JP4771142B2 - 垂直共振器型発光ダイオード - Google Patents
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上記構成において、好ましくは、内側の量子井戸層は、垂直共振器内の光の定在波の腹に設けられている。
上記構成によれば、内側の少なくとも1つの量子井戸層の禁制帯幅が最も大きく、最も外側の各量子井戸層が互いに同程度で最も小さい禁制帯幅を有している。つまり、最も外側に配置された、最も小さく、かつ同程度の禁制帯幅を有する一対の量子井戸層が、それよりも禁制帯幅の大きい量子井戸層を挟んだ多重量子井戸層を構成している。このため、禁制帯幅の大きい量子井戸層から生じた光が、禁制帯幅の小さい一対の量子井戸層に入射して吸収され、誘導放出効果を生じる。さらには、内側の禁制帯幅の大きい量子井戸層を、垂直共振器内の定在波の腹の位置に設けることにより、さらに誘導放出効果を高め、垂直共振器型発光ダイオードの光出力を増加させることができる。
垂直共振器の長さは、最も外側の、禁制帯幅の小さい量子井戸層の発光波長により設計されているので、誘導放出で増幅された光は、他の量子井戸層に吸収されること無く、効率良く外部へ出射することができる。
図1は本発明に係る垂直共振器型発光ダイオード1の断面構造の一例を示す図である。図1に示すように、本発明の垂直共振器型発光ダイオード1は、n型の基板2と、n型の第1反射層3と、n型の第1クラッド層4と、多重量子井戸層を含む活性層5と、p型である第2クラッド層6と、一部に開口部を有するn型の電流狭窄層8と、p型の第2反射層9と、この第2反射層9の上部に設けられる電極層10と、電極層10を含む発光ダイオードの表面を覆う保護膜11と、を含んで形成されている。上記層構造において、第1クラッド層4と活性層5と第2クラッド層6とによりダブルヘテロ接合層7が形成されている。
なお、以上の説明においては、基板をn型(第1導電型)として説明したが、その反対伝導型(第2導電型)のp型基板でもよく、その場合には上記各層の伝導型を基板に応じて変更すればよい。
ここで、第1及び第2拡散防止層5h,5iは、それに隣接するバリア層5d,5gの組成と同一とし、故意には不純物を添加しない所謂ノンドープ層とすることができる。さらに、活性層5の厚さは拡散防止層5h,5iの厚さを調整して所定の厚さとすることができる。このように、本発明の垂直共振器型発光ダイオード1は、少なくとも3層の量子井戸層からなる多重量子井戸層5jを含む活性層5と、この活性層5を挟んで形成された第1及び第2の反射層3,9と、を有している。
ここで、電界強度の強い領域とは、その最大値の90%以上の領域を意味する。特に、第1量子井戸層5aを、電界強度の最大値の95%以上の領域に配置することが好ましい。これにより、量子効果が生起する膜厚10nm程度の量子井戸層を、電界強度の強い領域内に配置することが可能となり、光出力を高めることができる。また、第2及び第3量子井戸層5b及び5cの位置は、上記の定在波の電界強度が等しい位置とすることが望ましい。
図3は、(A)が5層からなる多重量子井戸層の構造例1における断面図であり、(B)がそのバンドダイヤグラム及び対応する光電界分布を示している。図3(A)に示すように、5層からなる多重量子井戸層の場合、最も外側の量子井戸層24,25の内側に、3層から成る内側の量子井戸層21,22,23が配設されている。図3(B)に示すように、内側の量子井戸層21,22,23においては、禁制帯幅の大きい量子井戸層21を挟んで、これより禁制帯幅が小さく、かつ、同じ禁制帯幅の量子井戸層22、23が配置されている。そして、最も外側の量子井戸層24,25は、内側の量子井戸層22,23層と同じ禁制帯幅を有する構造となっている。
第1及び第2反射層3,9は、ブラッグ反射層、即ち、高い屈折率(n1 )を有する厚さがλ/4n1 膜と低屈折率(n2 )を有する厚さλ/4n2 膜の積層構造(交互層)を一対として、この交互層を多対積層とした多層膜となっている。
ここで、λは、垂直共振器型発光ダイオード1の発光波長であり、光の定在波の波長となる。この場合、基板2側の第1反射層3の反射率を上部の第2反射層9よりも高めることにより、活性層5中で発生した光を上部の第2反射層9から選択的に出射することができる。このように第1及び第2反射層3,9との間で垂直共振器が形成されている。この垂直共振器の長さ、すなわち、垂直共振器長は、図1に示すように、第1及び第2反射層3,9との間隔Lres である。つまり、図1において、垂直共振器長Lres は、基板への各層の積層方向であるy方向の間隔である。垂直共振器長は、好ましくは、最も外側の量子井戸層の発光波長(λ)に対して、略(m・λ)/2(ここで、mは整数)の長さに設定すればよい。例えば、発光波長λの2倍(m=4)の厚みとすることができる。
これにより、活性層5中で生じた光は第1及び第2反射層3,9との間で定在波を形成する。この光の定在波の波長を、最も外側の量子井戸層が発光する波長と同程度、好ましくは、波長の差を2nm以内とすると発光強度が増加する。
なお、電流狭窄層8は、図1では第2反射層9の内側である活性層5側に設けているが、外側の電極層10側に設けてもよい。電流狭窄層8は、第2反射層9側にではなく、第1反射層3側に設けてもよい。
ここで、図中のXY方向の点線15A,15Bで示す領域は、発光ダイオード1の各チップを分割する所謂ダイシング領域15を示している。この出射窓部14には光の透過領域となる絶縁性の保護膜11が被覆されている。
最初に、MOCVD法やMBE法などを用いて、GaAs基板2上に第1のエピタキシャル成長層として、n型Alr Ga1-r As/AlAs(rはAl組成であり、0<r<1である。)の交互層を積層して成る第1反射層3と、n型Alx Gay In1-x-y P(0≦x≦1、0≦y≦1、かつ0≦x+y≦1)から成る第1クラッド層4と、不純物を添加しないアンドープのAlx Gay In1-x-y P(0≦x≦1、0≦y≦1、かつ0≦x+y≦1)の組成を変化させて第1拡散防止層5h/バリア層5d/第2量子井戸層5b/バリア層5e/第1量子井戸層5a/バリア層5f/第3量子井戸層5c/バリア層5g/第2拡散防止層5iから成る活性層5と、p型Alx Gay In1-x-y P(0≦x≦1、0≦y≦1、かつ0≦x+y≦1)から成る第2クラッド層6と、n型Alx Gay In1-x-y P(0≦x≦1、0≦y≦1、かつ0≦x+y≦1)と、から成る電流狭窄層8を、所定の厚さで順に成長させる。ここで、エピタキシャルウェハを取り出す。
そして、基板裏面及びエピタキシャル成長層の表面への電極12,13を形成する工程、CVD法などによる保護膜形成工程、ダイシング工程などを経て、垂直共振器型発光ダイオード1を製造することができる。
保護膜11は、プラズマCVD法などによるSi系の酸化膜又は窒化膜を堆積して形成することができる。この保護膜11の厚さは、(m1 /4)×(λ/n)(ここで、m1 は奇数であり、nは酸化膜又は窒化膜の屈折率である。)として、光に対して透過率の高い膜とすればよい。
最初に、実施例の垂直共振器型発光ダイオード1の製造方法について説明する。
先ず、第1工程として、MOCVD法を用いて、GaAs基板2上に第1回目のエピタキシャル成長層として、20.5対のn型Al0.45Ga0.55As(45nm)/AlAs(52.5nm)から成る第1反射層3を1995nm、n型Al0.5 In0.5 Pから成る第1クラッド層4、(Al0.7 Ga0.3 )0.5 In0.5 Pから成る第1拡散防止層5h、Inx Ga1-x Pから成る3層の量子井戸層5a〜5c及び(Al0.7 Ga0.3 )0.5 In0.5 Pから成るバリア層5d〜5gで形成される活性層5、(Al0.7 Ga0.3 )0.5 In0.5 Pから成る第2拡散防止層5i、p−Al0.5 In0.5 Pから成る第2クラッド層6、n型Al0.5 In0.5 P電流狭窄層8を、順に成長させた。
これから、第1量子井戸層5aの発光波長は650nmであり、第2及び第3量子井戸層5b,5cの発光波長は662nmに相当し、内側の量子井戸層5aの発光波長を12nm短くした。共振器の共振波長は、第2及び第3量子井戸層5b,5cの発光波長λ(662nm)に合わせ、その共振器長は2λとなるように設計した。この段階で、エピタキシャルウェハを取り出した。
続いて、部分的に出射窓部が形成された電流狭窄層8上に埋込みエピタキシャル成長を行う。この2回目の成長は、1回目の成長と同様、MOCVD法を用いて、10.5対で厚さ1020nmのp型Al0.45Ga0.55As(45nm)/AlAs(52.5nm)から成る第2反射層9と、厚さが100nmのp型GaAs電極層10と、を順に成長させた。
その後、エピタキシャル成長層の表面への厚さが800nmのAu/AuSbZnの2層から成る電極13及び基板裏面へのAuGeNi合金(20nm)から成る電極12を形成する工程と、保護膜の形成工程、ダイシング工程などを経て、垂直共振器型発光ダイオード1を製造した。
(比較例1)
比較例1では、実施例の第1のエピタキシャル成長において、多重量子井戸層5j中の第1〜第3の量子井戸層5a,5b,5cのIn組成xを同じ0.575(禁制帯幅が約1.873eV)とした以外は、実施例と同様にして、垂直共振器型発光ダイオードを製造した。
比較例2では、第1のエピタキシャル成長において、多重量子井戸層5j中の各量子井戸層の組成を、第1量子井戸層5aのIn組成xを0.575(禁制帯幅が約1.873eV)とし、第2及び第3量子井戸層5b,5cのIn組成xを0.534(禁制帯幅が約1.907eV)として、第1量子井戸層5aの禁制帯幅が第2及び第3量子井戸層5b,5cの禁制帯幅より小さくなるようにした以外は、実施例と同様にして、垂直共振器型発光ダイオードを製造した。このときの第1量子井戸層5aの発光波長は662nmであり、第2及び第3量子井戸層5b,5cの発光波長は650nmに相当する。つまり、内側の量子井戸層5aの発光波長を外側の第2及び第3量子井戸層5b,5cの発光波長よりも5nm長くした。
比較例3では、第1のエピタキシャル成長において、多重量子井戸層5j中の各量子井戸層の組成として、第1量子井戸層5aのIn組成xを0.555(禁制帯幅が約1.893eV)とし、第2量子井戸層5bのIn組成xを0.534(禁制帯幅が約1.907eV)とし、第3量子井戸層5cのIn組成xを0.575(禁制帯幅が約1.873eV)とした。即ち、第1クラッド層4側から第2クラッド層6側の順に各量子井戸層のIn組成xを増加させて、第2クラッド層6側になるにつれて各量子井戸層の禁制帯幅が小さくなるようにした以外は、実施例と同様にして、垂直共振器型発光ダイオードを製造した。このときの第1、第2及び第3量子井戸層5a,5b,5cの発光波長はそれぞれ、655nm、650nm、662nmに相当し、第1クラッド層4側から第2クラッド層6側の順に発光波長を長くした。
一方、比較例2では、比較例1の場合を基準に検討すると、光出力強度は10.5%減少した。これにより、禁制帯幅の小さい第1量子井戸層5aをそれより禁制帯幅の大きい第2及び第3量子井戸層5b,5cで挟み込んでも、光出力強度を増加させることができないことが分かった。
2:基板
3:第1反射層
4:第1クラッド層
5:活性層
5a:第1量子井戸層
5b:第2量子井戸層
5c:第3量子井戸層
5d,5e,5f,5g,26:バリア層
5h:第1拡散防止層
5i:第2拡散防止層
5j:多重量子井戸層
6:第2クラッド層
7:ダブルへテロ接合層
8:電流狭窄層
9:第2反射層
10:電極層
11:保護層
12,13:電極
14:出射窓部(開口部)
15:ダイシング領域
21,22,23::内側の量子井戸層
24,25:外側の量子井戸層
Claims (3)
- 少なくとも3層の量子井戸層を含む活性層と、該活性層を挟んで形成された反射層と、を有する垂直共振器型発光ダイオードであって、
上記量子井戸層のうち、最も外側の量子井戸層の禁制帯幅は略同じで、かつ内側の量子井戸層の禁制帯幅よりも小さく、上記内側の量子井戸層の少なくとも1層の禁制帯幅が上記外側の禁制帯幅よりも大きく、
上記最も外側の量子井戸層の発光波長(λ)は、上記内側の量子井戸層の発光波長と異なり、
上記垂直共振器の長さは、上記最も外側の量子井戸層の発光波長(λ)に対して、略(m・λ)/2(ここで、mは整数)の長さであることを特徴とする、垂直共振器型発光ダイオード。 - 前記内側の量子井戸層は、垂直共振器内の光の定在波の腹に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の垂直共振器型発光ダイオード。
- 電流狭窄層をさらに有することを特徴とする、請求項1に記載の垂直共振器型発光ダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006066782A JP4771142B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 垂直共振器型発光ダイオード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006066782A JP4771142B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 垂直共振器型発光ダイオード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007243073A JP2007243073A (ja) | 2007-09-20 |
JP4771142B2 true JP4771142B2 (ja) | 2011-09-14 |
Family
ID=38588284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006066782A Active JP4771142B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 垂直共振器型発光ダイオード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4771142B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009277999A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Hitachi Cable Ltd | 半導体発光素子 |
CN113125111B (zh) * | 2021-04-10 | 2023-03-28 | 中国科学院新疆理化技术研究所 | 一种垂直腔面发射激光器的外量子效率测试方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4069479B2 (ja) * | 1997-02-19 | 2008-04-02 | ソニー株式会社 | 多重量子井戸型半導体発光素子 |
JP2000174327A (ja) * | 1998-12-03 | 2000-06-23 | Oki Electric Ind Co Ltd | 垂直微小共振器型発光ダイオード |
JP4119158B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2008-07-16 | 三菱電機株式会社 | 傾斜状多重量子バリアを用いた半導体発光素子 |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006066782A patent/JP4771142B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007243073A (ja) | 2007-09-20 |
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