JP4842928B2 - 超高速レーザパルスを用いた複合シート材料の製造方法 - Google Patents
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Description
このステップでは、製品のスペック、すなわち、サイズ、厚さ、弾性係数、引張強度、導電率、熱伝導率、シート抵抗、電子移動度、材料温度限界、視感度効率、環境感度などを決定する。製品のスペックは、どの種類の薄膜材料を選択しパターニングするかということに大いに影響する。次に、方法200はステップ220に進む。
このステップでは、図1に示す多層薄膜構造体100のための基板140が提供される。一実施例において、基板140は、コーニング社(CorningInc.)によって製造された石英ガラス(SiO2)の研磨透明ガラス基板であり得る。次に、方法200はステップ230に進む。
このステップでは、層形成される材料は、吸光スペクトル、熱特性及び化学特性に基づいて選択される。
このステップでは、ステップ230で選択された材料を用いて、所与の構造体(例えば基板140)の上面に層が形成される。一実施例において、(1)スピンコーティング、(2)蒸着、(3)スパッタリング、(4)化学気相蒸着法(CVD)、又は(5)インクジェット印刷法等、さまざまな公知のプロセスの1つを用いて選択された材料を与える。次に、方法200はステップ250に進む。
このステップでは、レーザアブレーションの公知のプロセスを用いて層をパターニングする。各層の熱特性、強度特性、剛度特性及び吸光スペクトル特性を用いて、アブレーションレーザ(図示せず)の動作パラメータを選択する。レーザの適切なΛ値、τ値、Δλ値、スポットサイズ、バイトサイズ及びフルエンスを設定する。これらは全て、各層の熱スペクトル、強度スペクトル及び吸光スペクトルを調べることによって得られる。
この判定ステップでは、さらなる層を追加して多層薄膜構造体100をパターニングし層形成するかどうかを判定する。層を追加する場合、方法200はステップ230に進む。層を追加しない場合、方法200は終了する。
110、310、410 第1層
120、320、420 第2層
130、330、430 第3層
140 基板
150 導電ビア
200 方法
300 多層薄膜構造体
340 基板
350、450 埋込導電ビア
400 多層薄膜構造体
440 基板
455 特徴形状
460 絶縁部
Claims (10)
- 基板上における、1つ以上の有機薄膜層を含む複数の薄膜層よりなる多層薄膜構造体の形成方法であって、
1つ以上の下側の層がより高い熱伝導率および/または高い融点を有する有機薄膜層を最上位層に形成するステップと、
前記有機薄膜層の熱伝導率及び融点に応じて、波長(Λ)、パルス幅(τ)、スペクトル幅(Δλ)、スポットサイズ、バイトサイズおよびフルエンスに関連する動作パラメータでプログラムされた超高速レーザを用いて前記有機薄膜層をパターニングするステップと、
パターニングにより除去された前記最上位層の領域に材料を選択的に堆積させるステップと、
前記材料を堆積した後、さらに薄膜層を追加するステップと
を包含することを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記基板は石英ガラス(SiO2)の研磨透明ガラス基板であることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記薄膜層をスピンコーティングによって与えることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記薄膜層を蒸着によって与えることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記薄膜層をスパッタリングによって与えることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記薄膜層を化学気相蒸着法(CVD)によって与えることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記薄膜層をインクジェット印刷によって与えることを特徴とする方法。 - 請求項1の方法において、
前記最上位層にパターニングされたビアを有する最終構造体を形成するステップをさらに包含することを特徴とする方法。 - 請求項1の方法によって形成された、完成した多層薄膜構造体であって、
第1、第2及び第3の薄膜層であって、前記第2の層が前記第1の層と前記第3の層との間に設けられている薄膜層と、
前記構造体の最上位層と異なる層に形成された少なくとも1つの埋込導電ビアと、
ガラス又はプラスチック材料で形成された研磨透明基板と、
を備えており、
前記第1、第2及び第3の薄膜層のうち少なくとも1つは有機薄膜層であり、前記ビアは前記第2の層を前記基板に電気的に接続することを特徴とする多層薄膜構造体。 - 請求項9の完成した多層薄膜構造体において、
前記構造体の最上位層と異なる層に形成された絶縁部と、
前記第2の層と前記基板との間に設けられた前記第3の層にインクジェット印刷を行うことによって形成された印刷トレースと、
をさらに備え、
前記絶縁部は、使用する材料を電気的に絶縁して、前記多層薄膜構造体の層を分離することを特徴とする多層薄膜構造体。
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