JPH07244003A - 温度制御装置 - Google Patents
温度制御装置Info
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Abstract
ことができる温度制御装置を提供する。 【構成】 本発明の特徴は、温度制御装置において、熱
源と、前記熱源で加熱せしめられるように構成された蓄
熱ブロック1と、前記蓄熱ブロックに接触するように設
置された試料5と、前記試料と同一温度条件となるよう
に設置された第1の温度センサ7と、前記蓄熱ブロック
内の温度を検出する第2の温度センサ8と、前記蓄熱ブ
ロック内に、冷却媒体を循環せしめる循環路3と、前記
熱源が駆動され、前記第1の温度センサが設定温度まで
到達したとき、前記循環路を開くとともに前記第2の温
度センサに切り替え、前記蓄熱ブロックを冷却し、前記
第2の温度センサが設定温度に到達した時点で前記循環
路を閉じるように構成された制御手段とを具備したこと
にある。
Description
特に急速加熱あるいは急速冷却を行うに際し、立上がり
および立ち下がりが急俊になるような温度制御装置に関
する。
置には極めて高精度の温度管理と、短時間で試料を周期
的に加熱冷却させることが必要とされる場合がある。こ
の場合には温度の立上がりおよび立ち下がりが急俊であ
ることが求められる。
分が熱容量を持つため、追従性が十分に得られず、急俊
なプロファイルを示す温度制御は極めて困難であった。
特に多段の温度設定を行う必要のある場合、所望の温度
に安定化されるまでの時間の短縮は極めて困難であると
いう問題があった。
対する追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うこと
ができる低コストの温度制御装置が求められているが、
従来この要求を満たすことのできる装置はなかった。
で、追従性がよく急俊で高精度の温度制御を行うことが
できる温度制御装置を提供することを目的とする。
温度制御装置において、熱源と、前記熱源で加熱せしめ
られるように構成された蓄熱ブロックと、前記蓄熱ブロ
ックに接触するように設置された試料と、前記試料と同
一温度条件となるように設置された第1の温度センサ
と、前記蓄熱ブロック内の温度を検出する第2の温度セ
ンサと、前記蓄熱ブロック内に、冷却媒体を循環せしめ
る循環路と、前記熱源が駆動され、前記第1の温度セン
サが目的温度まで到達したとき、前記循環路を開くとと
もに前記第2の温度センサに切り替え、前記蓄熱ブロッ
クを冷却し、前記第2の温度センサが目的温度に到達し
た時点で前記循環路を閉じるように構成された制御手段
とを具備したことにある。
2の温度センサが目的温度に到達した時点で前記循環路
を閉じるとともに前記第1の温度センサに切り替えるよ
うに構成される。なお、第1の温度センサを第2の温度
センサに切り替え、循環路を開いて冷却媒体の循環を開
始する時点は、第1の温度センサが目的温度よりもやや
低い温度となった時点としてもよい。
温度を保持する際、前記熱源を駆動するように構成され
る。
液体によって複数の目的温度を急俊に制御するものであ
る。すなわち、この特徴は、熱媒体としての液体を第1
の目的温度よりも低温に維持せしめてなる第1の蓄液タ
ンクと、熱媒体としての液体を前記第2の目的温度より
も高温に維持せしめてなる第2の蓄液タンクと、前記第
1および第2の蓄液タンクから前記液体を循環路を介し
て供給することにより第1または第2の目的温度に、加
熱または冷却せしめられるように構成された温度調節ブ
ロックと、前記温度調節ブロックに接触するように設置
された試料と、前記試料と同一温度条件となるように設
置された第1の温度センサと、前記温度調節ブロック内
の温度を検出する第2の温度センサと、前記液体の温度
調節ブロックへの送出対象となる第1または第2の蓄液
タンクの切り替えを行う切り替え弁と、前記切り替え弁
の開閉を制御する制御手段とを具備し、前記制御手段
は、温度上昇により第2の目的温度に設定すべく、第2
の蓄液タンクから前記液体を循環路に供給して、前記第
1の温度センサが第2の目的温度まで到達したとき、前
記切り替え弁を駆動し前記循環路に前記第1の蓄液タン
クから液体を供給するとともに前記第2の温度センサに
切り替え、前記温度調節ブロックを冷却し、前記第2の
温度センサが前記第2の目的温度に到達した時点で前記
循環路を閉じる高温制御部と、さらに温度下降により第
1の目的温度に設定すべく、第1の蓄液タンクから前記
液体を循環路に供給して、前記第1の温度センサが第1
の目的温度まで到達したとき、前記切り替え弁を駆動し
前記循環路に前記第2の蓄液タンクから液体を供給する
とともに前記第2の温度センサに切り替え、前記温度調
節ブロックを加熱し、前記第2の温度センサが前記第1
の目的温度に到達した時点で前記循環路を閉じる低温制
御部とから構成されていることにある。
に、熱的に接触し、これを加熱または冷却する熱源を具
備し、第1または第2の目的温度に保持する際には、前
記制御手段は、前記循環路を閉じ前記熱源を駆動するよ
うに構成される。
源を作動せしめ、試料と同一温度条件となるように設け
られた第1の温度センサが目的温度に到達するまで急速
に加熱し、この後循環路を開いて蓄熱ブロック内に冷却
媒体を循環せしめ、第2の温度センサが目的温度に到達
すると、循環路を閉じ、蓄熱ブロック内での冷却媒体の
循環を阻止するようにしている。
温度を示すが、試料が目的温度に到達したとき、蓄熱ブ
ロックは実際にはこの温度よりもはるかに高い温度に到
達している。そこで、循環路を開いて冷却媒体を循環さ
せ、急速冷却して蓄熱ブロックを目的温度まで低下せし
める。
度センサに切り替える時点を決定する設定(目的)温度
は、循環路を閉じる時点を決定する第2の温度センサの
設定(目的)温度と同一でもよいが、前者を後者よりも
やや低めにしておくようにしてもよい。これにより、冷
却開始時点を繰り上げることになる。この切り替え温度
の設定温度との差は、試料が設定温度まで早く到達する
ことができ、かつ蓄熱ブロック温度が高くなり過ぎない
温度差を設定するのが望ましい。
持された液体によって複数の目的温度を急俊に制御する
もので、液体の切り替えのみで高速でかつ高精度に温度
制御を行うことが可能となる。すなわち、この特徴は、
熱媒体としての液体を目的温度の最大値よりも高温に設
定されたものと、目的温度の最小値よりも低温に設定さ
れたものと2種類用意しておくのみで、液体の切り替え
のみで高速かつ高精度の温度制御を行うものである。す
なわち温度調節ブロックの温度と試料温度との差を、温
度センサの切り替えにより良好に制御し、温度上昇に際
して本発明の第1で行ったのと同様の制御を温度の下降
に際しても逆にして行うようにしている。また、一定温
度に保持する場合には、ヒータやサーモモジュールなど
の接触熱源を付加することによりより容易に制御するこ
とが可能である。さらにこれらの熱源は、温度上昇や温
度降下に際して熱媒体としての液体の循環路への供給と
併用して駆動しても良い。
つ詳細に説明する。
ように、加熱を、アルミニウムブロックからなる蓄熱ブ
ロック1のまわりに取り付けられたヒータ2で行うとと
もに、冷却をシリコンオイルからなる冷却媒体を循環路
3に循環させることにより行うようにし、これらの駆動
制御を制御手段10によって行うようにしたことを特徴
とする。
た第1の凹部4に試料5を設置するとともに、この第1
の凹部4に隣接して第2の凹部6を配設し、ここを前記
試料と同一材料で構成してモニター部とし第1の温度セ
ンサ7を配設しており、さらに蓄熱ブロック1には蓄熱
ブロック1内の温度を検出する第2の温度センサ8を配
設している。また、前記蓄熱ブロック1内に冷却媒体を
循環せしめる循環路3は、サーモモジュール9によって
冷却せしめられる蓄液タンク11から冷却媒体を循環せ
しめるように構成されており、制御回路10からの命令
により、電磁弁12を介してバイパス循環路13と循環
路3との間を切り替え可能なように構成されている。
イムチャートを参照しつつ説明する。 図2に示すよう
に、目的温度がT´1 ,T´2 ,T´3 ,T´1 と、階
段状に上昇・下降していくような温度制御を行うもので
あるとする。図3は第1および第2の温度センサの切り
替えのタイムチャートであり、図4は冷却循環路のオン
オフを示すタイムチャートである。
ブロック1を加熱することにより、試料5を加熱すると
ともに第1の温度センサ7の温度を測定する。この温度
T1が第1の目的温度T´1 になったとき、すなわち試
料の温度がT´1 になったとき、蓄熱ブロックの実際の
温度すなわち第2の温度センサの温度Tb1はこの温度T
1 よりもΔTだけ高くなっている。これは蓄熱ブロック
と第1の温度センサとの間に熱抵抗が存在するためであ
る。なお、蓄液タンクは図示しない別の温度制御回路に
よって所定の温度TW に維持せしめられている。
12を開いて循環路3に冷却媒体を循環させると同時
に、制御回路10に接続するセンサを第1の温度センサ
から蓄熱ブロック1の温度を検出する第2の温度センサ
に切り替える。そして温度Twに維持された冷却媒体に
より蓄熱ブロック1を冷却しこの第2の温度センサの温
度Tb が目的温度T´1 に到達したとき、電磁弁12を
切り替えて循環路3からバイパス13に冷却媒体を循環
させる。そしてこれと同時に、制御回路10に接続する
センサを蓄熱ブロック1の温度を検出する第2の温度セ
ンサから試料温度をモニタする第1の温度センサに切り
替える。そしてさらにヒータ2により、試料温度をモニ
タする第1の温度センサの指示値T1 =T´1 を時間t
1 の間保持する。
ら、目的温度をT´2 に変更し、ヒータ2によって急速
加熱する。
定温度は同一温度となるようにしたが、蓄熱ブロックの
温度上昇を抑制するため、温度上昇時には、図5(a) お
よび(b) に示すように第1の設定温度を第2の設定温度
よりもやや低くして、早めに冷却工程にはいるように
し、逆に下降時には、図6(a) および(b) に示すように
第1の設定温度をやや高く、早めに冷却を停止するよう
にすることにより、過熱および過冷を防ぐことができ
る。
料温度をモニタする第1の温度センサがこの温度に到達
したとき制御回路が冷却開始信号を出力する温度である
第1の設定温度T´diを、目的温度であるT´i よりも
低くし、蓄熱ブロックが定常状態となったことを検知す
るための第2の温度センサの第2の設定温度T´biは目
的温度T´i としている。すなわち言い換えると第1の
設定温度T´di≦第2の設定温度T´biとなる。
温度をモニタする第1の温度センサがこの温度に到達し
たとき制御回路が冷却終了信号を出力する温度である第
1の設定温度T´diを、目的温度であるT´i よりも高
くし、蓄熱ブロックが定常状態となったことを検知する
ための第2の温度センサの第2の設定温度T´biは目的
温度T´i としている。すなわち言い換えると第1の設
定温度T´di≧第2の設定温度T´biとなる。
たのちはAに示すようにモニタとしての第1の温度セン
サの出力に基づいて制御回路を駆動するようにしてもよ
いし、Bに示すように蓄熱ブロック1に設けられた第2
の温度センサの出力に基づいて制御回路を駆動するよう
にしてもよい。
度の温度制御を行うことが可能となる。この装置は、特
に短時間毎に温度を変化させる必要がある場合や、短時
間の温度サイクル試験を行う場合などに特に有効であ
る。
る。
ように、熱媒体としての液体を目的温度の最大値よりも
高温に設定されたものと、目的温度の最小値よりも低温
に設定されたものと2種類用意しておき、液体の切り替
えによって温度制御を行うものである。すなわち温度調
節ブロックの温度と試料温度との差を、温度センサの切
り替えにより良好に制御し、温度上昇に際して前記第1
の実施例で行ったのと同様の制御を温度の下降に際して
も逆にして行うようにしている。第1の実施例では温度
調節ブロック1´の温度先行分を液体によって調整した
が、この例では2種類の温度の液体を用い、これを切り
替えることにより、急速温度上昇および急速下降にこの
液体を用いるとともに、温度先行分の調整にもこの液体
を用いるようにしたことを特徴とする。
維持せしめてなる第1の蓄液タンク20と、この液体を
100℃に維持せしめてなる第2の蓄液タンク30と、
第1および第2の蓄液タンクからこの液体を循環路3を
介して供給することにより第1または第2の目的温度T
1 ´=80℃,T2 ´=50℃に、加熱または冷却せし
められるように構成された温度調節ブロック1´と、こ
の温度調節ブロック1´内に設置された試料5と、試料
5と同一温度条件となるように設置された第1の温度セ
ンサ7と、温度調節ブロック内の温度を検出する第2の
温度センサ8と、前記液体の温度調節ブロックへの送出
対象となる第1または第2の蓄液タンクの切り替えを行
う切り替え弁12,14と、この切り替え弁の開閉を制
御する制御回路10とから構成されている。この制御回
路10は、温度上昇により第1の目的温度に設定すべ
く、第2の蓄液タンク30から前記液体を循環路3に供
給して、第1の温度センサ7が第1の設定温度(T
d1´)まで到達したとき、前記切り替え弁12,14を
駆動し前記循環路3に前記第1の蓄液タンク20から液
体を供給するとともに前記第2の温度センサ8に切り替
え、前記温度調節ブロック1´を冷却し、前記第2の温
度センサ8が前記第1の目的温度T1 ´に到達した時点
で前記循環路3を閉じるように構成されている。一方、
さらに温度下降により第2の設定温度に設定すべく、第
1の蓄液タンク20から前記液体を循環路に供給して、
前記第1の温度センサ7が第2の設定温度(Td2´)ま
で到達したとき、前記切り替え弁12を駆動し前記循環
路に前記第2の蓄液タンク30から液体を供給するとと
もに前記第2の温度センサ8に切り替え、前記温度調節
ブロック1´を加熱し、前記第2の温度センサ8が前記
第2の目的温度T2 ´(=第2の設定温度Tb2´)に到
達した時点で前記循環路を閉じるように構成されてい
る。なお循環路にはバイパス循環路13が接続されてお
り、制御回路10からの命令により、電磁弁12を介し
てバイパス循環路13と循環路3との間を切り替え可能
なように構成されている。
イムチャートを参照しつつ説明する。第1の実施例では
温度調節ブロック1´の温度上昇先行分を冷却用液体に
よって調整し、温度下降先行分はヒータによって調整し
たが、この例では2種類の温度の液体を用い、これを切
り替えることにより、急速温度上昇および急速下降にこ
の液体を用いるとともに、上昇・下降いずれの温度先行
分の調整にもこの液体を用いるようにしたことを特徴と
する。
´2 と、階段状に変化していくような温度制御を行うも
のであるとする。図8(a) は温度制御のタイムチャー
ト、図8(b) は第1および第2の温度センサの切り替え
のタイムチャートであり、図8(c) は循環路のオンオフ
を示すタイムチャートである。ここでは第1の温度セン
サの設定温度T´d1を、目的温度であるT´1 よりも低
くし、温度制御ブロックが定常状態となったことを検知
するための第2の温度センサの設定温度T´b1は目的温
度T´i としている。すなわち言い換えると設定温度T
´di≦設定温度T´b1とする。
る第1の温度センサがこの温度に到達したとき制御回路
が冷却終了信号を出力する温度である設定温度T´
d2を、目的温度であるT´2 よりも高くし、温度調節ブ
ロックが定常状態となったことを検知するための第2の
温度センサの設定温度T´b2は目的温度T´2 としてい
る。すなわち言い換えると設定温度T´d2≧設定温度T
´b2となる。
蓄液タンク30を開き、急速加熱し温度調節ブロック1
´を加熱することにより、試料5を加熱するとともに第
1の温度センサ7の温度を測定する。この温度Td1が設
定温度T´d1になったとき、すなわち試料の温度がT´
1 より低めの温度になったとき、温度制御ブロックの実
際の温度すなわち第2の温度センサの温度Tb1はこの温
度T´d1よりもΔTだけ高くなっている。これは温度調
節ブロックと第1の温度センサとの間に熱抵抗が存在す
るためである。なお、第1および第2の蓄液タンクは図
示しない別の温度制御回路によって一定温度35℃と1
00℃とに維持せしめられている。
蓄液タンク30から100℃の液体を循環するのを停止
するとともに、循環路3に冷却媒体としての35℃の液
体を第1の蓄液タンク20から循環させる。そしてこれ
と同時に、制御回路10に接続するセンサを第1の温度
センサから温度調節ブロック1´の温度を検出する第2
の温度センサに切り替える。そして温度35℃に維持さ
れた液体により温度調節ブロック1´を冷却しこの第2
の温度センサの温度Tb が目的温度T´1 =70℃に到
達したとき、電磁弁12を切り替えて循環路3からバイ
パス13に温度35℃に維持された液体を循環させる。
そしてこれと同時に、制御回路10に接続するセンサを
温度調節ブロック1´の温度を検出する第2の温度セン
サから試料温度をモニタする第1の温度センサに切り替
える。そしてさらにヒータ2により、試料温度をモニタ
する第1の温度センサの指示値T1 =T´1 を時間t1
の間保持する。
ら、設定温度をT´2 =50℃に変更し、ヒータ2をオ
フにするとともにバイパス13を閉じ循環路3に、第1
の蓄液タンク20から35℃の液体を流し温度調節ブロ
ック1´を急速冷却する。そして第1の温度センサの指
示値Td2がT´d2になったとき、電磁弁12を操作して
第1の蓄液タンク20から35℃の液体を循環するのを
停止するとともに、循環路3に加熱媒体としての100
℃の液体を第2の蓄液タンク30から循環させる。そし
てこれと同時に、制御回路10に接続するセンサを第1
の温度センサから温度調節ブロック1´の温度を検出す
る第2の温度センサに切り替える。そして温度100℃
に維持された液体により温度調節ブロック1´を加熱し
この第2の温度センサの温度Tb2が目的温度T´2 =5
0℃に到達したとき、電磁弁12を切り替えて循環路3
からバイパス13に温度100℃に維持された液体を循
環させる。そしてこれと同時に、制御回路10に接続す
るセンサを温度調節ブロック1´の温度を検出する第2
の温度センサから試料温度をモニタする第1の温度セン
サに切り替える。そしてさらにヒータ2をオンにし、ヒ
ータ2を制御回路10で制御しながら試料温度をモニタ
する第1の温度センサの指示値Tb2=T´2を時間t2
の間保持する。同様にしてこのサイクルを繰り返す。
を急俊に切り替えることができる。なお、前記実施例で
は目的温度は2段で構成したが、第1および第2の蓄液
タンクの維持設定温度の間の領域であればいかなる温度
にも高速度で設定することができる上、多段構成も容易
である。
時および一定温度維持状態の時に使用したが、温度上昇
時あるいは一定温度維持状態のいずれかのみに使用して
も良いし、液体のみで温度制御するようにしてもよい。
によれば、急俊でかつ高精度の温度制御を行うことが可
能となる。
図
ャートを示す図
トを示す図
度制御の要部説明図
度制御の要部説明図
図
Claims (5)
- 【請求項1】 熱源と、 前記熱源で加熱せしめられるように構成された蓄熱ブロ
ックと、 前記蓄熱ブロックに接触するように設置された試料と、 前記試料と同一温度条件となるように設置された第1の
温度センサと、 前記蓄熱ブロック内の温度を検出する第2の温度センサ
と、 前記蓄熱ブロック内に、冷却媒体を循環せしめる循環路
と、 前記熱源が駆動され、前記第1の温度センサが目的温度
まで到達したとき、前記循環路を開くとともに前記第2
の温度センサに切り替え、前記蓄熱ブロックを冷却し、
前記第2の温度センサが目的温度に到達した時点で前記
循環路を閉じるように構成された制御手段とを具備した
ことを特徴とする温度制御装置。 - 【請求項2】 前記制御手段はさらに前記第2の温度セ
ンサが第2の温度に到達した時点で前記循環路を閉じる
とともに前記第1の温度センサに切り替えるように構成
されていることを特徴とする請求項1に記載の温度制御
装置。 - 【請求項3】 前記制御手段は、前記目的温度を保持す
る際には、前記熱源を駆動するように構成されているこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の温度制御装
置。 - 【請求項4】 第1または第2の目的温度に、加熱また
は冷却せしめるように構成した温度調節ブロックと、 熱媒体としての液体を前記第1の目的温度よりも低温に
維持せしめてなる第1の蓄液タンクと、 熱媒体としての液体を前記第2の目的温度よりも高温に
維持せしめてなる第2の蓄液タンクと、 前記温度調節ブロックに接触するように設置され、前記
第1および第2の蓄液タンクから前記液体を循環路を介
して前記温度調節ブロックに供給することにより前記第
1または第2の目的温度に制御される試料と、 前記試料と同一温度条件となるように設置された第1の
温度センサと、 前記温度調節ブロック内の温度を検出する第2の温度セ
ンサと、 前記液体の温度調節ブロックへの送出対象となる第1ま
たは第2の蓄液タンクの切り替えを行う切り替え弁と、 前記切り替え弁の開閉を制御する制御手段とを具備し、 前記制御手段は、温度上昇により第2の目的温度に設定
すべく、第2の蓄液タンクから前記液体を循環路に供給
して、前記第1の温度センサが第2の目的温度まで到達
したとき、前記切り替え弁を駆動し前記循環路に前記第
1の蓄液タンクから液体を供給するとともに前記第2の
温度センサに切り替え、前記温度調節ブロックを冷却
し、前記第2の温度センサが前記第2の目的温度に到達
した時点で前記循環路を閉じる高温制御部と、 さらに温度下降により第1の目的温度に設定すべく、第
1の蓄液タンクから前記液体を循環路に供給して、前記
第1の温度センサが第1の目的温度まで到達したとき、
前記切り替え弁を駆動し前記循環路に前記第2の蓄液タ
ンクから液体を供給するとともに前記第2の温度センサ
に切り替え、前記温度調節ブロックを加熱し、前記第2
の温度センサが前記第1の目的温度に到達した時点で前
記循環路を閉じる低温制御部とから構成されていること
を特徴とする温度制御装置。 - 【請求項5】 さらに前記温度調節ブロックに、熱的に
接触し、これを加熱または冷却する熱源を具備し、第1
または第2の目的温度に保持する際には、前記制御手段
は、前記循環路を閉じ前記熱源を駆動するように構成さ
れていることを特徴とする請求項4に記載の温度制御装
置。
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JP (1) | JP3331038B2 (ja) |
Cited By (1)
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