JP4760418B2 - マイクロプラズマジェット制御方法及び装置 - Google Patents
マイクロプラズマジェット制御方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4760418B2 JP4760418B2 JP2006029313A JP2006029313A JP4760418B2 JP 4760418 B2 JP4760418 B2 JP 4760418B2 JP 2006029313 A JP2006029313 A JP 2006029313A JP 2006029313 A JP2006029313 A JP 2006029313A JP 4760418 B2 JP4760418 B2 JP 4760418B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power value
- plasma
- value
- reflected
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Description
まず、本発明の第1の実施形態について,図1〜図6を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態について,図7、図8を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と共通の構成要素については同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
Pp =(Rp /(Rp +Rc ))・(Pf−Pr)
で与えられる。ここで、(Pf−Pr)を一定に制御することで、プラズマ投入電力Pp をほぼ一定にしようとするものである。なお、大気圧プラズマではプラズマ抵抗Rp はプラズマ発生中殆ど一定であり、回路抵抗Rc はマイクロアンテナ3の温度によって変化するが、(Rp /(Rp +Rc ))の項での影響は比較的少なくて済む。なお、精度良く制御する場合は、(Pf−Pr)の目標値を、回路抵抗Rc の温度による変化を考慮して調整するようにすれば良い。
次に、本発明の第3の実施形態について,図9、図10を参照して説明する。
次に、本発明の第4の実施形態について,図11〜図14を参照して説明する。
3 マイクロアンテナ
4 放電管
6 発熱体(温度調整手段)
7 温度検出手段
8 制御部(制御手段)
9 熱風発生器(温度調整手段)
10 高周波電源
12 入射電力検出手段
13 反射電力検出手段
P プラズマ
G ガス
Claims (4)
- 基板に形成した複数巻のマイクロアンテナに高周波電力を供給し、この基板に配設された放電管の一端からガスを供給し、放電管内で発生したプラズマを放電管の他端から吹き出すマイクロプラズマジェットの制御方法において、
プラズマ発生中、マイクロアンテナに向けて出力する入射電力値とマイクロアンテナから反射してくる反射電力値とを検出し、前記入射電力値と前記反射電力値の差が、プラズマ発光強度がほぼ一定になる時の値として予め求めた値になるように、前記入射電力値を制御することを特徴とするマイクロプラズマジェット制御方法。 - 基板に形成した複数巻のマイクロアンテナに高周波電力を供給し、この基板に配設された放電管の一端からガスを供給し、放電管内で発生したプラズマを放電管の他端から吹き出すマイクロプラズマジェットの制御方法において、
予めプラズマ発光強度がプラズマ処理可能なほぼ一定値になる反射電力値と入射電力値の関係を求めておき、プラズマ発生中、前記反射電力値を検出して前記反射電力値と前記入射電力値の前記関係から前記入射電力値を制御することを特徴とするマイクロプラズマジェット制御方法。 - 基板と、基板に形成した複数巻のマイクロアンテナと、この基板に配設された放電管と、マイクロアンテナに高周波電力を供給する高周波電源と、放電管の一端にガスを供給するガス供給手段と、高周波電源から出力されるマイクロアンテナに対する入射電力値を検出する入射電力値検出手段と、マイクロアンテナから反射してくる反射電力値を検出する反射電力値検出手段と、前記入射電力値検出手段と前記反射電力値検出手段からの信号を入力とし、高周波電源の出力を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、プラズマ発生中、前記入射電力値と前記反射電力値の差が、プラズマ発光強度がほぼ一定になる時の値として予め求めた値になるように、前記入射電力値を制御することを特徴とするマイクロプラズマジェット制御装置。 - 基板と、基板に形成した複数巻のマイクロアンテナと、この基板に配設された放電管と、マイクロアンテナに高周波電力を供給する高周波電源と、放電管の一端にガスを供給するガス供給手段と、マイクロアンテナから反射してくる反射電力値を検出する反射電力値検出手段と、前記反射電力値検出手段からの信号を入力とし、高周波電源の出力を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、予め求められたプラズマ発光強度がプラズマ処理可能なほぼ一定値になる前記反射電力値と高周波電源から出力されるマイクロアンテナに対する入射電力値の関係データが格納され、プラズマ発生中、格納されている前記反射電力値と前記入射電力値の前記関係データと前記反射電力値検出手段により検出される前記反射電力値に基づいて前記入射電力値を制御することを特徴とするマイクロプラズマジェット制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006029313A JP4760418B2 (ja) | 2006-02-07 | 2006-02-07 | マイクロプラズマジェット制御方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006029313A JP4760418B2 (ja) | 2006-02-07 | 2006-02-07 | マイクロプラズマジェット制御方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007213821A JP2007213821A (ja) | 2007-08-23 |
JP4760418B2 true JP4760418B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=38492080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006029313A Expired - Fee Related JP4760418B2 (ja) | 2006-02-07 | 2006-02-07 | マイクロプラズマジェット制御方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4760418B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015144078A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 富士機械製造株式会社 | 大気圧プラズマ発生装置 |
JP6807792B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-01-06 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ生成方法及びこれを用いたプラズマ処理方法、並びにプラズマ処理装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3705745B2 (ja) * | 2001-03-05 | 2005-10-12 | 学校法人 東洋大学 | マイクロ化学分析システム |
JP4019712B2 (ja) * | 2002-01-09 | 2007-12-12 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | プラズマ放電処理装置及びプラズマ放電処理方法 |
JP4013570B2 (ja) * | 2002-02-06 | 2007-11-28 | 松下電器産業株式会社 | プラズマ加工方法及び装置 |
JP2004134716A (ja) * | 2002-10-11 | 2004-04-30 | Mori Engineering:Kk | 2電源方式プラズマ発生装置 |
JP4232951B2 (ja) * | 2002-11-07 | 2009-03-04 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 誘導結合プラズマトーチ |
JP3616088B1 (ja) * | 2004-03-17 | 2005-02-02 | 独立行政法人科学技術振興機構 | マイクロプラズマジェット発生装置 |
JP2005285485A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toudai Tlo Ltd | プラズマ発生装置及び低真空走査電子顕微鏡 |
-
2006
- 2006-02-07 JP JP2006029313A patent/JP4760418B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007213821A (ja) | 2007-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9275870B2 (en) | Plasma processing method and plasma processing device | |
US5997687A (en) | Plasma processing apparatus | |
US7244475B2 (en) | Plasma treatment apparatus and control method thereof | |
TWI604494B (zh) | Plasma processing apparatus, plasma processing method, and high frequency generator | |
US6818562B2 (en) | Method and apparatus for tuning an RF matching network in a plasma enhanced semiconductor wafer processing system | |
KR102038617B1 (ko) | 플라즈마 처리 방법 및 플라즈마 처리 장치 | |
JP4739793B2 (ja) | 高周波電源装置 | |
US8203859B2 (en) | High frequency device with variable frequency and variable load impedance matching | |
TWI797307B (zh) | 電漿產生方法 | |
JP4272889B2 (ja) | プラズマ発生器に用いられる静電シールドに適用した電圧制御装置及びその方法 | |
JP4838525B2 (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置及び可変整合器におけるインピーダンスのプリセット値を決定するためのプログラム | |
US20090284156A1 (en) | Method and apparatus for pulsed plasma processing using a time resolved tuning scheme for rf power delivery | |
US20150206716A1 (en) | Plasma generating apparatus | |
JP2006286254A5 (ja) | ||
JP2015185698A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2014146593A5 (ja) | ||
JP2016170940A (ja) | マイクロ波自動整合器及びプラズマ処理装置 | |
JP5210659B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4760418B2 (ja) | マイクロプラズマジェット制御方法及び装置 | |
JP2005228604A (ja) | プラズマ発生装置 | |
JP3044049B2 (ja) | プラズマ処理方法及び装置 | |
US20160329194A1 (en) | Method of producing processing condition of plasma processing apparatus, and plasma processing apparatus | |
JP2020071912A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP4298611B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5145699B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080131 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090403 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090416 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100921 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110301 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4760418 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |