメントテーブルにシートの上面を吸着保持可能に設けた吸着板と、支持部材にアライメントテーブルと吸着板の貫通孔を通してシートのアライメントマーク位置を認識するように位置調整可能に設けたカメラと、支持部材にカメラからのアライメントマーク位置情報に基づいてアライメントテーブルをＸ方向、Ｙ方向、旋回方向へ移動させるように設けた制御装置を備え、仮接合装置に、支持部材に対してアライメントテーブルと吸着板の貫通孔を通して孔開口部へ向けて昇降可能に設けた加熱コテを備えてなる請求項５記載のシート積層体の製造装置。 A support member fixedly supported at the temporary joining station is provided, and an alignment table provided on the alignment device so as to be movable in the X direction, the Y direction, and the swiveling direction in a horizontal plane with respect to the support member, and a sheet on the alignment table A suction plate provided so that the upper surface of the sheet can be sucked and held, a camera provided in a support member so that the alignment mark position of the sheet can be recognized through the alignment table and the through hole of the suction plate, and a support member from the camera. A control device is provided to move the alignment table in the X, Y, and swiveling directions based on the alignment mark position information, and the temporary joining device has a hole through the alignment table and the suction plate through-hole. made in the sheet stack towards the opening formed by a heating iron which is provided to be vertically movable claim 5, wherein Apparatus. 積層ステーションに固定的に支持されている支持部材を設け、プレス装置に、支持部材に対してピストンロッドを下向きにして固着した油圧シリンダと、支持部材に対して昇降可能に支持されてピストンロッドに連結されている昇降体と、昇降体に固着されてヒータを内蔵している上型と、昇降体に対して上型の側方の全周と上型の上方を囲むように昇降可能に設けた吸引ケースと、吸引ケースの内部空間から空気を吸引可能な真空装置を備え、昇降体を下降させると途中で吸引ケースが第二昇降テーブルに当接して下降が停止されると共に吸引ケース内を気密に閉鎖することを特徴とする請求項５記載のシート積層体の製造装置。 A support member fixedly supported by the laminating station is provided, and a hydraulic cylinder fixed to the press device with the piston rod facing downward to the support member, and a piston rod supported by the support member so as to be movable up and down. Elevating body that is connected, upper mold that is fixed to the elevating body and incorporating a heater, and can be moved up and down so as to surround the entire periphery of the upper mold and the upper mold. The suction case and a vacuum device capable of sucking air from the internal space of the suction case, and when the lifting body is lowered, the suction case comes into contact with the second lifting table halfway to stop the lowering and the inside of the suction case 6. The sheet laminate manufacturing apparatus according to claim 5 , wherein the sheet laminate is closed in an airtight manner.
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