JP4842793B2 - TCP test apparatus and TCP test apparatus setup method - Google Patents
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Description
本発明は、ICデバイスの1種であるTCP(Tape Carrier Package)やCOF(Chip On Film)(以下、TCP、COF及びTAB(Tape Automated Bonding)実装技術によって実装されたデバイスをまとめて「TCP」と称する。)を試験するために用いられるTCP試験装置、及び、キャリアテープを交換した際のTCP試験装置の段取方法に関する。 The present invention collectively refers to devices mounted by TCP (Tape Carrier Package) or COF (Chip On Film) (hereinafter referred to as TCP, COF and TAB (Tape Automated Bonding) mounting technologies, which are one type of IC devices. And a setup method for the TCP test apparatus when the carrier tape is replaced.
ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたICデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が用いられており、TCPの性能や機能を試験する場合にはTCP試験装置が使用される。 In the manufacturing process of electronic components such as IC devices, electronic component testing equipment is used to test the performance and functions of the final manufactured IC devices and devices at intermediate stages. A TCP test apparatus is used for testing.
TCP試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、TCPハンドリング装置(以下、単にTCPハンドラとも称する。)と、から構成されている。このTCPハンドラは、テープ(フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。)上にTCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブ針にキャリアテープを押圧し、TCPの入出力端子をプローブ針に電気的に接続させることで、複数のTCPを順次試験を行うことが可能となっている。 A TCP test apparatus generally includes a tester body, a test head, and a TCP handling apparatus (hereinafter also simply referred to as a TCP handler). This TCP handler transports a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed on a tape (including the concept of film; the same shall apply hereinafter) and carries the carrier to the probe needle of a probe card that is electrically connected to the test head. By pressing the tape and electrically connecting the input / output terminals of the TCP to the probe needle, it is possible to sequentially test a plurality of TCPs.
こうしたTCP試験装置では、一つのロットが終了する毎に、試験が終了したキャリアテープをTCPハンドラの供給リールから取り外し、新規のキャリアテープを当該供給リールに掛け直す作業が行われている。これらの作業を行った後に次のロットが開始されるが、この際に、コンタクト部に対して下流側に設けられた第3のカメラを用いて、キャリアテープにおいて先頭のICチップを自動的に検出する方法が従来から知られている(例えば、特許文献1参照)。 In such a TCP test apparatus, every time a lot is completed, the carrier tape that has been tested is removed from the supply reel of the TCP handler, and a new carrier tape is applied to the supply reel. After these operations are performed, the next lot is started. At this time, the first IC chip on the carrier tape is automatically set using the third camera provided downstream of the contact portion. A detection method is conventionally known (for example, see Patent Document 1).
図4及び図5はTCP試験装置に用いられるリーダテープ及びキャリアテープを示す平面図及び拡大平面図である。 4 and 5 are a plan view and an enlarged plan view showing a leader tape and a carrier tape used in the TCP test apparatus.
一般的に、TCPハンドラにおいて、2つのリールの間でキャリアテープを架け渡すために、図4に示すように、キャリアテープ30の先端部にリーダテープ40が連結されている。このリーダテープ40は、キャリアテープ30と異なり、TCP等が一切形成されておらず、例えば透明又は黒色のテープのみから構成されている。そして、この連結部分45の近傍の数個(図4で示す例では3個。一般的に1〜5個程度)のTCP31(図4のフレームF1〜F3におけるTCP31)は、リーダテープ40とキャリアテープ30の連結時や、リール間にキャリアテープ30を架け渡す際等に負荷が加わっているおそれがあるため、不良品とみなして、前工程にてICチップ33にリジェクト孔35が形成されている場合がある。切断工程等の後工程のために、このリジェクト孔35が形成されているICチップ33を有するTCP31を、コンタクト部の下流側に位置するリジェクトパンチにより打ち抜かなければならない。
In general, in a TCP handler, a
上述した先頭ICチップを自動的に検出する方法では、連結部分45の近傍の不良TCP31を検出することができず、キャリアテープ30上においてリジェクト孔35が形成されていないICチップ33(図4のフレームF4におけるICチップ33)を先頭として検出してしまう。そのため、キャリアテープ30の先頭部分の不良TCP31(図4のフレームF1〜F3におけるTCP31)を手動で打ち抜かねばならず、結果的に段取作業を自動的に行うことはできず、段取時間が長くなってしまう場合がある。
In the method of automatically detecting the leading IC chip described above, the
また、一般的に、TCP試験装置では、コンタクト部の上流側に位置する第1のカメラにより、TCPの有無、及び、リジェクト孔の有無をチェックした後に、コンタクト部でのテストやリジェクトパンチによる打ち抜きを実行する。これに対し、上述した先頭ICチップを自動的に検出する方法では、コンタクト部の下流側に位置する第3のカメラにより先頭TCPを検出するため、ロットをスタートする前に、第1のカメラまでキャリアテープを戻す必要があり、段取作業の効率化を十分に図ることができない。 Also, in general, in a TCP test apparatus, after checking the presence of TCP and the presence or absence of a reject hole with a first camera located upstream of the contact portion, testing at the contact portion or punching by a reject punch Execute. On the other hand, in the above-described method of automatically detecting the leading IC chip, the leading TCP is detected by the third camera located on the downstream side of the contact portion. It is necessary to return the carrier tape, and the efficiency of the setup work cannot be sufficiently achieved.
オペレータの目視によりキャリアテープ上のロット開始位置を検出する方法もあるが、誤操作やロット開始位置の誤認識により不良TCPが打ち抜かれずにキャリアテープ上に残ってしまい、後工程に不良TCPが流出してしまうおそれがある。近年、デバイスが小型化する傾向にあるが、これに伴って誤操作・誤認識の可能性も高くなる。 There is also a method of detecting the lot start position on the carrier tape by visual inspection of the operator, but the defective TCP is left on the carrier tape without being punched due to erroneous operation or erroneous recognition of the lot start position, and the defective TCP flows out to the subsequent process. There is a risk that. In recent years, devices tend to be miniaturized, but with this, the possibility of erroneous operation / recognition increases.
本発明は、段取時間の短縮化と不良TCPの流出を防止することが可能なTCP試験装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a TCP test apparatus capable of shortening the setup time and preventing the outflow of defective TCP.
(1)上記目的を達成するために、本発明によれば、TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、前記TCPの入出力端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のTCPを順次試験するためのTCP試験装置であって、前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第1の検出手段と、前記キャリアテープの先端部に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを搬送する搬送手段と、前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第2の検出手段と、前記キャリアテープ上において所定のTCPを打ち抜く打抜手段と、を備え、前記制御手段は、前記第1の検出手段の検出結果に基づいて、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向、又は、前記所定搬送方向とは反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御し、前記制御手段に、前記キャリアテープにおいて不良とみなすTCPの前記ロット開始位置からの所定個数を前記制御手段に設定可能となっており、前記打抜手段は、前記第2の検出手段の検出結果に関わらず、前記所定個数のTCPを打ち抜くTCP試験装置が提供される(請求項1参照)。 (1) In order to achieve the above object, according to the present invention, a carrier tape formed with a plurality of TCPs is conveyed, and the carrier tape is pressed against a contact portion electrically connected to a test head, A TCP test apparatus for sequentially testing a plurality of TCPs by bringing the input / output terminals of the TCP into contact with the contact terminals of the contact part, wherein the first detection means detects a lot start position on the carrier tape; A leader tape coupled to the leading end of the carrier tape, a conveying means for conveying the carrier tape, a control means for controlling the operation of the conveying means, and a second hole for detecting a through hole formed in the carrier tape. and detection means, and a striking Nukite stage punching out predetermined TCP on said carrier tape, said control means, said first test Based on the detection result of the means, the conveying means the leader tape and the carrier tape, predetermined conveying direction, or to convey in a direction opposite to the predetermined transport direction, and controlling said transport means, said A predetermined number from the lot start position of the TCP regarded as defective in the carrier tape can be set in the control means in the control means, and the punching means relates to the detection result of the second detection means. First, a TCP test apparatus that punches out the predetermined number of TCPs is provided (see claim 1).
本発明では、TCP試験装置に、キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第1の検出手段を設けて、この第1の検出手段の検出結果に基づいて搬送手段の動作制御を行う。これにより、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのICチップにリジェクト孔が形成されていても手動で不良TCPを打ち抜くことを要さず、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができるので、段取時間の短縮を図ると共に、不良TCPの流出を防止することが可能となる。 In the present invention, the TCP test apparatus is provided with first detection means for detecting the lot start position on the carrier tape, and operation control of the transport means is performed based on the detection result of the first detection means. As a result, even if reject holes are formed in some IC chips located at the tip of the carrier tape, it is not necessary to manually punch out the defective TCP, and the lot start position is detected and the lot is automatically started. Therefore, the setup time can be shortened and the outflow of defective TCP can be prevented.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出手段は、前記リーダテープと前記キャリアテープとの相違に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい(請求項2参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the first detection means detects the lot start position based on a difference between the leader tape and the carrier tape (see claim 2).
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出手段は、前記所定搬送方向において前記コンタクト部よりも上流側に設けられていることが好ましい(請求項3参照)。第1の検出手段をコンタクト部よりも上流側に設けることで、段取作業の効率化を図ることができる。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the first detection means is provided on the upstream side of the contact portion in the predetermined transport direction (see claim 3). By providing the first detection means on the upstream side of the contact portion, the efficiency of the setup work can be improved.
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープは、少なくとも一つの前記TCPをそれぞれ割り当てられた複数のフレームを備えており、前記キャリアテープにおける前記ロット開始位置は、前記キャリアテープにおける前記所定搬送方向の最初の前記フレームであることが好ましい(請求項4参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the carrier tape includes a plurality of frames each assigned with at least one TCP, and the lot start position on the carrier tape is the predetermined transport direction on the carrier tape. It is preferable that it is the first said frame (refer claim 4).
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出手段は、前記リーダテープには存在しないが前記最初のフレームに存在する所定のパターン形状に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい(請求項5参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the first detection means detects the lot start position based on a predetermined pattern shape that does not exist in the leader tape but exists in the first frame. (See claim 5).
上記発明においては特に限定されないが、前記パターン形状は、前記キャリアテープ上に形成されたTCP位置決め用のマーク、配線、又は、テストパッドのうちの少なくともを含むことが好ましい(請求項6参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the pattern shape preferably includes at least one of a TCP positioning mark, wiring, or test pad formed on the carrier tape (see claim 6).
TCP位置決め用のマークや配線、テストパッド等の、TCPにおいてICチップ以外の形状に基づいて、キャリアテープにおけるロット開始位置を検出することで、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのICチップにリジェクト孔が形成されていても、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができる。 By detecting the lot start position on the carrier tape based on the shape other than the IC chip in the TCP, such as TCP positioning marks, wiring, and test pads, several IC chips located at the tip of the carrier tape are detected. Even if the reject hole is formed, the lot start position can be detected and the lot can be automatically started.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出手段は、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを撮像可能な撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像情報に対して所定の画像処理を行うことで前記パターン形状を検出する画像処理手段と、を有することが好ましい(請求項7参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the first detecting means performs imaging processing on the image information captured by the imaging means and imaging means capable of imaging the leader tape and the carrier tape. It is preferable to have an image processing means for detecting the pattern shape.
上記発明においては特に限定されないが、前記制御手段は、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しない場合、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出するまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい(請求項8参照)。 Although not particularly limited in the above invention, when the first detection unit does not detect the lot start position, the control unit determines that the transport unit does not detect the lot start position until the first detection unit detects the lot start position. Preferably, the transport unit is controlled so that the leader tape and the carrier tape are transported along the predetermined transport direction (see claim 8).
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出した場合に、前記制御手段は、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい(請求項9参照)。 Although not particularly limited in the above invention, when the first detection unit detects the lot start position, the control unit performs the transfer until the first detection unit no longer detects the lot start position. It is preferable to control the transport means so that the means transports the leader tape and the carrier tape in the opposite direction (see claim 9).
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープ上の前記ICチップを検出する第2の検出手段をさらに備え、前記第2の検出手段が前記ICチップを検出した場合に、前記制御手段は、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the control means further comprises second detection means for detecting the IC chip on the carrier tape, and when the second detection means detects the IC chip, It is preferable to control the transport unit so that the transport unit transports the leader tape and the carrier tape in the opposite direction until the first detection unit does not detect the lot start position.
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第3の検出手段をさらに備え、前記第3の検出手段が前記貫通孔を検出した場合に、前記制御手段は、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなるまで、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the control means further includes third detection means for detecting a through-hole formed in the carrier tape, and the control means detects the through-hole when the third detection means detects the through-hole. It is preferable that the transport unit is controlled so that the transport unit transports the leader tape and the carrier tape in the opposite direction until the first detection unit no longer detects the lot start position.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなったら、前記制御手段は、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に搬送するように、前記搬送手段を制御することが好ましい(請求項10参照)。 Although not particularly limited in the above invention, when the first detection unit no longer detects the lot start position, the control unit causes the conveyance unit to convey the leader tape and the carrier tape in the predetermined conveyance direction. Thus, it is preferable to control the conveying means (see claim 10).
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープ上の前記ICチップを検出する第3の検出手段と、前記キャリアテープ上のTCPを前記コンタクト部に押圧する押圧手段と、をさらに備えており、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記第3の検出手段が前記ICチップを検出した場合に、前記押圧手段が当該TCPを押圧し、前記第2の検出手段が前記貫通孔を検出した場合、又は、TCPが不良であった場合に、前記打抜手段が当該TCPを打ち抜くことが好ましい(請求項11参照)。 Although not particularly limited in the present invention, a third detection means for detecting the IC chips on the carrier tape, and pressing means for the TCP over prior Symbol carrier tape is pressed against the contact portion further includes a The conveying means conveys the leader tape and the carrier tape along the predetermined conveying direction, and after the first detecting means detects the lot start position, or the first detecting means detects the lot. When the third detection unit detects the IC chip after the start position is not detected and the transport unit starts transporting the leader tape and the carrier tape in the predetermined transport direction, the pressing unit there pressing the TCP, when the second detecting means detects said through hole, or, if TCP is defective, the punching Nukite stage It is preferable to punch the TCP (see claim 11).
(2)上記目的を達成するために、本発明によれば、TCPが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部に前記キャリアテープを押圧し、前記TCPの入出力端子を前記コンタクト部の接触端子に接触させることにより複数のTCPを順次試験するTCP試験装置において、前記キャリアテープを交換した際の前記TCP試験装置を段取りする段取方法であって、前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第1の検出ステップと、前記第1の検出ステップにおける検出結果に基づいて、前記キャリアテープの先端に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向又は前記所定搬送方向とは反対方向に搬送する搬送ステップと、前記キャリアテープにおける貫通孔の有無に関わらず、前記キャリアテープ上の前記ロット開始位置から所定個数のTCPを打ち抜く初期打抜ステップと、を備えたTCP試験装置の段取方法が提供される(請求項12参照)。 (2) In order to achieve the above object, according to the present invention, a carrier tape formed with a plurality of TCPs is conveyed, and the carrier tape is pressed against a contact portion electrically connected to a test head, In a TCP test apparatus for sequentially testing a plurality of TCPs by bringing the input / output terminals of the TCP into contact with the contact terminals of the contact part, a setup method for setting up the TCP test apparatus when the carrier tape is replaced. A first detection step for detecting a lot start position on the carrier tape, and a leader tape connected to the tip of the carrier tape and the carrier tape based on a detection result in the first detection step. a conveying step for conveying in the opposite direction to the conveying direction or the predetermined conveying direction, said carrier tape That with or without through-holes, wherein on the carrier tape setup process lot start and initial punching step of punching a TCP predetermined number from the position, TCP testing apparatus equipped with is provided (claim 12 reference ).
本発明では、第1の検出ステップでキャリアテープにおけるロット開始位置を検出し、その検出結果に基づいて、搬送ステップでキャリアテープを所定の搬送方向又はそれとは反対方向に搬送する。これにより、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのICチップにリジェクト孔が形成されていても、手動で不良TCPを打ち抜くことを要さず、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができるので、段取時間の短縮を図ると共に、不良TCPの流出を防止することが可能となる。 In the present invention, the lot start position on the carrier tape is detected in the first detection step, and based on the detection result, the carrier tape is transported in the predetermined transport direction or the opposite direction in the transport step. As a result, even if reject holes are formed in some IC chips located at the tip of the carrier tape, it is not necessary to manually punch out defective TCP, and the lot start position is detected automatically. Since it can be started, the setup time can be shortened and the outflow of defective TCP can be prevented.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップにおいて、前記リーダテープと前記キャリアテープとの相違に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that in the first detection step, the lot start position is detected based on a difference between the leader tape and the carrier tape.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップは、前記TCP試験装置において前記コンタクト部よりも前記所定搬送方向上流側の位置で実行されることが好ましい。コンタクト部よりも上流側の位置で第1の検出ステップを実行することで、段取作業の効率化を図ることができる。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the first detection step is executed at a position upstream of the contact portion in the predetermined transport direction in the TCP test apparatus. By executing the first detection step at a position upstream of the contact portion, the efficiency of the setup work can be improved.
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープは、少なくとも一つの前記TCPをそれぞれ割り当てられた複数のフレームを備えており、前記キャリアテープにおける前記ロット開始位置は、前記キャリアテープにおける前記所定搬送方向の最初の前記フレームであることが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the carrier tape includes a plurality of frames each assigned with at least one TCP, and the lot start position on the carrier tape is the predetermined transport direction on the carrier tape. It is preferable that the first frame.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップにおいて、前記リーダテープには存在しないが前記最初のフレームに存在する所定のパターン形状に基づいて、前記ロット開始位置を検出することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that in the first detection step, the lot start position is detected based on a predetermined pattern shape that does not exist in the leader tape but exists in the first frame. .
上記発明においては特に限定されないが、前記パターン形状は、前記キャリアテープ上に形成されたTCP位置決め用のマーク、配線、又は、テストパッドのうちの少なくとも一つを含むことが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the pattern shape preferably includes at least one of a TCP positioning mark, a wiring, or a test pad formed on the carrier tape.
TCP位置決め用のマークや配線、テストパッド等の、TCPにおいてICチップ以外の形状に基づいて、キャリアテープにおけるロット開始位置を検出することで、キャリアテープの先端部分に位置する幾つかのICチップにリジェクト孔が形成されていても、ロット開始位置を検出して自動的にロットをスタートさせることができる。 By detecting the lot start position on the carrier tape based on the shape other than the IC chip in the TCP, such as TCP positioning marks, wiring, and test pads, several IC chips located at the tip of the carrier tape are detected. Even if the reject hole is formed, the lot start position can be detected and the lot can be automatically started.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップは、前記キャリアテープを撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップにて撮像された画像情報に対して所定の画像処理を行うことで前記パターン形状を検出する画像処理ステップと、を有することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, in the first detection step, the pattern is obtained by performing an image capturing step for capturing the carrier tape and performing predetermined image processing on the image information captured in the image capturing step. And an image processing step for detecting the shape.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されるまで、前記搬送ステップにおいて、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送することが好ましい(請求項13参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the leader tape and the carrier tape may be transported along the predetermined transport direction in the transport step until the lot start position is detected in the first detection step. Preferred (see claim 13).
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置が検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送することが好ましい(請求項14参照)。 Although not particularly limited in the above invention, when the lot start position is detected in the first detection step, until the lot start position is not detected in the first detection step in the transport step, It is preferable to transport the leader tape and the carrier tape in the opposite directions (see claim 14).
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープ上のICチップを検出する第2の検出ステップをさらに備え、前記第2の検出ステップで前記ICチップが検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the method further comprises a second detection step of detecting an IC chip on the carrier tape, and when the IC chip is detected in the second detection step, It is preferable that the leader tape and the carrier tape are conveyed in the opposite direction until the lot start position is not detected in the first detection step.
上記発明においては特に限定されないが、前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第3の検出ステップをさらに備え、前記第3の検出ステップで前記貫通孔が検出された場合に、前記搬送ステップにおいて、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなるまで、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記反対方向に搬送することが好ましい。 Although not particularly limited in the above invention, the method further comprises a third detection step of detecting a through hole formed in the carrier tape, and the transport step when the through hole is detected in the third detection step. Preferably, the leader tape and the carrier tape are transported in the opposite direction until the lot start position is not detected in the first detection step.
上記発明においては特に限定されないが、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置が検出されなくなったら、前記搬送ステップにおいて、前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に搬送することが好ましい(請求項15参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable to transport the leader tape and the carrier tape in the predetermined transport direction in the transport step when the lot start position is not detected in the first detection step ( (See claim 15).
上記発明においては特に限定されないが、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記ICチップを検出した場合に、前記キャリアテープ上のTCPを前記コンタクト部に押圧する押圧ステップと、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記貫通孔を検出し又はTCPが不良であった場合に、当該TCPを打ち抜く打抜ステップと、をさらに備えていることが好ましい(請求項16参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the leader tape and the carrier tape are transported along the predetermined transport direction in the transport step, and after the lot start position is detected in the first detection step, or The lot start position is not detected in the first detection step, and the IC chip is detected on the carrier tape after the conveyance step starts the conveyance of the leader tape and the carrier tape in the predetermined conveyance direction. And pressing the TCP on the carrier tape against the contact portion, and transporting the leader tape and the carrier tape along the predetermined transport direction in the transport step, and the first detection step After detecting the lot start position or in the first detection step, the lot opening position is set. When the position is not detected and the through-hole is detected on the carrier tape or the TCP is defective after the transport step starts transporting the leader tape and the carrier tape in the predetermined transport direction. It is preferable to further comprise a punching step for punching out the TCP (see claim 16).
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
先ず、本実施形態に係るTCP試験装置において搬送対象となるキャリアテープ30について、図4及び図5を参照しながら説明する。
First, the
キャリアテープ30は、図4に示すように、当該キャリアテープ30の長手方向に沿って所定の長さでそれぞれ区切られたフレームFn(但しnは自然数)が複数連なって構成されている。各フレームFnは、パーフォレーションPF(図5参照)の数で管理されており、図5に示す例ではパーフォレーションを5つ進むと次のフレームFn+1に移動するようになっている。本実施形態では、それぞれのフレームFnにTCP31が1つずつ割り当てられている。各TCP31は、図5に示すように、キャリアテープ30の一部と、このキャリアテープ30上に形成された配線32と、配線32の一端にバンプが接続されているICチップ33と、各配線32の他端に設けられたテストパッド34と、配線32やICチップ33を封止しているモールド材(不図示)と、からそれぞれ構成されている。なお、キャリアテープのフレームには、キャリアテープの長手方向(図4の横方向)に沿って複数個のTCP31が形成されていても良く、キャリアテープの幅方向(図4の縦方向)に沿って複数個のTCP31が形成されていても良い。
As shown in FIG. 4, the
キャリアテープ30の先端部には、TCPハンドラ2のリール21,22(後述)間にキャリアテープ30を架け渡すために、例えば接着等によりリーダテープ40が連結されている。このリーダテープ40は、キャリアテープ30と異なり、TCP31等が一切形成されておらず、例えば透明又は黒色のテープのみから構成されている。そして、図4に示すように、この連結部分45の近傍のフレームF1〜F3における3個のTCP31は、リーダテープ40とキャリアテープ30の連結時や、リール21,22間にキャリアテープ30を架け渡す際等に負荷が加わっているおそれがあるので、ICチップ33を貫通するリジェクト孔35が前工程にて形成され、不良TCPとみなされている。これに対し、同図に示すように、連結部分45から数えて4番目のフレームF4以降のフレームF5〜Fm(但しmは5より大きな自然数)におけるICチップ33にはリジェクト孔35は形成されていない。
A
図5に示すように、キャリアテープ30における各フレームFnには、TCP31の周囲に4つのアライメントマーク36が設けられている。TCPハンドラ2は、これらアライメントマーク36を基準として、TCP31をプローブカード12に対して位置決めすることが可能となっている。
As shown in FIG. 5, four
次に、本発明の実施形態に係るTCP試験装置の構成について説明する。図1は本発明の実施形態に係るTCP試験装置に全体を示す正面図、図2は本発明の実施形態に係るTCP試験装置の制御系を示すブロック図である。 Next, the configuration of the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a front view showing the whole TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing a control system of the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention.
図1に示すように、本実施形態に係るTCP試験装置1は、特に図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド10と、テストヘッド10の上側に設けられたTCPハンドラ2と、から構成されている。
As shown in FIG. 1, a
TCPハンドラ2は、キャリアテープ30を搬送することで、キャリアテープ30上にその長手方向に沿って一列に並んで形成されている各TCP31を順次試験することが可能となっている。
The
TCPハンドラ2は、供給リール21及び巻取リール22を備えている。供給リール21には、試験前のTCP31を有するキャリアテープ30が巻き取られている。このキャリアテープ30は、供給リール21から巻き出され、テストヘッド10によりTCP31の試験を行った後に巻取リール22に巻き取られるように搬送される。
The
供給リール21と巻取リール22との間には、キャリアテープ30から剥離した保護テープ50を、供給リール21から巻取リール22に架け渡すための3個のスペーサロール23a〜23cが設けられている。各スペーサロール23a〜23cは、保護テープ50の張力を調整可能なように、それぞれ上下動可能となっている。
Between the
供給リール21の下側には、供給側テープガイド24a、供給側リミットローラ25a、供給側サブスプロケット25c及び供給側ガイドローラ25eが設けられている。供リール21から巻き出されたキャリアテープ30は、供給側テープガイド24aに案内されつつ、供給側リミットローラ25a、供給側サブスプロケット25c及び供給側ガイドローラ25eを経てプッシャユニット26に搬送される。
Below the
巻取リール22の下側にも、巻取側テープガイド24b、巻取側リミットローラ25b、巻取側サブスプロケット25d及び巻取側ガイドローラ25fが設けられている。プッシャユニット26を通過した後のキャリアテープ30は、巻取側ガイドローラ25f、巻取側サブスプロケット25d及び巻取側リミットローラ25bを経て、巻取側テープガイド24bによって案内されつつ、巻取リール22に巻き取られる。
A winding
供給側ガイドローラ25cと巻取側ガイドローラ25dとの間には、プッシャユニット26が設けられている。プッシャユニット26は、キャリアテープ30を吸着保持可能なプッシャ本体261と、このプッシャ本体261をZ軸方向に沿って上下動させるサーボモータ262と、ボールネジ機構等を用いてプッシャ本体261をXY平面方向に沿って微小移動させると共にZ軸を中心として回転させることが可能なプッシャステージ263(図2参照)と、プッシャ本体261の上流側(図1において左側)に設けられたテンションスプロケット264と、プッシャ本体261の下流側(図1において右側)に設けられたメインスプロケット265と、を備えている。
A
スプロケット264,265は、図2に示すサーボモータ266,267の駆動軸に連結されており、回転可能となっている。サーボモータ266,267は、TCPハンドラ2の制御装置29bに制御可能に接続されている。供給リール21から巻取リール22へキャリアテープ30を搬送する場合には、制御装置29bがサーボモータ266,267を所定の方向に回転駆動させる。巻取リール22から供給リール21側にキャリアテープ30を戻す場合には、制御装置29bがサーボモータ266,267を反対方向に回転駆動させる。因みに、後述するプッシャユニット26によりTCP31をプローブカード12に押し付ける際には、テンションスプロケット264を反対方向に回転させるように、制御装置29bがサーボモータ266を制御するので、キャリアテープ30にテンションが適度に掛かって弛みのない状態となる。
The
プッシャユニット26の下側には、テストヘッド10が対向するように設けられている。このテストヘッド10の上部には、プローブ針121が多数実装されたプローブカード12が設けられている。キャリアテープ30を吸着保持しているプッシャ本体261がサーボモータ262により下降すると、TCP31のテストパッド34と、プローブカード12のプローブ針121とが電気的に接触し、テストヘッド10を介してテスタ本体(不図示)によりTCP31の試験が実行される。
The
プッシャユニット26と巻取側ガイドローラ24bとの間には、マークパンチ27a及びリジェクトパンチ27bが設けられている。マークパンチ27aは、例えば金型とエアシリンダから構成されており、試験結果に基づいて、該当するTCP31が形成されたフレームFnの所定位置に1個又は複数個の孔を開けるために用いられる。リジェクトパンチ27bも、例えば金型とエアシリンダから構成されており、試験において不良品であると判断されたTCP31や、前工程でリジェクト孔35が形成されているICチップ33を有するTCP31を打ち抜くために用いられる。
A
供給側ガイドローラ25eとプッシャユニット26との間には、キャリアテープ30を撮像可能なように、例えばCCDカメラやCMOSカメラ等からなる第1のカメラ28aが設けられている。図2に示すように、この第1のカメラ28aは画像処理装置29aに接続されており、キャリアテープ30上におけるICチップ33の有無や、リジェクト孔35の有無を判断するために用いられる。また、本実施形態では、この第1のカメラ28aは、キャリアテープ30におけるロット開始位置(第1のフレームF1)を検出するためにも用いられる。
Between the supply
第1のカメラ28aが撮像した画像情報に対して画像処理装置29aが画像処理を行い、その結果に基づいて画像処理装置29aが制御装置29bに指令信号を送信する。制御装置29bは、この指令信号に基づいて、サーボモータ266,267の駆動制御を行い、キャリアテープ30の搬送を制御する。
The
本実施形態では、画像処理装置29aは、リーダテープ40には存在しないが最初のフレームF1に存在する、アライメント用マーク36や配線32、テストパッド34等の有無に基づいて、キャリアテープ30におけるロット開始位置を検出する。
In the present embodiment, the
プッシャユニット26の下側には、キャリアテープ30及びプローブ針121を撮像可能なように、例えばCCDカメラやCMOSカメラ等からなる第2のカメラ28bが設けられている。図2に示すように、この第2のカメラ28bも、画像処理装置29aに接続されており、プローブカード12のプローブ針121に対してキャリアテープ30上のテストパッド34を位置決めするために用いられる。
Below the
第2のカメラ28bが撮像した画像情報に対して画像処理装置29aが画像処理を行って、当該画像情報におけるアライメント用マーク36の位置を検出する。画像処理装置29aは、このアライメント用マーク36の位置からプローブ針121に対するテストパッド34の位置の補正量を算出し、この補正量を制御装置29bに送信する。制御装置29bは、この補正量に基づいてプッシャステージ263を駆動させて、プローブ針121に対してテストパッド34を高精度に位置決めする。
The
なお、この第2のカメラ28bを用いて、オペレータが、モニタ(不図示)を介して、キャリアテープ30のテストパッド34と、プローブカード12のプローブ針121との接触状態を把握しても良い。
The operator may grasp the contact state between the
プッシャユニット26と巻取側ガイドローラ25fとの間には、キャリアテープ30を撮像可能なように、例えばCCDカメラやCMOSカメラからなる第3のカメラ28cが設けられている。図2に示すように、この第3のカメラ28cは画像処理装置29aに接続されており、不良のTCP31がリジェクトパンチ27bにより確実に打ち抜かれているか否かを確認するために用いられる。
Between the
以下に、TCPのロットが終了して次のロットを開始する際に、キャリアテープを交換する場合に行う本発明の実施形態に係るTCP試験装置の段取方法について、図3を参照しながら説明する。図3は本発明の実施形態に係るTCP試験装置の段取方法を示すフローチャートである。 Hereinafter, a setup method of the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention performed when the carrier tape is replaced when the TCP lot is finished and the next lot is started will be described with reference to FIG. To do. FIG. 3 is a flowchart showing a setup method of the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention.
先ず、TCP31の新規なロットを有するキャリアテープ30をTCPハンドラ2の供給リール21にオペレータがセットし、リーダテープ40を供給側テープガイド24a、供給側リミットローラ25a、供給側サブスプロケット25c、供給側ガイドローラ25e、プッシャユニット26、巻取側ガイドローラ25f、巻取側サブスプロケット25d、巻取側リミットローラ25b及び巻取側テープガイド24bを経由して、巻取リール22まで導く(図3のステップS10)。これと同時に、オペレータは、保護テープ50を、供給リール21から3つのスペーサロール23a〜23cを経由して巻取リール22に導くようにセットする。
First, the operator sets the
次いで、オペレータは、TCPハンドラ2のモニタ及び入力装置(いずれも不図示)を介して、ICチップ33の形状及びリジェクト孔35の形状を画像処理装置29aに登録する(ステップS20)。ICチップ33に関する登録データは、TCP31の試験の必要性を判断するのに用いられ、リジェクト孔35に関する登録データは、リジェクトパンチ27bによる打ち抜きの必要性を判断するのに用いられる。
Next, the operator registers the shape of the
さらに、このステップS20では、オペレータは、キャリアテープ30におけるロット開始位置を示す形状と、ロット開始位置を示す形状の最初のフレームF1における位置と、を画像処理装置29aに登録する。このキャリアテープ30におけるロット開始位置を示す形状としては、リーダテープ40には存在しないが最初のフレームF1に存在するアライメント用マーク36や配線32、テストパッド34等の形状を例示することができる。これらのロット開始位置を示す形状及び位置は、オペレータがモニタ(不図示)上で、図5のW1やW2にように、ウィンドウを用いて指定する。これら登録作業が完了したら、オペレータは、TCPハンドラ2のスタートボタン(不図示)を押す(ステップS30)。
Further, in step S20, the operator registers the shape shown a lot starting position in the
TCPハンドラ2がスタートすると、サーボモータ266,267が駆動して、スプロケット264,265が回転し、リーダテープ40が供給リール21から巻取リール22に向かって搬送される。この間、画像処理装置29aは、第1のカメラ28aにより撮像された画像情報に対して1フレーム毎に画像処理を行って、当該画像情報中にロット開始位置を示す形状が存在するか否かを判断する(ステップS40)。なお、このステップS40にて、ロット開始位置を示す形状に代えて、或いは、それに加えて、第1のカメラ28aにより撮像された画像情報中にICチップ33やリジェクト孔35が存在するか否かを判断しても良い。
When the
画像情報中にロット開始位置を示す形状が存在すると判断された場合(ステップS40にてYES)には、キャリアテープ30の先端部分45が第1のカメラ28bよりも巻取リール22側に位置しているので、制御装置29bは、スプロケット用のサーボモータ266,267を制御して、キャリアテープ30を供給リール21側に巻き戻す(ステップS50)。
If it is determined that the shape indicating the lot start position exists in the image information (YES in step S40), the
このキャリアテープ30の巻き戻しの間、画像処理装置29aは、第1のカメラ28aにより撮像された画像情報に対して1フレーム毎に画像処理を行って、当該画像情報中にロット開始位置を示す形状があるか否かを判断する(ステップS60)。例えば、ロット開始位置を示す形状としてアライメント用マーク36を登録している場合には、画像情報中にアライメント用マーク36が存在している限りはロット開始位置に達していないと判断し、画像情報中からアライメント用マーク36が消えたらロット開始位置に達したと判断する。
During the rewinding of the
画像情報中からロット開始位置を示す形状が消えない限り、キャリアテープ30の巻き戻しを継続する(ステップS60にてYES)。これに対し、画像情報中からロット開始位置を示す形状がなくなったと判断したら(ステップS60にてNO)、キャリアテープ30を巻取リール22側に1フレームだけ搬送し(ステップS70)、TCPハンドラ2の段取作業を終了する。この状態で、キャリアテープ30の第1のフレームF1(ロット開始位置)が第1のカメラ28aの上方に位置している。
Unless the shape indicating the lot start position disappears from the image information, the rewinding of the
一方、ステップS40において、画像情報中にロット開始位置を示す形状が存在しないと判断された場合(ステップS40にてNO)には、未だ第1のカメラ28bの上方にリーダテープ40が位置しているので、制御装置29bは、スプロケット用のサーボモータ266,267を制御して、リーダテープ40を巻取リール22側に搬送する(ステップS80)。
On the other hand, when it is determined in step S40 that the shape indicating the lot start position does not exist in the image information (NO in step S40), the
このリーダテープ40の送り搬送の間、画像処理装置29aは、第1のカメラ28aにより撮像された画像情報に対して1フレーム毎に画像処理を行って、当該画像情報中にロット開始位置を示す形状があるか否かを判断する(ステップS90)。例えば、ロット開始位置を示す形状としてアライメント用マーク36を登録している場合には、画像情報中にアライメント用マーク36が存在しない限りはロット開始位置に達していないと判断し、画像情報中にアライメント用マーク36が現れたらロット開始位置に達したと判断する。
During the feeding and transporting of the
画像情報中にロット開始位置を示す形状が現れない限り、キャリアテープ30の送り搬送を継続する(ステップS90にてNO)。これに対し、画像情報中にロット開始位置を示す形状が現れたら(ステップS90にてYES)、TCPハンドラ2の段取作業を終了する。この状態で、キャリアテープ30の第1のフレームF1(ロット開始位置)が第1のカメラ28aの上方に位置している。
Unless the shape indicating the lot start position appears in the image information, the feeding and conveying of the
TCPハンドラ2の段取作業が終了すると、TCP31をテストするための通常のTCPハンドラ2の動作が開始される(ロットスタート)。すなわち、サーボモータ266,267が駆動して、スプロケット264,265が供給リール21から巻取リール22に向かってキャリアテープ30を順次搬送する。この搬送の間、画像処理装置29aは、第1のカメラ28aにより撮像された画像情報に対して1フレーム毎に画像処理を行って、ICチップ33の有無やリジェクト孔35の有無を確認する。画像情報中にICチップ33が確認された場合には、プッシャユニット26が、該当するICチップ33を有するTCP31をプローブカード12に押し付けて、当該TCP31の試験を実行する。また、画像情報中にリジェクト孔35が確認された場合には、プッシャユニット26は当該TCP31をプローブカード12に押し付けずに(すなわち、TCP31の試験を行わずに)、リジェクトパンチ27bが当該TCP31を打ち抜く。また、試験において不良と判断されたTCP31もリジェクトパンチ27bにより打ち抜かれる。
When the setup work of the
ロットをスタートすると、先ず、リジェクト孔35が形成されている1〜3番目のフレームF1〜F3の不良TCP31をリジェクトパンチ27bで打ち抜かなければならないが、本実施形態では、キャリアテープ30のロット開始位置を第1のカメラ28a上に自動的に位置させてからロットをスタートさせるので、フレームF1〜F3の不良TCP31をリジェクトパンチ27bで自動的に打ち抜くことができる。そのため、段取時間の短縮を図ると共に、不良TCPの流出を防止することができる。
When the lot is started, first, the
また、本実施形態では、アライメント用マーク36や配線32、テストパッド34等の、TCP31におけるICチップ33以外の形状に基づいて、キャリアテープ30におけるロット開始位置を検出するので、キャリアテープ30の先端部分に位置する3個のICチップ33にリジェクト孔35が形成されていても、キャリアテープ30におけるロット開始位置を検出して、自動的にロットをスタートさせることができる。
In this embodiment, since the lot start position in the
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
例えば、上述の実施形態では、キャリアテープ30において、連結部分45から数個の不良のTCP31に予めリジェクト孔35が形成されている場合について説明したが、本発明においては特に限定されず、連結部分45から数個の不良のTCP31にリジェクト孔35が形成されていなくても、先頭部分の不良個数を制御装置29bに予め登録しておくことで、プッシャユニット26で押付を行わずにリジェクトパンチ27bで自動的に打ち抜き処理を行っても良い。
For example, in the above-described embodiment, the case where the
1…TCP試験装置
10…テストヘッド
2…TCPハンドラ
21,22…リール
26…プッシャユニット
261…プッシャ本体
262…サーボモータ
263…プッシャステージ
264,265…スプロケット
266,267…サーボモータ
28a〜28c…カメラ
29a…画像処理装置
29b…制御装置
30…キャリアテープ
Fn…フレーム
31…TCP
32…配線
33…ICチップ
34…テストパッド
35…リジェクト孔
36…アライメント用マーク
40…リーダテープ
45…連結部分
DESCRIPTION OF
32 ...
Claims (16)
前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第1の検出手段と、
前記キャリアテープの先端部に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の動作を制御する制御手段と、
前記キャリアテープに形成された貫通孔を検出する第2の検出手段と、
前記キャリアテープ上において所定のTCPを打ち抜く打抜手段と、を備え、
前記制御手段は、前記第1の検出手段の検出結果に基づいて、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向、又は、前記所定搬送方向とは反対方向に搬送するように、前記搬送手段を制御し、
前記制御手段に、前記キャリアテープにおいて不良とみなすTCPの前記ロット開始位置からの所定個数を前記制御手段に設定可能となっており、
前記打抜手段は、前記第2の検出手段の検出結果に関わらず、前記所定個数のTCPを打ち抜くTCP試験装置。 Transporting a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and bringing the input / output terminals of the TCP into contact with the contact terminals of the contact part A TCP test apparatus for sequentially testing a plurality of TCPs according to
First detecting means for detecting a lot start position on the carrier tape;
A leader tape connected to the tip of the carrier tape and a conveying means for conveying the carrier tape;
Control means for controlling the operation of the conveying means;
Second detection means for detecting a through hole formed in the carrier tape;
Punching means for punching a predetermined TCP on the carrier tape ,
The control means causes the transport means to transport the leader tape and the carrier tape in a predetermined transport direction or in a direction opposite to the predetermined transport direction based on the detection result of the first detection means. And controlling the conveying means ,
In the control means, a predetermined number from the lot start position of TCP regarded as defective in the carrier tape can be set in the control means,
The TCP testing apparatus , wherein the punching unit punches the predetermined number of TCPs regardless of the detection result of the second detection unit .
前記キャリアテープにおける前記ロット開始位置は、前記キャリアテープにおける前記所定搬送方向の最初の前記フレームである請求項1〜3の何れかに記載のTCP試験装置。 The carrier tape includes a plurality of frames each assigned with at least one TCP,
The TCP test apparatus according to claim 1, wherein the lot start position on the carrier tape is the first frame in the predetermined transport direction on the carrier tape.
前記リーダテープ及び前記キャリアテープを撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像情報に対して所定の画像処理を行うことで前記パターン形状を検出する画像処理手段と、を有する請求項5又は6記載のTCP試験装置。 The first detection means includes
Imaging means capable of imaging the leader tape and the carrier tape;
The TCP test apparatus according to claim 5, further comprising: an image processing unit that detects the pattern shape by performing predetermined image processing on image information captured by the imaging unit.
前記キャリアテープ上のTCPを前記コンタクト部に押圧する押圧手段と、をさらに備えており、
前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出した後に、又は、
前記第1の検出手段が前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送手段が前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、
前記第3の検出手段が前記ICチップを検出した場合に、前記押圧手段が当該TCPを押圧し、
前記第2の検出手段が前記貫通孔を検出した場合、又は、TCPが不良であった場合に、前記打抜手段が当該TCPを打ち抜く請求項8又は10記載のTCP試験装置。
Third detection means for detecting the IC chip on the carrier tape;
Pressing means for pressing the TCP on the carrier tape against the contact part,
After the transport means transports the leader tape and the carrier tape along the predetermined transport direction, and after the first detection means detects the lot start position, or
After the first detection means no longer detects the lot start position and the transport means starts transporting the leader tape and the carrier tape in the predetermined transport direction,
When the third detecting means detects the IC chip, the pressing means presses the TCP,
The TCP test apparatus according to claim 8 or 10, wherein the punching means punches out the TCP when the second detection means detects the through-hole or when the TCP is defective.
前記キャリアテープにおけるロット開始位置を検出する第1の検出ステップと、
前記第1の検出ステップにおける検出結果に基づいて、前記キャリアテープの先端に連結されたリーダテープ及び前記キャリアテープを、所定の搬送方向又は前記所定搬送方向とは反対方向に搬送する搬送ステップと、
前記キャリアテープにおける貫通孔の有無に関わらず、前記キャリアテープ上の前記ロット開始位置から所定個数のTCPを打ち抜く初期打抜ステップと、を備えたTCP試験装置の段取方法。
Transporting a carrier tape on which a plurality of TCPs are formed, pressing the carrier tape against a contact part electrically connected to a test head, and bringing the input / output terminals of the TCP into contact with the contact terminals of the contact part In a TCP test apparatus that sequentially tests a plurality of TCPs according to the above, a setup method for setting up the TCP test apparatus when the carrier tape is replaced,
A first detection step of detecting a lot start position on the carrier tape;
A transport step for transporting the leader tape and the carrier tape connected to the tip of the carrier tape in a predetermined transport direction or in a direction opposite to the predetermined transport direction based on the detection result in the first detection step;
An initial punching step of punching out a predetermined number of TCPs from the lot start position on the carrier tape regardless of the presence or absence of through holes in the carrier tape .
前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープを前記所定搬送方向に沿って搬送し、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置を検出した後に、又は、前記第1の検出ステップで前記ロット開始位置を検出しなくなり、前記搬送ステップで前記リーダテープ及び前記キャリアテープの前記所定搬送方向への搬送を開始した後に、前記キャリアテープ上に前記貫通孔を検出し又はTCPが不良であった場合に、当該TCPを打ち抜く打抜ステップと、をさらに備えた請求項13又は15記載のTCP試験装置の段取方法。 The leader tape and the carrier tape are transported along the predetermined transport direction in the transport step, and the lot start position is detected in the first detection step or after the lot start position is detected in the first detection step. If the IC chip is detected on the carrier tape after the position is not detected and the transport step starts the transport of the leader tape and the carrier tape in the predetermined transport direction, the TCP on the carrier tape is detected. Pressing step to the contact part;
The leader tape and the carrier tape are transported along the predetermined transport direction in the transport step, and the lot start position is detected in the first detection step or after the lot start position is detected in the first detection step. When the position is not detected and the through-hole is detected on the carrier tape or the TCP is defective after the transport step starts transporting the leader tape and the carrier tape in the predetermined transport direction. The setup method of the TCP test apparatus of Claim 13 or 15 further provided with the punching step which punches out the said TCP.
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