JP4815623B2 - 高周波受動素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る高周波受動素子の外観を示す斜視図である。
次に、本発明の第1の実施の形態に係る高周波受動素子の製造方法について説明する。
入力部36に高周波信号が入力されると、高周波信号は、巻き線導体2および巻き線導体4を通って出力部37から出力される。
本実施の形態は、第1巻き線導体2および第2巻き線導体4を電気的に分離した高周波受動素子に関する。以下で説明する内容以外は第1の実施の形態に係る高周波受動素子と同様である。
本実施の形態は、第2の実施の形態に係る高周波受動素子と比べて巻き線導体を追加した高周波受動素子に関する。以下で説明する内容以外は第2の実施の形態に係る高周波受動素子と同様である。
本実施の形態は、第1の実施の形態に係る高周波受動素子と比べてさらに低損失化を図った高周波受動素子に関する。以下で説明する内容以外は第1の実施の形態に係る高周波受動素子と同様である。
Claims (14)
- 第1の凹部が主表面に形成された基板と、
前記第1の凹部の底面に形成され、かつ上面が前記基板の前記主表面と略平行になるように形成された第1巻き線導体と、
前記第1巻き線導体および前記基板の前記主表面上に平坦に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された第2巻き線導体とを備える高周波受動素子。 - 前記第1の凹部の底面において、前記第1巻き線導体の線導体間に第2の凹部が形成された請求項1記載の高周波受動素子。
- 前記第1巻き線導体および前記第2巻き線導体は、前記基板の厚み方向において完全に重なる線導体を含む請求項1記載の高周波受動素子。
- 前記高周波受動素子は、さらに、
前記絶縁膜を貫通することにより前記第1巻き線導体と前記第2巻き線導体とを電気的に接続する接続部を備え、
前記第1巻き線導体および前記第2巻き線導体は、前記基板の厚み方向において重なる線導体を含み、かつ前記重なった線導体における電流の向きが同じになるように形成された請求項1記載の高周波受動素子。 - 前記第1巻き線導体および前記第2巻き線導体は、電気的に絶縁され、前記基板の厚み方向において重なる線導体を含み、かつ前記重なった線導体における電流の向きが逆になるように形成された請求項1記載の高周波受動素子。
- 前記高周波受動素子は、さらに、
前記絶縁膜上かつ前記第2巻き線導体の線導体間において前記第2巻き線導体から離間して形成された第3巻き線導体を備える請求項1記載の高周波受動素子。 - 前記基板においては、さらに、前記第1巻き線導体の下部の領域を含む空気層が形成された請求項1記載の高周波受動素子。
- 基板の主表面に第1の凹部を形成するステップと、
前記第1の凹部の底面に、上面が前記基板の前記主表面と略平行である第1巻き線導体を形成するステップと、
前記第1巻き線導体および前記基板の前記主表面上に平坦な絶縁膜を形成するステップと、
前記絶縁膜上に第2巻き線導体を形成するステップとを含む高周波受動素子の製造方法。 - 前記高周波受動素子の製造方法は、さらに、
前記第1の凹部の底面において、前記第1巻き線導体の線導体間に第2の凹部を形成するステップを含む請求項8記載の高周波受動素子の製造方法。 - 前記第2巻き線導体を形成するステップにおいては、
前記基板の厚み方向において前記第1巻き線導体が含む線導体と完全に重なる線導体を含む第2巻き線導体を形成する請求項8記載の高周波受動素子の製造方法。 - 前記高周波受動素子の製造方法は、さらに、
前記絶縁膜を貫通することにより前記第1巻き線導体と前記第2巻き線導体とを電気的に接続する接続部を形成するステップを含み、
前記第2巻き線導体を形成するステップにおいては、
前記基板の厚み方向において前記第1巻き線導体が含む線導体と重なる線導体を含み、かつ前記重なった線導体における電流の向きが前記第1巻き線導体の含む線導体と同じである第2巻き線導体を形成する請求項8記載の高周波受動素子の製造方法。 - 前記高周波受動素子の製造方法は、さらに、
前記第1巻き線導体と電気的に絶縁され、前記基板の厚み方向において前記第1巻き線導体が含む線導体と重なる線導体を含み、かつ前記重なった線導体における電流の向きが前記第1巻き線導体の含む線導体と逆である第2巻き線導体を形成する請求項8記載の高周波受動素子の製造方法。 - 前記高周波受動素子の製造方法は、さらに、
前記絶縁膜上かつ前記第2巻き線導体の線導体間において前記第2巻き線導体から離間した第3巻き線導体を形成するステップを含む請求項8記載の高周波受動素子の製造方法。 - 前記高周波受動素子の製造方法は、さらに、
前記基板において、前記第1巻き線導体の下部の領域を含む空気層を形成するステップを含む請求項8記載の高周波受動素子の製造方法。
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