JP4764502B2 - プロセスの分析に必要な評価を行うための方法および装置 - Google Patents
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Description
ただしい数の物品特性(寸法や性能やその他条件)がある。これら上述の点を考慮すると、多数の部品設計ターゲット、部品許容誤差限界、型設計特性及び射出成形プレスに関する設定から、許容可能な物品を製造できる要因の組合せを確立することは往々にして非常に困難である。
造時において、設計ターゲットを満たし且つ仕様許容誤差限界範囲内に収まることができるための、工程入力に必要な設計規格を修正するため、設計技師及び加工技術者に必要な重要情報を提供するよう構成することも可能である。また本発明の態様を採用すれば、システム工学的手法を使用して、どの物品特性が、最も厳しいターゲット及び仕様許容誤差限界を持つかを識別することも可能である。例えば、このような情報により、許容誤差を増加させるか否かの評価が可能になり、増加させるべき場合は、どの許容誤差をどの物品特性に対して増加させるかを見積もることができる。また本発明を採用すれば、実行すべきPC検査数を、場合によっては大幅に削減することにより、PC検査を実行する費用を減少させることができる。本発明の上記及び他の側面は、発明を実施するための最良の形態についての以下の説明により明らかとなる。
A. 原理及び概念
本発明は、新規な設計及び製造プロセス分析システムを提供するために、複数の物品特性の間の関係を分析する目的で、幾つかのグラフィック的手法、統計学的手法及び数学的手法を利用する。とりわけ、散布図、相関係数、決定係数、線形、非線形及び多変量回帰
、予測区間、調整予測区間、回帰を利用する予測、予測区間を利用する予測、DOE、平均並びに加重平均がこれらに含まれる。図3は、本発明の一側面が従来技術とどのように異なるかを示す工程図である。多様な製造工程において、とりわけ射出成形において、ある特定工程から得られる複数の物品特性には往々にして強い関連がある。本発明は、このような関係の統計学的な強度を評価し、それらが十分に強い場合は、それらの存在を十分に利用して、製造工程に関連した多様な設計、製造及び測定作業を容易にしている。
る。また図10に示される例は、線形回帰モデルを示している。しかしながら、本発明は、線形モデルの使用に限定されない。例えば多変量モデルのような非線形回帰モデルも本発明において使用可能である。
図15は、本発明一態様に係るシステム構成を示す簡略化ブロック図である。図2に示すように、システム構成は、工程分析アプリケーション100とオペレーティングシステム130とを備えてなる。工程分析システム100は、データ入力モジュール102、回帰モジュール104、相関モジュール106、表示モジュール108及びインタフェースアプリケーションモジュール110を備えてなる。データ入力モジュール102は、物品特性データを受け取り、工程分析システム100に係る他のモジュールによる動作に好適
な形式に該データをフォーマットし且つ保存する機能を有する。回帰モジュール104は、一連の入力が与えられると、回帰モデルを計算する機能を有する。相関モジュール106は、後に更に詳述する物品特性間の相関に関連する動作を実行する機能を有する。表示モジュール108は、一態様において、与えられたデータ群並びに後に詳述する他のデータ要素に関して回帰及び/又は相関関係グラフィック表示を作成する機能を有する。インタフェースアプリケーションモジュール110は、ユーザから受け取ったコマンドを基づいて、工程分析システム100に係る他のモジュールの動作を調和させる機能を有する。
アシステム800の多様な構成部品を再構築してもよい。例えば、キャッシュメモリ804は、プロセッサ802と共にチップ上に実装されていてもよい(オンチップでもよい)。あるいは、キャッシュメモリ804及びプロセッサ802は、「プロセッサモジュール」として一緒にパッキングされていてもよく、その場合、プロセッサ802は「プロセッサ核」と称される。更に、本発明のある実装は、上記構成部品の全てを必要とせず含まないものであってもよい。例えば、標準I/Oバス808に接続された周辺装置は、高性能I/Oバス806に接続されてもよく、また幾つかの実装においては、単一のバスが該バスに接続されたハードウェア800の構成部品と共に存在していてもよい。更に、付加的なプロセッサ、記憶装置又はメモリなど、付加的な構成部品がハードウェアシステム800に含まれていてもよい。
A. 複数の物品特性に関して変動幅を有する物品群の作製
上記の如く、本発明は、物品特性に関してある変動幅を有する物品群に関連する物品特性間の関係を評価するものである。本発明の一態様によれば、ユーザは、所定工程に従って、複数の物品特性に関してある変動幅を有する部品群を作製する。例えば、ユーザは、射出成形工具を射出成形装置に取り付けて、物品群を製造してもよい。その後、物品群あるいはそれらのサンプルは、所望の物品特性に関し、測定又は検査若しくは評価される。得られるデータ群は記録され(例えばExcel(登録商標)スプレッドシート表に記録され)、以降の分析に使用される。
変更することにより部品に変動を誘発させるべきである。従って、好適な一態様において、測定誤差が部品の自然変動に比べて大きい場合、物品の変動が誘発される。
物品の変動は、オペレータの経験に基づいてプレス設定を選択及び変更することによって誘発することができる。即ち、オペレータは、その経験を生かして、どの工程設定を変更して部品変動を誘発するかを決定することができる。好適な態様で変動を誘発するために、技術者は製造工程の間、工程設定を変更し、測定用の部品を選択する前に設定変更間で工程が落ち着く(均衡する)ようにする。加えて、該方法の好適な一態様において、オペレータは、対象とする物品特性に最大変動を誘発する工程設定群(工程設定セット)又は小群(工程設定サブセット)を選択する。好適な一態様においては、工程設備又は工具を損なうことなく部品を製造できるような、工程設定の仕様上限及び下限が選択される。更に、好適な一態様において、対象とする物品特性夫々についてその物品特性上限と下限との間の範囲一杯に変動を誘発するように、工程設定の変化の大きさが選択される。
一態様において、ここに記載する機能を実行するよう構成された演算装置(例えば特定用途又は一般用途のコンピュータ)によって本発明は実現される。所定物品群が製造され、物品特性が測定された後、データ入力モジュール102を実現する好適に構成された演算装置は、好適な形式で、物品群に係る物品特性値群を取得し(受け取り)、それらをメモリに保存する。
態様によれば、ユーザは、例えばエクセル(登録商標)スプレッドシートテーブルやその他好適な任意のファイル形式などの各種ファイル形式で保存された物品特性値データをインポートすることができる。ある形式においては、データ入力モジュール102は、例えばブランクセルのチェックやその他確認方法など、データ群を確認する機能を更に有する。
物品群に係る物品特性間の関係を評価するために、一態様においては、工程分析アプリケーション100は、それぞれが一対の物品特性に基づく散布図群を作成する。図10を参照のこと。散布図群は、物品特性のあらゆる可能な組合せを示すことができ、あるいは、このあらゆる可能な組合せの小群で構成することも可能である。
工程分析システム100は、選択された物品特性間の回帰モデルを決定する機能を有する回帰モジュール104も含んでいる。上記の如く、表示モジュール108は、回帰モデルのグラフ表示を作成し、それをディルプレイ装置818に表示する機能を有する。図10を参照のこと。図10に示すように、回帰モデルは、その下のデータ点群と共に(或いは、オプションとしてデータ点群を省略して)プロットされて表示されてもよい。好適な一態様において、回帰モジュール104は、「最小二乗」曲線近似法を使用して回帰モデルを計算する。しかしながら、他の方法も使用可能である。各図面は線形回帰モデルを示しているが、回帰モデルは、線形でも非線形(高次多項式)でも多変量でもよい。
上記の如く、物品の設計は一般に、物品特性それぞれについて(もしくは少なくとも主要な物品特性について)、仕様上限及び仕様下限と共に、ターゲット値に帰着する。一態様において、工程分析システム100は、対応する回帰モデルに係る一対の物品特性について、ターゲット値の交差を決定する機能を有する。図4は、第一特性(予測因子、以下
参照)及び第二物品特性に係る回帰モデルに対して、ターゲット交差(の位置)が決定される代表的な回帰モデル表示を示している。
工程分析システム100はまた、y軸の物品特性とx軸の物品特性との間の回帰モデルに対するy軸の物品特性の仕様上限及び仕様下限を決定するよう構成されている。図12を参照のこと。このグラフ表示によって、任意のy軸の物品特性が、工程因子の変動に対して堅牢であるかを決定することができる。この場合、回帰線は一般に傾斜が小さく、これに加えて又は代えて、回帰線は一般にy軸の仕様上限及び仕様下限いずれとも交わらない。
図8に示すように、工程分析システム100は、上限及び下限予測区間を回帰モデル図に加え、回帰モデルの変動の大きさを決定することもできる。一態様において、回帰モジュール104は、公知の統計学的手法を用いて一連の物品特性値対について上限及び下限予測区間を計算する機能を更に有する。図8に示すように、予測区間を決定することによって、ターゲット交差に対する変動性を評価することができる。例えば、ターゲット交差は予測区間の下側か上側いずれか外側にあるかもしれない。この場合、工程入力が同じであれば、ターゲット交差に適合することは実際上不可能である。例えば、図8が、射出成形工程から得られる二つの物品特性間の関係を模していると仮定すると、このようなターゲット交差の位置では、このままの状態で型を使用しても二つの物品特性に関してターゲットを満たす部品を得ることはできないことが分かる。更に、ターゲット交差が予測区間内にあるとき、物品特性がターゲットよりも大きい部品並びにターゲットよりも小さい部品の割合は、公知の統計学的手法を使用して決定することができる。
本発明の一態様は、製造工程における予測因子特性の決定に相関及び回帰分析を適用する。一態様において、予測因子特性は、一の部品に係る複数の物品特性から選択されて、単独のx軸の特性として使用される。以下更に詳細に説明するように、予測因子特性は、所定の物品特性が他の物品特性の予測因子となりうるか否かの評価に基づいて選択される。従って、予測因子特性を選択することにより、分析を要する物品特性の組合せ数が比較的小さな小群まで減少する。例えば、31の物品特性を有する部品は、900を超える物品特性間の関係の分析を必要とする。予測因子特性を選択することによって、この数は30の組合せまで減少する。加えて、予測因子の選択を各種方法で使用して、製造に係る設計、製造及び測定作業を容易にすることができる。例えば、予測因子特性を使用すれば、部品測定に係る時間と出費を大幅に減少させることができる。この場合、他の全ての物品特性が仕様内にあるか否かを決定するには、製造中に予測因子特性のみを測定すればよい。
予測因子特性は、発見的(heuristic)又は統計学的手法を用いて選択できる。更に、予測因子特性の選択は、物品特性間の相関の視覚的評価に基づくものであってもよく、分析に基づく評価であってもよい。
一態様において、ユーザは、散布図を使用して相関の程度を視覚的に評価すること、即ち、各散布図について相関係数を視覚的に評価することができる。データ点群周囲の境界又は辺縁が直線に近づくにつれて、相関係数は大きくなる。この一般的ルールの例外は、回帰線が水平若しくはそれに近い場合である。上記II.B参照のこと。ユーザは、物品特性間のあらゆる可能な組合せ散布図を評価できる。しかしながら、他の一態様において、基本因子として機能する一の物品特性を取り上げることによって、使用する散布図の数を大幅に減らすことができる。x軸の因子として基本因子を採用することにより、残りの物品特性それぞれがy軸上にプロットされた一の散布図を作成することができる。「基本」(予測因子に等しい)物品特性を取り上げることは、データの「散布」を見ることによって可能となり、あるいは無作為に取り上げることが可能である。少数の物品特性が関与している場合は視覚的評価が実用的であるが、何千もの組合せになる多数の物品特性の場合は、(少なくとも実用的な目的で)予測因子特性を解析的に選択する演算装置の使用が必要となる。
一態様において、予測因子特性の選択を容易にするため、相関モジュール108は、あらゆる物品特性間、あるいはその小群間の相関係数を計算し、計算された相関係数に基づいて、第一物品特性の他の物品特性に対する予測可能性を示す値を決定し、物品特性の全部又は小群について、このプロセスを繰り返す。図18は方法を示すものであり、予測因子特性の選択に係る工程の流れを示している。図18に示すように、以下更に詳細に説明する相関モジュール106は、あらゆる物品特性の間のあるいは選択された小群の間の相関係数を計算し(一組の物品特性値に基づいて計算し、図19セクションA参照)、相関係数表(図19セクションB参照)に記載(相関係数表を作成)する(ステップ402)。続いて相関モジュール106は、各物品の相対的予測可能性を示す値を計算する(ステップ404)。一態様において、この値は、所定の物品特性に係る相関係数の絶対値の平均である(図19、セクションC参照)。この値を計算する他の方法、例えば、絶対値を使用しない平均計算や、加重平均の計算など、も勿論使用可能である。
標準的な産業上の慣行によれば、一つの物品特性(例えば一寸法)に係るデータは、一の列に縦に並べられる。このように、各列は、唯一の物品特性を記録する。従って得られる測定データの並びは、物品特性と同数の列を有している。大抵、データはExcelスプレッドシート若しくは他の好適なファイル形式で記録される。
例では0.999232)を表の上方左側(A=1、B=1)に記録する(ステップ512)。続いて相関モジュール106は、計算と記録を繰り返し行なうごとに行の位置(B)を増加させて、第一物品係数(X=1)と残りの係数(Y)との間の相関係数を計算する(ステップ514、516及び518)。
一態様において、ユーザは上記機能を使用して、予測因子特性の選択を完了し、予測因子特性をx軸因子とし、仕様限界並びに場合によって予測区間を含む散布図の視認を行ってもよい。このような散布図に基づいて、ユーザは、堅牢な(工程設定の変化に影響を受け難い)予測された特性を選択し、そのような物品特性をデータ群から外して「ノイズ」を排除するようにしてもよい。この選択は、回帰モデルの傾き及びy切片、予測区間の位置及び傾き、x軸の因子及びy軸の因子両方に係る仕様上限及び仕様下限の値に基づいて解析的に行なうことも可能である。一態様において、そのような物品特性は、予測される物品特性仕様限界と交差しない予測区間を有する。ここでは、それらは予測因子特性の選択における「ノイズ」となる。続いてユーザは、リバイズされた(削減された)データ群に基づいて、最適予測因子の選択を再び実行する。
本発明一態様の理解を容易にするためには、二つの物品特性のみを対象とする単純な状況を考えることが役立つ。物品特性の一は、上記方法を用いて予測因子特性として選択される。回帰モデルは、予測因子特性と残りの物品特性又は予測される特性との間の関係を確立する。この状況は、図12に示されている。回帰モデルと予測される特性(Y)の仕様上限及び仕様下限との交差によって、その値を超えると予測された特性は仕様に合致しな
くなる予測因子特性(X)の値が決定される。上記II.B.1.b.を参照のこと。回帰モデルとyの仕様上限との交差はPmaxとして定義される。図12参照のこと。回帰モデルとyの仕様下限との交差はPminとして定義される。予測因子特性(x)がPminとPmaxとの間にある限り、予測される特性は仕様限界内にあることが容易に分かる。予測因子特性と予測される特性との間に完全な相関があるこの回帰モデルにおいては、予測因子特性がPmaxより大きくあるいはPminより小さい場合、予測される特性は仕様限界の外側にあると明言できる。別な言い方をすれば、これは、PminとPmaxとの間の距離をPrangeとして定義することになる。予測因子特性がPrange内にある限り、予測された特性は仕様内にあると言える。
上記の如く、II.B.2.b.における議論は二つの物品特性のみに係る単純な状況に関するものであった。実際、所定部品において対象とされる物品特性は多数である。一態様において、工程分析システム100は、制限表を作成する機能を更に有する。制限表は、予測される物品特性それぞれについて、上記の如く決定される予測因子特性の最小値(Pmin)及び最大値(Pmax)を含んでいる(II.B.1.b-c.及びII.B.2.b.参照)。
い場合、予測される特性について最大及び最小許容値(それぞれPmax及びPmin)を決定する機能を有する。グラフ表示及び各種コンピュータ表示において、工程分析システム100は、予測因子特性と予測される特性との間の回帰モデル(並びにそれが画定する領域)に対し、予測される物品特性及び予測因子特性両方についての仕様上限及び下限によって区切られた領域からなるコンプライアンス領域を決定する(位置出しする)(図33A参照)。続いて工程分析システム100は、区切られた回帰領域を識別する。前記回帰領域とは、回帰モデルの上限及び下限予測境界と、予測因子特性の仕様上限及び下限とによって区切られた領域である。図33Bに示すように、回帰領域は、予測因子特性と予測される特性との間の、予測区間252及び254を伴う回帰モデルによって区切られた区域である。図33Cは、予測因子特性の仕様下限(LSL(x))及び仕様上限(USL(x))によって区切られた上記定義の回帰領域を示している。
境界上限がコンプライアンス領域内部にあれば、抑制関係が存在する。
物品設計及び工程入力を容易にし、工程制御因子の設定に有用な更に別のパラメータをPmin*及びPmax*から派生させることも可能である。最大許容範囲(Prange*)は、最も抑制的な最大値(Pmax*)から最も抑制的な最小値(Pmin*)を引くことにより算出できる。図14は、二つの予測される特性からなる単純化モデルに係る、最も抑制的な最小値及び最大値並びに範囲の決定をグラフにより示している。
以下、更に詳細に示すように、工程分析システム100は、一態様において、前工程寸法が所定設計ターゲットに到達するよう調整する量を示すオフセット表を作成する機能を更に有する。換言すれば、オフセット表は、回帰線がターゲット交差を通過するよう移動される距離に対応する値を提供する。例えば、射出成形工程において、オフセット値は、予測因子寸法と所定予測寸法とのターゲット交差に到達するよう、(例えば、溶接によって鋼を加えたり、機械研磨によって鋼を取り除いたりして)所定成形型寸法が変更される量である。これは、例えば成形品が0.001インチ単位で修正されて部品寸法の向上が図られる場合もある医療業界用に製造される部品にとっては重要な情報である。この情報は、成形設計者及び成形技師によって使用可能である。鍍金のような他の工程に関しては、オフセット表によって技師は、部品の予備鍍金寸法に対し必要な変化(変化量)を知ることができる。
る特性について工程を繰り返す。
多くの場合、成形品の寸法など、予備工程要素を変更する代わりに、所定部品における設計許容誤差を緩和する方が迅速で廉価である。勿論、設計技術者は、形状、はめあい又は機能における所定物品特性について許容誤差緩和が与える影響を考慮して実現可能であるか否かを決定しなければならない。更に、動作範囲(上記Prange*)が小さすぎて、全ての物品特性が仕様限界内にある部品や組合せ部品を作製することが困難又は不可能な場合もある。許容誤差を緩和することによって動作範囲を広げることで生産性を向上させるよう決定が下されると、設計許容誤差緩和表の一態様によって、許容誤差を緩和させる最適化指令の優先順位リストを提供することで、どの設計許容誤差を緩和するかという評価が容易になり、同様に許容誤差緩和増分毎に到達した動作範囲の増加に関する分析も容易になる。
4)。一態様において、工程分析システム100は、最も抑制的なPminから最も抑制的ではない(最も大きい)Pminまで物品特性を分類し、予測因子特性識別子及び関連する仕様限界を、分類したリストの末尾に加える。続いて工程分析システム100は、各物品特性についてリスト内の次の物品特性のPminに対応する値まで仕様限界を緩和することによって得られる個別増加を計算する。例えば、Var16の仕様限界を、Var13に対応するPminのレベルまで緩和することによって得られる個別増加は、Var16のPminとVar13のPminとの差である。この場合、この差は0.0005インチであり、図30の表は、Pmin値についてコンピュータスプレッドシートの桁切り機能によって、0.004インチを示している。残りの物品特性についても、最後の(予測因子)特性に到達するまで、同様の方法で続けて個別増加が計算される。
からPmax’への緩和に帰する(図32D)。
説明のため、幾つかのパラメータを以下のように定義し明瞭にすることが役立つと思われる。
変動を減少させることである。第二選択肢は、設計許容誤差を大きくすることである。第三選択肢は、前記二つの選択肢を組み合わせて実行することである。本発明は、全体としては多数の物品特性が関与するものの、ここで議論される各種工程能力分析が30又は40ではなく唯一の予測因子特性について唯一回実行されるよう要求することにより、効率性の向上及び費用削減を非常に容易にするものである。
2. A対C
3. B対C
4. X対Y
5. X対Z
6. Y対Z
前述の如く、上記比較により得られる非常に貴重な情報がある。
図21は、上記概念を要約しており、本発明の一態様に係る方法を示している。説明のため、射出成形について記載する。図21は、例えば物品特性について各種設計ターゲット及び仕様限界を実現する部品設計を示しており(602)、一の部品を画定する少なくとも一のキャビティを含む一の成形品の設計及び製造を許容している(604)。工程への他の入力としては、ノイズ因子(606)や工程制御設定(607)がある。工程(208)は、実験的出力(610)若しくは製品出力(630)をもたらすが、これについては以下で説明する。
御因子の調整(614)の少なくとも一方を決定することができる。
がターゲット交差と一致するまで、少しの量だけ回帰線沿いに移動させる。勿論、実際は、特性位置を移動すべき方向は、ターゲット交差に対する初期特性位置と回帰線の傾きとに依存している。
、本発明における他の態様も当業者には自明である。従って、以下の請求の範囲は、上記具体的態様に限定されるものではない。
Claims (30)
- プロセスから生じる物品群に対応する一組の物品特性の値を統計処理することで当該プロセスの分析に必要な評価を行うための方法であって、
複数の物品特性にバラツキがある、一揃いの単一物品群に関連付けられた、複数の物品特性の値を受け付ける工程を備え、前記一揃いの単一物品群は、一つ以上の工程設定で前記プロセスを実行することにより生成され、前記複数の物品特性の値は、当該物品群の各々を測定することで取得され、前記方法はさらに、
前記一組の物品特性のうち、物品特性間の相関関係に依存して、他の物品特性の値を予測するために用いられる物品特性である予測因子特性を選択する工程を備え、前記予測因子特性を選択する工程は、
前記複数の物品特性に含まれる、任意の2つの前記物品特性の間で相関係数をそれぞれ計算する工程と、
前記複数の物品特性について予測可能性値をそれぞれ計算する工程とを含み、ある物品特性についての前記予測可能性値は、当該物品特性に対応する相関係数の関数であり、前記選択する工程はさらに、
前記複数の物品特性のリストをグラフィカルユーザインターフェイスに表示する工程と、
前記グラフィカルユーザインターフェイスに表示された前記複数の物品特性のいずれかから、前記予測因子特性としての選択を、前記グラフィカルユーザインターフェイスを介してユーザから受付ける工程とを含み、前記方法はさらに、
前記予測因子特性の値と前記複数の物品特性に含まれる残りの物品特性の少なくとも一つの値との間の回帰式を決定する工程と、
決定した回帰式を用いて、当該プロセスによって生成され得る物品群について、前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性の値について評価する工程とを備え、前記評価する工程は、
(1)当該プロセスによって生成され得る物品群について、予測因子特性に対応するすべての値に関して、前記回帰式に係る物品特性の値がそれぞれの仕様限界に適合しているか否かを判断する処理、
(2)当該プロセスに対して設定され得る工程設定に従って、前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性の値が仕様限界内である物品群を製造できるかを判断する処理、および
(3)当該プロセスについて、前記回帰式に係る物品特性の値が対応の仕様限界に適合するように、前記予測因子特性の最小値を決定する処理、
(4)当該プロセスについて、前記回帰式に係る物品特性の値が対応の仕様限界に適合するように、前記予測因子特性の最大値を決定する処理、
(5)当該回帰式が定義されるグラフ上において、予測因子特性および物品特性に対
するターゲット仕様値と前記回帰式を示す回帰線との間の距離を決定する処理、のうち少なくとも1つを含む、方法。 - 前記予測可能性値をそれぞれ計算する工程は、
前記複数の物品特性に含まれる一つの物品特性について、前記計算された相関係数から、当該一つの物品特性が他の全ての物品特性に関して予測する能力を示す前記予測可能性値を決定する工程と、
前記物品特性の全てまたは一部に対して、前記予測可能性値を決定する工程を繰り返す工程とを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記予測可能性値を決定する工程は、前記複数の物品特性に含まれる各物品特性について、算出された相関係数の絶対値の平均を計算する工程を含む、請求項2に記載の方法。
- 前記評価する工程は、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれのターゲット値を受け取る工程と、
前記予測因子特性に対するターゲット値と前記物品特性に対するターゲット値との交点が前記回帰式と交わるか否かを評価することで、前記予測因子特性の値および物品特性の値がそれぞれのターゲット値に適合している物品群を製造できるか否かを判断する工程とを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記回帰式に係る物品特性の上限予測区間および下限予測区間の夫々を決定する工程と、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれの仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記回帰式に係る物品特性に対する仕様下限および仕様上限を設定する工程と、
前記回帰式に係る物品特性の下限予測区間から上限予測区間の範囲が、当該物品特性に対する仕様下限から仕様上限までの範囲内となるように、前記予測因子特性に対する仕様上限および仕様下限を設定する工程とを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対する仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対する仕様下限および仕様上限を設定する工程とを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記回帰式と前記回帰式に係る物品特性に対する前記仕様下限との交点、および、前記回帰式と前記回帰式に係る物品特性に対する前記仕様上限との交点を決定することで、前記回帰式に係る物品特性に対する、予測因子特性の最小値および予測因子特性の最大値を計算する工程をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
所望の残りの物品特性の全てについて、前記回帰式を決定する工程を繰り返させる工程と、
決定される回帰式について、受け取る工程、設定する工程、および計算する工程を繰り返す工程と、
前記残りの物品特性を、前記残りの物品特性のそれぞれに関連付けられた前記予測因子特性の最小値でソートすることによって、最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリストを作成する工程と、
前記残りの物品特性を、前記残りの物品特性のそれぞれに関連付けられた前記予測因子特性の最大値でソートすることによって、最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストを作成する工程とをさらに含む、請求項7に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記回帰式に係る物品特性の上限予測区間および下限予測区間の夫々を決定する工程と、
前記予測因子特性に対する仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記回帰式に関連付けて、前記予測因子特性に対する仕様下限および仕様上限を設定する工程とを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記回帰式に係る物品特性の上限予測区間および下限予測区間の夫々を決定する工程と、
前記回帰式に係る物品特性に対する仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記回帰式に係る物品特性に対する仕様下限および仕様上限を設定する工程と、
前記予測因子特性に対する仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記予測因子特性に対する仕様下限および仕様上限を設定する工程と、
(1)前記予測因子特性に対する仕様上限、および、(2)前記上限予測区間が前記物品特性に対する仕様上限と交差する位置における前記予測因子特性の値、のうち小さい方を選択することによって、前記予測因子特性の最大値を決定する工程とを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
(1)前記予測因子特性に対する仕様下限、および、(2)前記下限予測区間が前記物品特性に対する仕様下限と交差する位置における前記予測因子特性の値、のうち大きい方を選択することによって、前記予測因子特性の最小値を決定する工程とを含む、請求項10に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記複数の物品特性のうち所望数の残りの物品特性について、前記予測因子特性の最大値を決定する工程を繰り返す工程と、
前記予測因子特性の最大値のうち最も小さなものを選択することによって、前記予測因子特性の最も制約されている最大値を決定する工程とを含む、請求項11に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記予測因子特性の最大値から前記予測因子特性の最小値を引くことで、前記予測因子特性に対する許容範囲を決定する工程と、
最も制約されている物品特性の最小値を選択することによって、前記予測因子特性に対するターゲット製造値を決定する工程をさらに備える、請求項12に記載の方法。 - 前記評価する工程は、
前記予測因子特性の最も制約されている最大値から最も制約されている最小値を引くことで、前記予測因子特性に対する最大許容範囲を決定する工程と、
前記予測因子特性の最も制約されている最小値と最も制約されている最大値との間の中点を選択することによって、前記予測因子特性に対するターゲット製造値を決定する工程と、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれのターゲット値を受け取る工程と、
前記予測因子特性に対するターゲット値と前記物品特性に対するターゲット値との交点が前記回帰式と交わるか否かを評価することで、前記予測因子特性の値が前記ターゲット製造値に適合している物品群を製造できるか否かを判断する決定する工程とを含む、請求項12に記載の方法。 - プロセスから生じる物品群に対応する一組の物品特性から、他の物品特性の値を予測するために用いられる物品特性である予測因子特性を選択する方法であって、
物品特性のバラツキが自然に発生する前記プロセスを実行することにより、あるいは、前記プロセスにおける工程設定を意図的に変化させて前記プロセスを実行することにより、物品特性にバラツキがある一揃いの単一物品群を準備する工程と、
前記一揃いの単一物品群の各々を測定することで、前記一揃いの単一物品群に関連付けられた、複数の物品特性の値を取得する工程と、
前記一揃いの単一物品群に関連付けられた複数の物品特性の値をコンピュータ装置に入力する工程と、
前記複数の物品特性に含まれる、任意の2つの前記物品特性の間で相関係数を前記コンピュータ装置を用いてそれぞれ計算する工程と、
前記複数の物品特性のうち一つの物品特性を、当該プロセスによって生成され得る物品の他の物品特性の値を予測するために用いられる前記予測因子特性として選択する工程とを備え、
前記予測因子特性として選択する工程は、
各物品特性について、計算された他の物品特性に関する相関係数の複数についての絶対値の平均値を計算するとともに、計算された複数の平均値のうち最大値をとる平均値に対応する物品特性を前記予測因子特性として選択する工程とを含む、方法。 - 前記予測因子特性に対する最大許容範囲を決定する工程と、
前記選択する工程に続いて、次に生成される物品群が前記一揃いの単一物品群に関連付けられた少なくとも一つの設計仕様に適合することを、前記予測因子特性の評価に基づいて検証する工程とをさらに備える、請求項15に記載の方法。 - 請求項15に記載の方法によって選択された予測因子特性を用いて、予測される他の物品特性の堅牢性を評価する方法であって、
前記選択された予測因子特性の値と前記複数の物品特性に含まれる残りの物品特性の
少なくとも一つの値との間の回帰式を決定する工程を備え、前記回帰式は、下限予測境界および上限予測境界を含み、前記方法はさらに、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれの仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記回帰式について、前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれの仕様下限および仕様上限によって区切られたコンプライアンス領域を設定する工程と、
前記回帰式の上限予測限界および下限予測境界と、前記予測因子特性に対する仕様上限および仕様下限とによって定義される、前記回帰式に係る物品特性に対する区切られた回帰領域を設定する工程と、
前記区切られた回帰領域と前記コンプライアンス領域との間の関係が、潜在欠陥関係、堅牢関係、および抑制関係のいずれであるかを特定する工程とをさらに備える、請求項16に記載の方法。 - 所定の設計ターゲットを達成するためにプロセスの前プロセス特性を調整すべき大きさおよび方向を決定することを容易にする方法であって、前記前プロセス特性は、当該プロセスによって生成される物品の物品特性に対応し、
プロセスから生じる複数の物品特性にバラツキがある一揃いの単一物品群に関連付けられた、複数の物品特性の値を受け取る工程を備え、前記一揃いの単一物品群は、ある工程設定で前記プロセスを実行することにより生成され、前記複数の物品特性の値は、当該物品群の各々を測定することで取得され、
前記一組の物品特性のうち、物品特性間の相関関係に依存して他の物品特性の値を予測するために用いられる、一つの物品特性である予測因子特性を選択する工程とを備え、前記予測因子特性を選択する工程は、任意の2つの前記物品特性の間で相関係数をそれぞれ計算し、各物品特性について、計算された他の物品特性に関する相関係数の複数についての絶対値の平均値を計算し、計算された複数の平均値のうち最大値をとる平均値に対応する物品特性を前記予測因子特性として決定する工程を含み、さらに、
前記予測因子特性と前記複数の物品特性のうち残りの物品特性の各々との間でそれぞれの回帰式を決定する工程と、
前記回帰式の各々に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれのターゲット値を受け取る工程とを備え、前記ターゲット値の各々は、当該工程設定で前記プロセスにおいて生成される物品が満たすべき設計値であり、
決定した回帰式のうち1つの回帰式に係る予測因子特性および物品特性について、当該回帰式が定義されるグラフ上において、前記予測因子特性に対するターゲット値と前記物品特性に対するターゲット値とが交差する座標を設定する工程と、
前記グラフ上において、前記交差する座標からの前記回帰式を示す回帰線までの距離および方向を、対応する物品特性についてのオフセットの大きさおよび方向として計算する工程とを備え、計算する工程は、
(1)前記グラフ上において、前記交差する座標と前記回帰線との間の垂直方向における距離および方向を計算する工程、
(2)前記グラフ上において、前記交差する座標と前記回帰線との間の水平方向における距離および方向を計算する工程、および
(3)前記グラフ上において、前記交差する座標と前記回帰線との間の前記回帰線に垂直な方向における距離および方向を計算する工程、のうちいずれか一つを含み、
計算された前記オフセットの大きさおよび方向を、対応する物品特性を特定するための識別子と関連付けてデータ構造内に保存する工程と、
決定した回帰式の全てについて、計算する工程、設定する工程、および保存する工程を繰り返すことでオフセット表を生成する工程と、
前記オフセット表を参照して、前記複数の物品特性のうち前記前プロセス特性において修正すべき物品特性、および、その修正量を決定する工程とを備える、方法。 - 前記オフセットの大きさおよび方向を、対応する物品特性と関連付けて表示する工程を
さらに備える、請求項18に記載の方法。 - 少なくとも一の物品特性に対応する設計許容の緩和に関連付けられたプロセスによって生成される物品の予測因子特性に対して、動作範囲における達成可能な増分に対して最も制約となっている物品特性を判断する方法であって、前記予測因子特性は、物品特性間の相関関係に依存して、他の物品特性の値を予測するために用いられる物品特性であり、
複数の物品特性にバラツキがある一揃いの単一物品群に関連付けられた、複数の物品特性の値を受け取る工程を備え、前記一揃いの単一物品群は、一つ以上の工程設定で前記プロセスを実行することにより生成され、前記複数の物品特性の値は、前記一揃いの単一物品群の各々を測定することで取得され、
前記複数の物品特性に含まれる、任意の2つの前記物品特性の間で相関係数をそれぞれ計算する工程と、
各物品特性について、前記予測因子特性とした場合の能力を示す予測可能性値を計算する工程とを備え、前記予測可能性値は、前記計算された他の物品特性に関する相関係数の絶対値の平均であり、さらに、
計算された予測可能性値のうち最大値をとる予測可能性値に対応する物品特性を前記予測因子特性として選択する工程と、
前記予測因子特性の値と前記複数の物品特性のうち残りの物品特性の値との間の回帰式を決定する工程とを備え、
前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれの仕様下限および仕様上限を受け取る工程と、
前記回帰式と前記回帰式に係る物品特性に対する前記仕様下限との交点、および、前記回帰式と前記回帰式に係る物品特性に対する前記仕様上限との交点を決定することで、前記回帰式に係る物品特性に対する、予測因子特性の最小値および予測因子特性の最大値を計算する工程と、
所望の残りの物品特性の全てについて、決定する工程、受け取る工程、および計算する工程を繰り返す工程と、
前記残りの物品特性を、前記残りの物品特性のそれぞれに関連付けられた前記予測因子特性の最小値でソートすることによって、最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリストを作成する工程と、
前記残りの物品特性を、前記残りの物品特性のそれぞれに関連付けられた前記予測因子特性の最大値でソートすることによって、最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストを作成する工程とを備え、
前記動作範囲は、最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリストにおける最も大きな予測因子特性の最小値、または、設計許容の緩和の対象となった物品特性に関連付けられた予測因子特性の最小値と、最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストにおける最も小さな予測因子特性の最大値、または、設計許容の緩和の対象となった物品特性に関連付けられた予測因子特性の最大値との差である、方法。 - 前記予測因子特性の最小値のうち最も大きな値を有するものに関連付けられた前記残りの物品特性から、以下のステップを開始する工程をさらに備え、前記以下のステップは、
前記残りの物品特性の適用可能な仕様限界を、前記ソートされたリストにおいて次に位置している残りの物品特性に関連付けられた予測因子特性の最小値に対応する値まで緩和することによって得られる、動作範囲における個別の増分を計算する工程を含み、前記個別の増分を計算する工程は、対応する回帰式において緩和された仕様限界との交点を判断することで、前記緩和後の仕様限界についての、予測因子特性の最小値および予測因子特性の最大値を算出し、前記緩和後の予測因子特性の最大値に対する前記緩和後の予測因子特性の最小値の比と、前記緩和前の予測因子特性の最大値に対する緩和前の予測因子特
性の最小値の比との差を、前記個別の増分として算出し、さらに
前記個別の増分をそれぞれ累積することで、対応する物品特性の適用可能な仕様限界の緩和に関連付けられた累積増分を計算する工程と、
所望の残りの物品特性の全てについて上記の2つの計算する工程を繰り返す工程とを含む、請求項20に記載の方法。 - 前記予測因子特性の最大値のうち最も小さな値を有するものに関連付けられた前記残りの物品特性から、以下のステップを開始する工程をさらに備え、前記以下のステップは、
前記残りの物品特性の適用可能な仕様限界を、前記ソートされたリストにおいて次に位置している残りの物品特性に関連付けられた予測因子特性の最大値に対応する値まで緩和することによって得られる、動作範囲における個別の増分を計算する前記工程と、
前記個別の増分をそれぞれ累積することで、対応する物品特性の適用可能な仕様限界の緩和に関連付けられた累積増加を計算する工程と、
所望の残りの物品特性の全てについて上記の2つの計算する工程を繰り返す工程とを含む、請求項21に記載の方法。 - 最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリスト、および、最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストのうち、一方または双方から少なくとも一つの残りの物品特性の選択を受け取る工程と、
前記選択が前記最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリストからの前記残りの物品特性の選択を含むなら、前記予測因子特性の最小値を、前記最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリストにおいて次に位置している物品特性に対応する予測因子特性の最小値に設定するとともに、前記最も制約となっている予測因子特性の最小値についてのリストにおいて前記選択された物品特性までの全ての物品特性に対して設定する工程と、
前記物品特性に対して新たな仕様下限または仕様上限を決定する工程と、
前記選択が前記最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストからの前記残りの物品特性の選択を含むなら、前記予測因子特性の最大値を、前記最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストにおいて次に位置している物品特性に対応する予測因子特性の最大値に設定するとともに、前記最も制約となっている予測因子特性の最大値についてのリストにおいて前記選択された物品特性までの全ての物品特性に対して設定する工程と、
前記物品特性に対して新たな仕様下限または仕様上限を決定する工程とをさらに備える、請求項22に記載の方法。 - プロセスから生じる物品群に対応する一組の物品特性の値を統計処理することで当該プロセスの分析に必要な評価を行う装置であって、
複数の物品特性にバラツキがある一揃いの単一物品群に関連付けられた、複数の物品特性の値を入力するデータインプットモジュールを備え、前記一揃いの単一物品群は、一つ以上の工程設定で前記プロセスを実行することにより生成され、前記複数の物品特性の値は、前記一揃いの単一物品群の各々を測定することで取得され、前記装置はさらに、
前記一組の物品特性のうち、物品特性間の相関関係に依存して、他の物品特性の値を予測するために用いられる物品特性である予測因子特性を選択する選択モジュールと、
前記複数の物品特性を表示するとともに、表示された前記複数の物品特性のいずれかに対しての前記予測因子特性としての選択を可能にするグラフィカルユーザインターフェイスと、
前記予測因子特性の値と前記複数の物品特性に含まれる残りの物品特性の少なくとも一つの値との間の回帰式を決定する回帰モジュールと、
決定した回帰式を用いて、当該プロセスによって生成され得る物品群について、前記回帰式に係る予測因子特性の値および物品特性の値についての評価を可能にするユーザインターフェイスとを備え、
前記選択モジュールは、
前記複数の物品特性に含まれる、任意の2つの前記物品特性の間で相関係数をそれぞれ計算し、
前記複数の物品特性について予測可能性値をそれぞれ計算し、ある物品特性についての前記予測可能性値は、当該物品特性に対応する相関係数の関数であり、前記選択するモジュールはさらに、
前記複数の物品特性のリストを前記ユーザインターフェイスに表示し、
前記ユーザインターフェイスに表示された前記複数の物品特性のいずれかから、前記予測因子特性としての選択を、前記グラフィカルユーザインターフェイスを介してユーザから受付け、
前記評価する処理は、
(1)当該プロセスによって生成され得る物品群について、予測因子特性に対応するすべての値に関して、前記回帰式に係る物品特性の値がそれぞれの仕様限界に適合しているか否かを判断する処理、
(2)当該プロセスに対して設定され得る工程設定に従って、前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性の値が仕様限界内である物品群を製造できるかを判断する処理、および
(3)当該プロセスについて、前記回帰式に係る物品特性の値が対応の仕様限界に適合するように、前記予測因子特性の最小値を決定する処理、
(4)当該プロセスについて、前記回帰式に係る物品特性の値が対応の仕様限界に適合するように、前記予測因子特性の最大値を決定する処理、
(5)当該回帰式が定義されるグラフ上において、予測因子特性および物品特性に対するターゲット仕様値と前記回帰式を示す回帰線との間の距離を決定する処理、のうち少なくとも1つを含む、装置。 - 前記複数の物品特性に含まれる、任意の2つの前記物品特性の間で相関係数をそれぞれ計算するとともに、前記複数の物品特性の各々について、前記複数の物品特性のうち他の一つに関連して計算された相関係数を前記予測因子特性を生成するために処理することで、前記予測因子特性としての能力を示す予測可能性値を計算する相関モジュールをさらに備え、
前記ユーザインターフェイスは、さらに、前記予測可能性値に従ってソートされた、前記複数の物品特性のリストを表示する、請求項24に記載の装置。 - 前記データインプットモジュールは、さらに、前記回帰式に係る予測因子特性および物品特性に対するそれぞれのターゲット値を受け取るように構成されており、
前記回帰モジュールは、さらに、
前記予測因子特性に対するターゲット値と前記物品特性に対するターゲット値との交点が前記回帰式と交わるか否かを評価することで、前記予測因子特性の値および物品特性の値がそれぞれのターゲット値に適合している物品群を製造できるか否かを判断するように構成されている、請求項24に記載の装置。 - 前記回帰モジュールは、前記回帰式に係る物品特性の上限予測区間および下限予測区間の夫々を決定するように構成されている、請求項24に記載の装置。
- 前記データインプットモジュールは、
前記回帰式に係る物品特性に対する仕様下限および仕様上限を受け取り、
前記予測因子特性に対する仕様下限および仕様上限を受け取り、
前記回帰式に係る物品特性に対する仕様下限および仕様上限を設定し、
前記予測因子特性に対する仕様下限および仕様上限を設定し、
(1)前記予測因子特性に対する仕様上限、および、(2)前記上限予測区間が前記物品特性に対する仕様上限と交差する位置における前記予測因子特性の値、のうち小さい方を選択することによって、前記予測因子特性の最大値を決定する、ように構成されている、請求項27に記載の装置。 - 前記回帰モジュールは、
前記複数の物品特性のうち所望数の残りの物品特性について、前記予測因子特性の最大値を決定する工程を繰り返し、
前記予測因子特性の最大値のうち最も小さなものを選択することによって、前記予測因子特性の最も制約されている最大値を決定するように構成されている、請求項28に記載の装置。 - 前記相関モジュールは、前記計算された前記物品特性と残りの物品特性との間の複数の相関係数の絶対値の平均を計算することで、前記物品特性に対する前記予測可能性値を決定するように構成されている、請求項25に記載の装置。
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