JP4767158B2 - ビス(ペンタメチルシクロペンタジエニル)ストロンチウムの製造方法 - Google Patents
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従来、これらの酸化ストロンチウム(SrO)を含有する膜をCVD法やALD法で形成する際の原料としては、ビス(ジピバロイルメタナト)ストロンチウム(Sr(C11H19O2)2;以下、Sr(dpm)2と表す。)が主に検討されてきた。
また、230℃以上になると熱分解が始まるため、ALD法で成膜する場合に望ましい自己律速成長のみならず、制御困難な熱分解が同時に起きるという問題を有していた。
さらに、この付加体からEt2Oを除去するために、SrCp* 2(Et2O)を100質量倍の大量のトルエンに溶解し、100℃で微減圧下、2〜3時間かけて、トルエンを留去する(トルエンリフラックス)操作を2回繰り返し、トルエンを完全に除去した後、100〜110℃/0.001Torrで昇華させて、SrCp* 2が得られることが記載されている。
また、非特許文献2には、SrCp* 2(THF)2が、190〜192℃でTHFを一部離し、分解することが開示されているが、SrCp* 2が得られたとの記載はない。
すなわち、好適な溶媒であるTHF中で合成したSrCp* 2(THF)2からSrCp* 2を得る方法は、これまで知られていなかった。
C.L.Burns and R.A.Andersen, J.Organomet.Chem Vol.325(1987)31 McCormick,M.J. et al. Polyhedron Vol.7, 725(1988) R.A.Williams, T.P.Hanusa and J.C.Huffman, Organometallics Vol.9(1990)1128
上記製造方法によれば、SrCp* 2のTHF付加体から、THFを完全に除去することができ、SrCp* 2の量産が可能となる。
したがって、本発明は、CVD法やALD法によるSrO含有膜の量産に寄与し得るものである。
本発明に係るSrCp* 2の製造方法においては、まず、NaCp*とSrI2をTHF中で反応させ、SrCp* 2のTHF付加体を生成させる。そして、THFを留去し、トルエンで抽出してトルエン溶液とし、さらに、トルエンを留去し、減圧乾燥後、真空下で2回以上昇華させることにより、SrCp* 2が得られる。
このように、本発明に係る製造方法は、反応溶媒としてTHFを用い、得られたSrCp* 2のTHF付加体から、THFを完全に除去することができるため、SrCp* 2の量産に好適に適用することができる。
温度計、撹拌子、投入口、還流器を備えた1L三口フラスコに、真空アルゴン置換後、脱水脱酸素したTHF750mlとNaCp*79g(0.50mol)を入れて溶解し、フラスコを水冷しながら、SrI2粉末90g(0.246mol)を加え、25〜40℃で24時間撹拌した。
次いで、減圧で脱溶媒し、乾燥後、脱水脱酸素したトルエン900mlを加え、加熱撹拌による抽出操作を行い、静置後、ろ過し、透明なろ液を得た。減圧し、ろ液からトルエンを留去し、100℃で減圧乾燥した。
固形分をグローブボックス中で取り出し、軽く粉砕すると、淡黄色のさらさらとした粉末(減圧乾燥品)99gが得られた。
この粉末を昇華器に仕込み、140〜180℃/0.1Torrで1回目の昇華を行い、1回昇華品を66g得た。
さらに、この1回昇華品を昇華器に仕込み、再度、140〜180℃/0.1Torrで2回目の昇華を行い、純白な2回昇華品58gが得られた。
この2回昇華品の結晶は、下記に示す分析の結果から、SrCp* 2(0.162mol)と同定され、その収率はNaCp*に対して65%であった。
(1)組成分析
2回昇華品を湿式分解して得られた液のICP発光分光分析の結果、Sr含有量は25.1%(理論値24.47%)であった。
また不純物については、Ca<0.2,Mg<0.3,Ba=120,Na<1,K<1,Cr<1,Fe<1,Cu<1,Ni<1(単位:ppm)であり、高純度であることが認められた。
同様に、1回昇華品および減圧乾燥品についても、Sr含有量を測定したところ、それぞれ、19.7%、22.1%であった。
測定条件(装置:JNM−ECA400(400MHz)、溶媒:C6D6、方法:1D)
図1に2回昇華品、図2に減圧乾燥品、図3に1回昇華品の各測定スペクトルを示す。
1.95〜2.03ppm(s):THFが配位していないSrCp* 2のC5(CH 3)5(全てが等価なCH3)
1.79,1.73,0.99,0.97ppm:THFが2個または1個配位したSrCp* 2のC5(CH 3)5(主に3種の非等価なCH3)
3.57〜3.05,1.41〜1.18ppm:THFの−OCH 2CH 2CH 2CH 2−
したがって、SrCp* 2(THF)1.5の内訳は、SrCp* 2(THF)11molとSrCp* 2(THF)21molの混合物であると推定される。
したがって、SrCp* 2(THF)0.5の内訳は、SrCp* 23.5(=100/28.7)molとSrCp* 2(THF)21molの混合物であると推定される。
したがって、図1に示した測定スペクトルから、2回昇華品のδH(ppm)=1.951(s)は、SrCp* 2のC5(CH 3)5に帰属され、これは、非特許文献1記載のδH(ppm)=1.95とほぼ一致する結果となった。
この原因は不明であるが、例えば、THFが配位していなくても非等価なCH3が平衡で存在する、また、わずかに配位したTHFはシグナルとして現れない、あるいはまた、NMRサンプル調製時に水分と反応して生成したCp*Hによる等の原因が考えられる。
減圧乾燥品:Sr含量19.7%;SrCp* 2(THF)1.5
1回昇華品:Sr含量22.1%;SrCp* 2(THF)0.5
2回昇華品:Sr含量25.1%;SrCp* 2
2回昇華品は、昇華析出時は無色(純白色)であったが、回収時に極微量の酸素混入により、微淡黄色に着色した。
また、下記TG−DTAの測定結果から、その融点は207℃であった。非特許文献1記載の融点は216〜218℃であり、これよりもわずかに低いが、ほぼ一致すると言える。
2回昇華品をベンゼン凝固点降下法による分子量測定を行った結果、分子量は352であった。
したがって、会合度は0.98であり、また、ベンゼンが配位しないことも確認された。
測定条件(試料重量:5.23mg、雰囲気:Ar1気圧、昇温速度:10.0deg/min)
図4に、2回昇華品のTG−DTA測定結果を示す。
図4から、160℃付近まで減量はなく、除去されるTHFは存在していないと推定される。
また、260℃までに94%蒸発していることから、分オーダーの短時間では、260℃以下においては熱劣化することはなく、ALD法やCVD法の原料に求められる熱安定性を有していることが認められる。
気体飽和法測定の結果、0.1Torr/160℃、1Torr/200℃であった。
結晶の密度は1.28g/cm3であった。
Claims (1)
- ペンタメチルシクロペンタジエニルナトリウムとヨウ化ストロンチウムをテトラヒドロフラン中で反応させ、ビス(ペンタメチルシクロペンタジエニル)ストロンチウムのテトラヒドロフラン付加体を生成させる工程と、テトラヒドロフランを留去し、トルエンで抽出してトルエン溶液とする工程と、トルエンを留去し、減圧乾燥後、真空下で2回以上昇華させる工程とを経ることを特徴とするビス(ペンタメチルシクロペンタジエニル)ストロンチウムの製造方法。
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