JP4824588B2 - 基板アライメント装置 - Google Patents
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Description
11 基準ピン
11d 突出部
12 可動ピン
12d 突出部
13 ベースプレート
14A,14B ガイド部材
15 支持面
17 昇降板
18 駆動シリンダ
19 係合部
20 弾性部材
Claims (6)
- 基板を支持する支持面と、
前記支持面に設けられた位置決め用の基準ピンと、
前記支持面に設けられ前記基準ピンと協働して前記支持面上で前記基板をアライメントする可動ピンと、
前記基準ピン及び前記可動ピンを昇降自在に支持するベースプレートと、
前記ベースプレートに対して前記基準ピン及び前記可動ピンを同時に昇降させる昇降機構と、
前記ベースプレートに対して前記可動ピンが所定以上上昇したときに前記可動ピンを前記基準ピンに向けて傾動させる傾動機構と、を備え、
前記昇降機構は、前記基準ピンと前記可動ピンを、それらの下端部に接触して前記支持面よりも突出する高さにリフトする昇降板を含んでなり、
前記傾動機構は、前記ベースプレートに設けられた係合部と、前記可動ピンの周囲に設けられその径方向に突出する突出部とを有し、前記係合部と前記突出部との係合作用によって前記可動ピンを前記昇降板上で傾動させる
ことを特徴とする基板アライメント装置。 - 前記係合部は、弾性材料からなる
ことを特徴とする請求項1に記載の基板アライメント装置。 - 前記可動ピンは、前記ベースプレートに対して直交する方向に摺動自在な筒状のガイド部材に収容されており、
前記ガイド部材の上端部は前記支持面を形成するとともに、その下端部は前記昇降板の上に支持されている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板アライメント装置。 - 前記基準ピンは、前記ベースプレートに対して直交する方向に摺動自在な筒状のガイド部材に収容されており、
前記ガイド部材の上端部は前記支持面を形成するとともに、その下端部は、前記昇降板の上に支持されている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板アライメント装置。 - 前記基準ピンの周囲にはその径方向に突出する突出部が設けられているとともに、前記突出部の上面と前記ベースプレートの下面との間で弾性変形可能な弾性部材を有している
ことを特徴とする請求項4に記載の基板アライメント装置。 - 前記ベースプレートは、加熱源を内蔵したヒーターである
ことを特徴とする請求項1に記載の基板アライメント装置。
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