JP2015185698A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器の内部に配置された処理室107と、処理対象の試料の処理に用いるプラズマを処理室内に形成する電界を供給するための第1の高周波電力を出力するマイクロ波電源103と、処理室内に配置され前記試料をその上面に載置する試料台109と、この試料台の内部に配置された電極にバイアス電位を形成するための第2の高周波電力を間欠的に出力し、この出力の時間を可変に調節可能な高周波バイアス電源110とを備えたプラズマ処理装置であって、この第2の高周波電力の間欠的な出力の開始に同期して第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の波形の時間に伴う変化を検出した結果を電流電圧センサ解析基板113を用いて、プラズマ処理装置の運転を調節する機能を備えた。
【選択図】図1
Description
/オフの期間に同期した電流および電圧の測定とを可能にしている。
102…ソレノイドコイル
103…マイクロ波電源
104…マグネトロン
105…導波管
106…誘電体窓
107…処理室
108…プラズマ
109…ウエハステージ
110…高周波バイアス電源
111…半導体ウエハ
112…電力センサ
113…電力解析基板
114…パルス発生ユニット
201−1,2…AD変換器
202−1,2…メモリ
203…CPU
204…波形取得タイミング調整回路
205…ベースカウンタ
206…高周波バイアス出力指令信号生成部
207…マイクロ波出力指令信号生成部。
Claims (8)
- 真空容器の内部に配置された処理室と、処理対象の試料の処理に用いるプラズマを前記処理室内に形成する電界を供給するための第1の高周波電力を出力する第1の高周波電源と、前記処理室内に配置され前記試料をその上面に載置する試料台と、この試料台の内部に配置された電極にバイアス電位を形成するための第2の高周波電力を間欠的に出力するものであってこの出力の時間を可変に調節可能な第2の高周波電源とを備えたプラズマ処理装置であって、
この第2の高周波電力の前記間欠的な出力の開始に同期して前記第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の波形の時間に伴う変化を検出した結果を用いて前記プラズマ処理装置の運転を調節する機能を備えたプラズマ処理装置。
- 真空容器の内部に配置された処理室と、処理対象の試料の処理に用いるプラズマを前記処理室内に形成する電界を供給するための第1の高周波電力を出力する第1の高周波電源と、前記処理室内に配置され前記試料をその上面に載置する試料台と、この試料台の内部に配置された電極にバイアス電位を形成するための第2の高周波電力を出力するものであって当該出力のオンとオフとの時間またはその比率を可変に調節可能な第2の高周波電源とを備えたプラズマ処理装置であって、
この第2の高周波電力の前記オンの期間の開始に同期して前記第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の波形の時間に伴う変化を検出した結果を用いて前記プラズマ処理装置の運転を調節する機能を備えたプラズマ処理装置。
- 請求項1または2に記載のプラズマ処理装置であって、
前記第1の高周波電源が前記第2の高周波電力の出力に同期して前記第1の高周波電力を出力するプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記第2の高周波電力が基準となる周期的な信号に同期して出力されるものであって、この周期的な信号に同期して前記第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の波形の時間に伴う変化を検出するプラズマ処理装置。
- 請求項4に記載のプラズマ処理装置であって、
前記第2の高周波電源が前記第2の高周波電力の波形が前記周期的な信号に同期するように当該第2の高周波電力を出力するものであって、前記第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の所定の時間長さにおける複数の波形同士を比較して前記波形の時間に伴う変化を検出するプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至5のいすれかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の所定の時間長さにおいてその位相が他と揃えられた複数の波形同士を比較して前記波形の時間に伴う変化を検出するプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記第2の高周波電力の過渡状態における電流または電圧の波形の時間に伴う変化を検出した結果を用いて前記プラズマ処理装置の停止または前記処理の条件を変更を行うプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記過渡状態における所定の時間間隔毎に前記第2の高周波電力の前記波形を検出するプラズマ処理装置。
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