JP4848181B2 - 正孔注入型el装置 - Google Patents
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- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims description 71
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims description 71
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 104
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 99
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 76
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 67
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 25
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 13
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 5
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 description 42
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 41
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 description 27
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 22
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 22
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 18
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 16
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 15
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 11
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 4
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N (fluoren-9-ylideneamino) n-naphthalen-1-ylcarbamate Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2C1=NOC(=O)NC1=CC=CC2=CC=CC=C12 PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXZCIYUJYUESMD-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-3-(morpholin-4-ylmethyl)pyrazol-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C=1C(=NN(C=1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2)CN1CCOCC1 XXZCIYUJYUESMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPASUENMPUEIAD-UHFFFAOYSA-N [Mg++].[S--].[S--].[Zn++] Chemical compound [Mg++].[S--].[S--].[Zn++] BPASUENMPUEIAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPGMLECLIVLIIH-UHFFFAOYSA-N [S--].[S--].[Zn++].[Ba++] Chemical compound [S--].[S--].[Zn++].[Ba++] NPGMLECLIVLIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWOHHRCFMSARHW-UHFFFAOYSA-N [S-2].[Zn+2].[S-2].[Sr+2] Chemical compound [S-2].[Zn+2].[S-2].[Sr+2] CWOHHRCFMSARHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INJOSOQYNWSNTD-UHFFFAOYSA-N calcium zinc disulfide Chemical compound [S--].[S--].[Ca++].[Zn++] INJOSOQYNWSNTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000347 yttrium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAYJOCWVUTQHB-UHFFFAOYSA-H yttrium(3+);trisulfate Chemical compound [Y+3].[Y+3].[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O.[O-]S([O-])(=O)=O RTAYJOCWVUTQHB-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
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(実施例1)
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si1−XGeXO4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にアルミニウム(Al)を真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加したところ、図2に示すように印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで約200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。また、Zn2Si1−XGeXO4:Mn薄膜をゾル・ゲル法によって形成した同様の構造を有する素子においてもEL発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるY2O3:MnのMn含有量を2at.%として作製したY2O3:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でY2O3:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したY2O3:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にアルミニウム(Al)を真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加したところ、図1に示すように印加電圧50V程で黄色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度黄色発光を実現できた。また、Y2O3:Mn薄膜をゾル・ゲル法によって形成した同様の構造を有する素子においてもEL発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体―蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にアルミニウム(Al)を真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで300cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
アルミナセラミックス基体上に真空蒸着法によりモリブデン(Mo)膜を作製し、その上に、無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、金属―蛍光体接触を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上に縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜をマグネトロンスパッタリング成膜法により作製し、無機蛍光体−半導体接合を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明導電膜側を負極性、Mo電極側を正極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
基体兼電極材料であるモリブデン(Mo)板上に、無機蛍光体材料であるZn2Si1 −XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、金属―蛍光体接触を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上に縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜をマグネトロンスパッタリング成膜法により作製し、無機蛍光体−半導体接合を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明導電膜側を負極性、Mo板側を正極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体―蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にアルミニウム(Al)を真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体―蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にアルミニウム(Al)を真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで300cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
アルミナセラミックス基体上に真空蒸着法によりモリブデン(Mo)膜を作製し、その上に、無機蛍光体材料であるZn2GaO4:MnのMn含有量を1at.%として作製したZn2GaO4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2GaO4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、金属−蛍光体接触を形成した。その後、作製したZn2GaO4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上に縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜をマグネトロンスパッタリング成膜法により作製し、無機蛍光体−半導体接合を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明導電膜側を正極性、Mo電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
基体を兼ねたモリブデン(Mo)板上に、無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、金属−蛍光体接触を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上に縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜をマグネトロンスパッタリング成膜法により作製し、無機蛍光体−半導体接合を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明導電膜側を正極性、Mo板側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧40V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体−蛍光体接合(1)を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化スズ(SnO2)薄膜を作製し無機蛍光体−半導体接合(2)を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、ノンドープ酸化スズ(SnO2)薄膜側を正極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧50V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるY2O3:MnのMn含有量を2at.%として作製したY2O3:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、縮退した半導体であるAlドープ酸化亜鉛(AZO)薄膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でY2O3:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体−蛍光体接合(1)を形成した。その後、作製したY2O3:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にマグネトロンスパッタリング成膜法により、縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)薄膜を作製し無機蛍光体−半導体接合(2)を形成して正孔注入型EL素子を作製した。Alドープ酸化亜鉛(AZO)薄膜側を負極性、インジウム・スズ酸化物(ITO)薄膜側を正極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧30V程で黄色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度黄色発光を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成したガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体−蛍光体接合(1)を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にマグネトロンスパッタリング成膜法により、縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)薄膜を作製し無機蛍光体−半導体接合(2)を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、インジウム・スズ酸化物(ITO)薄膜側を正極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧30V程で緑色発光を確認でき印加電圧200Vで200cd/m2の高輝度緑色発光を実現できた。
(実施例12−1)
縮退したn形半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるMn添加硫化バリウム亜鉛(ZnBaS:Mn)薄膜を電子線真空蒸着法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZnBaS:Mn薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で黄色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度黄色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるMn添加硫化マグネシウム亜鉛(ZnMgS:Mn)薄膜を電子線真空蒸着法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZnMgS:Mn薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で黄色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度黄色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるセリウム(Ce)添加硫化ストロンチウム亜鉛(ZnSrS:Ce)薄膜を電子線真空蒸着法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZnSrS:Ce薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で青緑色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度青緑色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるセリウム(Ce)添加硫化カルシウム亜鉛(ZnCaS:Ce)薄膜を電子線真空蒸着法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZnCaS:Ce薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で青緑色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度青緑色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるMn添加硫セレン化亜鉛(ZnSSe:Mn)薄膜を電子線真空蒸着法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZnSSe:Mn薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で黄色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度黄色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料である亜鉛(Zn)ドープ窒化ガリウム(GaN:Zn)薄膜を電子線真空蒸着法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したGaN:Zn薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で青色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度青色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるユーロピウム(Eu)ドープ硫酸化イットリウム(Y2O2S:Eu)薄膜をマグネトロンスパッタリング法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したY2O2S:Eu薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で青色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度青色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるユーロピウム(Eu)ドープ硫酸バリウム(BaSO4:Eu)薄膜をマグネトロンスパッタリング法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したY2O2S:Eu薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で紫色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度紫色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるユーロピウム(Eu)ドープ窒化アルミニウム酸化カルシウム((AlN)1−x−(CaO)x):Eu多元系薄膜をマグネトロンスパッタリング法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製した((AlN)1−x−(CaO)x):Eu薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属―蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で赤色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度赤色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
縮退した半導体であるインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜を形成したガラス基体上に、無機蛍光体材料であるユーロピウム(Eu)ドープ酸窒化ガリウム((GaN)1−x−(GaO)x):Eu多元系薄膜をマグネトロンスパッタリング法により、基体温度350℃の条件下で作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製した((AlN)1−x−(CaO)x):Eu薄膜上に真空蒸着法によりアルミニウム(Al)を作製し、金属―蛍光体接触を形成して正孔注入型EL素子を作製した。ITO透明電極側を正極性、Al電極側を負極性として直流電圧を印加したところ、印加電圧20V程で赤色発光を確認でき印加電圧150Vで300cd/m2の高輝度赤色発光を実現できた。該EL素子は、ITO透明電極側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加した場合においても、同様の発光を実現できた。また、該蛍光体薄膜を基体兼電極材料としてAl膜を形成したアルミナセラミックスもしくはモリブデン板上形成し、その上にITO透明導電膜を形成した正孔注入型EL素子においても同様の特性を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成した20cm×150cm角のガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0 .6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体−蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にアルミニウム(Al)を真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL照明器具を作製した。ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、Al電極側を正極性として直流電圧を印加したところ、全面に均一な高輝度緑色発光を実現できた。
0.5mm×340mmのストライプ上にパターニングされたノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を0.06mm間隔で形成した270mm×340mm角のガラス基体上に、無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を基体上全面に作製し、半導体―蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上に0.5mm×270mmのストライプ上にパターニングされたアルミニウム(Al)膜をZnO薄膜に直交する配置で真空蒸着法により作製し、金属−蛍光体接触を形成して正孔注入型EL表示装置を作製した。映像信号によって変調した直流電圧をノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、Al電極側を正極性として印加したところ、VGA緑色表示装置を実現できた。
無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、ノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を形成した20cm×150cm角のガラス基体上に、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0 .6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を作製し、半導体(1)―蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜をマグネトロンスパッタリング成膜法により作製し、蛍光体−半導体(2)接合を形成してシースルー型正孔注入制御EL照明器具を作製した。
0.5mm×340mmのストライプ上にパターニングされたノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜を0.06mm間隔で形成した270mm×340mm角のガラス基体上に、無機蛍光体材料であるZn2Si1−XGeXO4:MnのGe含有量を0.4とし、Mn含有量を2at.%として作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn粉末ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング成膜法により、アルゴン(Ar)ガス中、ガス圧力6Pa、スパッタ投入電力100W、基体温度350℃の条件下でZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜を基体上全面に作製し、半導体(1)―蛍光体接合を形成した。その後、作製したZn2Si0.6Ge0.4O4:Mn無機蛍光体発光層薄膜上にインジウム・スズ酸化物(ITO)透明導電膜をマグネトロンスパッタリング成膜法により作製し、作製したITO膜をZnO薄膜に直交する配置で0.5mm×270mmのストライプ上にパターニング加工し、蛍光体−半導体(2)接合を形成してシースルー型正孔注入制御EL表示装置を作製した。映像信号によって変調した直流電圧をノンドープ酸化亜鉛(ZnO)薄膜側を負極性、Al電極側を正極性として印加したところ、VGA緑色表示装置を実現できた。
Claims (3)
- Zn2Si0.6Ge0.4O4:Mnからなる無機蛍光体の片面上に半導体―蛍光体接合を形成し、その対向する反対面上に金属―蛍光体接触を形成してなるデバイス構造に、外部から半導体を正極性に、金属を負極性に電圧を印加して、該接合を通してトンネリングにより蛍光体中へ正孔を、該接触を通して電子をそれぞれ注入注入するデバイスの動作原理に基づいて、蛍光体の励起と発光を該接合での正孔のトンネリング注入によって生じさせ、かつ、前記デバイス構造において、デバイスを構成する金属が任意の基体上に形成した金属薄膜もしくは基体を兼ねた任意の形状からなる金属を有し、半導体が縮退したn型半導体からなる透明導電膜である金属―無機蛍光体―半導体の順に薄膜を積層することを特徴とする正孔注入型直流駆動エレクトロルミネッセンス素子。
- 請求項1記載の正孔注入型直流駆動エレクトロルミネッセンス素子を用いることを特徴とする照明器具。
- 請求項1記載の正孔注入型直流駆動エレクトロルミネッセンス素子を用いることを特徴とする表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005342793A JP4848181B2 (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 正孔注入型el装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005342793A JP4848181B2 (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 正孔注入型el装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007123220A JP2007123220A (ja) | 2007-05-17 |
JP4848181B2 true JP4848181B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38146818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005342793A Expired - Fee Related JP4848181B2 (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 正孔注入型el装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4848181B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101431476B1 (ko) | 2010-06-18 | 2014-08-20 | 고분도인사쓰 유겐가이샤 | 직류구동의 무기이엘소자와 발광방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002198178A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Canon Inc | 発光素子 |
JP2004031101A (ja) * | 2002-06-25 | 2004-01-29 | Tdk Corp | 発光素子及び発光パネル |
US7151338B2 (en) * | 2003-10-02 | 2006-12-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Inorganic electroluminescent device with controlled hole and electron injection |
-
2005
- 2005-10-28 JP JP2005342793A patent/JP4848181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007123220A (ja) | 2007-05-17 |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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