JP4752649B2 - Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element - Google Patents

Radiation-sensitive composition for forming colored layer, color filter, and color liquid crystal display element Download PDF

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Description

本発明は、着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタに有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物から形成された着色層を有するカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, a color filter, and a color liquid crystal display element. More specifically, the present invention relates to a color filter used for a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, and the like. The present invention relates to a radiation-sensitive composition used for forming a useful colored layer, a color filter having a colored layer formed from the radiation-sensitive composition, and a color liquid crystal display device including the color filter.

従来、着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線性組成物を塗布して乾燥したのち、乾燥塗膜を所望のパターン形状に放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像することにより、各色の画素を得る方法(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)が知られている。
そして、近年におけるカラーフィルタの技術分野においては、露光量を下げてタクトタイムを短縮することが主流となっているが、従来の着色感放射線性組成物では、露光量が少なくなると、現像後に残膜率が低下したり、パターンに欠けやアンダーカット、パターンの基板からの剥離などが生じやすいため、タクトタイムを短縮しつつ、良好なパターン形状の画素およびブラックマトリックスを得ることが困難であった。また表示性能に関しても、長期にわたって焼き付きや残像等の不良を起こすことのないカラー液晶表示素子が強く求められており、そのためにカラーフィルタに対して、電圧保持率等に代表される電気特性に関する信頼性の向上への要求がますます強まっているが、従来の着色感放射線性組成物では、その要求に応えることは極めて困難なのが実情である。
Conventionally, in producing a color filter using a colored radiation-sensitive composition, after applying the colored radiation-sensitive composition on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been formed and drying, A method of obtaining pixels of each color by irradiating a dry coating film with a desired pattern shape (hereinafter referred to as “exposure”) and developing it is known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). ing.
In recent years, in the color filter technical field, it has become the mainstream to reduce the exposure amount to shorten the tact time. However, in the conventional colored radiation-sensitive composition, if the exposure amount decreases, the remaining after development. It is difficult to obtain pixels and a black matrix with good pattern shape while shortening the tact time because the film rate is reduced, the pattern is chipped or undercut, and the pattern is easily peeled off from the substrate. . In terms of display performance, a color liquid crystal display element that does not cause defects such as image sticking and afterimage over the long term is strongly demanded. For this reason, the color filter has a reliability related to electrical characteristics such as voltage holding ratio. Although the demand for improving the property is increasing, it is actually difficult to meet the demand with the conventional colored radiation-sensitive composition.

特開平2−144502号公報JP-A-2-144502 特開平3−53201号公報JP-A-3-53201

本発明の課題は、パターンに欠けやアンダーカット等のパターン不良が無く、基板との密着性に優れ、加えて電気特性等における信頼性に優れたカラーフィルタを作製することが可能な新規着色層形成用感放射線性組成物を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a novel colored layer that is capable of producing a color filter that has no pattern defects such as chipping or undercut, has excellent adhesion to the substrate, and has excellent electrical characteristics and the like. The object is to provide a forming radiation-sensitive composition.

本発明は、第一に、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)光重合開始剤を含有する着色層形成用感放射線性組成物において、(B)アルカリ可溶性樹脂が、(b1)不飽和カルボン酸もしくはその酸無水物および不飽和フェノール化合物の群から選ばれる少なくとも1種の共重合割合が5〜30重量%と、(b2)N位−置換マレイミドの共重合割合が5〜40重量%と、(b3)アリル基を有する不飽和化合物の共重合割合が5〜40重量%と、(b4)前記以外の不飽和化合物の共重合割合が5〜60重量%との共重合体を含み、(D)光重合開始剤が、下記式(1)で表される化合物および/または下記式(2)で表される化合物を含むことを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物、からなる。

Figure 0004752649
Figure 0004752649
〔式(1)および式(2)において、各R 1 は相互に独立に炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基またはフェニル基を示し、各R 2 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基またはフェニル基を示し、R 3 は水素原子または炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示し、各R 4 、各R 5 および各R 6 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。但し、R 1 、R 2 、R 3 、R 4 、R 5 およびR 6 のアルキル基はそれぞれ、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子の群から選ばれる置換基で置換されてもよく、R 1 およびR 2 のフェニル基はそれぞれ、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子の群から選ばれる置換基で置換されてもよい。〕
本発明において、着色層とは、「画素および/またはブラックマトリックス」を意味する。 The present invention, first,
In the radiation-sensitive composition for forming a colored layer, comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a photopolymerization initiator. The resin has a copolymerization ratio of at least one selected from the group of (b1) unsaturated carboxylic acid or acid anhydride and unsaturated phenol compound, and (b2) a copolymer of N-substituted maleimide . The polymerization rate is 5 to 40% by weight , (b3) the copolymerization rate of the unsaturated compound having an allyl group is 5 to 40% by weight , and (b4) the copolymerization rate of the other unsaturated compound is 5 to 60% by weight. % and look containing a copolymer of, (D) a photopolymerization initiator, wherein the compound containing Mukoto represented by the compounds and / or the following formula represented by the following formula (1) (2) A radiation-sensitive composition for forming a colored layer.
Figure 0004752649
Figure 0004752649
[In the formulas (1) and (2), each R 1 independently represents a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a phenyl group, and each R 2 is independent from each other. Represents a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a phenyl group, and R 3 represents a hydrogen atom or a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. R 4 , R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. However, the alkyl groups of R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each a group of straight, branched or cyclic alkoxyl groups having 1 to 6 carbon atoms, phenyl groups and halogen atoms. And the phenyl groups of R 1 and R 2 are each a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a linear group having 1 to 6 carbon atoms. Further, it may be substituted with a substituent selected from the group consisting of a branched or cyclic alkoxyl group, a phenyl group and a halogen atom. ]
In the present invention, the colored layer means “pixel and / or black matrix”.

本発明は、第二に、
前記着色層形成用感放射線性組成物から形成された着色層を有するカラーフィルタ、からなる。
The present invention secondly,
It consists of a color filter having a colored layer formed from the radiation-sensitive composition for forming the colored layer.

本発明は、第三に、
前記カラーフィルタを具備してなるカラー液晶表示素子、からなる。
Third, the present invention
A color liquid crystal display element comprising the color filter;

以下、本発明について詳細に説明する。
着色層形成用感放射線性組成物
−(A)着色剤−
本発明における着色剤は、色調が特に限定されるものではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよい。
カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められることから、本発明における着色剤としては、発色性が高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、通常、有機顔料あるいは無機顔料が用いられ、特に好ましくは、有機顔料、カーボンブラックが用いられる。
前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of
Dyers and Colourists 社発行)においてピグメント( Pigment )に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
Radiation-sensitive composition for forming colored layer- (A) Colorant-
The colorant in the present invention is not particularly limited in color tone, and is appropriately selected according to the use of the obtained color filter, and may be any of a pigment, a dye, or a natural pigment.
Since the color filter is required to have high-definition color development and heat resistance, the colorant in the present invention is preferably a colorant having high color developability and high heat resistance, in particular, a colorant having high heat decomposition resistance. Organic pigments or inorganic pigments are used, and organic pigments and carbon black are particularly preferably used.
Examples of the organic pigment include a color index (CI; The Society of
Dyers and Colorists, Inc.) are classified as Pigment, and specifically, those having the following color index (CI) numbers are given.

C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー16、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイエロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー97、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグメントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー106、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー114、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピグメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー126、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー175、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー185; C. I. Pigment yellow 1, C.I. I. Pigment yellow 3, C.I. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 15, C.I. I. Pigment yellow 16, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 60, C.I. I. Pigment yellow 61, C.I. I. Pigment yellow 65, C.I. I. Pigment yellow 71, C.I. I. Pigment yellow 73, C.I. I. Pigment yellow 74, C.I. I. Pigment yellow 81, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 95, C.I. I. Pigment yellow 97, C.I. I. Pigment yellow 98, C.I. I. Pigment yellow 100, C.I. I. Pigment yellow 101, C.I. I. Pigment yellow 104, C.I. I. Pigment yellow 106, C.I. I. Pigment yellow 108, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 113, C.I. I. Pigment yellow 114, C.I. I. Pigment yellow 116, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 119, C.I. I. Pigment yellow 120, C.I. I. Pigment yellow 126, C.I. I. Pigment yellow 127, C.I. I. Pigment yellow 128, C.I. I. Pigment yellow 129, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 151, C.I. I. Pigment yellow 152, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 156, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 175, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 185;

C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73;
C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38;
C. I. Pigment orange 1, C.I. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 16, C.I. I. Pigment orange 17, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 51, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 63, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 73;
C. I. Pigment violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 32, C.I. I. Pigment violet 36, C.I. I. Pigment violet 38;

C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド10、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメントレッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメントレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピグメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド48:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメントレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド50:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメントレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピグメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピグメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.ピグメントレッド97、 C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 3, C.I. I. Pigment red 4, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 6, C.I. I. Pigment red 7, C.I. I. Pigment red 8, C.I. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 10, C.I. I. Pigment red 11, C.I. I. Pigment red 12, C.I. I. Pigment red 14, C.I. I. Pigment red 15, C.I. I. Pigment red 16, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 18, C.I. I. Pigment red 19, C.I. I. Pigment red 21, C.I. I. Pigment red 22, C.I. I. Pigment red 23, C.I. I. Pigment red 30, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 37, C.I. I. Pigment red 38, C.I. I. Pigment red 40, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 42, C.I. I. Pigment red 48: 1, C.I. I. Pigment red 48: 2, C.I. I. Pigment red 48: 3, C.I. I. Pigment red 48: 4, C.I. I. Pigment red 49: 1, C.I. I. Pigment red 49: 2, C.I. I. Pigment red 50: 1, C.I. I. Pigment red 52: 1, C.I. I. Pigment red 53: 1, C.I. I. Pigment red 57, C.I. I. Pigment red 57: 1, C.I. I. Pigment red 57: 2, C.I. I. Pigment red 58: 2, C.I. I. Pigment red 58: 4, C.I. I. Pigment red 60: 1, C.I. I. Pigment red 63: 1, C.I. I. Pigment red 63: 2, C.I. I. Pigment red 64: 1, C.I. I. Pigment red 81: 1, C.I. I. Pigment red 83, C.I. I. Pigment red 88, C.I. I. Pigment red 90: 1, C.I. I. Pigment red 97,

C.I.ピグメントレッド101、C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド104、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピグメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピグメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド265; C. I. Pigment red 101, C.I. I. Pigment red 102, C.I. I. Pigment red 104, C.I. I. Pigment red 105, C.I. I. Pigment red 106, C.I. I. Pigment red 108, C.I. I. Pigment red 112, C.I. I. Pigment red 113, C.I. I. Pigment red 114, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 146, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 150, C.I. I. Pigment red 151, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 172, C.I. I. Pigment red 174, C.I. I. Pigment red 175, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 188, C.I. I. Pigment red 190, C.I. I. Pigment red 193, C.I. I. Pigment red 194, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 208, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 226, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 245, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment red 265;

C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー60;
C.I.ピグメントバイオレット23;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
これらの有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。
C. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 60;
C. I. Pigment violet 23;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36;
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25;
C. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment Black 7.
These organic pigments can be used after being purified by, for example, a sulfuric acid recrystallization method, a solvent washing method, or a combination thereof.

また、無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。   Examples of inorganic pigments include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and chromium oxide green. , Cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black and the like.

本発明において、前記有機顔料および無機顔料は、それぞれ単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、また有機顔料と無機顔料とを併用することができるが、画素を形成する際には、好ましくは1種以上の有機顔料が使用され、またブラックマトリックスを形成する際には、好ましくは2種以上の有機顔料および/またはカーボンブラックが使用される。   In the present invention, the organic pigment and the inorganic pigment can be used alone or in admixture of two or more, and the organic pigment and the inorganic pigment can be used in combination. Preferably, one or more organic pigments are used, and two or more organic pigments and / or carbon black are preferably used in forming the black matrix.

本発明において、前記各顔料は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特許文献3等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。   In the present invention, each of the pigments can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the pigment particle surface include the polymers described in Patent Document 3 and the like, and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments.

特開平8−259876号公報JP-A-8-259876

また、本発明において、着色剤は、所望により、分散剤と共に使用することができる。 前記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
前記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン n−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン n−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、BYK、Disperbyk(以上、ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパース(セネカ(株)製)等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、50重量部以下、好ましくは0〜30重量部である。
Moreover, in this invention, a coloring agent can be used with a dispersing agent depending on necessity. Examples of the dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, silicone, and fluorine surfactants.
Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene n-octylphenyl ether, polyoxyethylene n-nonyl. Polyoxyethylene alkyl phenyl ethers such as phenyl ether; polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; sorbitan fatty acid esters; fatty acid-modified polyesters; tertiary amine-modified polyurethanes; polyethyleneimines In addition, the following trade names are KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), and F-Top (manufactured by Tochem Products). MegaFuck (Dainippon Ink & Chemicals), Florard (Sumitomo 3M), Asahi Guard, Surflon (Asahi Glass), BYK, Disperbyk (Bicchemy Japan) Product), Solsperse (manufactured by Seneca Corporation), and the like.
These surfactants can be used alone or in admixture of two or more.
The usage-amount of surfactant is 50 parts weight or less normally with respect to 100 weight part of coloring agents, Preferably it is 0-30 weight part.

本発明において、感放射線性樹脂組成物は、適宜の方法により調製することができるが、着色剤として顔料を用いる場合、該顔料を溶媒中、分散剤の存在下で、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して顔料分散液とし、これを、後述する(B)成分、(C)成分および(D)成分と、必要に応じてさらに追加の溶媒や後述する他の添加剤を添加し、混合することにより調製することが好ましい。   In the present invention, the radiation-sensitive resin composition can be prepared by an appropriate method. When a pigment is used as a colorant, the pigment is used in a solvent in the presence of a dispersant, such as a bead mill or a roll mill. And mixing and dispersing while pulverizing to obtain a pigment dispersion, which may be (B) component, (C) component and (D) component described later, and additional solvent or other components described later if necessary. It is preferable to prepare by adding an additive and mixing.

顔料分散液を調製する際の分散剤の使用量は、顔料100重量部に対して、通常、100重量部以下、好ましくは0.5〜100重量部、さらに好ましくは1〜70重量部、特に好ましくは10〜50重量部である。この場合、分散剤の使用量が100重量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。
また、顔料分散液を調製する際に使用される溶媒としては、例えば、後述する感放射線性樹脂組成物の液状組成物について例示する溶媒と同様のものを挙げることができる。
顔料分散液を調製する際の溶媒の使用量は、顔料100重量部に対して、通常、200〜1,000重量部、好ましくは300〜800重量部である。
The amount of the dispersant used in preparing the pigment dispersion is usually 100 parts by weight or less, preferably 0.5 to 100 parts by weight, more preferably 1 to 70 parts by weight, particularly 100 parts by weight of the pigment. Preferably it is 10-50 weight part. In this case, if the amount of the dispersant used exceeds 100 parts by weight, developability and the like may be impaired.
Moreover, as a solvent used when preparing a pigment dispersion liquid, the thing similar to the solvent illustrated about the liquid composition of the radiation sensitive resin composition mentioned later can be mentioned, for example.
The amount of the solvent used in preparing the pigment dispersion is usually 200 to 1,000 parts by weight, preferably 300 to 800 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the pigment.

顔料分散液の調製に際し、ビーズミルを用いて調製する際には、例えば、直径0.5〜10mm程度のガラスビーズやチタニアビーズ等を使用し、顔料、溶媒および分散剤からなる顔料混合液を、好ましくは冷却水等で冷却しながら混合・分散することにより実施することができる。
この場合、ビーズの充填率は、通常、ミル容量の50〜80%であり、顔料混合液の注入量は、通常、ミル容量の20〜50%程度である。また処理時間は、通常、2〜50時間、好ましくは2〜25時間である。
また、ロールミルを用いて調製する際には、例えば、3本ロールミルや2本ロールミル等を使用し、顔料混合液を、好ましくは冷却水等で冷却しながら処理することにより実施することができる。
この場合、ロール間隔は10μm以下であることが好ましく、剪断力は、通常、108 dyn/秒程度である。また処理時間は、通常、2〜50時間、好ましくは2〜25時間である。
When preparing a pigment dispersion using a bead mill, for example, glass beads or titania beads having a diameter of about 0.5 to 10 mm are used, and a pigment mixture composed of a pigment, a solvent and a dispersant is used. Preferably, it can be carried out by mixing and dispersing while cooling with cooling water or the like.
In this case, the filling rate of the beads is usually 50 to 80% of the mill capacity, and the injection amount of the pigment mixed solution is usually about 20 to 50% of the mill capacity. The treatment time is usually 2 to 50 hours, preferably 2 to 25 hours.
Moreover, when preparing using a roll mill, it can carry out by processing, for example, using a 3 roll mill, a 2 roll mill, etc., preferably cooling a pigment liquid mixture with cooling water etc.
In this case, the roll interval is preferably 10 μm or less, and the shearing force is usually about 10 8 dyn / sec. The treatment time is usually 2 to 50 hours, preferably 2 to 25 hours.

−(B)アルカリ可溶性樹脂−
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、(b1)不飽和カルボン酸もしくはその酸無水物および不飽和フェノール化合物の群(以下、これらの化合物をまとめて「不飽和化合物(b1)」という。)から選ばれる少なくとも1種と、(b2)N位−置換マレイミドと、(b3)アリル基を有する不飽和化合物(以下、「不飽和化合物(b3)」という。)と、(b4)前記以外の不飽和化合物(以下、「不飽和化合物(b4)」という。)との共重合体(以下、「共重合体(BI)」という。)を含み、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつ着色層を形成する際の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有する成分である。
-(B) Alkali-soluble resin-
The alkali-soluble resin in the present invention is selected from the group of (b1) unsaturated carboxylic acid or acid anhydride and unsaturated phenol compound (hereinafter these compounds are collectively referred to as “unsaturated compound (b1)”). At least one, (b2) an N-substituted maleimide, (b3) an unsaturated compound having an allyl group (hereinafter referred to as “unsaturated compound (b3)”), and (b4) an unsaturated compound other than the above. (Hereinafter referred to as “unsaturated compound (b4)”) (hereinafter referred to as “copolymer (BI)”), (A) acts as a binder for the colorant, and It is a component that is soluble in an alkaline developer used in the development processing step when forming the colored layer.

不飽和化合物(b1)のうち、前記不飽和カルボン酸もしくはその酸無水物としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水物類;
3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水物類;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル類;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類
等を挙げることができる。
これらの不飽和カルボン酸もしくはその酸無水物のうち、こはく酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)およびフタル酸モノ(2−アクリロイルオキシエチル)はそれぞれ、ライトエステルHOA−MSおよびライトエステルHOA−MPE(以上、共栄社化学(株)製)の商品名で市販されている。
Among the unsaturated compounds (b1), as the unsaturated carboxylic acid or acid anhydride thereof, for example,
Unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like;
A trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or anhydride thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl];
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
Of these unsaturated carboxylic acids or acid anhydrides thereof, succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl) are respectively light ester HOA-MS and light ester HOA-MPE ( As mentioned above, it is marketed under the trade name of Kyoeisha Chemical Co., Ltd.

また、前記不飽和フェノール化合物としては、例えば、
o−ビニルフェノール、m−ビニルフェノール、p−ビニルフェノール、2−メチル−4−ビニルフェノール、3−メチル−4−ビニルフェノール、o−イソプロペニルフェノール、m−イソプロペニルフェノール、p−イソプロペニルフェノール等の不飽和フェノール類;
2−ビニル−1−ナフトール、3−ビニル−1−ナフトール、1−ビニル−2−ナフトール、3−ビニル−2−ナフトール、2−イソプロペニル−1−ナフトール、3−イソプロペニル−1−ナフトール等の不飽和ナフトール類
等を挙げることができる。
Examples of the unsaturated phenol compound include:
o-vinylphenol, m-vinylphenol, p-vinylphenol, 2-methyl-4-vinylphenol, 3-methyl-4-vinylphenol, o-isopropenylphenol, m-isopropenylphenol, p-isopropenylphenol Unsaturated phenols such as
2-vinyl-1-naphthol, 3-vinyl-1-naphthol, 1-vinyl-2-naphthol, 3-vinyl-2-naphthol, 2-isopropenyl-1-naphthol, 3-isopropenyl-1-naphthol, etc. Of unsaturated naphthols.

本発明において、不飽和化合物(b1)としては、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、p−ビニルフェノール等が好ましく、特に、(メタ)アクリル酸が好ましい。   In the present invention, the unsaturated compound (b1) includes (meth) acrylic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, p-vinylphenol, and the like. Particularly preferred is (meth) acrylic acid.

N位−置換マレイミドとしては、例えば、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−n−プロピルマレイミド、N−i−プロピルマレイミド、N−n−ブチルマレイミド、N−t−ブチルマレイミド、N−n−ヘキシルマレイミド、N−シクロペンチルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−1−ナフチルマレイミド等を挙げることができる。   Examples of the N-substituted maleimide include N-methylmaleimide, N-ethylmaleimide, Nn-propylmaleimide, Ni-propylmaleimide, Nn-butylmaleimide, Nt-butylmaleimide, N- Examples thereof include n-hexylmaleimide, N-cyclopentylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmaleimide, N-1-naphthylmaleimide and the like.

本発明において、N位−置換マレイミドとしては、N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド等が好ましく、特に、N−フェニルマレイミドが好ましい。
前記N位−置換マレイミドは、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In the present invention, as the N-substituted maleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmaleimide and the like are preferable, and N-phenylmaleimide is particularly preferable.
The N-substituted maleimides can be used alone or in admixture of two or more.

不飽和化合物(b3)としては、重合性不飽和結合としてアリル基のみを有する化合物、重合性不飽和結合としてアリル基と他の重合性不飽和結合とを有する化合物(以下、「不飽和化合物(b3−I)」という。)等を挙げることができるが、不飽和化合物(b3−I)が好ましい。
不飽和化合物(b3)としては、例えば、アリル(メタ)アクリレート、クロトン酸アリル、α−クロルアクリル酸アリル、けい皮酸アリル、マレイン酸モノアリル、フマル酸モノアリル等の不飽和化合物(b3−I)や、酢酸アリル、プロピオン酸アリル、酪酸アリル、安息香酸アリル、こはく酸モノアリル、フタル酸モノアリル、アリルメチルエーテル、アリルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、p−アリルベンジルメチルエーテル、p−アリルベンジルグリシジルエーテル等を挙げることができる。
本発明において、不飽和化合物(b3)としては、特に、アリル(メタ)アクリレートが好ましい。
前記不飽和化合物(b3)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
As the unsaturated compound (b3), a compound having only an allyl group as a polymerizable unsaturated bond, a compound having an allyl group and another polymerizable unsaturated bond as a polymerizable unsaturated bond (hereinafter referred to as “unsaturated compound ( b3-I) ")) and the like, and an unsaturated compound (b3-I) is preferable.
Examples of the unsaturated compound (b3) include unsaturated compounds (b3-I) such as allyl (meth) acrylate, allyl crotonate, allyl α-chloroacrylate, allyl cinnamate, monoallyl maleate, monoallyl fumarate and the like. And allyl acetate, allyl propionate, allyl butyrate, allyl benzoate, monoallyl succinate, monoallyl phthalate, allyl methyl ether, allyl ethyl ether, allyl glycidyl ether, p-allyl benzyl methyl ether, p-allyl benzyl glycidyl ether, etc. Can be mentioned.
In the present invention, as the unsaturated compound (b3), allyl (meth) acrylate is particularly preferable.
The unsaturated compound (b3) can be used alone or in admixture of two or more.

不飽和化合物(b4)としては、例えば、
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
As the unsaturated compound (b4), for example,
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydi Unsaturated carboxylic acid esters such as propylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, and glycerol mono (meth) acrylate Kind;

2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル等のビニルエーテル類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類
等を挙げることができる。
2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylate, 3-dimethyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminopropyl (meth) acrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Vinyl ethers such as vinyl methyl ether and vinyl ethyl ether;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples thereof include macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.

本発明において、不飽和化合物(b4)としては、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、マクロモノマー類等が好ましく、特に、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が好ましい。
前記不飽和化合物(b4)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In the present invention, the unsaturated compound (b4) is preferably an aromatic vinyl compound, an unsaturated carboxylic acid ester, a macromonomer or the like, and particularly styrene, methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomer, polymethylmethacrylate macromonomer and the like are preferable.
The unsaturated compound (b4) can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、共重合体(B1)としては、(メタ)アクリル酸を必須成分とする少なくとも1種の不飽和化合物(b1)と、N−シクロヘキシルマレイミドおよびN−フェニルマレイミドの群から選ばれる少なくとも1種のN位−置換マレイミドと、アリルアクリレートおよびアリルメタクリレートの群から選ばれる少なくとも1種の不飽和化合物(b3)と、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種の不飽和化合物(b4)との共重合体(以下、「共重合体(BII)」という。)が好ましい。   In the present invention, the copolymer (B1) is at least one selected from the group of at least one unsaturated compound (b1) having (meth) acrylic acid as an essential component, N-cyclohexylmaleimide and N-phenylmaleimide. One N-substituted maleimide, at least one unsaturated compound (b3) selected from the group of allyl acrylate and allyl methacrylate, styrene, methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2- A small amount selected from the group of ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, polystyrene macromonomer and polymethyl methacrylate macromonomer. Kutomo one unsaturated compound (b4), a copolymer (hereinafter, referred to as "copolymer (BII)".) Are preferred.

共重合体(BII)の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
As specific examples of the copolymer (BII),
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / n-butyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / 2-ethylhexyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-ethylhexyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,

(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/メチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / methyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer (meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,

(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / phenyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,

(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/メチル(メタ)アクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/メチル(メタ)アクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / methyl (meth) acrylate / n-butyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / methyl (meth) acrylate / n-butyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer,

(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合体、
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl (meth) acrylate macromonomer copolymer,

(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/アリルメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / allyl methacrylate / styrene copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-cyclohexylmaleimide / allyl methacrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,

(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / n-butyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / 2-ethylhexyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-ethylhexyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,

(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meta ) Acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / methyl (meth) acrylate / 2-ethylhexyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth ) Acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-ethylhexyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth ) Acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate Coalescence,

(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−シクロヘキシルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/n−ブチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体や、
これらの共重合体中のアリルメタクリレートをアリルアクリレートに置き換えた共重合体等を挙げることができる。
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / N-cyclohexylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / n-butyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate copolymer Or
Examples include copolymers in which allyl methacrylate in these copolymers is replaced with allyl acrylate.

前記共重合体(BII)のうち、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/アリルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体
等が好ましい。
Of the copolymer (BII),
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / N-phenylmaleimide / allyl methacrylate / styrene / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer is preferred. .

共重合体(BI)において、不飽和化合物(b1)の共重合割合は、5〜30重量%であり、N位−置換マレイミドの共重合割合は、5〜40重量%であり、不飽和化合物(b3)の共重合割合は、5〜40重量%であり、不飽和化合物(b4)の共重合割合は、5〜60重量%である。
本発明においては、共重合体(BI)における各不飽和化合物の共重合割合を前記範囲とすることにより、感度や基板密着性、耐溶剤性に優れた感放射線性組成物を得ることができる。
In copolymer (BI), the copolymerization ratio of unsaturated compound (b1) is 5 to 30% by weight, the copolymerization ratio of N-substituted maleimide is 5 to 40% by weight, and unsaturated compound The copolymerization ratio of (b3) is 5 to 40% by weight, and the copolymerization ratio of the unsaturated compound (b4) is 5 to 60% by weight.
In the present invention, by setting the copolymerization ratio of each unsaturated compound in the copolymer (BI) to the above range, a radiation-sensitive composition excellent in sensitivity, substrate adhesion, and solvent resistance can be obtained. .

本発明においては、共重合体(BI)と共に、他のアルカリ可溶性樹脂を併用することもできる。
前記他のアルカリ可溶性樹脂としては、(A)着色剤に対してバインダーとして作用し、かつ着色層を形成する際の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有する限り、特に限定されるものではないが、例えば、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、その例としては、共重合体(BI)について例示した不飽和カルボン酸およびその酸無水物の群から選ばれる少なくとも1種と、共重合体(BI)について例示したN位−置換マレイミドおよび不飽和化合物(b4)の群から選ばれる少なくとも1種との共重合体等を挙げることができる。
In the present invention, other alkali-soluble resins can be used in combination with the copolymer (BI).
The other alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it functions as a binder for (A) the colorant and is soluble in the alkali developer used in the development processing step when forming the colored layer. For example, an alkali-soluble resin having a carboxyl group is preferable, and examples thereof include at least one selected from the group of unsaturated carboxylic acids exemplified for the copolymer (BI) and acid anhydrides thereof. And a copolymer with at least one selected from the group of N-substituted maleimides and unsaturated compounds (b4) exemplified for the copolymer (BI).

好ましい他のアルカリ可溶性樹脂としては、より具体的には、(i)(メタ)アクリル酸を必須成分とする少なくとも1種の不飽和カルボン酸と、(ii)N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種との共重合体等を挙げることができる。   More specifically, other preferable alkali-soluble resins include (i) at least one unsaturated carboxylic acid having (meth) acrylic acid as an essential component, and (ii) N-cyclohexylmaleimide and N-phenylmaleimide. , Styrene, methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) ) A copolymer with at least one selected from the group of acrylate, polystyrene macromonomer and polymethyl methacrylate macromonomer.

本発明において、共重合体(BI)および他のアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)はそれぞれ、通常、2,000〜300,000、好ましくは3,000〜100,000である。
また、共重合体(BI)および他のアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)はそれぞれ、通常、3,000〜60,000、好ましくは5,000〜25,000である。
本発明においては、前記特定のMwおよびMnを有する共重合体(BI)を使用し、あるいは当該共重合体(BI)と前記特定のMwおよびMnを有する他のアルカリ可溶性樹脂とを併用することによって、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それにより、シャープなパターンエッジを有する画素およびブラックマトリックスを形成することができるとともに、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。
また、共重合体(BI)および他のアルカリ可溶性樹脂のMwとMnの比(Mw/Mn)はそれぞれ、好ましくは1〜5、さらに好ましくは1〜4である。
In the present invention, polystyrene-converted weight average molecular weights (hereinafter referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the copolymer (BI) and other alkali-soluble resins are respectively shown. Usually, it is 2,000 to 300,000, preferably 3,000 to 100,000.
The number average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the copolymer (BI) and other alkali-soluble resins is usually as follows. It is 3,000-60,000, preferably 5,000-25,000.
In the present invention, the copolymer (BI) having the specific Mw and Mn is used, or the copolymer (BI) and another alkali-soluble resin having the specific Mw and Mn are used in combination. Thus, a radiation-sensitive composition having excellent developability can be obtained, whereby a pixel having a sharp pattern edge and a black matrix can be formed, and on the unexposed portion of the substrate and the light-shielding layer during development. Residues, dirt, film residue, etc. are less likely to occur.
Moreover, the ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of the copolymer (BI) and other alkali-soluble resins is preferably 1 to 5, and more preferably 1 to 4, respectively.

本発明において、共重合体(BI)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、また他のアルカリ可溶性樹脂も同様である。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂の合計使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の合計使用量が10重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。
また、アルカリ可溶性樹脂中の共重合体(BI)の使用割合は、好ましくは10〜100重量%、特に好ましくは20〜100重量%である。この場合、共重合体(BI)の使用割合が10重量%未満では、本発明の所期の効果が損なわれるおそれがある。
In this invention, a copolymer (BI) can be used individually or in mixture of 2 or more types, and other alkali-soluble resin is also the same.
In this invention, the total usage-amount of alkali-soluble resin is 10-1,000 weight part normally with respect to 100 weight part of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 weight part. In this case, if the total use amount of the alkali-soluble resin is less than 10 parts by weight, for example, the alkali developability may decrease, or there is a possibility that background stain or film residue may occur on the unexposed part of the substrate or on the light shielding layer. On the other hand, when the amount exceeds 1,000 parts by weight, the colorant concentration relatively decreases, and it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.
Moreover, the usage-amount of the copolymer (BI) in alkali-soluble resin becomes like this. Preferably it is 10-100 weight%, Most preferably, it is 20-100 weight%. In this case, if the proportion of the copolymer (BI) used is less than 10% by weight, the intended effect of the present invention may be impaired.

−(C)多官能性単量体−
本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体からなる。
多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類や、それらのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、
トリス〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕フォスフェート
等を挙げることができる。
-(C) polyfunctional monomer-
The polyfunctional monomer in this invention consists of a monomer which has a 2 or more polymerizable unsaturated bond.
As the multifunctional monomer, for example,
Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol and the like, and their dicarboxylic acid-modified products;
Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, spirane resin;
Di (meth) acrylates of hydroxylated polymers at both ends such as both ends hydroxypoly-1,3-butadiene, both ends hydroxypolyisoprene, both ends hydroxypolycaprolactone,
And tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate.

これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、   Among these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of polyhydric alcohols having three or more valences and their dicarboxylic acid-modified products, specifically, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, Pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate,

下記式(3)で表される化合物

Figure 0004752649
Compound represented by the following formula (3)
Figure 0004752649

、下記式(4)で表される化合物

Figure 0004752649
And a compound represented by the following formula (4):
Figure 0004752649

等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、着色層の強度が高く、着色層の表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In particular, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate have high strength of the colored layer, excellent surface smoothness of the colored layer, and on the unexposed substrate and the light shielding layer. It is preferable in that ground stains, film residues and the like are hardly generated on the top.
The said polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明における多官能性単量体の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量部未満では、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。   The usage-amount of the polyfunctional monomer in this invention is 5-500 weight part normally with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resin, Preferably it is 20-300 weight part. In this case, if the amount of the polyfunctional monomer used is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tend to be reduced. On the other hand, if it exceeds 500 parts by weight, for example, alkali developability is reduced. There is a tendency that background contamination, film residue, etc. are likely to occur on the unexposed substrate or the light shielding layer.

また、本発明においては、多官能性単量体の一部を、重合性不飽和結合を1個有する単官能性単量体に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、(B)アルカリ可溶性樹脂における不飽和化合物(b1)、N位−置換マレイミドおよび不飽和化合物(b4)について例示した化合物と同様の化合物や、N−(メタ)アクリロイルモルフォリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタムのほか、市販品として、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。 単官能性単量体の使用割合は、多官能性単量体と単官能性単量体との合計に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%を超えると、得られる着色層の強度や表面平滑性が不十分となるおそれがある。
In the present invention, a part of the polyfunctional monomer can be replaced with a monofunctional monomer having one polymerizable unsaturated bond.
Examples of the monofunctional monomer include (B) compounds similar to the compounds exemplified for the unsaturated compound (b1), N-substituted maleimide and unsaturated compound (b4) in the alkali-soluble resin, N- In addition to (meth) acryloylmorpholine, N-vinylpyrrolidone, N-vinyl-ε-caprolactam, commercially available products include M-5600 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) and the like.
These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more. The proportion of the monofunctional monomer used is usually 90% by weight or less, preferably 50% by weight or less, based on the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, when the use ratio of the monofunctional monomer exceeds 90% by weight, the strength and surface smoothness of the resulting colored layer may be insufficient.

本発明における多官能性単量体と単官能性単量体との合計使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、該合計使用量が5重量部未満では、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。   The total use amount of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer in the present invention is usually 5 to 500 parts by weight, preferably 20 to 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. Part. In this case, if the total amount used is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tend to be lowered. On the other hand, if it exceeds 500 parts by weight, for example, alkali developability is lowered or unexposed parts There is a tendency that soiling, film residue, etc. are likely to occur on the substrate or the light shielding layer.

−(D)光重合開始剤−
本発明における光重合開始剤は、前記式(1)で表される化合物(以下、「オキシム系化合物(D1)」という。)および/または前記式(2)で表される化合物(以下、「オキシム系化合物(D2)」という。)を含み、可視光線、紫外線、遠紫外線、荷電粒子線、X線等の放射線による露光によって、(C)多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する成分からなる。
本発明において、オキシム系化合物(D1)およびオキシム系化合物(D2)以外の光重合開始剤(以下、「他の光重合開始剤」という。)としては、例えば、下記式(5−1)、式(5−2)または式(5−3)で表される主要骨格を少なくとも1種有するビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ホスフィン系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることができる。
-(D) Photopolymerization initiator-
The photopolymerization initiator in the present invention is a compound represented by the formula (1) (hereinafter referred to as “oxime compound (D1)”) and / or a compound represented by the formula (2) (hereinafter, “ Oxime-based compound (D2) ”), and exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, charged particle beam, X-ray, etc. It consists of components that generate active species capable of initiating polymerization of functional monomers.
In the present invention, as a photopolymerization initiator other than the oxime compound (D1) and the oxime compound (D2) (hereinafter referred to as “other photopolymerization initiator”) , for example, the following formula (5-1), Biimidazole compound having at least one main skeleton represented by formula (5-2) or formula (5-3), benzoin compound, acetophenone compound, benzophenone compound, α-diketone compound, polynuclear quinone compound Examples include compounds, xanthone compounds, phosphine compounds, triazine compounds, and the like.

Figure 0004752649
Figure 0004752649

式(1)および式(2)において、R1 、R2 およびR3 の炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。 In formula (1) and formula (2), examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms of R 1 , R 2 and R 3 include, for example, a methyl group, an ethyl group, n- Propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n- Nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group and the like can be mentioned.

また、R4 、R5 およびR6 の炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。 Examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms of R 4 , R 5 and R 6 include, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n -Butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group and the like can be mentioned.

1 、R2 、R3 、R4 、R5 およびR6 の各アルキル基に対する置換基、並びにR1 およびR2 の各フェニル基に対する置換基のうち、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、i−プロポキシ基、n−ブトキシ基、t−ブトキシ基等を挙げることができ、ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子等を挙げることができる。
また、R1 およびR2 の各フェニル基に対する置換基のうち、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、t−ブチル基等を挙げることができる。
前記各アルキル基および各フェニル基において、置換基は1個以上あるいは1種以上存在することができる。
Of the substituents for the alkyl groups of R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 , and the substituents for the phenyl groups of R 1 and R 2 , a straight chain having 1 to 6 carbon atoms Examples of the branched or cyclic alkoxyl group include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an i-propoxy group, an n-butoxy group, and a t-butoxy group. As the halogen atom, For example, a fluorine atom, a chlorine atom, etc. can be mentioned.
Among the substituents for each phenyl group of R 1 and R 2 , examples of the linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, An i-propyl group, an n-butyl group, a t-butyl group, etc. can be mentioned.
In each alkyl group and each phenyl group, one or more substituents can be present.

式(1)および式(2)において、R1 としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、フェニル基等が好ましく、R2 としては、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基等が好ましく、R3 としては、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基等が好ましく、さらにR4 、R5 およびR6 としては、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基等が好ましい。 In Formula (1) and Formula (2), R 1 is preferably a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, a phenyl group or the like, and R 2 is a hydrogen atom , methyl group, ethyl group, n- propyl group, i- propyl, n- butyl, n- pentyl, n- hexyl, n- heptyl, preferably such as n- octyl group, a R 3 is A hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group and the like are preferable. Further, as R 4 , R 5 and R 6 , a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, n- A propyl group, i-propyl group, n-butyl group and the like are preferable.

好ましいオキシム系化合物(D1)の具体例としては、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−アセテート、1−〔4−(2−メチルフェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−アセテート、1−〔4−(2,4,6−トリメチルフェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−アセテート、1−〔4−(2−エチルフェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−アセテート、1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔4−(2−メチルフェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔4−(2,4,6−トリメチルフェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔4−(2−エチルフェニルチオ)フェニル〕−オクタン−1−オン−2−オンオキシム−O−ベンゾエート等を挙げることができる。   Specific examples of the preferred oxime compound (D1) include 1- [4- (phenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-oneoxime-O-acetate, 1- [4- (2-methylphenylthio) Phenyl] -octane-1-one-2-one oxime-O-acetate, 1- [4- (2,4,6-trimethylphenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-one oxime-O-acetate, 1- [4- (2-Ethylphenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-one oxime-O-acetate, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-one oxime- O-benzoate, 1- [4- (2-methylphenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-oneoxime-O-benzoate, 1- [4 (2,4,6-trimethylphenylthio) phenyl] -octane-1-one-2-oneoxime-O-benzoate, 1- [4- (2-ethylphenylthio) phenyl] -octane-1-one-2 -Onoxime-O-benzoate and the like can be mentioned.

また、好ましいオキシム系化合物(D2)の具体例としては、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−オクタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔9−エチル−6−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔9−n−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート等を挙げることができる。   Specific examples of preferred oxime compounds (D2) include 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9. H. -Carbazol-3-yl] -octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (2,4,6-trimethylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-n-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate and the like.

これらのオキシム系化合物(D1)およびオキシム系化合物(D2)のうち、オキシム系化合物(D2)がさらに好ましく、特に、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−アセテートが好ましい。   Of these oxime compounds (D1) and oxime compounds (D2), oxime compounds (D2) are more preferred, and in particular, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate is preferred.

前記ビイミダゾール系化合物としては、例えば、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
等を挙げることができる。
Examples of the biimidazole compound include:
2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole,
Examples include 2,2′-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole.

これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールおよび2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましく、特に、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。
前記ビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、コントラストが高く、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、これにより、アンダーカットのない画素パターンおよびブラックマトリックスパターンが所定の配列に従って配置された高精細なパターンアレイを形成することができる。
Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 , 4-Dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole is preferred, in particular 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole. Imidazole is preferred.
The biimidazole compound is excellent in solubility in a solvent, does not generate foreign matters such as undissolved substances and precipitates, has high sensitivity, sufficiently advances the curing reaction by exposure with a small amount of energy, and has a contrast. It is high and does not cause a curing reaction in the unexposed area. Accordingly, it is possible to form a high-definition pattern array in which pixel patterns and black matrix patterns without undercuts are arranged according to a predetermined arrangement.

前記ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−ベンゾイル安息香酸メチル等を挙げることができる。
前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙げることができる。
Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, and methyl 2-benzoylbenzoate.
Examples of the acetophenone compounds include 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1- ON, 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-1-propan-1-one, 4 -(2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one and the like.

前記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができる。
前記α−ジケトン系化合物としては、例えば、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等を挙げることができる。
前記多核キノン系化合物としては、例えば、アントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン等を挙げることができる。
前記キサントン系化合物としては、例えば、キサントン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン等を挙げることができる。
前記ホスフィン系化合物としては、例えば、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等を挙げることができる。
Examples of the benzophenone compounds include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.
Examples of the α-diketone compound include diacetyl, dibenzoyl, methylbenzoylformate, and the like.
Examples of the polynuclear quinone compound include anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, and the like.
Examples of the xanthone compound include xanthone, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and the like.
Examples of the phosphine compound include bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.

前記トリアジン系化合物としては、例えば、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、   Examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan -2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl ] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxy) Styryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-(4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,

下記式(6)で表される化合物

Figure 0004752649
Compound represented by the following formula (6)
Figure 0004752649

、下記式(7)で表される化合物

Figure 0004752649
等のハロメチル基を有する化合物等を挙げることができる。 And a compound represented by the following formula (7):
Figure 0004752649
Examples thereof include compounds having a halomethyl group.

本発明において、他の光重合開始剤としては、ビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物、トリアジン系化合物等が好まし
本発明において、オキシム系化合物(D1)およびオキシム系化合物(D2)はそれぞれ、単独でまたは2種以上を混合して使用することができ、また他の光重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明における光重合開始剤の使用量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜200重量部、好ましくは1〜120重量部、特に好ましくは1〜100重量部である。この場合、光重合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素パターンあるいはブラックマトリックスパターンが所定の配列に従って配置されたパターンアレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方200重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなり、また未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等を生じやすくなる。
さらに、本発明においては、前記光重合開始剤と共に、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤あるいは高分子光架橋・増感剤の1種以上を併用することもできる。
In the present invention, other photopolymerization initiator, biimidazole compounds, acetophenone compounds, triazine-based compounds have preferred.
In the present invention, the oxime compound (D1) and the oxime compound (D2) can be used alone or in admixture of two or more, and the other photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two kinds. The above can be mixed and used.
The amount of the photopolymerization initiator used in the present invention is usually 0.01 to 200 with respect to a total of 100 parts by weight of (C) the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer optionally used. Part by weight, preferably 1 to 120 parts by weight, particularly preferably 1 to 100 parts by weight. In this case, if the amount of the photopolymerization initiator used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it becomes difficult to obtain a pattern array in which pixel patterns or black matrix patterns are arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, if the amount exceeds 200 parts by weight, the formed colored layer tends to fall off from the substrate during development, and background stains, film residue, etc. are likely to occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer.
Furthermore, in the present invention, one or more of a sensitizer, a curing accelerator or a polymer photocrosslinking / sensitizer can be used in combination with the photopolymerization initiator as necessary.

−添加剤−
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、必要に応じて、種々の添加剤を含有することもできる。
前記添加剤としては、感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解特性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の残存をより抑制する作用等を示す、有機酸あるいは有機アミノ化合物を挙げることができる。
-Additives-
The radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention can contain various additives as necessary.
Examples of the additive include an organic acid or an organic amino compound that has an action of further improving the solubility characteristics of the radiation-sensitive composition in an alkaline developer and further suppressing the residual of undissolved material after development. Can do.

前記有機酸としては、分子中に1個以上のカルボキシル基を有する、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。
前記脂肪族カルボン酸としては、例えば、
ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等のモノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等のジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等のトリカルボン酸類
等を挙げることができる。
The organic acid is preferably an aliphatic carboxylic acid or a phenyl group-containing carboxylic acid having one or more carboxyl groups in the molecule.
Examples of the aliphatic carboxylic acid include
Monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid, caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid Dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
And tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoronic acid.

また、前記フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合した化合物、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニル基に結合したカルボン酸等を挙げることができる。
フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上の芳香族ポリカルボン酸類や、
フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸
等を挙げることができる。
Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include a compound in which a carboxyl group is directly bonded to the phenyl group, and a carboxylic acid in which the carboxyl group is bonded to the phenyl group via a carbon chain.
Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
Trivalent or higher aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, pyromellitic acid,
Examples thereof include phenylacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidene acid, coumaric acid, and umberic acid.

これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類が好ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好ましい。また、フェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸類が好ましく、特にフタル酸が好ましい。
前記有機酸は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
有機酸の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは10重量%以下である。この場合、有機酸の使用量が15重量%を超えると、形成された着色層の基板に対する密着性が低下する傾向がある。
Among these organic acids, aliphatic carboxylic acids are aliphatic from the viewpoints of alkali solubility, solubility in a solvent described later, prevention of soiling and film residue on the substrate or the light-shielding layer in the unexposed area, and the like. Dicarboxylic acids are preferred, and malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid and the like are particularly preferred. As the phenyl group-containing carboxylic acid, aromatic dicarboxylic acids are preferable, and phthalic acid is particularly preferable.
The organic acids can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the organic acid used is usually 15% by weight or less, preferably 10% by weight or less, based on the whole radiation-sensitive composition. In this case, when the usage-amount of organic acid exceeds 15 weight%, there exists a tendency for the adhesiveness with respect to the board | substrate of the formed colored layer to fall.

また、前記有機アミノ化合物としては、分子中に1個以上のアミノ基を有する、脂肪族アミンあるいはフェニル基含有アミンが好ましい。
前記脂肪族アミンとしては、例えば、
n−プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−へプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン、2−エチルシクロヘキシルアミン、3−エチルシクロヘキシルアミン、4−エチルシクロヘキシルアミン等のモノ(シクロ)アルキルアミン類;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジ−i−プロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジ−i−ブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−t−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン等のジ(シクロ)アルキルアミン類;
The organic amino compound is preferably an aliphatic amine or a phenyl group-containing amine having one or more amino groups in the molecule.
Examples of the aliphatic amine include:
n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine, 2-ethylcyclohexylamine, 3-ethylcyclohexylamine, 4- Mono (cyclo) alkylamines such as ethylcyclohexylamine;
Methylethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-i-butylamine, di-sec-butylamine, di Di (cyclo) alkylamines such as t-butylamine, di-n-pentylamine, di-n-hexylamine, methylcyclohexylamine, ethylcyclohexylamine, dicyclohexylamine;

ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジ−n−プロピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−i−プロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリ−i−ブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のトリ(シクロ)アルキルアミン類;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノ(シクロ)アルカノールアミン類;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri-i-propylamine, tri- n-butylamine, tri-i-butylamine, tri-sec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine, dimethylcyclohexylamine, diethylcyclohexylamine, methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexyl Tri (cyclo) alkylamines such as amine and tricyclohexylamine;
2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino- Mono (cyclo) alkanolamines such as 1-cyclohexanol;

ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジ−i−ブタノールアミン、ジ−n−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−シクロヘキサノール)アミン等のジ(シクロ)アルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリ−i−プロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタノールアミン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールアミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等のトリ(シクロ)アルカノールアミン類;
Diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, di-i-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine, di (4-cyclo Di (cyclo) alkanolamines such as hexanol) amine;
Triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4 -Tri (cyclo) alkanolamines such as cyclohexanol) amine;

3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シクロ)アルカンジオール類;
1−アミノシクロペンタンメタノール、4−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミノシクロヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカンメタノール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノカルボン酸類
等を挙げることができる。
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1, 2-cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol Amino (cyclo) alkanediols such as 2-diethylamino-1,3-propanediol;
1-aminocyclopentanemethanol, 4-aminocyclopentanemethanol, 1-aminocyclohexanemethanol, 4-aminocyclohexanemethanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4- Amino group-containing cycloalkanemethanols such as diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Examples thereof include aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid.

また、前記フェニル基含有アミンとしては、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有アミンとしては、例えば、
アニリン、2−メチルアニリン、3−メチルアニリン、4−メチルアニリン、4―エチルアニリン、4−n−プロピルアニリン、4−i−プロピルアニリン、4−n−ブチルアニリン、4−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、4−メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン類;
2−アミノベンジルアルコール、3−アミノベンジルアルコール、4−アミノベンジルアルコール、4−ジメチルアミノベンジルアルコール、4−ジエチルアミノベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール類;
2−アミノフェノール、3―アミノフェノール、4―アミノフェノール、4−ジメチルアミノフェノール、4−ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール類
等を挙げることができる。
Examples of the phenyl group-containing amine include compounds in which an amino group is directly bonded to a phenyl group, and compounds in which an amino group is bonded to a phenyl group via a carbon chain.
As the phenyl group-containing amine, for example,
Aniline, 2-methylaniline, 3-methylaniline, 4-methylaniline, 4-ethylaniline, 4-n-propylaniline, 4-i-propylaniline, 4-n-butylaniline, 4-t-butylaniline, Aromatic amines such as 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, 4-methyl-N, N-dimethylaniline;
Aminobenzyl alcohols such as 2-aminobenzyl alcohol, 3-aminobenzyl alcohol, 4-aminobenzyl alcohol, 4-dimethylaminobenzyl alcohol, 4-diethylaminobenzyl alcohol;
Examples include aminophenols such as 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 4-dimethylaminophenol, and 4-diethylaminophenol.

これらの有機アミノ化合物のうち、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノールアミン類、アミノ(シクロ)アルカンジオール類が好ましく、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール等が好ましい。また、フェニル基含有アミンとしては、アミノフェノール類が好ましく、特に、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール等が好ましい。
前記有機アミノ化合物は、単独でまたは2種以上混合して使用することができる。
有機アミノ化合物の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは10重量%以下である。この場合、有機アミノ化合物の使用量が15重量%を超えると、形成された着色層の基板に対する密着性が低下する傾向がある。
Among these organic amino compounds, mono (cyclo) alkanolamines are used as aliphatic amines from the viewpoints of solubility in the solvent described later, prevention of soiling and film residue on the unexposed portion of the substrate or the light shielding layer, and the like. And amino (cyclo) alkanediols are preferred, in particular 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 5-amino-1-pentanol, 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino -1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol and the like are preferable. Moreover, as a phenyl group containing amine, aminophenols are preferable and 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, etc. are especially preferable.
The organic amino compounds can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the organic amino compound used is usually 15% by weight or less, preferably 10% by weight or less, based on the whole radiation-sensitive composition. In this case, when the usage-amount of an organic amino compound exceeds 15 weight%, there exists a tendency for the adhesiveness with respect to the board | substrate of the formed colored layer to fall.

さらに、前記有機酸および有機アミノ化合物以外の添加剤としては、例えば、
銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;
ガラス、アルミナ等の充填剤;
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;
ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;
2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;
2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;
ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;
1,1’−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2−フェニルアゾ−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル等の熱ラジカル発生剤
等を挙げることができる。
Furthermore, as an additive other than the organic acid and the organic amino compound, for example,
Dispersing aids such as blue pigment derivatives and yellow pigment derivatives such as copper phthalocyanine derivatives;
Fillers such as glass and alumina;
Polymer compounds such as polyvinyl alcohol, polyethylene glycol monoalkyl ethers, poly (fluoroalkyl acrylates);
Nonionic, cationic and anionic surfactants;
Vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltri Methoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropyl Adhesion promoters such as methyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane;
Antioxidants such as 2,6-di-t-butylphenol;
UV absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenones;
Anti-agglomeration agents such as sodium polyacrylate;
Examples thereof include thermal radical generators such as 1,1′-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile) and 2-phenylazo-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile.

溶媒
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、前記(A)〜(D)成分を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、通常、溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(D)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;
Solvent The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to the present invention contains the components (A) to (D) as essential components, and contains the additive components as necessary. Prepared as a composition.
As the solvent, the components (A) to (D) and additive components constituting the radiation-sensitive composition are dispersed or dissolved, and do not react with these components and have appropriate volatility. Can be appropriately selected and used.
As such a solvent, for example,
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n- Butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, di Propylene glycol mono Chirueteru, dipropylene glycol mono -n- propyl ether, dipropylene glycol mono -n- butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as ether;

エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;
(Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate;
Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;

乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミドまたはラクタム類
等を挙げることができる。
Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy Methyl 3-methylbutanoate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-acetate Butyl, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate , Methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate Other esters;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Examples include amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone.

これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl from the viewpoints of solubility, pigment dispersibility, coatability, etc. Ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, ethyl lactate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, n-acetate -Butyl, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, Ethyl Rubin acid and the like are preferable.
The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
これらの高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Along with the solvent, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate In addition, a high boiling point solvent such as diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, ethylene glycol monophenyl ether acetate can be used in combination.
These high-boiling solvents can be used alone or in admixture of two or more.

溶媒の使用量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。   The amount of the solvent used is not particularly limited, but the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is usually from the viewpoint of applicability, stability, etc. of the resulting radiation-sensitive composition. An amount of 5 to 50% by weight, preferably 10 to 40% by weight, is desirable.

カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色層形成用感放射線性組成物から形成された着色層を有するものである。
以下に、本発明のカラーフィルタにおける着色層を形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶媒を蒸発させて、塗膜を形成する。
次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
また、ブラックマトリックスは、例えば、黒色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記画素の形成の場合と同様にして形成することができる。
Color filter The color filter of the present invention has a colored layer formed from the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention.
Below, the method of forming the colored layer in the color filter of this invention is demonstrated.
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming pixels, and a liquid composition of a radiation sensitive composition in which, for example, a red pigment is dispersed on the substrate. After applying the product, pre-baking is performed to evaporate the solvent, thereby forming a coating film.
Next, the coating film is exposed through a photomask, and then developed using an alkali developer to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film, and then post-baked to form a red pixel pattern. A pixel array arranged in an array is formed.
Thereafter, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which a green or blue pigment is dispersed, the liquid composition is coated, pre-baked, exposed, developed, and post-baked in the same manner as described above. By sequentially forming the pixel array and the blue pixel array on the same substrate, a color filter in which the pixel arrays of the three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate is obtained. However, in the present invention, the order of forming the pixels of each color is not limited to the above.
Further, the black matrix can be formed in the same manner as in the case of forming the pixel by using a liquid composition of a radiation sensitive composition in which a black pigment is dispersed, for example.

画素および/またはブラックマトリックスを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の塗布法を採用することができるが、特に、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
Examples of the substrate used when forming the pixel and / or the black matrix include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, and polyimide.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When applying a liquid composition of a radiation sensitive composition to a substrate, an appropriate application such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, an ink jet method, etc. Although a method can be employed, a spin coating method and a slit die coating method are particularly preferable.
The coating thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 8.0 μm, particularly preferably 0.2 to 6.0 μm as the film thickness after drying.

画素および/またはブラックマトリックスを形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、好ましくは10〜10,000J/m2 である。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
As the radiation used when forming the pixel and / or the black matrix, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like can be used, but the wavelength is in the range of 190 to 450 nm. Some radiation is preferred.
Exposure of radiation is preferably 10~10,000J / m 2.
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1, An aqueous solution such as 5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied. The development conditions are preferably 5 to 300 seconds at room temperature.

このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。   The color filter of the present invention thus obtained is extremely useful for, for example, a transmissive or reflective color liquid crystal display element, a color imaging tube element, a color sensor, and the like.

カラー液晶表示素子
本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
また、本発明のカラー液晶表示素子の1つの形態として、本発明の着色層形成用感放射線性組成物を用いて、薄膜トランジスタ基板アレイ上に、前述したようにして画素および/またはブラックマトリックスを形成することにより、特に優れた特性を有するカラー液晶表示素子を作製することができる。
Color liquid crystal display element The color liquid crystal display element of the present invention comprises the color filter of the present invention.
Further, as one form of the color liquid crystal display element of the present invention, a pixel and / or a black matrix is formed as described above on the thin film transistor substrate array using the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention. By doing so, a color liquid crystal display element having particularly excellent characteristics can be produced.

本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、前記(A)〜(D)成分を必須成分として含有するものであるが、特に好ましい組成物を具体的に例示すると、下記(イ)〜(ニ)のとおりである。
(イ) (B)アルカリ可溶性樹脂が共重合体(BII)を含む着色層形成用感放射線性組成物。
(ロ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(ハ) 他の光重合開始剤がビイミダゾール系化合物、アセトフェノン系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)または(ロ)の着色層形成用感放射線性組成物。
(ニ) (A)着色剤が有機顔料あるいはカーボンブラックからなる前記(イ)、(ロ)または(ハ)の着色層形成用感放射線性組成物。
The radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention contains the components (A) to (D) as essential components. Specific examples of particularly preferred compositions are as follows. (D)
(A) (B) A radiation-sensitive composition for forming a colored layer, wherein the alkali-soluble resin contains a copolymer (BII).
(B) (C) The radiation sensitive material for forming a colored layer according to (a), wherein the polyfunctional monomer is at least one selected from the group consisting of trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate. Sex composition.
(C) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (a) or (b), wherein the other photopolymerization initiator is at least one selected from the group consisting of biimidazole compounds, acetophenone compounds, and triazine compounds. .
(D) (A) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to (a), (b) or (c) above, wherein the colorant comprises an organic pigment or carbon black.

また、本発明の好ましいカラーフィルタは、
(ホ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)または(ニ)の着色層形成用感放射線性組成物から形成された画素および/またはブラックマトリックスを有する。
Further, the preferred color filter of the present invention is
(E) It has a pixel and / or a black matrix formed from the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the above (a), (b), (c) or (d).

また、本発明の好ましいカラー液晶表示素子は、
(ヘ) 前記(ホ)のカラーフィルタを具備し、
本発明のさらに好ましいカラー液晶表示素子は、
(ト) 薄膜トランジスタ基板アレイ上に、前記(ホ)のカラーフィルタを具備している。
The preferred color liquid crystal display element of the present invention is
(F) comprising the color filter of (e),
Further preferred color liquid crystal display elements of the present invention are:
(G) The color filter described in (e) is provided on the thin film transistor substrate array.

本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、パターンの欠けやアンダーカット等のパターン不良が無く、かつ基板との密着性に優れており、加えて電圧保持率等の電気特性に優れ、高い信頼性を有するカラーフィルタを提供することができる。
したがって、本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、電子工業分野におけるカラー液晶表示素子用カラーフィルタを始めとする各種のカラーフィルタの製造に極めて好適に使用することができる。
The radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention is free of pattern defects such as chipping and undercutting, and has excellent adhesion to the substrate, and in addition, excellent electrical characteristics such as voltage holding ratio, A color filter having high reliability can be provided.
Therefore, the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention can be used very suitably for the production of various color filters including color filters for color liquid crystal display elements in the electronic industry.

以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
下記各合成例で得た樹脂のMwおよびMnは、下記仕様によるゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)により測定した。
装置 :GPC−101(昭和電工(株)製)。
カラム:GPC−KF−801、GPC−KF−802、GPC−KF−803および GPC−KF−804を結合して用いた。
移動相:リン酸0.5重量%を含むテトラヒドロフラン。
Hereinafter, the embodiment of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
Mw and Mn of the resin obtained in each of the following synthesis examples were measured by gel permeation chromatography (GPC) according to the following specifications.
Apparatus: GPC-101 (manufactured by Showa Denko KK).
Column: GPC-KF-801, GPC-KF-802, GPC-KF-803 and GPC-KF-804 were used in combination.
Mobile phase: Tetrahydrofuran containing 0.5% by weight of phosphoric acid.

合成例1
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸20重量部、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)10重量部、N−フェニルマレイミド31.2重量部、アリルメタクリレート20重量部、スチレン18.8重量部および連鎖移動剤としてα−メチルスチレンダイマー7重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を70℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=32.8重量%)を得た。この樹脂は、Mw=12,000、(Mw/Mn)=2.8であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液(重s−1)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−1)」とする。
Synthesis example 1
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 20 parts by weight of methacrylic acid and mono (2-methacryloyloxyethyl succinate). ) 10 parts by weight, 31.2 parts by weight of N-phenylmaleimide, 20 parts by weight of allyl methacrylate, 18.8 parts by weight of styrene, and 7 parts by weight of α-methylstyrene dimer as a chain transfer agent. The reaction solution was heated to 70 ° C. while stirring and polymerized for 2 hours while maintaining this temperature. Thereafter, 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and the polymerization was further continued for 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 32.8% by weight). This resin had Mw = 12,000 and (Mw / Mn) = 2.8.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-1)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-1)”.

合成例2
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸20重量部、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)5.0重量部、N−フェニルマレイミド31.2重量部、アリルメタクリレート20重量部、スチレン18.8重量部、ベンジルメタクリレート5.0重量部およびα−メチルスチレンダイマー7重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を70℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=32.8重量%)を得た。この樹脂は、Mw=11,000、(Mw/Mn)=2.6であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液(重s−2)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−2)」とする。
Synthesis example 2
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 20 parts by weight of methacrylic acid and mono (2-methacryloyloxyethyl succinate). ) 5.0 parts by weight, 31.2 parts by weight of N-phenylmaleimide, 20 parts by weight of allyl methacrylate, 18.8 parts by weight of styrene, 5.0 parts by weight of benzyl methacrylate and 7 parts by weight of α-methylstyrene dimer, After substituting with nitrogen, the reaction solution was heated to 70 ° C. while gently stirring and polymerized for 2 hours while maintaining this temperature. Thereafter, 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and the polymerization was further continued for 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 32.8% by weight). This resin had Mw = 11,000 and (Mw / Mn) = 2.6.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-2)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-2)”.

合成例3
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸10重量部、N−フェニルマレイミド31.2重量部、アリルメタクリレート20重量部、スチレン18.8重量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート15重量部、ベンジルメタクリレート5.0重量部およびα−メチルスチレンダイマー5重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を70℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=32.5重量%)を得た。この樹脂は、Mw=11,000、(Mw/Mn)=2.9であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液(重s−3)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−3)」とする。
Synthesis example 3
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 10 parts by weight of methacrylic acid and 31.2 parts by weight of N-phenylmaleimide. , 20 parts by weight of allyl methacrylate, 18.8 parts by weight of styrene, 15 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate, 5.0 parts by weight of benzyl methacrylate and 5 parts by weight of α-methylstyrene dimer, and after the nitrogen substitution, While stirring, the temperature of the reaction solution was raised to 70 ° C., and polymerization was carried out for 2 hours while maintaining this temperature. Thereafter, 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and polymerization was continued for another 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 32.5% by weight). This resin had Mw = 11,000 and (Mw / Mn) = 2.9.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-3)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-3)”.

合成例4
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸10重量部、N−フェニルマレイミド31.2重量部、アリルメタクリレート30重量部、スチレン18.8重量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート10重量部およびα−メチルスチレンダイマー7重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を70℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=31.9重量%)を得た。この樹脂は、Mw=12,000、(Mw/Mn)=2.8であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液(重s−4)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−4)」とする。
Synthesis example 4
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 10 parts by weight of methacrylic acid and 31.2 parts by weight of N-phenylmaleimide. Then, 30 parts by weight of allyl methacrylate, 18.8 parts by weight of styrene, 10 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate, and 7 parts by weight of α-methylstyrene dimer were charged, and after replacing with nitrogen, the reaction solution was stirred while gently stirring. The temperature was raised to 0 ° C., and this temperature was maintained for polymerization for 2 hours. Thereafter, 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and the polymerization was further continued for 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 31.9% by weight). This resin had Mw = 12,000 and (Mw / Mn) = 2.8.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-4)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-4)”.

合成例5
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸20重量部、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)10重量部、N−フェニルマレイミド31.2重量部、ベンジルメタクリレート20重量部、スチレン18.8重量部およびα−メチルスチレンダイマー7重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を70℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=32.8重量%)を得た。この樹脂は、Mw=12,000、(Mw/Mn)=2.8であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液( 重s−5)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−5)」とする。
Synthesis example 5
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 20 parts by weight of methacrylic acid and mono (2-methacryloyloxyethyl succinate). ) 10 parts by weight, 31.2 parts by weight of N-phenylmaleimide, 20 parts by weight of benzyl methacrylate, 18.8 parts by weight of styrene, and 7 parts by weight of α-methylstyrene dimer were substituted with nitrogen, and then gently stirred. The reaction solution was heated to 70 ° C. and polymerized for 2 hours while maintaining this temperature. Thereafter, 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and the polymerization was further continued for 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 32.8% by weight). This resin had Mw = 12,000 and (Mw / Mn) = 2.8.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-5)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-5)”.

合成例6
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸20重量部、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)10重量部、アリルメタクリレート20重量部、スチレン18.8重量部、ベンジルメタクリレート31.2重量部およびα−メチルスチレンダイマー(連鎖移動剤)7重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を80℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、反応溶液を100℃に昇温して、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=32.8重量%)を得た。この樹脂は、Mw=15,000、(Mw/Mn)=3.0であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液(重s−6)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−6)」とする。
Synthesis Example 6
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 20 parts by weight of methacrylic acid and mono (2-methacryloyloxyethyl succinate). 10 parts by weight, 20 parts by weight of allyl methacrylate, 18.8 parts by weight of styrene, 31.2 parts by weight of benzyl methacrylate and 7 parts by weight of α-methylstyrene dimer (chain transfer agent) While stirring, the temperature of the reaction solution was raised to 80 ° C., and this temperature was maintained for polymerization for 2 hours. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and polymerization was continued for another 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 32.8 wt. %). This resin had Mw = 15,000 and (Mw / Mn) = 3.0.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-6)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-6)”.

合成例7
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスバレロニトリル5重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸20重量部、こはく酸モノ(2−メタクリロイルオキシエチル)10重量部、スチレン18.8重量部、ベンジルメタクリレート51.2重量部およびα−メチルスチレンダイマー7重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を70℃に昇温し、この温度を保持して2時間重合した。その後、2,2’−アゾビスバレロニトリル2重量部を追加し、さらに2時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=32.8重量%)を得た。この樹脂は、Mw=12,000、(Mw/Mn)=2.8であった。
この樹脂溶液を「樹脂溶液(重s−7)」とし、この樹脂を「樹脂(重a−7)」とする。
Synthesis example 7
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 20 parts by weight of methacrylic acid and mono (2-methacryloyloxyethyl succinate). ) 10 parts by weight, 18.8 parts by weight of styrene, 51.2 parts by weight of benzyl methacrylate and 7 parts by weight of α-methylstyrene dimer were charged, and after replacing with nitrogen, the reaction solution was raised to 70 ° C. while gently stirring. The polymerization was carried out for 2 hours while maintaining the temperature. Thereafter, 2 parts by weight of 2,2′-azobisvaleronitrile was added, and the polymerization was further continued for 2 hours to obtain a resin solution (solid content concentration = 32.8% by weight). This resin had Mw = 12,000 and (Mw / Mn) = 2.8.
This resin solution is referred to as “resin solution (heavy s-7)”, and this resin is referred to as “resin (heavy a-7)”.

〔欠けおよび密着性の評価〕
実施例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド254とC.I.ピグメントイエロー139との50/50(重量比)混合物40重量部、分散剤としてDisperbyk2001を10重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル100重量部からなる混合液を、ダイヤモンドファインミル(商品名、三菱マテリアル(株)製ビーズミル(ビーズ直径1.0mm))により12時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。
次いで、この顔料分散液100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(重s−1)を樹脂(重a−1)が70重量部となる量、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始剤として1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−アセテート50重量部、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1,000重量部を混合して、液状組成物(r−1)を調製した。
次いで、液状組成物(r−1)をソーダガラス基板上に塗布したのち、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
[Evaluation of chipping and adhesion]
Example 1
(A) C.I. I. Pigment red 254 and C.I. I. A mixture of 40 parts by weight of a 50/50 (weight ratio) mixture with Pigment Yellow 139, 10 parts by weight of Disperbyk 2001 as a dispersant, and 100 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent was added to Diamond Fine Mill (trade name). A pigment dispersion was prepared by mixing and dispersing for 12 hours using a bead mill (bead diameter: 1.0 mm) manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.
Next, 100 parts by weight of this pigment dispersion, (B) an amount of resin solution (heavy s-1) as an alkali-soluble resin, 70 parts by weight of resin (heavy a-1), and (C) a polyfunctional monomer As dipentaerythritol hexaacrylate, and (D) 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate and 1,000 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (r-1). .
Subsequently, after apply | coating a liquid composition (r-1) on a soda glass substrate, each wavelength of 365 nm, 405 nm, and 436 nm is included in a coating film through a 90 micron stripe pattern photomask using a high pressure mercury lamp. radiation was exposed at an exposure amount of 5,000J / m 2. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例2
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−2)を樹脂(重a−2)が70重量部となる量で用いた以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(r−2)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 2
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin solution (heavy s-2) was used in an amount that would result in 70 parts by weight of the resin (heavy a-2) instead of the resin solution (heavy s-1). A product (r-2) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例3
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−3)を樹脂(重a−3)が70重量部となる量で用いた以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(r−3)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 3
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin solution (heavy s-3) was used in such an amount that the resin (heavy a-3) was 70 parts by weight instead of the resin solution (heavy s-1). A product (r-3) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例4
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−4)を樹脂(重a−4)が70重量部となる量で用いた以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(r−4)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 4
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin solution (heavy s-4) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-4) was 70 parts by weight. A product (r-4) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

比較例1
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−5)を樹脂(重a−5)が70重量部となる量で用いた以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(r−5)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Comparative Example 1
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin solution (heavy s-5) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-5) was 70 parts by weight. A product (r-5) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例5
(A)顔料としてC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との90/10(重量比)混合物40重量部、分散剤としてDisperbyk2001を10重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル100重量部からなる混合液を、ダイヤモンドファインミル(商品名、三菱マテリアル(株)製ビーズミル(ビーズ直径1.0mm))により12時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。
次いで、この顔料分散液100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(重s−1)を樹脂(重a−1)が80重量部となる量、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート70重量部、(D)光重合開始剤として1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−アセテート30重量部、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1,000重量部を混合して、液状組成物(r−6)を調製した。
次いで、液状組成物(r−6)をソーダガラス基板上に塗布したのち、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 5
(A) C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Diamond Fine Mill (trade name) was prepared by mixing 40 parts by weight of a 90/10 (weight ratio) mixture with Pigment Violet 23, 10 parts by weight of Disperbyk 2001 as a dispersant, and 100 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent. A pigment dispersion was prepared by mixing and dispersing for 12 hours using a bead mill (bead diameter: 1.0 mm) manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.
Next, 100 parts by weight of this pigment dispersion, (B) resin solution (heavy s-1) as an alkali-soluble resin, amount of resin (heavy a-1) to be 80 parts by weight, (C) polyfunctional monomer As dipentaerythritol hexaacrylate and (D) 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate and 1,000 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (r-6). .
Subsequently, after apply | coating a liquid composition (r-6) on a soda glass substrate, each wavelength of 365 nm, 405 nm, and 436 nm is included in a coating film through a 90 micron stripe pattern photomask using a high pressure mercury lamp. radiation was exposed at an exposure amount of 5,000J / m 2. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例6
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−2)を樹脂(重a−2)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例5と同様にして、液状組成物(r−7)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 6
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 5 except that the resin solution (heavy s-2) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in an amount such that the resin (heavy a-2) was 80 parts by weight. A product (r-7) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例7
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−3)を樹脂(重a−3)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例5と同様にして、液状組成物(r−8)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 7
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 5 except that the resin solution (heavy s-3) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-3) was 80 parts by weight. A product (r-8) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例8
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−4)を樹脂(重a−4)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例5と同様にして、液状組成物(r−9)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 8
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 5 except that the resin solution (heavy s-4) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-4) was 80 parts by weight. A product (r-9) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

比較例2
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−5)を樹脂(重a−5)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例5と同様にして、液状組成物(r−10)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Comparative Example 2
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 5 except that the resin solution (heavy s-5) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-5) was 80 parts by weight. A product (r-10) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例9
(A)顔料としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との50/50(重量比)混合物40重量部、分散剤としてDisperbyk2001を10重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル100重量部からなる混合液を、ダイヤモンドファインミル(商品名、三菱マテリアル(株)製ビーズミル(ビーズ直径1.0mm))により12時間混合・分散して、顔料分散液を調製した。
次いで、この顔料分散液100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(重s−1)を樹脂(重a−1)が80重量部となる量、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート70重量部、(D)光重合開始剤として1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−アセテート30重量部、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1,000重量部を混合して、液状組成物(r−11)を調製した。
次いで、液状組成物(r−11)をソーダガラス基板上に塗布したのち、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 9
(A) C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. A mixture of 40 parts by weight of a 50/50 (weight ratio) mixture with Pigment Yellow 150, 10 parts by weight of Disperbyk 2001 as a dispersant, and 100 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent was added to Diamond Fine Mill (trade name). A pigment dispersion was prepared by mixing and dispersing for 12 hours using a bead mill (bead diameter: 1.0 mm) manufactured by Mitsubishi Materials Corporation.
Next, 100 parts by weight of this pigment dispersion, (B) resin solution (heavy s-1) as an alkali-soluble resin, amount of resin (heavy a-1) to be 80 parts by weight, (C) polyfunctional monomer As dipentaerythritol hexaacrylate and (D) 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-acetate and 1,000 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (r-11). .
Next, after applying the liquid composition (r-11) onto a soda glass substrate, the coating film contains wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm through a 90 micron stripe pattern photomask using a high-pressure mercury lamp. radiation was exposed at an exposure amount of 5,000J / m 2. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例10
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−2)を樹脂(重a−2)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例9と同様にして、液状組成物(r−12)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 10
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 9 except that the resin solution (heavy s-2) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-2) was 80 parts by weight. A product (r-12) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例11
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−3)を樹脂(重a−3)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例9と同様にして、液状組成物(r−13)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 11
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 9 except that the resin solution (heavy s-3) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-3) was 80 parts by weight. A product (r-13) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

実施例12
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−4)を樹脂(重a−4)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例9と同様にして、液状組成物(r−14)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Example 12
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 9 except that the resin solution (heavy s-4) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-4) was 80 parts by weight. A product (r-14) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

比較例3
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−5)を樹脂(重a−5)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例9と同様にして、液状組成物(r−15)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンの欠けは認められず、また基板との密着性も良好であった。
Comparative Example 3
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 9 except that the resin solution (heavy s-5) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-5) was 80 parts by weight. A product (r-15) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, no chipping of the pattern was observed, and the adhesion with the substrate was good.

比較例4
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−6)を樹脂(重a−6)が70重量部となる量で用いた以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(r−16)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに多数の欠けが認められ、またパターンが部分的に基板から剥がれている箇所も認められた。
Comparative Example 4
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin solution (heavy s-6) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-6) was 70 parts by weight. A product (r-16) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, a large number of chips were observed in the pattern, and a portion where the pattern was partially peeled off from the substrate was also observed.

比較例5
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−7)を樹脂(重a−7)が70重量部となる量で用いた以外は、実施例1と同様にして、液状組成物(r−17)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに多数の欠けが認められ、またパターンが部分的に基板から剥がれている箇所も認められた。
Comparative Example 5
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin solution (heavy s-7) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in an amount such that the resin (heavy a-7) was 70 parts by weight. A product (r-17) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, a large number of chips were observed in the pattern, and a portion where the pattern was partially peeled off from the substrate was also observed.

比較例6
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−6)を樹脂(重a−6)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例5と同様にして、液状組成物(r−18)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに多数の欠けが認められ、またパターンが部分的に基板から剥がれている箇所も認められた。
Comparative Example 6
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 5 except that the resin solution (heavy s-6) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in an amount such that the resin (heavy a-6) was 80 parts by weight. A product (r-18) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, a large number of chips were observed in the pattern, and a portion where the pattern was partially peeled off from the substrate was also observed.

比較例7
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−7)を樹脂(重a−7)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例5と同様にして、液状組成物(r−19)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに多数の欠けが認められ、またパターンが部分的に基板から剥がれている箇所も認められた。
Comparative Example 7
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 5 except that the resin solution (heavy s-7) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-7) was 80 parts by weight. A product (r-19) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, a large number of chips were observed in the pattern, and a portion where the pattern was partially peeled off from the substrate was also observed.

比較例8
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−6)を樹脂(重a−6)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例9と同様にして、液状組成物(r−20)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに多数の欠けが認められ、またパターンが部分的に基板から剥がれている箇所が多数認められた。
Comparative Example 8
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 9 except that the resin solution (heavy s-6) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-6) was 80 parts by weight. A product (r-20) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, a large number of chips were observed in the pattern, and a number of locations where the pattern was partially peeled off from the substrate were observed.

比較例9
樹脂溶液(重s−1)に代えて樹脂溶液(重s−7)を樹脂(重a−7)が80重量部となる量で用いた以外は、実施例9と同様にして、液状組成物(r−21)を調製して、ソーダガラス基板上に塗布した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、90ミクロンのストライプパターンフォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾した。
次いで、得られたストライプパターンを走査型電子顕微鏡で観察したところ、パターンに多数の欠けが認められ、またパターンが部分的に基板から剥がれている箇所が多数認められた。
Comparative Example 9
A liquid composition was obtained in the same manner as in Example 9 except that the resin solution (heavy s-7) was used instead of the resin solution (heavy s-1) in such an amount that the resin (heavy a-7) was 80 parts by weight. A product (r-21) was prepared and applied on a soda glass substrate.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 through a 90-micron stripe pattern photomask. Thereafter, the substrate was immersed in a developer composed of a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, and air-dried.
Next, when the obtained stripe pattern was observed with a scanning electron microscope, a large number of chips were observed in the pattern, and a number of locations where the pattern was partially peeled off from the substrate were observed.

〔電圧保持率の評価〕
実施例1〜12および比較例1〜9の各液状組成物を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成され、さらにITO(インジウム−酸化錫合金)電極を所定形状に蒸着したソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で10分間プレベークを行って、膜厚1.8μmの塗膜を形成した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介さずに、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を5,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して風乾し、さらに230℃で30分間ポストベークを行い塗膜を硬化させて、基板上に赤色の画素を形成した。この画素の膜厚は1.5μmであった。
次いで、この画素を形成した基板とITO電極を所定形状に蒸着しただけの基板とを、0.018mmのガラスビーズを混合したシール剤で貼り合わせたのち、メルク社製液晶MLC6608(商品名)を注入して、液晶セルを作製した。
次いで、液晶セルを60℃の恒温層に入れて、液晶セルの電圧保持率を、東陽テクニカ(株)製液晶電圧保持率測定システムVHR−1A型(商品名)により、印加電圧が5.0Vの方形波、測定周波数が60Hzの条件で測定した。
ここで電圧保持率とは、(電圧印加から16.7ミリ秒後の液晶セルの電位差)/(電圧印加直後の電圧)で算出される値である。
電圧保持率の測定結果を、アルカリ可溶性樹脂中のN−フェニルマレイミドおよびアリルメタクリレートの有無、並びに欠けおよび密着性の評価結果と併せて表1に示す。液晶セルの電圧保持率が90%以下であると、液晶セルは印加電圧を所定レベルに保持できず、十分に液晶を配向させることができないことを意味する。
[Evaluation of voltage holding ratio]
Each liquid composition of Examples 1-12 and Comparative Examples 1-9 was formed with a SiO 2 film to prevent elution of sodium ions on the surface, and further deposited an ITO (indium-tin oxide alloy) electrode in a predetermined shape. After coating on a soda glass substrate using a spin coater, prebaking was performed in a clean oven at 90 ° C. for 10 minutes to form a coating film having a thickness of 1.8 μm.
Next, using a high-pressure mercury lamp, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at an exposure amount of 5,000 J / m 2 without using a photomask. Thereafter, the substrate is immersed in a developer comprising a 0.04 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, developed, washed with ultrapure water, air-dried, and further post-baked at 230 ° C. for 30 minutes. And the coating film was cured to form red pixels on the substrate. The film thickness of this pixel was 1.5 μm.
Next, the substrate on which this pixel is formed and the substrate on which the ITO electrode is simply deposited in a predetermined shape are bonded together with a sealing agent mixed with 0.018 mm glass beads, and then a liquid crystal MLC6608 (trade name) manufactured by Merck is used. The liquid crystal cell was manufactured by pouring.
Next, the liquid crystal cell was placed in a constant temperature layer of 60 ° C., and the voltage holding ratio of the liquid crystal cell was measured by a liquid crystal voltage holding ratio measuring system VHR-1A type (trade name) manufactured by Toyo Technica Co., Ltd. Were measured under the conditions of a square wave and a measurement frequency of 60 Hz.
Here, the voltage holding ratio is a value calculated by (potential difference of liquid crystal cell 16.7 milliseconds after voltage application) / (voltage immediately after voltage application).
The measurement results of the voltage holding ratio are shown in Table 1 together with the presence / absence of N-phenylmaleimide and allyl methacrylate in the alkali-soluble resin, and the evaluation results of chipping and adhesion. When the voltage holding ratio of the liquid crystal cell is 90% or less, the liquid crystal cell cannot hold the applied voltage at a predetermined level, which means that the liquid crystal cannot be sufficiently aligned.

Figure 0004752649
Figure 0004752649

Claims (3)

(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)光重合開始剤を含有する着色層形成用感放射線性組成物において、(B)アルカリ可溶性樹脂が、(b1)不飽和カルボン酸もしくはその酸無水物および不飽和フェノール化合物の群から選ばれる少なくとも1種の共重合割合が5〜30重量%と、(b2)N位−置換マレイミドの共重合割合が5〜40重量%と、(b3)アリル基を有する不飽和化合物の共重合割合が5〜40重量%と、(b4)前記以外の不飽和化合物の共重合割合が5〜60重量%との共重合体を含み、(D)光重合開始剤が、下記式(1)で表される化合物および/または下記式(2)で表される化合物を含むことを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
Figure 0004752649
Figure 0004752649
〔式(1)および式(2)において、各R 1 は相互に独立に炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基またはフェニル基を示し、各R 2 は相互に独立に水素原子、炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基またはフェニル基を示し、R 3 は水素原子または炭素数1〜12の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示し、各R 4 、各R 5 および各R 6 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。但し、R 1 、R 2 、R 3 、R 4 、R 5 およびR 6 のアルキル基はそれぞれ、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子の群から選ばれる置換基で置換されてもよく、R 1 およびR 2 のフェニル基はそれぞれ、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基、フェニル基およびハロゲン原子の群から選ばれる置換基で置換されてもよい。〕
In the radiation-sensitive composition for forming a colored layer, comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a photopolymerization initiator. The resin has a copolymerization ratio of at least one selected from the group of (b1) unsaturated carboxylic acid or acid anhydride and unsaturated phenol compound, and (b2) a copolymer of N-substituted maleimide . The polymerization rate is 5 to 40% by weight , (b3) the copolymerization rate of the unsaturated compound having an allyl group is 5 to 40% by weight , and (b4) the copolymerization rate of the other unsaturated compound is 5 to 60% by weight. % and look containing a copolymer of, (D) a photopolymerization initiator, wherein the compound containing Mukoto represented by the compounds and / or the following formula represented by the following formula (1) (2) A radiation-sensitive composition for forming a colored layer.
Figure 0004752649
Figure 0004752649
[In the formulas (1) and (2), each R 1 independently represents a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a phenyl group, and each R 2 is independent from each other. Represents a hydrogen atom, a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a phenyl group, and R 3 represents a hydrogen atom or a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. R 4 , R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. However, the alkyl groups of R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each a group of straight, branched or cyclic alkoxyl groups having 1 to 6 carbon atoms, phenyl groups and halogen atoms. And the phenyl groups of R 1 and R 2 are each a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a linear group having 1 to 6 carbon atoms. Further, it may be substituted with a substituent selected from the group consisting of a branched or cyclic alkoxyl group, a phenyl group and a halogen atom. ]
請求項1に記載の着色層形成用感放射線性組成物から形成された着色層を有するカラーフィルタ。   A color filter having a colored layer formed from the radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to claim 1. 請求項に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。 A color liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 2 .
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