JP4836985B2 - 物理量検出回路 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施形態1による物理量センサ装置の構成を示す。物理量センサ装置は、物理量センサ10と、駆動回路11と、物理量検出回路12とを備える。
図2のように、物理量センサ10は、音叉本体10aと、駆動用圧電素子Pdrvと、振動検出用圧電素子Poscと、角速度検出用圧電素子PDa,PDbとを有する。音叉本体10aは、それぞれが中央部で直角にねじられた一対の音叉片(駆動用・検出用)と、音叉片の各々の一端を連結する連結部と、回転軸となるように連結部に設けられた支持ピンとを有する。駆動用圧電素子Pdrvは、駆動回路11からの駆動信号Sdrvの周波数および振幅に応じて駆動用の音叉片を振動させる。これにより、駆動用の音叉片と検出用の音叉片とが互いに共振する。この音叉振動によって、振動検出用圧電素子Poscには、電荷が発生する(すなわち、振動信号Soscが発生する)。また、回転角速度が発生すると、角速度検出用圧電素子PDa,PDbには、回転角速度(コリオリ力)に応じた電荷が発生する(すなわち、センサ信号S10が発生する)。
駆動回路11では、モニタアンプ11aは、物理量センサ10からの振動信号Soscを電圧に変換し、自動利得制御増幅器(AGC)11bは、駆動アンプ11cに供給される電圧が一定値になるように、自己の増幅利得を変化させる。駆動アンプ11cは、自動利得制御増幅器11bの出力に応じて駆動信号Sdrvの周波数および振幅を制御する。このように、振動信号Soscに応じて駆動信号Sdrvが調整されることにより、物理量センサ10の最大振動振幅および振動周波数が一定に保たれる。
図1に戻って、物理量検出回路12は、波形整形回路101と、逓倍回路102と、分周回路102aと、サンプリング位相調整回路100と、分周回路102bと、入力アンプ103と、アナログ/デジタル変換器(A/D)104と、デシメーションフィルタ105と、検波信号生成器106と、乗算器107と、デジタルフィルタ108とを含む。
図4Aのように、検波信号生成器106は、リングカウンタ111と、データ格納部112と、データ読出部113とを含む。リングカウンタ111,データ読出部113は、動作クロックCKbに同期して動作する。リングカウンタ111は、基準クロックCKrefの遷移エッジに応答してカウント値CNTのインクリメントを開始し、カウント値CNTが所定の最大値に到達するとカウント値CNTを“0”にリセットする。データ格納部112は、デジタル検波信号Ddetの元となる複数の正弦波データDATAを格納する。データ読出部113は、予め設定されたカウント値CNTと正弦波データDATAとの対応関係(図4B)に基づいて、リングカウンタ111のカウント値CNTに対応する正弦波データDATAを読み出して出力する。このようにして、正弦波データD0,D1,D2,・・・,D15を順番に出力するによって、正弦波信号に対応するデジタル検波信号Ddetが生成される。
次に、図5を参照しつつ、図1に示した物理量検出回路12による動作について説明する。なお、ここでは、動作クロックCKxの周期を“t”とし、アナログセンサ信号Ssncの位相は基準クロックCKrefの位相よりも“t”だけ進んでいるものとする。また、デシメーションフィルタ105は、デジタルセンサ信号Dsncを動作クロックCKbの周波数(動作クロックCKaの周波数の1/2)に対応させるために、デジタルセンサ信号Dsncからデジタル値を1つおきに間引くものとする。
また、図6のように、検波信号生成器106およびデジタルフィルタ108は、アナログ/デジタル変換器104に供給されるサンプリングクロックCKspに同期して動作しても良い。図6に示した物理量検出回路12aでは、図1に示した分周回路102b,デシメーションフィルタ105が省略されている。
図8は、この発明の実施形態2による物理量センサ装置の構成を示す。この物理量センサ装置は、図1に示した物理量検出回路12に代えて、物理量検出回路22を備える。物理量検出回路22は、図1に示したサンプリング位相調整回路100に代えて、サンプリング位相調整回路200を含む。その他の構成は図1と同様である。
次に、図9を参照しつつ、図8に示したサンプリング位相調整回路200による処理について説明する。なお、ここでは、動作クロックCKxの周波数を1/4に分周するために、分周回路202を2ビットカウンタによって構成し、その2ビットカウンタの2出力のうちMSB(Most Significant Bit)に対応する出力をサンプリングクロックCKspとして供給するものとする。
図10は、この発明の実施形態3による物理量センサ装置の構成を示す。この物理量センサ装置は、図1に示した物理量検出回路12に代えて、物理量検出回路32を備える。物理量検出回路32は、図1に示した構成に加えて、デジタルセンサ信号Dsncの位相を調整する位相調整回路300と、デジタル検波信号Ddetの位相を調整する位相調整回路400とを含む。その他の構成は、図1と同様である。
次に、図13を参照しつつ、図10に示した物理量検出回路32による動作について説明する。なお、ここでは、逓倍クロックCKxの周期を“t”とし、アナログセンサ信号Ssncの位相は、基準クロックCKrefの位相よりも“11t”だけ遅れているものとする。また、動作クロックCKa(サンプリングクロックCKsp)の周波数,動作クロックCKbの周波数は、それぞれ、逓倍クロックCKxの周波数の“1/4”,“1/8”であるものとする。
また、図14Aのように、リングカウンタ111が基準クロックCKrefの遷移エッジに応答してカウント値CNTのインクリメントを開始するように構成しても良い。この場合、データ読出部113におけるカウント値CNTと正弦波データDATAとの対応関係は、外部制御CTRLによって設定可能である。データ読出部113は、選択クロックSSSの遷移エッジに応答して、カウント値CNTに対応する正弦波データDATAの読み出しを開始する。例えば、位相調整回路300の設定値SETが“3”に設定されると、カウント値CNTと正弦波データDATAとの対応関係は、図14Bのように設定される。このように設定することにより、検波信号生成器106は、選択クロックSSSの遷移エッジに応答して正弦波データD0,D1,D2,・・・を順番に出力することができる。
また、図15に示した物理量検出回路32aのように、図10に示したサンプリング位相調整回路100を図8に示したサンプリング位相調整回路200に置き換えた場合も、図10の場合と同様の効果を得ることができる。
なお、以上の各実施形態における物理量センサ10は、音叉型に限らず、円柱型,正三角柱型,正四角柱型,リング型や、その他の形状であっても良い。また、図16のように、物理量センサ10は、静電容量式加速度センサであっても良い。物理量センサ10は、固定部10bと、可動部10cと、可動電極Pma,Pmbと、検出電極Pfa,Pfbと、差動増幅器10dとを有する。可動部10cは、加速度に応じて変位するように固定部10bに連結される。可動電極Pma,Pmbは、可動部10cに配置される。検出電極Pfa,Pfbは、それぞれ、可動電極Pma,Pmbに対向するように、固定部10bに配置される。すなわち、可動電極Pma,検出電極Pfaによって容量素子Caが構成され、可動電極Pmb,検出電極Pfbによって容量素子Cbが構成される。また、容量素子Ca,Cbには、それぞれ、発振回路11dからの駆動信号Sdrvが供給される。差動増幅器10dは、検出電極Pfa,Pfbのそれぞれに発生する電荷量の差に対応するセンサ信号S10を出力する。加速度が発生すると、可動部10cの変位に起因して容量素子Caの静電容量および容量素子Cbの静電容量のうち一方が増加し他方が減少する。これにより、検出電極Pfa,Pfbのそれぞれにおける電荷量に差が生じ、この差に対応するセンサ信号S10が出力される。
11 駆動回路
12,12a,22,22a,32,32a 物理量検出回路
101 波形整形回路
102 逓倍回路
102a,102b,202 分周回路
103 入力アンプ
104 アナログ/デジタル変換器
105 デシメーションフィルタ
106 検波信号生成器
107 乗算器
108 デジタルフィルタ
100,200 サンプリング位相調整回路
300,400 位相調整回路
100R,300R,400R シフトレジスタ
100S,300S,400S セレクタ
201 サンプリング位相調整カウンタ
401 位相調整カウンタ
111 リングカウンタ
112 データ格納部
113 データ読出部
Claims (12)
- 外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号を出力する物理量センサに用いられる物理量検出回路であって、
所定のサンプリング周波数を有するサンプリングクロックの位相を調整するサンプリング位相調整回路と、
前記サンプリング位相調整回路によって位相調整されたサンプリングクロックに同期して前記センサ信号をデジタルセンサ信号に変換するアナログ/デジタル変換回路と、
前記アナログ/デジタル変換回路によって得られたデジタルセンサ信号に基づいて前記物理量を検出する検出回路とを備え、
前記検出回路は、
前記センサ信号の周波数に対応する周波数を有する基準クロックの遷移に応答して正弦波信号に対応するデジタル検波信号を生成する検波信号生成回路と、
前記アナログ/デジタル変換回路によって得られたデジタルセンサ信号に前記検波信号生成回路によって生成されたデジタル検波信号を乗算することによって前記物理量に対応する物理量信号を検波する乗算回路とを含む
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項1において、
前記サンプリング位相調整回路は、前記サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックに同期して動作し、前記サンプリングクロックを前記逓倍クロックの所定のパルス数だけ遅延させる
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項2において、
前記サンプリング位相調整回路は、
前記逓倍クロックに同期して前記サンプリングクロックを順次シフトさせることにより複数の遅延クロックを生成するシフトレジスタと、
前記シフトレジスタによって生成された複数の遅延クロックのいずれか1つを選択するセレクタとを含み、
前記アナログ/デジタル変換回路は、前記セレクタによって選択された遅延クロックに同期してアナログ/デジタル変換を行う
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項2において、
前記サンプリング位相調整回路は、
前記逓倍クロックの発生パルス数を計数し、発生パルス数が所定値に到達するとタイミング信号を生成するサンプリング位相調整カウンタと、
前記サンプリング位相調整カウンタからのタイミング信号の遷移エッジに応答して前記サンプリングクロックを生成するクロック生成回路とを含む
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項4において、
前記クロック生成回路は、前記サンプリング位相調整カウンタからのタイミング信号の遷移エッジに応答して前記逓倍クロックを分周することによって前記サンプリングクロックを生成する分周回路である
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項1において、
前記デジタル検波信号の位相を調整する第1の位相調整回路をさらに備える
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項6において、
前記第1の位相調整回路は、前記基準クロックが供給されるとともに前記基準クロックの周波数よりも高い周波数を有する第1の動作クロックに同期して動作し、前記基準クロックの遷移エッジを前記第1の動作クロックの所定のパルス数だけ遅延させ、
前記検波信号生成回路は、前記第1の位相調整回路によって遅延された基準クロックの遷移エッジに応答して前記デジタル検波信号を生成する
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号を出力する物理量センサに用いられる物理量検出回路であって、
所定のサンプリング周波数を有するサンプリングクロックの位相を調整するサンプリング位相調整回路と、
前記サンプリング位相調整回路によって位相調整されたサンプリングクロックに同期して前記センサ信号をデジタルセンサ信号に変換するアナログ/デジタル変換回路と、
前記デジタルセンサ信号の位相を調整するセンサ位相調整回路と、
前記センサ位相調整回路によって位相調整されたデジタルセンサ信号に基づいて前記物理量を検出する検出回路とを備え、
前記センサ位相調整回路は、前記アナログ/デジタル変換回路によって得られたデジタルセンサ信号が供給されるとともに前記センサ信号の周波数よりも高い周波数を有する動作クロックに同期して動作し、前記デジタルセンサ信号を前記動作クロックの所定のパルス数だけ遅延させる
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号を出力する物理量センサに用いられる物理量検出回路であって、
所定のサンプリング周波数を有するサンプリングクロックの位相を調整するサンプリング位相調整回路と、
前記サンプリング位相調整回路によって位相調整されたサンプリングクロックに同期して前記センサ信号をデジタルセンサ信号に変換するアナログ/デジタル変換回路と、
前記デジタルセンサ信号の位相を調整するセンサ位相調整回路と、
前記センサ位相調整回路によって位相調整されたデジタルセンサ信号に基づいて前記物理量を検出する検出回路とを備え、
前記サンプリング位相調整回路は、前記サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックに同期して動作し、前記サンプリングクロックを前記逓倍クロックの所定のパルス数だけ遅延させる
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項9において、
前記サンプリング位相調整回路は、
前記逓倍クロックに同期して前記サンプリングクロックを順次シフトさせることにより複数の遅延クロックを生成するシフトレジスタと、
前記シフトレジスタによって生成された複数の遅延クロックのいずれか1つを選択するセレクタとを含み、
前記アナログ/デジタル変換回路は、前記セレクタによって選択された遅延クロックに同期してアナログ/デジタル変換を行う
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項9において、
前記サンプリング位相調整回路は、
前記逓倍クロックの発生パルス数を計数し、発生パルス数が所定値に到達するとタイミング信号を生成するサンプリング位相調整カウンタと、
前記サンプリング位相調整カウンタからのタイミング信号の遷移エッジに応答して前記サンプリングクロックを生成するクロック生成回路とを含む
ことを特徴とする物理量検出回路。 - 請求項11において、
前記クロック生成回路は、前記サンプリング位相調整カウンタからのタイミング信号の遷移エッジに応答して前記逓倍クロックを分周することによって前記サンプリングクロックを生成する分周回路である
ことを特徴とする物理量検出回路。
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