JP4790087B2 - 電子部品の温度制御装置 - Google Patents
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Description
前記第1流体と前記第2流体とを混合するステップは、前記第1流体に対応する第1導入部を介して前記第1流体を導入するとともに、前記第2流体に対応する第2導入部を介して前記第2流体を導入するステップと、前記第1流体に対応する第1導出部と前記第2流体に対応する第2導出部を介して前記決定された割合で前記混合流体を導出するステップと、を含んでもよい。
また、前記第1温度は前記目標温度より低く、前記第2温度は前記目標温度より高くてもよい。
これに加えて、前記第1温度は、前記目標温度に対して0〜−140℃の範囲内、前記第2温度は前記目標温度に対して0〜75℃の範囲内としてもよい。換言すれば、前記第1温度は、設定温度に等しいか又は設定温度から−140℃以下の範囲内、前記第2温度は、設定温度に等しいか又は設定温度から75℃以上の範囲内としてもよい。
上記装置は前記ヒートシンクと前記電子部品との間に配置された熱接触面材料を含んでもよく、前記ヒートシンクは、前記熱接触面材料を介して前記電子部品の目標温度を実質的に維持してもよい。
また、前記第1流体、前記第2流体及び前記第3流体の少なくとも2つの流体を導出するステップは、ディスクバルブを介して前記第1流体、前記第2流体及び前記第3流体の少なくとも2つの流体を前記容器から導出するステップを含んでもよい。
Claims (9)
- 電子部品と熱的に接触するヒートシンクを介して流体循環により前記電子部品の温度を制御する装置において、
第1温度の冷媒を導入するように構成された第1可変流体源と、
前記第1温度より高い第2温度の、前記電子部品の設定温度と等しい温度の設定温度流体を導入するように構成された第2可変流体源と、
前記第1温度及び前記第2温度より高い第3温度の温媒を導入するように構成された第3可変流体源と、
調節された量の前記冷媒、前記設定温度流体および前記温媒のうち少なくとも2つを流して前記ヒートシンクに接触する、前記ヒートシンク温度に直接影響する混合温度を有する混合流体にするように構成されたバルブと、を備え、
前記調節された量の前記冷媒、前記設定温度流体および前記温媒のうち少なくとも2つは、前記ヒートシンク温度が前記電子部品の温度の変化を相殺するとともに前記電子部品の設定温度を維持するように制御することができる電子部品の温度制御装置。 - 請求項1において、
前記バルブはディスクバルブである電子部品の温度制御装置。 - 請求項1又は2において、
前記設定温度流体の温度は、前記温媒の温度に対するよりも前記冷媒の温度に近似する電子部品の温度制御装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項において、
第1流体帰還流路と、
第2流体帰還流路と、を備え、
前記混合流体が前記ヒートシンクに当ったのち、前記混合流体の一部が前記第1流体帰還流路を介して前記第1可変流体源へ帰還するとともに、前記混合流体の残余は前記第2流体帰還流路を介して前記第2可変流体源へ帰還する電子部品の温度制御装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項において、
それぞれが第1バルブと第2バルブ、およびそれぞれが第1ヒートシンクと第2ヒートシンクとを有する第1電気部品試験部と第2電気部品試験部とを備え、
少なくとも前記第2バルブは前記第2ヒートシンクに接触する前記設定温度流体のみを導出するように構成され、
前記第1電気部品試験部が電気部品を試験している場合は、前記第1バルブは前記第1ヒートシンクに接触する前記混合流体を導出するとともに、前記第2電気部品試験部は次の電気部品の試験を待機し、前記第2バルブは前記第2ヒートシンクに接触する前記設定温度流体のみを導出する電子部品の温度制御装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項において、
前記ヒートシンクは複数のフィンを有し、
前記フィンの延在方向と、前記混合流体が前記ヒートシンクに接触する方向とが垂直である電子部品の温度制御装置。 - 第2温度は第1温度より高く第3温度は第2温度より高い条件下、
第1流体容器、第2流体容器及び第3流体容器にそれぞれ貯留された、第1温度の冷媒と前記電子部品の目標温度と等しい前記第2温度の目標温度流体と第3温度の温媒とを用いて、ヒートシンクに熱的に接触する電子部品の温度を制御する方法であって、
前記第1温度と前記第3温度との間の混合温度を有する混合流体を得るために、前記冷媒、前記目標温度流体及び前記温媒の少なくとも2つの流体の割合を決定するステップと、
前記混合流体を得るために前記決定された割合で前記冷媒、前記目標温度流体及び前記温媒の少なくとも2つの流体を前記容器から導出するステップと、
前記電子部品の温度の変化を相殺するとともに前記電子部品の目標温度を維持するために、前記ヒートシンクの温度を調整して前記ヒートシンクの少なくとも一部に前記混合流体を接触させるステップと、を含む電子部品の温度制御方法。 - 請求項7において、
前記冷媒、前記目標温度流体及び前記温媒の少なくとも2つの流体を導出するステップは、ディスクバルブを介して前記冷媒、前記目標温度流体及び前記温媒の少なくとも2つの流体を前記容器から導出するステップを含む電子部品の温度制御方法。 - 請求項7又は8において、
前記目標温度流体の目標温度は、前記温媒の温度に対するよりも前記冷媒の温度に近似する電子部品の温度制御方法。
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