JP4778021B2 - インスペクション方法および装置、リソグラフィ装置、リソグラフィ処理セル、ならびにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、nが少なくとも2である、構造の周期的なアレイを基板上に設けること、
基板上にある後続の製品層上に、第2の同一の、構造の周期的なアレイを設けること、
それらのアレイを放射ビームで照射すること、
それらのアレイによって方向変更された放射ビームを検出すること、および
方向変更されたビームの1つまたは複数の特性から、それらのアレイが互いに整合しているかどうかを求めること、
を含む方法が提供される。
検出された方向変更後の放射ビームの像を、軸を通じて反転させること、
検出された方向変更後の放射ビームの像を反転された像から減算して、2像間の差の像を得ること、
差の像から、検出された方向変更後の放射ビームの像の非対称性の程度および位置を求めること、ならびに
非対称性の程度および位置から、オーバーレイエラーの程度および方向を求めること、
を含むことができる。
n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、nが少なくとも2である、構造の周期的なアレイを備えたオーバーレイターゲットを、基板上にプリントするように構成されたプリント装置であって、同じオーバーレイターゲットを基板の後続層上にプリントするように構成されたプリント装置と、
オーバーレイターゲットから方向変更された放射を検出するように構成されたディテクタと、
オーバーレイエラーがあるかどうかを、検出された方向変更後の放射から求めるように構成されたプロセッサと、
を備えるインスペクション装置、リソグラフィ装置、およびリソグラフィセルが提供される。
−放射ビームB(例えばUV放射またはDUV放射)を調整するように構成された照射システム(イルミネータ)ILを備える。
−パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持する構造になっており、かついくつかのパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された、支持構造(例えばマスクテーブル)MT、
−基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持する構造になっており、かついくつかのパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された、基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WT、および
−パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを、基板Wの(例えば1つまたは複数のダイを備える)ターゲット部分C上に投影するように構成された、投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PL。
Claims (15)
- n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、ただしnが少なくとも2である、前記構造の周期的なアレイを備えたオーバーレイターゲットを有する基板であって、
n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも広く、
前記周期的なアレイが、少なくとも2つの交錯した回折格子を備え、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子のm個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なり、ただしmが少なくとも1であり、
前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子が、前記アレイの有効ピッチが最小ピッチを有する回折格子のピッチよりも大きくなるように配列され、
前記アレイの有効ピッチが、前記アレイから反射または回折される測定放射ビームの波長よりも大きく設定されている、基板。 - n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも高い、請求項1に記載の基板。
- n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも低い、請求項1に記載の基板。
- n番目の構造が、x軸とy軸のどちらにおいてもn個ごとに1個の構造を備える、請求項1〜3のいずれか1の請求項に記載の基板。
- 前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子の2個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なる、請求項1または2に記載の基板。
- 前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子の3個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なる、請求項1または2に記載の基板。
- 前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち第1の回折格子が、前記基板上にある第1の層上に配列され、前記回折格子のうち第2の回折格子が、前記基板上にある後続層上に配列される、請求項1〜6のいずれか1の請求項に記載の基板。
- 基板上にオーバーレイターゲットを形成する方法であって、
前記基板上に、n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、ただしnが少なくとも2である、前記構造の周期的なアレイを形成することを含み、
n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも広く、
前記周期的なアレイが、少なくとも2つの交錯した回折格子を備え、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子のm個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なり、ただしmが少なくとも1であり、
前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子が、前記アレイの有効ピッチが最小ピッチを有する回折格子のピッチよりも大きくなるように配列され、
前記アレイの有効ピッチが、前記アレイから反射または回折される測定放射ビームの波長よりも大きく設定されている、方法。 - 前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち第1の回折格子が、前記基板上にプリントされ、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち第2の回折格子が、前記基板上にある後続の製品層上にプリントされる、請求項8に記載の方法。
- 前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち第1の回折格子が、前記基板上にある第1の製品層上にプリントされ、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち第2の回折格子が、前記基板上にある後続の製品層上にプリントされる、請求項8に記載の方法。
- 基板上にある少なくとも2層の製品層のオーバーレイエラーをインスペクションするインスペクション方法であって、
n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、nが少なくとも2である、前記構造の周期的なアレイを基板上に設けること、
前記基板上にある後続の製品層上に、第2の同一の、構造の周期的なアレイを設けること、
前記アレイを放射ビームで照射すること、
前記アレイによって方向変更された前記放射ビームを検出すること、および
前記方向変更されたビームの1つまたは複数の特性から、前記アレイが互いに整合しているかどうかを求めることを含み、
n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも広く、
前記周期的なアレイが、少なくとも2つの交錯した回折格子を備え、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子のm個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なり、ただしmが少なくとも1であり、
前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子が、前記アレイの有効ピッチが最小ピッチを有する回折格子のピッチよりも大きくなるように配列され、
前記アレイの有効ピッチが、前記アレイから反射または回折される測定放射ビームの波長よりも大きく設定されている、方法。 - 前記アレイが互いに整合しているかどうかを求めることが、
検出された方向変更後の放射ビームの像を、軸を通じて反転させること、
前記検出された方向変更後の放射ビームの像を前記反転された像から減算して、前記2像間の差の像を得ること、
前記差の像から、前記検出された方向変更後の放射ビームの像の非対称性の程度および位置を求めること、ならびに
非対称性の程度および位置から、オーバーレイエラーの程度および方向を求めること
を含む、請求項11に記載の方法。 - 基板上にある少なくとも2層の製品層のオーバーレイエラーをインスペクションするインスペクション装置であって、
n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、nが少なくとも2である、前記構造の周期的なアレイを備えたオーバーレイターゲットを、基板上にプリントするように構成されたプリント装置であって、同じオーバーレイターゲットを前記基板の後続の製品層上にプリントするように構成されたプリント装置と、
前記オーバーレイターゲットから方向変更された放射を検出するように構成されたディテクタと、
オーバーレイエラーがあるかどうかを、前記検出された方向変更後の放射から求めるように構成されたプロセッサと、
を備え、
n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも広く、
前記周期的なアレイが、少なくとも2つの交錯した回折格子を備え、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子のm個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なり、ただしmが少なくとも1であり、
前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子が、前記アレイの有効ピッチが最小ピッチを有する回折格子のピッチよりも大きくなるように配列され、
前記アレイの有効ピッチが、前記アレイから反射または回折される測定放射ビームの波長よりも大きく設定されている、インスペクション装置。 - リソグラフィ装置であって、
n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、nが少なくとも2である、前記構造の周期的なアレイを備えたオーバーレイターゲットを、基板上にプリントするように構成されたプリント装置であって、同じオーバーレイターゲットを前記基板の後続層上にプリントするように構成されたプリント装置と、
前記オーバーレイターゲットから方向変更された放射を検出するように構成されたディテクタと、
オーバーレイエラーがあるかどうかを、前記検出された方向変更後の放射から求めるように構成されたプロセッサと、を備え、
n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも広く、
前記周期的なアレイが、少なくとも2つの交錯した回折格子を備え、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子のm個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なり、ただしmが少なくとも1であり、
前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子が、前記アレイの有効ピッチが最小ピッチを有する回折格子のピッチよりも大きくなるように配列され、
前記アレイの有効ピッチが、前記アレイから反射または回折される測定放射ビームの波長よりも大きく設定されている、リソグラフィ装置。 - リソグラフィセルであって、
n個ごとに1個の構造が構造の残りとは異なり、nが少なくとも2である、前記構造の周期的なアレイを備えたオーバーレイターゲットを、基板上にプリントするように構成されたプリント装置であって、同じオーバーレイターゲットを前記基板の後続層上にプリントするように構成されたプリント装置と、
前記オーバーレイターゲットから方向変更された放射を検出するように構成されたディテクタと、
オーバーレイエラーがあるかどうかを、前記検出された方向変更後の放射から求めるように構成されたプロセッサと、
を備え、
n個ごとに1個の構造が、前記構造の残りよりも広く、
前記周期的なアレイが、少なくとも2つの交錯した回折格子を備え、前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子のm個ごとに1個の構造が、前記構造の残りとは異なり、ただしmが少なくとも1であり、
前記少なくとも2つの交錯した回折格子のうち少なくとも1つの回折格子が、前記アレイの有効ピッチが最小ピッチを有する回折格子のピッチよりも大きくなるように配列され、
前記アレイの有効ピッチが、前記アレイから反射または回折される測定放射ビームの波長よりも大きく設定されている、リソグラフィセル。
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