JP4848203B2 - 逐次アライメント装置および逐次アライメント方法 - Google Patents
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Description
本発明の他の課題は、位置決めの精度を向上させる逐次アライメント装置および逐次アライメント方法を提供することにある。
本発明のさらに他の課題は、2つの基板を近づけるように基板を移動するステージを小型化する逐次アライメント装置および逐次アライメント方法を提供することにある。
本発明のさらに他の課題は、検出装置を小型化する逐次アライメント装置および逐次アライメント方法を提供することにある。
2 :接合チャンバー
5 :上側ステージ
6 :下側ステージ
7 :水平位置測定装置
11:レーザ光発生装置
12:ファイバーカプラ
14:第1光ファイバ
15:検出装置
16:第2光ファイバ
17:測定装置
21:シャッター
22:扇形部分
23:扇形部分
24:中央部分
25:回転軸
26−1:x軸アライメント光学系
26−2:y軸アライメント光学系
29−1:レーザビーム射出口
29−2:レーザビーム射出口
31:ドナー基板
32−1〜32−n:複数のセル
33:パターン
33−1:パターン
33−2:パターン
34:x軸位置合わせ用アライメントマーク
35:y軸位置合わせ用アライメントマーク
41:レーザー光
42:回折光
51:イオンガン
52:イオンガン
53:ターゲット基板
Claims (8)
- ターゲット基板をz方向に移動可能に支持する第1ステージと、
前記ターゲット基板に接合される複数のパターンが形成されるドナー基板を前記z方向と異なるxy方向に移動可能に支持する第2ステージと、
前記ドナー基板に形成される回折格子にレーザー光を照射して前記回折格子を反射した回折光を受光する検出装置と、
前記回折光に基づいて前記ドナー基板の前記xy方向に関する位置を測定する測定装置と、
前記レーザー光を射出するレーザービーム射出窓と前記回折光を受光する受光窓とを開閉するシャッターとを具備し、
前記検出装置は、前記第1ステージに固定され、前記レーザービーム射出窓と前記受光窓とを備える
逐次アライメント装置。 - 請求項1において、
前記レーザー光を生成するレーザ光発生装置と、
前記レーザー光を前記レーザ光発生装置から前記検出装置に伝送する第1光ファイバと、
前記回折光を前記検出装置から前記測定装置に伝送する第2光ファイバ
とを更に具備する逐次アライメント装置。 - 請求項2において、
前記第1ステージと前記第2ステージとが配置される真空雰囲気を内部に生成するチャンバーを更に具備し、
前記測定装置と前記レーザ光発生装置とは、前記チャンバーの外部に配置される
逐次アライメント装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載される逐次アライメント装置を用いて実行される逐次アライメント方法であり、
前記回折光に基づいて前記ドナー基板の前記xy方向に関する位置を測定するステップと、
前記第1ステージにより前記ターゲット基板が前記z方向に移動するときに前記ターゲット基板の接合される部位と前記パターンの接合される部位とが接触するように、前記第2ステージを用いて前記ドナー基板を位置合わせするステップ
とを具備する逐次アライメント方法。 - ターゲット基板をz方向に移動可能に支持する第1ステージと、
前記ターゲット基板に常温接合される複数のパターンが形成されるドナー基板を前記z方向と異なるxy方向に移動可能に支持する第2ステージと、
前記ドナー基板に形成される回折格子にレーザー光を照射して前記回折格子を反射した回折光を受光する検出装置と、
前記回折光に基づいて前記ドナー基板の前記xy方向に関する位置を測定する測定装置と、
前記レーザー光を射出するレーザービーム射出窓と前記回折光を受光する受光窓とを開閉するシャッターとを具備し、
前記検出装置は、前記第1ステージに固定され、前記レーザービーム射出窓と前記受光窓とを備える
常温接合装置。 - 請求項5に記載される常温接合装置を用いて実行される常温接合方法であり、
前記ターゲット基板の常温接合される部位と前記パターンの常温接合される部位とに粒子を照射するステップと、
前記粒子を照射した後に、前記回折光に基づいて前記ドナー基板の前記xy方向に関する位置を測定するステップと、
前記第1ステージにより前記ターゲット基板が前記z方向に移動するときに前記ターゲット基板の常温接合される部位と前記パターンの常温接合される部位とが接触するように、前記第2ステージを用いて前記ドナー基板を位置合わせするステップ
とを具備する常温接合方法。 - 請求項6において、
前記粒子を照射した後に、前記第1ステージにより前記ターゲット基板を前記z方向に移動するステップを更に具備し、
前記位置を測定するときの前記ターゲット基板と前記ドナー基板との距離は、前記粒子を照射するときの前記ターゲット基板と前記ドナー基板との距離より小さい
常温接合方法。 - 請求項7において、
前記ドナー基板を位置合わせした後に、前記ターゲット基板の常温接合される部位と前記パターンの常温接合される部位とを常温接合するステップを更に具備し、
前記ターゲット基板は、前記ドナー基板を位置合わせした後に、前記ドナー基板から遠ざけない
常温接合方法。
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