JP4804876B2 - 貫通孔形成粘着シートおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態で使用するレーザ穴開け加工装置の概略側面図であり、図2は、同レーザ穴開け加工装置におけるガルバノユニットの設置位置を示す平面図であり、図3は、同レーザ穴開け加工装置の概略正面図であり、図4は、本発明の一実施形態に係る貫通孔形成粘着シートにおける貫通孔の配列例であり、図5は、同貫通孔形成粘着シートの断面図である。
ロールR1から繰り出された粘着シート1Pは、分離ロールR3にて剥離材13が剥離され、二層シート1P’となる。二層シート1P’は、粘着剤層12を上側、基材11を下側にして、レーザ光照射装置3の設置位置に向かって所定の速度で搬送される。
1P’…二層シート
1’…貫通孔形成二層シート
1…貫通孔形成粘着シート
11…基材
12…粘着剤層
13…剥離材
2…貫通孔
20…貫通孔群
21…貫通孔のくさび状の配列(くさび)
22…貫通孔の配列
3…レーザ光照射装置
31…レーザ発振器
32a,32b,32c…ハーフミラー
33…ガルバノユニット
34…fθレンズ
35…ロール状の支持体
36…吸引搬送装置(サクションベルト)
Claims (10)
- レーザ光を所定の範囲にて所定の間隔で走査する走査装置を備えたレーザ加工装置を使用し、少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して、前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法であって、
前記粘着シートと前記走査装置とを相対的に移動させながら、前記移動方向と直交する方向に前記走査装置によってレーザ光を往復走査し、前記貫通孔の配列を連続的なくさび状にすることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法。 - 前記貫通孔のくさび状の配列におけるくさびの対称線に対する、前記貫通孔の配列の角度をθとしたときに、0<tanθ≦1となるようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項1に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
- 前記走査装置は複数設けられており、前記複数の走査装置によって並列する複数の貫通孔群を形成するとともに、隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が、他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に、貫通孔同士が重ならずに入り込むようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
- 隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に入り込む幅の、前記他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の幅に対する比をPとしたときに、0<P≦0.7となるようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項3に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
- 前記貫通孔の孔密度が30〜50,000個/100cm2となるようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
- 基材と粘着剤層とを備え、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔が複数形成されている貫通孔形成粘着シートであって、
前記複数の貫通孔は、平面視において連続的なくさび状に配列されていることを特徴とする貫通孔形成粘着シート。 - 前記貫通孔のくさび状の配列におけるくさびの対称線に対する、前記貫通孔の配列の角度をθとしたときに、0<tanθ≦1となっていることを特徴とする請求項6に記載の貫通孔形成粘着シート。
- 前記連続的なくさび状に配列されている貫通孔群は、複数並列して粘着シートに形成されており、
隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側は、他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に、貫通孔同士が重ならずに入り込んでいることを特徴とする請求項6または7に記載の貫通孔形成粘着シート。 - 隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に入り込む幅の、前記他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の幅に対する比をPとしたときに、0<P≦0.7となっていることを特徴とする請求項8に記載の貫通孔形成粘着シート。
- 前記貫通孔の孔密度が30〜50,000個/100cm2であることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載の貫通孔形成粘着シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005315720A JP4804876B2 (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 貫通孔形成粘着シートおよびその製造方法 |
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JP2005315720A JP4804876B2 (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 貫通孔形成粘着シートおよびその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007119655A JP2007119655A (ja) | 2007-05-17 |
JP4804876B2 true JP4804876B2 (ja) | 2011-11-02 |
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ID=38143830
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005315720A Active JP4804876B2 (ja) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | 貫通孔形成粘着シートおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4804876B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102110016B1 (ko) * | 2017-09-26 | 2020-05-12 | 주식회사 포스코아이씨티 | 산세공정용 레이저 시스템 및 이를 이용한 산세공정 수행 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2003280606A1 (en) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Lintec Corporation | Pressure sensitive adhesive sheet and method of manufacturing the adhesive sheet |
JP2005075966A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Lintec Corp | 粘着シートの製造方法および粘着シート |
JP4540962B2 (ja) * | 2003-10-10 | 2010-09-08 | リンテック株式会社 | 粘着シートおよびその製造方法 |
JP4748941B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2011-08-17 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
EP1719807A4 (en) * | 2004-02-27 | 2009-03-11 | Lintec Corp | PRESSURE-SENSITIVE ADHESIVE SHEET |
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2005
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007119655A (ja) | 2007-05-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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