JP4752816B2 - 機能性気体の製造装置 - Google Patents
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Description
閉空間を形成するための外囲い、
該外囲い内に略水平に配置される略円筒形の筒、及び
該筒の長軸を回転軸として該筒を回転させるための機構を有し、
前記筒の始端と終端は、空孔を有する円盤状板からなる蓋を有し、始端側蓋の空孔径が終端側蓋の空孔径よりも小さく、該筒の始端に機能性気体源である気体と固体を導入するための機構を有することを特徴とする。
内筒管31を回転させなかった以外は、実施例と同様に装置1を稼働させた。操業開始から0.5時間後に、内筒管31内で固体原料7の異常加熱が発生し、NF3の製造効率が低下したので、装置1の操業を停止させた。
2 閉空間を形成するための外囲い(外筒管)
31 略円筒形の筒(内筒管)
32 筒31を内包する筒
41 始端側(上流側)に配置される空孔を有する円盤状板(始端側外側堰)
42 終端側(下流側)に配置される空孔を有する円盤状板(終端側外側堰)
43 筒31内部に配置される空孔を有する円盤状板(内側堰)
44 回転機構
45 回転機構の動力
5 気体を導入するための機構(気体導入口)
61 固体を導入するための機構
62 固体貯槽
7 固体原料等
8 気体を排出するための機構(気体排出口)
9 固体原料等を排出するための機構
10 加熱装置
11 固体原料等の進行方向、(→)の(>側)が終端側(下流側)、その反対が終端側(上流側)
12 固体原料等の排出方向、(→)の(>側)が排出方向
13 回転機構の回転方向
Claims (7)
- 固気反応によって機能性気体を連続的に生じせしめるための反応装置であり、該反応装置は、
閉空間を形成するための外囲い、
該外囲い内に略水平に配置される略円筒形の筒、及び
該筒の長軸を回転軸として該筒を回転させるための機構を有し、
前記筒の始端と終端は、空孔を有する円盤状板からなる蓋を有し、始端側蓋の空孔径が終端側蓋の空孔径よりも小さく、該筒の始端に機能性気体源である気体と固体を導入するための機構を有することを特徴とする反応装置。 - 前記筒の内部に、始端側蓋及び終端側蓋と対向するように空孔を有する内部用円盤状板が少なくとも1箇所配置され、該円盤状板の空孔径が始端側蓋の空孔径よりも大きく、終端側蓋又はより終端側に配置される内部用円盤状板の空孔径以下であることを特徴とする請求項1に記載の反応装置。
- 前記筒は、該筒の外径よりも大きな内径を有する外側筒に内包され、該外側筒は、内包される筒とともに回転する機構を有し、且つ内包する筒は、その両端に空孔を有する円盤状板からなる蓋を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の反応装置。
- 前記外側筒が前記外側筒よりも内径の大きな外側筒に内包され、該外側筒は、内包される筒とともに回転する機構を有し、且つ内包する筒は、その両端に空孔を有する円盤状板からなる蓋を有することを特徴とする請求項3に記載の反応装置。
- 外側筒及び該外側筒を内包する外側筒の内部から選ばれる少なくとも一つに、封止用蓋及び該封止用蓋と対向するように空孔を有する内部用円盤状板が少なくとも1箇所配置され、該円盤状板の空孔径が端側の円盤状板からなる蓋又はより該蓋側の近くに配置される内部用円盤状板の空孔径以下であることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の反応装置。
- 円盤状板の空孔が円盤状板の略中心にあることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の反応装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の装置を使用する機能性気体の製造方法。
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