JP4848630B2 - ファンフィルタユニットの調整装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットの速度調整装置に関する。

従来、この種のファンフィルタユニットの速度調整装置は、半導体などの製造装置内のクリーン度を維持するために、風速または圧力を適切になるように、ファンフィルタユニットの回転速度を可変して調整するものであるが、速度調整装置をファンフィルタユニット本体に直接設置するか、または本体より有線で引き出したボリュームで速度調整するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、リモコンユニットとファンフィルタユニット本体を通信ケーブルで接続し、遠隔操作にて速度調整をするものが知られている（例えば特許文献２参照）。

特許第３２９４５２７号公報（図１、図３） 特開２００３−２７９１１５号公報（［００３３］、図５）

このような従来のファンフィルタユニットの速度調整装置では、装置内の風速または圧力などを測定しながら、本体に設置したボリュームを操作して速度調整しなければならず、調整作業が繁雑となり、作業時間がかかるとともに非効率であるという課題があり、調整作業を自動化して簡単な手順で短時間に行うことが要求されている。

また、通信ケーブルによる遠隔操作で速度調整する場合は、高価なシステムを構築する必要があり、また装置の取扱いにおいて柔軟性に欠けるという課題があり、ファンフィルタユニットの調整作業を安価な装置で実現するとともに、信頼性を損なわずにフレキシブルに対応できる調整装置が要求されている。

本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの調整装置の課題を解決するものであり、ファンフィルタユニットの設置時に、ファン回転数の調整を自動化することで人手を掛けずに短時間に調整作業を行うとともに、安価な装置で正確に計測でき、かつ装置の構成を柔軟に変更できるファンフィルタユニットの調整装置を提供することを目的としている。

本発明のファンフィルタユニットの調整装置は、上記目的を達成するために、ファンフィルタユニット本体に収納されるフィルタおよびファンを回転するモーターと、このファンフィルタユニット本体を制御する本体制御部と、この本体制御部に設けたモーターの回転数を制御するモーター制御手段と、このモーター制御手段に接続される回転数固定手段と、前記モーター制御手段に接続される本体受信手段と、この本体受信手段に前記モーターの回転制御信号を送信するワイヤレスリモコンを有し、前記ワイヤレスリモコンは、前記本体の吹出口に面して配した風速センサーを接続し、本体との距離を非接触で計測する距離計測手段を備え、前記ワイヤレスリモコンに設けたリモコン制御手段は、前記風速センサーの検出した風速データと、あらかじめ設定した基準風速データを比較して、リモコン送信手段に回転制御信号を送信させるとともに、前記風速センサーの検出風速データが基準風速データと略同一となったとき、前記回転数固定手段を駆動する固定信号を送信させる構成としたものである。

また、他の手段は、本体は設定された本体アドレスを持ち、ワイヤレスリモコンに本体アドレスを指定するアドレス指定手段を設けたものである。

また、他の手段は、ワイヤレスリモコンの送信波に指向性を持たせた構成としたものである。

また、他の手段は、回転数固定手段は本体受信手段とモーター制御手段の間に開閉スイッチを有し、前記本体受信手段がワイヤレスリモコンから固定信号を受けたとき、前記開閉スイッチをオフする構成としたものである。

また、他の手段は、本体受信手段をモータ制御手段から着脱可能に設けた構成としたものである。

また、他の手段は、ワイヤレスリモコンは受信拒否信号および受信許可信号を送信可能に設け、ワイヤレスリモコンから前記受信拒否信号を送信したときは、本体受信手段は前記受信許可信号のみ受信可能となり、ワイヤレスリモコンから前記受信許可信号を送信したときは、前記本体受信手段は通常の受信状態となる構成としたものである。

また、他の手段は、あらかじめ定めた基準時間内にワイヤレスリモコンから固定信号が発信できない場合には、リモコン制御手段はリモコン表示手段に異常表示を行うとともに、本体受信手段に停止信号を送信させる構成としたものである。

これらにより、ファンフィルタユニットの設置時に、ファン回転数の調整を自動化することで人手を掛けずに短時間に調整作業を行うとともに、安価な装置で正確に計測でき、かつ装置の構成を柔軟に変更できるファンフィルタユニットの調整装置が得られる。

本発明によれば、ワイヤレスリモコンは風速センサーに接続されているので、簡単な装置でファンフィルタユニットのファン回転数を調整することができ、さらに、固定信号を送信してファン回転数が自動的に固定されるので、従来に比べて回転数を固定する作業を極めて容易に行うことができる。さらに、調整後はワイヤレスリモコンを移動して、別のファンフィルタユニットの調整に再使用することができ、フレキシブルで安価な構成が可能となる。

また、ワイヤレスリモコンは本体との距離を非接触で計測する距離計測手段を有するの
で、風速センサーの適正な測定位置を容易に特定することができ、風速測定の準備時間を短縮し、風速データの信頼性を向上させることができる。

また、ワイヤレスリモコンで本体アドレスを指定することにより、本体を個々に選択して調整することができるので、混信を防ぎ、調整済のファンフィルタユニットや風速または差圧の設定値が異なるファンフィルタユニットに影響を与えることなく、調整目的とするファンフィルタユニットのみを調整することができる。

また、ワイヤレスリモコンの送信波に指向性を持たせたので、ワイヤレスリモコンの送信部を調整目的とするファンフィルタユニットに向けるだけで、確実に選択して送信することができ、調整作業を容易に行うことができる。

また、調整が終了した場合にワイヤレスリモコンから固定信号を受けたとき、開閉スイッチをオフして、それ以降はワイヤレスリモコンからの信号を物理的に遮断することにより、調整済のファンフィルタユニットが反応して再起動することを未然に防ぎ、調整目的とするファンフィルタユニットのみに送信可能となり調整作業を円滑に行うことができる。

また、本体受信手段を着脱可能として、調整後は本体受信手段を本体から取り外し、別のファンフィルタユニットに再使用することで、調整済のファンフィルタユニットに影響を与えることなく、調整目的とするファンフィルタユニットのみを調整することができ、さらに調整用の部品を流用するので安価な構成が可能となる。

また、本体側受信部がワイヤレスリモコンの信号を受け付けるか否かを、ワイヤレスリモコンから設定できるようにしたので、調整済のファンフィルタユニットなどに影響を与えることなく、簡単な操作で調整目的とするファンフィルタユニットのみを調整することができる。

また、あらかじめ定めた基準時間内に自動的に設定した調整作業が終わらないときは、異常表示を行うとともに運転を停止するようにして、安全を確保しつつ調整不能であることが報知されるので、調整中は監視し続ける必要がなく、作業効率を改善することができる。

本発明の実施の形態１、５または７のブロック図 本発明の実施の形態２のブロック図 本発明の実施の形態３のブロック図 本発明の実施の形態４のブロック図 本発明の実施の形態６のブロック図 本発明の実施の形態８のブロック図 本発明の実施の形態９のブロック図

本発明の請求項１記載の発明は、ファンフィルタユニット本体に収納されるフィルタおよびファンを回転するモーターと、このファンフィルタユニット本体を制御する本体制御部と、この本体制御部に設けたモーターの回転数を制御するモーター制御手段と、このモーター制御手段に接続される回転数固定手段と、前記モーター制御手段に接続される本体受信手段と、この本体受信手段に前記モーターの回転制御信号を送信するワイヤレスリモコンを有し、前記ワイヤレスリモコンは、前記本体の吹出口に面して配した風速センサーを接続し、本体との距離を非接触で計測する距離計測手段を備え、前記ワイヤレスリモコ
ンに設けたリモコン制御手段は、前記風速センサーの検出した風速データと、あらかじめ設定した基準風速データを比較して、リモコン送信手段に回転制御信号を送信させるとともに、前記風速センサーの検出風速データが基準風速データと略同一となったとき、前記回転数固定手段を駆動する固定信号を送信させる構成としたものであり、ファンフィルタユニットの吹き出し側の風速を測定して、あらかじめ設定した基準風速データと比較して、ワイヤレスリモコンに回転制御信号を送信させるとともに、前記風速センサーの検出風速データが基準風速データと略同一となったとき、前記回転数固定手段を駆動する固定信号を送信するようにしたものであり、風速センサーの検出した風速データにより、人手を介さずにモーター回転数の調整と回転数の固定操作を自動的に行えるという作用を有する。

そして、ワイヤレスリモコンは本体との距離を非接触で計測する距離計測手段を有した構成としたものであり、風速センサーの適正な測定位置を容易に特定することができるという作用を有する。

また、本体は設定された本体アドレスを持ち、ワイヤレスリモコンに本体アドレスを指定するアドレス指定手段を設けたものであり、ワイヤレスリモコンは、アドレスを指定して信号を本体に送信するようにしたものであり、ワイヤレスリモコンで本体アドレスを指定することにより、本体はアドレスの一致した信号のみを受信するという作用を有する。

また、ワイヤレスリモコンの送信波に指向性を持たせた構成としたものであり、ワイヤレスリモコンの送信部を調整目的とするファンフィルタユニットに向けるだけで、狭い範囲に限定して送信するので確実に選択して送信することができるという作用を有する。

また、回転数固定手段は本体受信手段とモーター制御手段の間に開閉スイッチを有し、前記本体受信手段がワイヤレスリモコンから固定信号を受けたとき、前記開閉スイッチをオフする構成としたものであり、開閉スイッチをオフにした場合は、ワイヤレスリモコンからの信号を遮断して、調整済のファンフィルタユニットが受信することを未然に防ぎ、調整目的とするファンフィルタユニットを受信可能にするという作用を有する。

また、本体受信手段を本体と着脱可能とした構成のものであり、調整作業後に本体から本体受信手段を取り外すことにより、ワイヤレスリモコンからの信号を受け付けない状態にするとともに、本体受信手段を他の本体に取り付けて流用できるという作用を有する。

また、ワイヤレスリモコンは受信拒否信号および受信許可信号を送信可能に設け、ワイヤレスリモコンから前記受信拒否信号を送信したときは、本体受信手段は前記受信許可信号のみ受信可能となり、ワイヤレスリモコンから前記受信許可信号を送信したときは、前記本体受信手段は通常の受信状態となる構成としたものであり、ワイヤレスリモコンの操作で、本体を受信拒否状態と受信許可状態とに簡単に切り替えることができるという作用を有する。

また、あらかじめ定めた基準時間内にワイヤレスリモコンから固定信号が発信できない場合には、リモコン制御手段はリモコン表示手段に異常表示を行うとともに、本体受信手段に停止信号を送信させる構成としたものであり、何らかの異常により、基準時間内に基準の風速または差圧にならない場合に、ワイヤレスリモコンは自動的に異常を表示し、さらに本体に停止信号を送り、モーターを安全に停止するという作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルタユニットの本体１はフィルタ２およびファン３を回転するモーター４を収納している。また本体１は全ての電装部を制御する本体制御部５を有し、本体制御部５はモーター４の回転数を制御するモーター制御手段６と、モーター制御手段６に接続される回転数固定手段７と、モーター制御手段６に接続される本体受信手段８と接続されている。

ワイヤレスリモコン９は本体受信手段８にモーター４の回転制御信号を送信するとともに、風速センサー１１に接続され、本体１の吹出口１０に面して風速センサー１１を配置できるようにしている。ワイヤレスリモコン９に設けたリモコン制御手段１２は風速センサー１１の検出した風速データと、あらかじめ設定した基準風速データを比較して、リモコン送信手段１３に回転制御信号を送信させている。さらに風速センサー１１の検出風速データが基準風速データと略同一となったとき、回転数固定手段７を駆動する固定信号を送信させるものである。

上記構成において、風速センサー１１の検出した風速データが、あらかじめ設定した基準風速データより小さい場合、リモコン制御手段１２は、ファンフィルタユニット本体１のモーター４の回転数を大きくするような回転数信号をリモコン送信手段１３から送信する。本体制御部５の本体受信手段８が、この信号を受信しモーター制御手段６に伝えて、モーター４の回転を上げ、ファン３の風速を大きくする。逆に風速センサー１１の検出した風速データが、あらかじめ設定した基準風速データより大きい場合、モーター４の回転数を小さくする信号を送信し、ファン３の風速を小さくする。

この動作を繰り返すことにより、風速センサー１１の検出した風速データと、あらかじめ設定した基準風速データとが略同一となると、リモコン制御手段１２は、回転数固定手段７を駆動する固定信号を、リモコン送信手段から送信する。本体受信手段８で固定信号を受信すると、モーター制御手段６が、回転数固定手段７を駆動し現在のモーター回転数を記憶する。これ以降はワイヤレスリモコンからの回転数信号によらず、記憶した回転数でモーター４を制御する。このように固定信号を送信してファン回転数が自動的に固定されるので、従来に比べて回転数を固定する作業を極めて容易に行うことができる。また調整後は使用したワイヤレスリモコン９を移動して、別のファンフィルタユニットの調整に再使用することができ、フレキシブルで安価な構成が可能となる。

（実施の形態２）
図２に示すように、ファンフィルタユニットの本体１はフィルタ２およびファン３を回転するモーター４を収納している。また本体１は全ての電装部を制御する本体制御部５を有し、本体制御部５はモーター４の回転数を制御するモーター制御手段６と、モーター制御手段６に接続される回転数固定手段７と、モーター制御手段６に接続される本体受信手段８と接続されている。

ワイヤレスリモコン９は本体受信手段８にモーター４の回転制御信号を送信するとともに、ファン３の吸気側と排気側の差圧を検出する差圧センサー１４に接続されている。ワイヤレスリモコン９に設けたリモコン制御手段１２は差圧センサー１４の検出した風速データと、あらかじめ設定した基準風速データを比較して、リモコン送信手段１３に回転制御信号を送信させている。さらに風速センサー１１の検出風速データが基準風速データと略同一となったとき、回転数固定手段７を駆動する固定信号を送信させるものである。

上記構成において、差圧センサー１４の検出した差圧データが、あらかじめ設定した基準差圧データより小さい場合、リモコン制御手段１２は、ファンフィルタユニット本体１のモーター４の回転数を大きくするような回転数信号をリモコン送信手段１３から送信する。本体制御部５の本体受信手段８が、この信号を受信しモーター制御手段６に伝えて、
モーター４の回転を上げ、ファン３の風速を大きくする。逆に差圧センサー１４の検出した差圧データが、あらかじめ設定した基準差圧データより大きい場合、モーター４の回転数を小さくする信号を送信し、ファン３の風速を小さくする。

この動作を繰り返すことにより、差圧センサー１４の検出した差圧データと、あらかじめ設定した基準差圧データとが、略同一となると、リモコン制御手段１２は、回転数固定手段７を駆動する固定信号を、リモコン送信手段から送信する。本体受信手段８でこの信号を受信すると、モーター制御手段６が、回転数固定手段７を駆動し現在のモーター回転数を記憶する。これ以降はワイヤレスリモコンからの回転数信号によらず、記憶した回転数でモーター４を制御する。

このように固定信号を送信してファン回転数が自動的に固定されるので、従来に比べて回転数を固定する作業を極めて容易に行うことができる。また調整後は使用したワイヤレスリモコン９を移動して、別のファンフィルタユニットの調整に再使用することができ、フレキシブルで安価な構成が可能となる。

また、本実施の形態は差圧を検出するので、風速を検知するものに比べて、本体１からの距離には依存せずに差圧センサー１４を設置できるので、より容易にファンフィルタユニットの調整ができるものである。

（実施の形態３）
図３に示すように、ワイヤレスリモコン９は、本体１との距離を非接触で計測する距離計測手段１５を有した構成としている。すなわち距離計測手段１５として超音波発振部（図示せず）から本体１の吹出口１０に向けて発信した超音波の反射波を受ける超音波受振部（図示せず）とを設け、その時間差から本体１との距離を計測する手段を有している。

上記構成において、まず風速を調整する準備作業として、本体１の吹出口１０と風速センサー１１との距離を一定距離に保つ必要がある。このときワイヤレスリモコン９に一体に設けた距離計測手段１５を用いて、吹出口１０から一定の距離となる位置Ｘを定める。このとき吹出口１０と非接触で計測できるので、従来の巻尺や長尺などを使うのに比べて、容易に位置Ｘを定めることができる。次に、風速センサー１１を位置Ｘに設置することにより、正確な風速の計測が可能となり、ファンフィルタユニットの調整を迅速かつ容易に行うことができる。

（実施の形態４）
図４に示すように、本体１はあらかじめ設定された本体アドレスＹを個々に持ち、ワイヤレスリモコン９に本体アドレスＹを指定するアドレス指定手段１６を設けている。アドレス指定手段１６で本体アドレスＹの一つを指定してから、ワイヤレスリモコン９で本体受信手段８に向けて送信すると、該当する本体アドレスを有する本体１のみが選択的に受信できるようになっている。

上記構成において、アドレス指定手段１６でアドレスを指定すると、リモコン制御手段１２は、回転数信号に本体アドレスを付加した信号を本体受信手段８に送る。モーター制御手段６は、本体受信手段８から受けた信号をあらかじめ設定された本体アドレスと比較し、一致した場合のみ回転数信号を有効と判断してモーター４の回転数制御を行う。このようにワイヤレスリモコン９で本体１を選択して調整することができるので、本体１が多数並んでいる場合に混信を防ぎ、調整済のファンフィルタユニットなどに悪影響を与えることなく、調整作業を行うことができる。

（実施の形態５）
図１に示すように、ワイヤレスリモコン９の送信波に指向性を持たせるために、赤外線を送信するワイヤレスリモコン９のリモコン送信手段１３先端に設けた集光レンズ１３ａを加工して、送信角度を狭く絞り込むことにより、指向性を高めている。また、赤外線の反射波が調整目的とする本体受信手段８以外に届かないように、発光出力を調整できるようにしている。

上記構成において、ワイヤレスリモコン９を調整目的とする本体受信手段８に向けて送信することにより、誤送信することなく調整目的とするファンフィルタユニットのみに送信され、調整作業を行うことができる。

なお、本実施の形態では、送信波に赤外線を使用しているが、送信波にレーザ光線を使用して指向性を高めるようにしても良い。

（実施の形態６）
図５に示すように、回転数固定手段７は本体受信手段８とモーター制御手段６の間に開閉スイッチ１７を有し、本体受信手段８がワイヤレスリモコン９から固定信号を受けたとき、開閉スイッチ１７をオフして接続を断ち、それ以降はワイヤレスリモコン９からの信号を受け付けないようにしている。なお、開閉スイッチ１７は手動で復帰できるようにしている。

上記構成において、ファンフィルタユニットの調整作業が終わり、ワイヤレスリモコン９から固定信号を発信すると、本体受信手段８が固定信号を受けて、これをモーター制御手段６に入力すると、モーター制御手段６は開閉スイッチ１７をオフにして、これ以降は本体受信手段８からの信号は入力されなくなる。これにより、調整済のファンフィルタユニットや風速または差圧の設定値が異なるファンフィルタユニットに影響を与えることなく、調整目的とするファンフィルタユニットのみを調整することができるとともに、ワイヤレスリモコン９を誤って操作しても調整済みのファンフィルタユニットを誤動作させることはなくなる。

また、再びモーター４の回転数を調整するときは、開閉スイッチ１７を手動で復帰させて、ワイヤレスリモコン９からの信号を全て受信することができる。

（実施の形態７）
図１に示すように、本体受信手段８を本体１の本体制御手段５から着脱可能としたものであり、調整作業後に本体受信手段８を本体制御手段５から取り外し、別のファンフィルタユニットの本体制御手段５に取り付けて再使用できるようにしている。

上記構成において、本体受信手段８を調整目的とするファンフィルタユニットの本体制御手段５のみに取り付けることになるので、調整済のファンフィルタユニットや風速または差圧の設定値が異なるファンフィルタユニットに影響を与えることなく、調整作業を行うことができる。また、本体受信手段８を共用することにより、ファンフィルタユニット調整用の付属部品の保管やメンテナンスが容易となり、安価にして計測精度を維持できる構成とすることができる。

（実施の形態８）
図６に示すように、ワイヤレスリモコン９のリモコン制御手段１２は受信拒否信号を設定する受信拒否設定手段１８と、受信許可信号を設定する受信許可設定手段１９とを有し、本体受信手段８はワイヤレスリモコン９から受信拒否信号を受信したときは、前記受信許可信号のみ受信可能となる。またワイヤレスリモコンから前記受信許可信号を受信したときは、本体受信手段８が通常の受信状態となるように設定されている。

上記構成において、ファンフィルタユニットの調整終了後は、ワイヤレスリモコン９の受信拒否設定手段１８により、本体受信手段８に受信拒否信号を送信する。モーター制御手段６は本体受信手段８を介して、この受信拒否信号を受けると、これ以降はワイヤレスリモコン９からの信号は、受信許可信号のみを受け付けるよう設定され、調整された固定の回転数で運転を行う。

次に、メンテナンスなどで再調整が必要になった場合は、ワイヤレスリモコン９の受信許可設定手段１９により受信許可信号を送信すると、モーター制御手段６は本体受信手段８を介して、この信号を受け、ワイヤレスリモコン９からの全ての信号が受信可能になり、再調整を行うことができる。

（実施の形態９）
図７に示すように、自動調整運転を行うときに、風速または差圧の検知データが基準値と一致せず、あらかじめ定めた基準時間内にワイヤレスリモコン９から固定信号が発信できない場合は、リモコン制御手段１２はリモコン表示手段２０に異常表示を行うとともに、本体受信手段８に停止信号を送信させる構成としている。

上記構成において、モーター４の回転数を固定するために自動調整運転を行うと、運転を開始してから１０〜３０分経過しても、何らかの理由で風速センサー１１または差圧センサー１４の検知データとあらかじめ設定された基準データとが略同一にならない場合がある。この場合にリモコン制御手段１２は、異常状態であると認識し、リモコン表示手段２０に異常表示を行い、かつ本体受信手段８に停止信号を送信する。モーター制御手段６はこの信号を受けてモーター４を停止する。これにより、自動調整中に異常状態であることを検出することができ、調整段階で運転を安全に停止することができるとともに、作業者に異常運転であることを認識させて、早期に点検や修理を行うことができるものである。

モーターの回転結果により変化する物理量をセンサーで検知しながら、基準値になるようモーターの回転数を調整する用途にも適用できる。

１ 本体
２ フィルタ
３ ファン
４ モーター
５ 本体制御部
６ モーター制御手段
７ 回転数固定手段
８ 本体受信手段
９ ワイヤレスリモコン
１０ 吹出口
１１ 風速センサー
１２ リモコン制御手段
１３ リモコン送信手段
１４ 差圧センサー
１５ 距離計測手段
１６ アドレス指定手段
１７ 開閉スイッチ
１８ 受信拒否設定手段
１９ 受信許可設定手段
２０ リモコン表示手段

Claims (7)

1. ファンフィルタユニット本体に収納されるフィルタおよびファンを回転するモーターと、このファンフィルタユニット本体を制御する本体制御部と、
   この本体制御部に設けたモーターの回転数を制御するモーター制御手段と、
   このモーター制御手段に接続される回転数固定手段と、
   前記モーター制御手段に接続される本体受信手段と、
   この本体受信手段に前記モーターの回転制御信号を送信するワイヤレスリモコンを有し、前記ワイヤレスリモコンは、前記本体の吹出口に面して配した風速センサーを接続し、本体との距離を非接触で計測する距離計測手段を備え、
   前記ワイヤレスリモコンに設けたリモコン制御手段は、
   前記風速センサーの検出した風速データと、あらかじめ設定した基準風速データを比較して、リモコン送信手段に回転制御信号を送信させるとともに、
   前記風速センサーの検出風速データが基準風速データと略同一となったとき、前記回転数固定手段を駆動する固定信号を送信させてなるファンフィルタユニットの調整装置。
2. 本体は設定された本体アドレスを持ち、ワイヤレスリモコンに本体アドレスを指定するアドレス指定手段を設けた請求項１記載のファンフィルタユニットの調整装置。
3. ワイヤレスリモコンの送信波に指向性を持たせた請求項１記載のファンフィルタユニットの調整装置。
4. 回転数固定手段は本体受信手段とモーター制御手段の間に開閉スイッチを有し、前記本体受信手段がワイヤレスリモコンから固定信号を受けたとき、前記開閉スイッチをオフしてなる請求項１記載のファンフィルタユニットの調整装置。
5. 本体受信手段をモータ制御手段から着脱可能に設けた請求項１記載のファンフィルタユニットの調整装置。
6. ワイヤレスリモコンは受信拒否信号および受信許可信号を送信可能に設け、ワイヤレスリモコンから前記受信拒否信号を送信したときは、本体受信手段は前記受信許可信号のみ受
   信可能となり、ワイヤレスリモコンから前記受信許可信号を送信したときは、前記本体受信手段は通常の受信状態となる請求項１記載のファンフィルタユニットの調整装置。
7. あらかじめ定めた基準時間内にワイヤレスリモコンから固定信号が発信できない場合には、リモコン制御手段はリモコン表示手段に異常表示を行うとともに、本体受信手段に停止信号を送信させてなる請求項１記載のファンフィルタユニットの調整装置。

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