JP4820829B2 - 方向性結合器及びそれを用いたプラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る方向性結合器が組み込まれたプラズマ発生装置の全体構成を示す一部透視側面図である。本実施の形態に係るプラズマ発生装置PUは、プラズマを発生して被処理物となるワーク等にプラズマを照射する装置であり、マイクロ波を利用し、常温常圧でのプラズマ発生が可能である。本実施の形態に係るプラズマ発生装置PUは、図1に示すように、第1、第2、第3の導波管11、12、13と、マイクロ波発生装置20と、プラズマ発生部30と、スライディングショート40と、サーキュレータ50と、ダミーロード60と、スタブチューナ70と、方向性結合器10と、検出器86と、を備えている。
(1)第3の行路の行路長L3と第4の行路の行路長L1+L2との行路長差は(2n−1)λ/2(nは整数)である、すなわち、第3の行路、第4の行路上の各々を伝送される反射マイクロ波は逆相である。
(2)第3の行路、第4の行路上の各々を伝送される反射マイクロ波の振幅は等しい。
(3)第1の行路の行路長L2と第2の行路の行路長L1+L3との行路長差は(2n−1)λ/2(nは整数)ではない。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図6は、本実施の形態に係る方向性結合器用導波管80の結合長穴84A、84Bを上から見た図である。上記の実施の形態1では、探針83A、83Bが結合長穴84A、84Bに誘導されて方向性結合器用導波管80の幅方向に移動可能であったが、本実施の形態ではさらに、探針83A、84Bが結合長穴84A、84Bに誘導されて時計方向にも移動可能となっている。以下、この点について説明する。その他の部分については実施の形態1と同様であるので、説明は省略する。
11 第1の導波管
11U、12U 上面板
12 第2の導波管
13 第3の導波管
13B 下面板
20 マイクロ波発生装置
21 装置本体部
22 マイクロ波送信アンテナ
30 プラズマ発生部
31 プラズマ発生ノズル
32 導電体
40 スライディングショート
42 反射ブロック
50 サーキュレータ
60 ダミーロード
70 スタブチューナ
70A、70B、70C スタブチューナユニット
71 スタブ
80 方向性結合器用導波管
81 方向性結合回路基板
82、82A、82B、83C マイクロストリップライン
83A、83B 探針
84A、84B 結合長穴
85A、85B 減衰器
86 検出器
87 グランドライン
110、120、130 導波空間
111 貫通孔
Claims (4)
- 方向性結合回路基板と、
マイクロ波が伝搬する導波管と
を備え、
前記方向性結合回路基板は、基板部と、前記基板部上に配置され、各々の一端同士が接続された第1及び第2の伝送経路と、前記第1及び第2の伝送経路の各々の他端と一対一に対応して接続されており、マイクロ波が伝搬する方向である導波管の長手方向に沿って所定の距離だけ離間して前記導波管内に突出する第1及び第2の探針とを有し、
前記導波管の長手方向における前記第1及び第2の探針間の所定の距離L1と前記第1の探針の突出長を含めた前記第1の伝送経路の経路長L2との和L1+L2と、前記第2の探針の突出長を含めた前記第2の伝送経路の経路長L3との差は、(2n−1)λ/2(n:整数、λ:マイクロ波の波長)に一致し、前記所定の距離L1と前記第2の伝送経路の経路長L3との和L1+L3と、前記第1の伝送経路の経路長L2との差は、(2n−1)λ/2に一致しないでおり、
前記導波管は、前記方向性結合回路基板の前記第1及び第2の探針の各々に一対一に対応し、前記第1及び第2の探針を前記導波管内に突出させる第1及び第2の結合長穴が形成された側面部を有し、
前記第1及び第2の結合長穴は前記導波管の幅方向に延在する直線形状を持っており、前記第1及び第2の探針が前記第1及び第2の結合長穴に誘導されて移動することにより、前記第1及び第2の探針が接する、前記導波管を伝搬するマイクロ波の電界強度が変化することを特徴とする方向性結合器。 - 前記方向性結合回路基板はさらに、前記第1及び第2の伝送経路上のうちの少なくとも一方に介在され、前記第1及び第2の伝送経路の接続点における前記第1及び第2の伝送経路上の各々を伝搬するマイクロ波の振幅が略一致するように設定された減衰量を持つ振幅減衰手段を有することを特徴とする請求項1に記載の方向性結合器。
- 方向性結合回路基板と、
マイクロ波が伝搬する導波管と
を備え、
前記方向性結合回路基板は、基板部と、前記基板部上に配置され、各々の一端同士が接続された第1及び第2の伝送経路と、前記第1及び第2の伝送経路の各々の他端と一対一に対応して接続されており、マイクロ波が伝搬する方向である導波管の長手方向に沿って所定の距離だけ離間して前記導波管内に突出する第1及び第2の探針とを有し、
前記導波管の長手方向における前記第1及び第2の探針間の所定の距離L1と前記第1の探針の突出長を含めた前記第1の伝送経路の経路長L2との和L1+L2と、前記第2の探針の突出長を含めた前記第2の伝送経路の経路長L3との差は、(2n−1)λ/2(n:整数、λ:マイクロ波の波長)に一致し、前記所定の距離L1と前記第2の伝送経路の経路長L3との和L1+L3と、前記第1の伝送経路の経路長L2との差は、(2n−1)λ/2に一致しないでおり、
前記導波管は、前記方向性結合回路基板の前記第1及び第2の探針の各々に一対一に対応し、前記第1及び第2の探針を前記導波管内に突出させる第1及び第2の結合長穴が形成された側面部を有し、
前記第1及び第2の結合長穴は、前記導波管の幅方向に延在する直線形状と前記第1及び第2の探針間を結ぶ線分上の中点を中心とする円弧形状とを含む形状を持っており、前記第1及び第2の探針が前記第1及び第2の結合長穴に誘導されて移動することにより、前記第1及び第2の探針が接する、前記導波管を伝搬するマイクロ波の電界強度が互いに異なるように変化することを特徴とする方向性結合器。 - マイクロ波を発生させるマイクロ波発生手段と、
前記マイクロ波発生手段が発生させる前記マイクロ波を受信し、当該マイクロ波のエネルギーを用いてプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記マイクロ波発生手段と前記プラズマ発生手段との間に配置された前記導波管を伝搬するマイクロ波の一部の電力を取り出す、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方向性結合器と、
前記方向性結合器により取り出された電力を検出し、当該検出結果を前記マイクロ波発生手段に出力する検出器と
を備え、
前記マイクロ波発生手段は、前記検出器から出力された前記検出結果に基づき、自身が発生させるマイクロ波の出力を制御することを特徴とするプラズマ発生装置。
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JP2008005455A JP4820829B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 方向性結合器及びそれを用いたプラズマ発生装置 |
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JP2008005455A JP4820829B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 方向性結合器及びそれを用いたプラズマ発生装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009171095A JP2009171095A (ja) | 2009-07-30 |
JP4820829B2 true JP4820829B2 (ja) | 2011-11-24 |
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- 2008-01-15 JP JP2008005455A patent/JP4820829B2/ja not_active Expired - Fee Related
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