JP5080715B2 - Radiation sensitive composition for color filter, color filter, and color liquid crystal display device - Google Patents

Radiation sensitive composition for color filter, color filter, and color liquid crystal display device Download PDF

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本発明は、カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの製造に有用なカラーフィルタ用感放射線性組成物、該カラーフィルタ用感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタおよび当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a radiation-sensitive composition for color filters, a color filter, and a color liquid crystal display device, and more specifically, manufacture of a color filter used for a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, and the like. The present invention relates to a radiation sensitive composition for a color filter useful for a color filter, a color filter formed from the radiation sensitive composition for a color filter, and a color liquid crystal display device including the color filter.

着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを製造するに当たっては、通常、基板上あるいは予め所望パターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線性組成物の塗膜を形成して、所望のパターン形状を有するマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、アルカリ性現像液により現像して未露光部を溶解除去し、その後、クリーンオーブンやホットプレートを用いてポストベークすることにより、各色の画素を得る形成方法(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)が知られている。
このような着色感放射線性組成物に用いられる着色剤としては、カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められることから、発色性が高く、かつ耐熱性、特に耐熱分解性の高い特徴を有する有機顔料が用いられることが多い。しかしながら、従来の着色感放射線組成物は顔料の分散性が悪いという難点を有していた。このような問題点に対し、例えば特許文献3に開示されているように、溶剤としてアルコキシアルキルアセテートを用いる提案がされている。しかし、それだけでは必ずしも分散性が十分といえず、基板上への塗布時に塗布ムラがみられることがあり、特にスリットダイコーターによる塗布に使用される場合は顕著に塗布ムラが見られることがある。
そのため、さらに分散性および塗布性を改善したカラーフィルタ用感放射線性組成物の開発が強く求められている。
In producing a color filter using a colored radiation-sensitive composition, a coating film of the colored radiation-sensitive composition is usually formed on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been previously formed. Radiation is irradiated through a mask having the pattern shape (hereinafter referred to as “exposure”), development is performed with an alkaline developer to dissolve and remove unexposed portions, and then post-baking is performed using a clean oven or a hot plate. Thus, a forming method for obtaining pixels of each color (for example, see Patent Document 1 and Patent Document 2) is known.
As a colorant used in such a colored radiation-sensitive composition, the color filter is required to have high-definition color development and heat resistance, so that it has high color developability and heat resistance, particularly high heat decomposition resistance. Organic pigments having the following are often used. However, the conventional colored radiation-sensitive composition has a drawback that the dispersibility of the pigment is poor. In order to solve such problems, for example, as disclosed in Patent Document 3, there has been a proposal of using an alkoxyalkyl acetate as a solvent. However, dispersibility is not always sufficient by itself, and application unevenness may be observed during application on a substrate, and particularly when used for application by a slit die coater, application unevenness may be noticeable. .
Therefore, development of the radiation sensitive composition for color filters which further improved the dispersibility and applicability | paintability is calculated | required strongly.

特開平2−144502号公報JP-A-2-144502 特開平3−53201号公報JP-A-3-53201 特開平6−289601号公報JP-A-6-289601

本発明の課題は、基板上へのスリットダイコーターを用いた塗布時にも塗布ムラが発生せず、均一な着色層を高い製品歩留まりでかつ高効率に形成しうる、カラーフィルタ用感放射線性組成物を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a radiation-sensitive composition for a color filter, which does not cause uneven coating even when applied on a substrate using a slit die coater, and can form a uniform colored layer with high product yield and high efficiency. To provide things.

本発明者らは、基板上へのスリットダイコーターを用いた塗布時における前記問題について鋭意検討を重ねた結果、カラーフィルタの形成に使用される感放射線性組成物の溶剤種、混合比、および組成物中の溶媒を除いた各成分の合計量が組成物全体に占める割合(以下、「固形分濃度」という。)が塗布性と密接な関係があることを見い出し、本発明を成すに至ったものである。
本発明は、第一に、(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)光ラジカル発生剤および(E)溶剤を含有する感放射線性組成物からなり、(E)溶剤が、3−メトキシブチルアセテートと、3−エトキシプロピオン酸エチルおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも1種とを含有するものであり、3−メトキシブチルアセテートが溶剤全体の15〜60重量%であり、且つ固形分濃度が10〜30重量%であることを特徴とし、スリットダイコーターによる塗布に用いられる、カラーフィルタ用感放射線性組成物ある。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。

As a result of intensive studies on the above problems at the time of coating using a slit die coater on a substrate, the present inventors have found that the solvent type, the mixing ratio, and the radiation sensitive composition used for forming the color filter, The ratio of the total amount of each component excluding the solvent in the composition to the entire composition (hereinafter referred to as “solid content concentration”) was found to be closely related to the coating property, and the present invention was achieved. It is a thing.
The present invention firstly provides a radiation-sensitive composition containing (A) a pigment, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a photoradical generator, and (E) a solvent. made, are those containing at least one solvent (E) is, to a 3-methoxybutyl acetate, selected from ethyl 3-ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate tape preparative O Li Cheng group, 3- A radiation-sensitive composition for color filters, characterized in that methoxybutyl acetate is 15 to 60% by weight of the total solvent and the solid content concentration is 10 to 30% by weight, and is used for coating with a slit die coater. .
The “radiation” as used in the present invention means a substance including visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like.

本発明は、第二に、前記カラーフィルタ用感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタ、からなる。   Secondly, the present invention comprises a color filter formed from the radiation sensitive composition for color filter.

本発明は、第三に、前記カラーフィルタを具備するカラー液晶表示装置、からなる。   Thirdly, the present invention comprises a color liquid crystal display device comprising the color filter.

本発明によると、基板上への塗布時、とりわけスリットダイコーターを用いた塗布時にも塗布ムラが発生せず、均一な膜厚のカラーフィルタ用着色層を高い製品歩留まりでかつ高効率に形成することができる。
したがって、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ用着色層の形成方法は、電子工業分野におけるカラー液晶表示装置用カラーフィルタを始めとする各種のカラーフィルタの形成に極めて好適に使用することができる。
According to the present invention, coating unevenness does not occur even when coating on a substrate, particularly when using a slit die coater, and a colored layer for a color filter having a uniform film thickness is formed with high product yield and high efficiency. be able to.
Therefore, the method for forming the radiation sensitive composition for a color filter and the colored layer for the color filter of the present invention is very suitably used for forming various color filters including color filters for color liquid crystal display devices in the electronic industry. can do.

以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
カラーフィルタ用感放射線性組成物
−(A)顔料−
本発明における顔料としては、カラーフィルタには高純度で高透過性の発色と耐熱性が求められることから、有機顔料が好ましい。
前記有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
Radiation sensitive composition for color filter- (A) Pigment-
As the pigment in the present invention, an organic pigment is preferable because the color filter is required to have high purity and high transmittance color development and heat resistance.
Examples of the organic pigment include compounds classified as pigments in a color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, a color index (CI) number as shown below. You can list what you have.

C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー211;
C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ71;
C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド254;
C.I.ピグメントバイオレット19、ピグメントバイオレット23、ピグメントバイオレット29;
C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン136、C.I.ピグメントグリーン210;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25;
これらの有機顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、有機顔料は、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせにより精製して使用することもできる。
CI Pigment Yellow 12, CI Pigment Yellow 13, CI Pigment Yellow 14, CI Pigment Yellow 17, CI Pigment Yellow 20, CI Pigment Yellow 24, CI Pigment Yellow 31, CI Pigment Yellow 55, CI Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 93, CI Pigment Yellow 109, CI Pigment Yellow 110, CI Pigment Yellow 138, CI Pigment Yellow 139, CI Pigment Yellow 150, CI Pigment Yellow 153, CI Pigment Yellow 154, CI Pigment Yellow 155, CI Pigment Yellow 166, CI Pigment Yellow 168, CI Pigment Yellow 211;
CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 71;
CI Pigment Red 9, CI Pigment Red 97, CI Pigment Red 122, CI Pigment Red 123, CI Pigment Red 149, CI Pigment Red 168, CI Pigment Red 176, CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 180, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 254;
CI pigment violet 19, pigment violet 23, pigment violet 29;
CI Pigment Blue 15, CI Pigment Blue 60, CI Pigment Blue 15: 3, CI Pigment Blue 15: 4, CI Pigment Blue 15: 6,
CI Pigment Green 7, CI Pigment Green 36, CI Pigment Green 136, CI Pigment Green 210;
CI Pigment Brown 23, CI Pigment Brown 25;
These organic pigments can be used alone or in admixture of two or more.
In the present invention, the organic pigment can be purified and used by a recrystallization method, a reprecipitation method, a solvent washing method, a sublimation method, a vacuum heating method, or a combination thereof.

また、無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。
これらの無機顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
さらに、本発明においては、場合により、前記顔料と共に、染料や天然色素を1種以上併用することもできる。
Examples of inorganic pigments include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red bean (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, bitumen, and chromium oxide green. , Cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black and the like.
These inorganic pigments can be used alone or in admixture of two or more.
Furthermore, in the present invention, if necessary, one or more dyes or natural pigments can be used in combination with the pigment.

本発明において、顔料は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特開平8−259876号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。   In the present invention, the pigment can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the pigment particle surface include the polymers described in JP-A-8-259876, and various commercially available pigment-dispersing polymers or oligomers.

また、本発明において、顔料は、所望により、分散剤と共に使用することができる。
前記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
前記界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、Disperbyk(ビックケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(エフカーケミカルズ(株)製)等を挙げることができる。
これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
分散剤の使用量は、顔料100重量部に対して、好ましくは50重量部以下、さらに好ましくは30重量部以下である。
Moreover, in this invention, a pigment can be used with a dispersing agent if desired.
Examples of the dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, silicone, and fluorine surfactants.
Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; polyoxyethylene n-octylphenyl ether, polyoxyethylene n-nonyl Polyoxyethylene alkyl phenyl ethers such as phenyl ether; polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; sorbitan fatty acid esters; fatty acid modified polyesters; tertiary amine modified polyurethanes; The following trade names are KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F Top (manufactured by Tochem Products), Megafu (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.), Florard (Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (Asahi Glass Co., Ltd.), Disperbyk (Bicchemy Japan Co., Ltd.), Sol Sparse (Manufactured by Zeneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by Fuka Chemicals Co., Ltd.), and the like.
These surfactants can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the dispersant used is preferably 50 parts by weight or less, more preferably 30 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the pigment.

(B)アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、(A)顔料に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際に、その現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ性現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量体」という。)との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体」という。)が好ましい。
(B) Alkali-soluble resin As the alkali-soluble resin in the present invention, (A) a developer that acts as a binder for the pigment and is used in the development processing step when producing a color filter, particularly preferably alkaline Although it will not specifically limit if it has a solubility with respect to a developing solution, The alkali-soluble resin which has a carboxyl group is preferable, and especially the ethylenically unsaturated monomer (one or more carboxyl group ( Hereinafter, a copolymer of “carboxyl group-containing unsaturated monomer”) and another copolymerizable ethylenically unsaturated monomer (hereinafter referred to as “copolymerizable unsaturated monomer”). (Hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymer”) is preferred.

カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水物類;
3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水物類;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類
等を挙げることができる。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体のうち、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)およびフタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)は、それぞれM−5300およびM−5400(東亞合成(株)製)の商品名で市販されている。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
As the carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example,
Unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like;
A trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or anhydride thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Esters;
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
Among these carboxyl group-containing unsaturated monomers, succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl) are respectively M-5300 and M-5400 (Toagosei ( (Commercially available) under the trade name.
The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include:
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[ 5.2.1.02,6 ] デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate Rate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl Unsaturation such as (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.02,6] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, etc. Carboxylic acid esters;

2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylate, 3-dimethyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminopropyl (meth) acrylate;
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate; vinyl acetates such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples thereof include macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.

本発明におけるカルボキシル基含有共重合体としては、(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合により、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕およびω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種の化合物をさらに含有するカルボキシル基含有不飽和単量体成分と、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体(B1)」という。)が好ましい。   As the carboxyl group-containing copolymer in the present invention, (meth) acrylic acid is an essential component, and in some cases, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate. A carboxyl group-containing unsaturated monomer component further containing at least one compound selected from the group consisting of styrene, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl ( A copolymer with at least one selected from the group of (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, N-phenylmaleimide, polystyrene macromonomer and polymethylmethacrylate macromonomer (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymer (B1) ) ". It is preferred.

カルボキシル基含有共重合体(B1)の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
メタクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体
(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
(メタ)アクリル酸/ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体
等を挙げることができる。
As specific examples of the carboxyl group-containing copolymer (B1),
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
Methacrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer,
(Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- ( (Meth) acryloyloxyethyl] / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer (meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer Coalescence,
Examples thereof include (meth) acrylic acid / ω-carboxypolycacrolactone mono (meth) acrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer.

カルボキシル基含有共重合体におけるカルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは5〜50重量%、さらに好ましくは10〜40重量%である。この場合、前記共重合割合が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、着色層の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。
アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したMwは、通常、3,000〜300,000、好ましくは5,000〜100,000である。
また、アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、通常、3,000〜60,000、好ましくは5,000〜25,000である。
また、アルカリ可溶性樹脂のMwとMnの比(Mw/Mn)は、好ましくは1〜5、さらに好ましくは1〜4である。
本発明においては、このような特定のMwおよびMnを有するアルカリ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それにより、シャープなパターンエッジを有する画素パターンを形成することができるとともに、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。
The copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer in the carboxyl group-containing copolymer is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight. In this case, if the copolymerization ratio is less than 5% by weight, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkali developer tends to be reduced, whereas if it exceeds 50% by weight, the solubility in an alkali developer is low. Therefore, when developing with an alkaline developer, the colored layer tends to drop off from the substrate or the pixel surface becomes rough.
Mw measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of an alkali-soluble resin is usually 3,000 to 300,000, preferably 5,000 to 100,000.
The polystyrene-equivalent number average molecular weight (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of an alkali-soluble resin is usually 3,000 to 60,000, preferably 5,000 to 25,000.
Moreover, the ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of the alkali-soluble resin is preferably 1 to 5, and more preferably 1 to 4.
In the present invention, by using such an alkali-soluble resin having specific Mw and Mn, a radiation-sensitive composition having excellent developability can be obtained, and thereby a pixel pattern having sharp pattern edges can be obtained. In addition to being able to be formed, residues, background stains, film residues and the like are less likely to occur on the unexposed substrate and the light shielding layer during development.

本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量は、(A)顔料100重量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超えると、相対的に顔料濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。
In this invention, alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types.
The usage-amount of the alkali-soluble resin in this invention is 10-1,000 weight part normally with respect to 100 weight part of (A) pigments, Preferably it is 20-500 weight part. In this case, if the amount of the alkali-soluble resin used is less than 10 parts by weight, for example, the alkali developability may be lowered, or background stains or film residues may be generated on the substrate or the light shielding layer in the unexposed area. When the amount exceeds 1,000 parts by weight, the pigment concentration is relatively lowered, and it may be difficult to achieve the target color concentration as a thin film.

(C)多官能性単量体
本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体である。
多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類や、
トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕ホスフェート
等を挙げることができる。
(C) Polyfunctional monomer The polyfunctional monomer in the present invention is a monomer having two or more polymerizable unsaturated bonds.
As the multifunctional monomer, for example,
Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol and the like and their dicarboxylic acid modified products;
Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, spirane resin;
Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers such as both terminal hydroxypoly-1,3-butadiene, both terminal hydroxypolyisoprene, both terminal hydroxypolycaprolactone,
And tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate.

これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、着色層の強度および表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid-modified products, specifically, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri ( (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, etc. are preferred, especially trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate and dipentaerythritol hexa Acrylates are preferred in that they are excellent in strength and surface smoothness of the colored layer, and are less likely to cause background stains and film residue on the unexposed substrate and the light shielding layer.
The said polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明における多官能性単量体の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量部未満では、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
また、本発明においては、多官能性単量体の一部を、重合性不飽和結合を1個有する単官能性単量体に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、(B)アルカリ可溶性樹脂について例示したカルボキシル基含有不飽和単量体や共重合性不飽和単量体と同様の単量体や、N−(メタ)アクリロイルモルホリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタムのほか、商品名で、M−5600(東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
The usage-amount of the polyfunctional monomer in this invention is 5-500 weight part normally with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resin, Preferably it is 20-300 weight part. In this case, if the amount of the polyfunctional monomer used is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tend to be reduced. There is a tendency that background contamination, film residue, etc. are likely to occur on the unexposed substrate or the light shielding layer.
In the present invention, a part of the polyfunctional monomer can be replaced with a monofunctional monomer having one polymerizable unsaturated bond.
Examples of the monofunctional monomer include (B) a monomer similar to the carboxyl group-containing unsaturated monomer and copolymerizable unsaturated monomer exemplified for the alkali-soluble resin, and N- (meta ) In addition to acryloylmorpholine, N-vinylpyrrolidone, N-vinyl-ε-caprolactam, trade names include M-5600 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.).
These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more.

単官能性単量体の使用割合は、多官能性単量体と単官能性単量体との合計量に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%を超えると、得られる画素の強度や表面平滑性が不十分となるおそれがある。
本発明における多官能性単量体と単官能性単量体との合計使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、前記合計使用量が5重量部未満では、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
The proportion of the monofunctional monomer used is usually 90% by weight or less, preferably 50% by weight or less, based on the total amount of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, when the usage ratio of the monofunctional monomer exceeds 90% by weight, the strength and surface smoothness of the obtained pixel may be insufficient.
The total use amount of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer in the present invention is usually 5 to 500 parts by weight, preferably 20 to 300 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. Part. In this case, if the total amount used is less than 5 parts by weight, the strength and surface smoothness of the colored layer tend to be lowered. On the other hand, if it exceeds 500 parts by weight, for example, alkali developability is lowered or unexposed parts There is a tendency that soiling, film residue, etc. are likely to occur on the substrate or the light shielding layer.

(D)光ラジカル発生剤
本発明における光ラジカル発生剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の露光により、前記(C)多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうるラジカルを発生することができる化合物である。
このような光ラジカル発生剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物等を挙げることができる。
本発明において、光ラジカル発生剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、本発明における光ラジカル発生剤としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。
(D) Photoradical generator The photoradical generator in the present invention is used by (C) the polyfunctional monomer and optionally by exposure to visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like. It is a compound capable of generating a radical capable of initiating polymerization of a monofunctional monomer.
Examples of such photo radical generators include acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds. A compound etc. can be mentioned.
In the present invention, the photoradical generator can be used alone or in admixture of two or more. As the photoradical generator in the present invention, acetophenone compounds, biimidazole compounds and triazine compounds can be used. At least one selected from the group is preferred.

本発明における好ましい光ラジカル発生剤のうち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン−1、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙げることができる。   Among preferred photoradical generators in the present invention, specific examples of acetophenone compounds include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl. ] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenyl And ethane-1-one.

これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタノン−1等が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these acetophenone compounds, in particular, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) Butanone-1 and the like are preferable.
The acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光ラジカル発生剤としてアセトフェノン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1〜60重量部、さらに好ましくは1〜30重量部である。この場合、アセトフェノン系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素が所定の配列に従って配置された画素パターンを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, when the acetophenone-based compound is used as the photoradical generator, the amount used is usually 0 with respect to 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. 0.01 to 80 parts by weight, preferably 1 to 60 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight. In this case, if the amount of the acetophenone compound used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure may be insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel pattern in which pixels are arranged according to a predetermined arrangement. When it exceeds the weight part, the formed colored layer tends to be detached from the substrate during development.

また、ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。   Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole. 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2- Chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2 '-Bis (2-bromophenyl) -4, ', 5,5'-Tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,2 ' -Biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like can be mentioned.

これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等がさらに好ましく、特に2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。
前記ビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダーカットのない画素が所定の配列に従って配置された高精細な画素パターンを形成することができる。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 , 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like are more preferable, and in particular, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2 '-Biimidazole is preferred.
The biimidazole compound is excellent in solubility in a solvent, does not generate foreign matters such as undissolved matter and precipitates, has high sensitivity, and sufficiently proceeds with a curing reaction by exposure with a small amount of energy, and is not exposed. The coating film after exposure is clearly divided into a cured part that is insoluble in the developer and an uncured part that has high solubility in the developer. Thus, it is possible to form a high-definition pixel pattern in which pixels without undercuts are arranged according to a predetermined arrangement.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光ラジカル発生剤としてビイミダゾール系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、ビイミダゾール系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素が所定の配列に従って配置された画素パターンを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、現像する際に、形成された着色層が基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the amount used in the case of using a biimidazole compound as a photoradical generator is usually (C) with respect to a total of 100 parts by weight of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer, 0.01 to 40 parts by weight, preferably 1 to 30 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the amount of biimidazole compound used is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure may be insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel pattern in which pixels are arranged according to a predetermined arrangement, If it exceeds 40 parts by weight, the formed colored layer tends to fall off the substrate during development.

−水素供与体−
本発明においては、光ラジカル発生剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という。)からなる。
また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という。)からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。
-Hydrogen donor-
In the present invention, when a biimidazole compound is used as the photoradical generator, it is preferable to use the following hydrogen donor in combination because the sensitivity can be further improved.
The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure.
As the hydrogen donor in the present invention, mercaptan compounds, amine compounds and the like defined below are preferable.
The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ Mercaptan-based hydrogen donor ").
The amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “the amine compound”). , "Amine-based hydrogen donor").
These hydrogen donors can also have a mercapto group and an amino group at the same time.

以下、これらの水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
Hereinafter, these hydrogen donors will be described more specifically.
The mercaptan-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When two or more of these rings are present, It may or may not be formed.
In addition, when the mercaptan hydrogen donor has two or more mercapto groups, at least one of the remaining mercapto groups is substituted with an alkyl, aralkyl or aryl group as long as at least one free mercapto group remains. Furthermore, as long as at least one free mercapto group remains, a structural unit in which two sulfur atoms are bonded via a divalent organic group such as an alkylene group, or two sulfur atoms are It can have structural units linked in the form of disulfides.
Furthermore, the mercaptan-based hydrogen donor may be substituted with a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxycarbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like at a place other than the mercapto group.

このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等が好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
Specific examples of such mercaptan hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto- 2,5-dimethylaminopyridine and the like can be mentioned.
Of these mercaptan-based hydrogen donors, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole and the like are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
Next, the amine-based hydrogen donor can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When these two or more rings are present, A condensed ring may or may not be formed.
In addition, in the amine-based hydrogen donor, one or more of the amino groups may be substituted with an alkyl group or a substituted alkyl group, and a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxy group may be substituted at a position other than the amino group. It may be substituted with a carbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group or the like.

このようなアミン系水素供与体の具体例としては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
なお、アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外の光重合開始剤の場合においても、増感剤としての作用を有するものである。
Specific examples of such amine-based hydrogen donors include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, Examples thereof include ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like.
Of these amine-based hydrogen donors, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like are preferable, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.
The amine-based hydrogen donor has a function as a sensitizer even in the case of a photopolymerization initiator other than a biimidazole compound.

本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層の強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等であり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3である。
In the present invention, the hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more. However, one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors are used in combination. It is preferable that the formed colored layer does not easily fall off the substrate during development, and the strength and sensitivity of the colored layer are high.
Specific examples of the combination of a mercaptan hydrogen donor and an amine hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis. (Diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,
4′-bis (diethylamino) benzophenone and the like can be mentioned, and more preferable combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis ( Diethylamino) benzophenone and the like, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.
The weight ratio of mercaptan hydrogen donor to amine hydrogen donor in the combination of mercaptan hydrogen donor and amine hydrogen donor is usually 1: 1 to 1: 4, preferably 1: 1 to 1: 3.

本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましくは1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部である。この場合、水素供与体の使用量が0.01重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方40重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, when the hydrogen donor is used in combination with the biimidazole compound, the amount used is preferably 0 with respect to 100 parts by weight of the total of (C) the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. 0.01 to 40 parts by weight, more preferably 1 to 30 parts by weight, and particularly preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the amount of the hydrogen donor used is less than 0.01 parts by weight, the effect of improving the sensitivity tends to decrease. On the other hand, if it exceeds 40 parts by weight, the formed colored layer is detached from the substrate during development. It tends to be easy to do.

また、トリアジン系化合物の具体例としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。
これらのトリアジン系化合物のうち、特に2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンが好ましい。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of triazine compounds include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-Methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) ) -S-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ) Ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxy) Triazine compounds having a halomethyl group such as styryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Can be mentioned.
Of these triazine compounds, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine is particularly preferable.
The triazine compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、光ラジカル発生剤としてトリアジン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。この場合、トリアジン系化合物の使用量が0.01重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、画素が所定の配列に従って配置された画素パターンを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, when the triazine-based compound is used as the photoradical generator, the amount used is usually 0 with respect to 100 parts by weight of the total of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. 0.01 to 40 parts by weight, preferably 1 to 30 parts by weight, more preferably 1 to 20 parts by weight. In this case, if the use amount of the triazine-based compound is less than 0.01 parts by weight, curing by exposure becomes insufficient, and it may be difficult to obtain a pixel pattern in which pixels are arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, if it exceeds 40 parts by weight, the formed colored layer tends to be easily detached from the substrate during development.

添加剤成分
本発明における感放射線性組成物は、必要に応じて種々の添加剤成分を含有することもできる。
前記添加剤成分としては、感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解特性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の残存をより抑制する作用等を示す、有機酸あるいは有機アミノ化合物(但し、前記水素供与体を除く。)等を挙げることができる。
Additive component The radiation-sensitive composition in the present invention may contain various additive components as required.
The additive component may be an organic acid or an organic amino compound (provided to improve the solubility of the radiation-sensitive composition in an alkaline developer and to further suppress the remaining undissolved product after development) , Excluding the hydrogen donor).

−有機酸−
前記有機酸としては、分子中に1個以上のカルボキシル基を有する、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。
前記脂肪族カルボン酸としては、例えば、
ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸類
等を挙げることができる。
-Organic acid-
The organic acid is preferably an aliphatic carboxylic acid or a phenyl group-containing carboxylic acid having one or more carboxyl groups in the molecule.
Examples of the aliphatic carboxylic acid include
Aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid, caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid , Aliphatic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Examples thereof include aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoric acid.

また、前記フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合した化合物や、カルボキシル基が2価の炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有カルボン酸としては、例えば、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸類;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン酸類;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上の芳香族ポリカルボン酸類や、
フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸
等を挙げることができる。
Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include compounds in which a carboxyl group is directly bonded to a phenyl group, and compounds in which a carboxyl group is bonded to a phenyl group via a divalent carbon chain.
Examples of the phenyl group-containing carboxylic acid include
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
Trivalent or higher aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, pyromellitic acid,
Examples thereof include phenylacetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidene acid, coumaric acid, and umberic acid.

これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類が好ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好ましく、またフェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸類が好ましく、特にフタル酸が好ましい。
前記有機酸は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
有機酸の使用量は、(A)〜(D)成分および添加剤成分の合計100重量部に対して、通常、15重量部以下、好ましくは10重量部以下である。この場合、有機酸の使用量が15重量部を超えると、形成された着色層の基板に対する密着性が低下する傾向がある。
Among these organic acids, aliphatic carboxylic acids are aliphatic from the viewpoints of alkali solubility, solubility in a solvent described later, prevention of soiling and film residue on the substrate or the light-shielding layer in the unexposed area, and the like. Dicarboxylic acids are preferred. In particular, malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid and the like are preferred. As the phenyl group-containing carboxylic acid, aromatic dicarboxylic acids are preferred, and phthalic acid is particularly preferred.
The organic acids can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the organic acid used is usually 15 parts by weight or less, preferably 10 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the total of the components (A) to (D) and the additive component. In this case, when the usage-amount of organic acid exceeds 15 weight part, there exists a tendency for the adhesiveness with respect to the board | substrate of the formed colored layer to fall.

−有機アミノ化合物−
また、前記有機アミノ化合物としては、分子中に1個以上のアミノ基を有する、脂肪族アミンあるいはフェニル基含有アミンが好ましい。
前記脂肪族アミンとしては、例えば、
n−プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン等のモノ(シクロ)アルキルアミン類;
メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、メチル・n−プロピルアミン、エチル・n−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジ−i−プロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジ−i−ブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−t−ブチルアミン等のジ(シクロ)アルキルアミン類;
ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル・n−プロピルアミン、ジエチル・n−プロピルアミン、メチル・ジ−n−プロピルアミン、エチル・ジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−i−プロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリ−i−ブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン等のトリ(シクロ)アルキルアミン類;
-Organic amino compounds-
The organic amino compound is preferably an aliphatic amine or a phenyl group-containing amine having one or more amino groups in the molecule.
Examples of the aliphatic amine include:
mono (cyclo) alkylamines such as n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine;
Methyl ethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-i-butylamine, di-sec- Di (cyclo) alkylamines such as butylamine and di-t-butylamine;
Dimethyl ethylamine, methyl diethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyl di-n-propylamine, ethyl di-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri -Tri (cyclo) alkylamines such as i-propylamine, tri-n-butylamine, tri-i-butylamine, tri-sec-butylamine, tri-t-butylamine;

2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール等のモノ(シクロ)アルカノールアミン類;
ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジ−i−ブタノールアミン等のジ(シクロ)アルカノールアミン類;
トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリ−i−プロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタノールアミン等のトリ(シクロ)アルカノールアミン類;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シクロ)アルカンジオール類;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸等のアミノカルボン酸類
等を挙げることができる。
Mono (cyclo) alkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol;
Di (cyclo) alkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, di-i-butanolamine;
Tri (cyclo) alkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 Amino (cyclo) alkanediols such as 2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol;
Examples thereof include aminocarboxylic acids such as β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, and 3-aminoisobutyric acid.

また、フェニル基含有アミンとしては、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が2価の炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有アミンとしては、例えば、
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p―エチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン類;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m―アミノフェノール、p―アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール類;
m−アミノ安息香酸、p―アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸類
等を挙げることができる。
Examples of the phenyl group-containing amine include compounds in which an amino group is directly bonded to the phenyl group, and compounds in which the amino group is bonded to the phenyl group via a divalent carbon chain.
As the phenyl group-containing amine, for example,
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, Aromatic amines such as N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
Examples thereof include aminobenzoic acids such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, and p-diethylaminobenzoic acid.

これらの有機アミノ化合物のうち、後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノールアミン類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類が好ましく、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1、3−プロパンジオール、4−アミノ−1、2−ブタンジオール等が好ましく、またフェニル基含有アミンとしては、アミノフェノール類が好ましく、特に、o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール等が好ましい。
前記有機アミノ化合物は、単独でまたは2種以上混合して使用することができる。
有機アミノ化合物の使用量は、(A)〜(D)成分および添加剤成分の合計100重量部に対して、通常、15重量部以下、好ましくは10重量部以下である。この場合、有機アミノ化合物の使用量が15重量部を超えると、形成された着色層の基板との密着性が低下する傾向がある。
Among these organic amino compounds, mono (cyclo) alkanolamines are used as aliphatic amines from the viewpoints of solubility in the solvent described later, prevention of soiling and film residue on the unexposed portion of the substrate or the light shielding layer, and the like. And amino (cyclo) alkanediols are preferred, especially 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 5-amino-1-pentanol, 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino -1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol and the like, and as the phenyl group-containing amine, aminophenols are preferable, and in particular, o-aminophenol, m-aminophenol, p- Aminophenol and the like are preferable.
The organic amino compounds can be used alone or in admixture of two or more.
The amount of the organic amino compound used is usually 15 parts by weight or less, preferably 10 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the total of the components (A) to (D) and the additive component. In this case, when the usage-amount of an organic amino compound exceeds 15 weight part, there exists a tendency for the adhesiveness with the board | substrate of the formed colored layer to fall.

−その他の添加剤成分−
また、その他の添加剤成分としては、例えば、
銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;
ガラス、アルミナ等の充填剤;
ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;
ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル・メチル・ジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピル・メチル・ジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピル・メチル・ジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;
2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;
2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;
ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;
1,1’−アゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2−フェニルアゾ−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル等の熱ラジカル発生剤
等を挙げることができる。
-Other additive components-
Moreover, as other additive components, for example,
Dispersing aids such as blue pigment derivatives and yellow pigment derivatives such as copper phthalocyanine derivatives;
Fillers such as glass and alumina;
Polymer compounds such as polyvinyl alcohol, polyethylene glycol monoalkyl ethers, poly (fluoroalkyl acrylates);
Nonionic, cationic and anionic surfactants;
Vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyl-methyl-dimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-amino Propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyl methyl dimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, Adhesion promoters such as 3-chloropropyl, methyl, dimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane;
Antioxidants such as 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,6-di-tert-butylphenol;
UV absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenones;
Anti-agglomeration agents such as sodium polyacrylate;
Examples thereof include thermal radical generators such as 1,1′-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile) and 2-phenylazo-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile.

(E)溶剤
本発明における溶剤は、3−メトキシブチルアセテートを含有するものである。
(E)溶剤は、他の溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノンおよび3−エトキシプロピオン酸エチルよりなる群から選ばれる少なくとも1種をさらに含むものである。
前記他の溶剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
(E) Solvent The solvent in the present invention contains 3-methoxybutyl acetate.
(E) The solvent further contains at least one selected from the group consisting of propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone and ethyl 3-ethoxypropionate as another solvent.
The other solvents can be used alone or in admixture of two or more.

3−メトキシブチルアセテートの使用量は溶剤全体の15〜60重量%である。3−メトキシブチルアセテートの使用量をこのような範囲とすることにより、顔料の分散性、塗布性のバランスがとれたものとなる。 The amount of 3-methoxybutyl acetate used is 15-60% by weight of the total solvent. By making the usage-amount of 3-methoxybutyl acetate into such a range, the dispersibility of a pigment and the applicability | paintability will be balanced.

溶媒の使用量は、得られる液状組成物の塗布性、安定性等の観点から、固形分濃度が、通常、10〜30重量%、好ましくは15〜25重量%となる量が望ましい。この場合、固形分濃度が10重量%未満であると、規定の膜厚を有する塗膜を得ることが難しくなり、一方30重量%を越えると、塗布ムラ等の塗布不良が生じやすくなる傾向がある。   The amount of the solvent used is desirably an amount such that the solid content concentration is usually 10 to 30% by weight, preferably 15 to 25% by weight, from the viewpoint of applicability and stability of the liquid composition to be obtained. In this case, if the solid content concentration is less than 10% by weight, it becomes difficult to obtain a coating film having a prescribed film thickness, whereas if it exceeds 30% by weight, coating defects such as coating unevenness tend to occur. is there.

カラーフィルタの形成方法
次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用いて、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
本発明のカラーフィルタを形成する方法は、少なくとも下記(1)〜(4)の工程を含んでいる。
(1)本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物の塗膜を基板上に形成する塗膜形成工程。
(2)前記塗膜の少なくとも一部に露光する露光工程。
(3)露光後の塗膜を現像する現像工程。
(4)現像後の塗膜をポストベークする熱処理工程。
以下、これらの工程について順次説明する。
Method for Forming Color Filter Next, a method for forming the color filter of the present invention using the radiation sensitive composition for color filter of the present invention will be described.
The method for forming a color filter of the present invention includes at least the following steps (1) to (4).
(1) The coating film formation process which forms the coating film of the radiation sensitive composition for color filters of this invention on a board | substrate.
(2) An exposure step of exposing at least a part of the coating film.
(3) A development step for developing the coated film after exposure.
(4) A heat treatment step of post-baking the coated film after development.
Hereinafter, these steps will be sequentially described.

(1)塗膜形成工程。
先ず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成することができる。
この工程で使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルスルホンのほか、環状オレフィンの開環重合体やその水素添加物等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
液状組成物を基板に塗布する際には、スリットダイコーターを用いた塗布を採用する。
プレベークの条件は、通常、70〜110℃で2〜4分程度である。
塗布厚さは、溶媒除去後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
(1) Coating film forming step.
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming pixels, and a liquid composition of the radiation sensitive composition for a color filter of the present invention is formed on this substrate. After coating, pre-baking is performed to evaporate the solvent, and a coating film can be formed.
Examples of the substrate used in this step include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, polyethersulfone, cyclic olefin ring-opening polymer, and hydrogenated products thereof. be able to.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When the liquid composition is applied to the substrate, application using a slit die coater is employed.
The prebaking condition is usually about 2 to 4 minutes at 70 to 110 ° C.
The coating thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 8.0 μm, particularly preferably 0.2 to 6.0 μm as the film thickness after removal of the solvent.

(2)露光工程
その後、形成された塗膜に、例えば適当なパターンを有するフォトマスクを介して露光する。
この工程に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、通常、10〜10,000J/m2 である。
(2) Exposure step Thereafter, the formed coating film is exposed through, for example, a photomask having an appropriate pattern.
As the radiation used in this step, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like can be used, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
The exposure dose of radiation is usually 10 to 10,000 J / m2.

(3)現像工程
その後、好ましくはアルカリ性現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去する。
前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。
現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
(3) Development step Thereafter, development is preferably performed using an alkaline developer to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film.
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5- An aqueous solution of diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied.
The development conditions are preferably 5 to 300 seconds at room temperature.

(4)熱処理工程
その後、ポストベークすることにより、画素パターンが所定の配列で配置された基板を得ることができる。
この熱処理の条件としては、180〜230℃で20〜40分程度が好ましい。
このようにして形成された画素の膜厚は、通常、0.5〜5.0μm、好ましくは1.5〜3.0μmである。
(4) Heat treatment step After the post-baking, a substrate on which pixel patterns are arranged in a predetermined arrangement can be obtained.
The heat treatment is preferably performed at 180 to 230 ° C. for about 20 to 40 minutes.
The film thickness of the pixel thus formed is usually 0.5 to 5.0 μm, preferably 1.5 to 3.0 μm.

前記(1)〜(4)工程を、赤色、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物を用いて繰り返すことにより、赤色、緑色および青色の画素パターンを同一基板上に形成することによって、赤色、緑色および青色の三原色の画素パターンが所定の配列で配置された着色層を基板上に形成することができる。
なお、本発明においては、各色の画素パターンの形成順は、前記した順序に限られるものではない。
By repeating the steps (1) to (4) using each radiation sensitive composition in which red, green or blue pigments are dispersed, red, green and blue pixel patterns are formed on the same substrate. Accordingly, a colored layer in which pixel patterns of the three primary colors of red, green, and blue are arranged in a predetermined arrangement can be formed on the substrate.
In the present invention, the order of forming the pixel patterns of the respective colors is not limited to the order described above.

カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物から形成された着色層を有するものである。
本発明のカラーフィルタは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置のほか、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。
Color filter The color filter of this invention has a colored layer formed from the radiation sensitive composition for color filters of this invention.
The color filter of the present invention is extremely useful for color imaging tube elements, color sensors, etc., in addition to transmissive or reflective color liquid crystal display devices.

カラー液晶表示装置
本発明のカラー液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタを具備するものである。
本発明のカラー液晶表示装置は、適宜の構造をとることができる。例えば、カラーフィルタを、薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板とは別の基板上に形成し、駆動用基板とカラーフィルタを形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることができ、さらに薄膜トランジスター(TFT)が配置された駆動用基板の表面上にカラーフィルタを形成した基板と、ITO(錫をドープした酸化インジュウム)電極を形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造をとることもできる。後者の構造は、開口率を格段に向上させることができ、明るく高精細な液晶表示素子が得られるという利点を有する。
Color liquid crystal display device The color liquid crystal display device of the present invention comprises a color filter formed from the radiation-sensitive composition for a color filter of the present invention.
The color liquid crystal display device of the present invention can have an appropriate structure. For example, the color filter is formed on a substrate different from the driving substrate on which the thin film transistor (TFT) is arranged, and the driving substrate and the substrate on which the color filter is formed are opposed to each other through the liquid crystal layer. Furthermore, a substrate in which a color filter is formed on the surface of a driving substrate on which a thin film transistor (TFT) is disposed, and a substrate in which an ITO (indium oxide doped with tin) electrode is formed include a liquid crystal layer. It is also possible to adopt a structure facing each other. The latter structure has the advantage that the aperture ratio can be remarkably improved, and a bright and high-definition liquid crystal display element can be obtained.

以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

参考例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177とC.I.ピグメントレッド254との5/95(重量比)混合物100重量部、分散剤としてエフカーケミカルズ製EFKA−47(固形分濃度37.6%)62重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタクリレート/グリセロールモノメタクリレート/スチレン共重合体(共重合重量比=15/25/35/10/15、Mw=10,000、Mn=5,000)70重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を50重量部、および(E)溶媒として3−メトキシブチルアセテート200重量部、3−エトキシプロピオン酸エチル700重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート500重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(R1)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO膜が形成されたソーダガラス基板(550mm×650mm)の表面上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で10分間プレベークを行って、膜厚1.7μmの塗膜を形成した。塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察した時に、全ての領域においてスジムラ、乾燥ムラなどの外観上問題となる塗布ムラが認められなかった。
次いで、この基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫外線を2,000J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の0.1重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に1分間浸漬して現像したのち、超純水で洗浄し、風乾した。その後、220℃のクリーンオーブン内で25分間ポストベークを行なって、基板上に赤色のストライプ状画素アレイを形成した。
得られた画素アレイを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは認められなかった。また得られた画素の基板との密着性にも優れていた。
Reference example 1
(A) 100 parts by weight of a 5/95 (weight ratio) mixture of CI Pigment Red 177 and CI Pigment Red 254 as a colorant, and 62 weights of EFKA-47 (solid content concentration 37.6%) manufactured by Efcar Chemicals as a dispersant Part, (B) methacrylic acid / N-phenylmaleimide / benzyl methacrylate / glycerol monomethacrylate / styrene copolymer (copolymerization weight ratio = 15/25/35/10/15, Mw = 10,000, 70 parts by weight of (Mn = 5,000), (C) 80 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, and (D) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4) as a photopolymerization initiator. -Morpholinophenyl) butanone-1 in 50 parts by weight and (E) 3-methoxybutyl acetate as solvent 200 parts by weight of a salt, 700 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate and 500 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were mixed to prepare a liquid composition (R1) of a radiation sensitive composition.
<Formation and evaluation of pixel array>
After applying the liquid composition (R1) on the surface of a soda glass substrate (550 mm × 650 mm) on which a SiO 2 film that prevents elution of sodium ions is formed on the surface using a spin coater, clean at 90 ° C. Pre-baking was performed in an oven for 10 minutes to form a coating film having a film thickness of 1.7 μm. When the surface of the coating film was observed by irradiating with sodium lamp light, no coating unevenness such as stripe unevenness and drying unevenness was observed in all areas.
Then, after cooling the substrate to room temperature, the coating film was exposed to ultraviolet rays containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm through a photomask at an exposure amount of 2,000 J / m 2 using a high-pressure mercury lamp. Thereafter, the substrate was developed by being immersed in a 0.1 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 1 minute, washed with ultrapure water, and air-dried. Thereafter, post-baking was performed in a clean oven at 220 ° C. for 25 minutes to form a red stripe pixel array on the substrate.
When the obtained pixel array was observed using an optical microscope, no development residue was observed on the unexposed substrate. Further, the adhesion of the obtained pixel to the substrate was also excellent.

参考例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との95/5(重量比)混合物100重量部、分散剤としてビックケミー製BYK163(固形分濃度45%)55重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=25,000、Mn=10,000)70重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始剤として2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール6重量部とアミン系水素供与体として4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ6重量部とメルカプタン系水素供与体として2−メルカプトベンゾチアゾール3重量部、および(E)溶媒として3−メトキシブチルアセテート600重量部、3−エトキシプロピオン酸エチル400重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(B1)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(B1)を用いた以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗膜を形成し、且つ青色のストライプ状画素アレイを形成して評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、全ての領域において塗布ムラが認められなかった。得られた塗膜の塗布面を観察したところ、ムラは見られなかった。また、画素アレイを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは認められなかった。得られた画素の基板との密着性にも優れていた。
Reference example 2
(A) 100 parts by weight of a 95/5 (weight ratio) mixture of CI Pigment Blue 15: 6 and CI Pigment Violet 23 as a colorant, BYK163 (solid content concentration 45%) 55 parts by weight as a dispersant, (B ) Methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization weight ratio = 15/15/70, Mw = 25,000, Mn = 10,000) as an alkali-soluble resin, 70 parts by weight, (C) 80 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1 as a photopolymerization initiator , 2'-biimidazole, 6 parts by weight of 4,4'-bis (diethylamino) benzopheno as an amine-based hydrogen donor and mel Mixing 3 parts by weight of 2-mercaptobenzothiazole as a pentane hydrogen donor and 600 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate, 400 parts by weight of ethyl 3-ethoxypropionate and 300 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate as the solvent (E) Then, a liquid composition (B1) of a radiation sensitive composition was prepared.
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film is formed on the substrate and a blue stripe pixel array is formed in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (B1) is used instead of the liquid composition (R1). Evaluation was performed.
When the surface of the obtained coating film was observed by irradiating with sodium lamp light, coating unevenness was not observed in all regions. When the coated surface of the obtained coating film was observed, no unevenness was found. Further, when the pixel array was observed using an optical microscope, no development residue was observed on the unexposed portion of the substrate. The resulting pixel had excellent adhesion to the substrate.

参考例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との65/35(重量比)混合物100重量部、分散剤としてビックケミー社製BYK−161(固形分濃度30%)100重量部(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/15/70、Mw=25,000、Mn=10,000)75重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート75重量部、(D)光重合開始剤として2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン10重量部、および(E)溶媒として3−メトキシブチルアセテート700重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート600重量部、シクロヘキサノン300重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G1)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(G1)を用いた以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗膜を形成し、且つ緑色のストライプ状画素アレイを形成して評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、全ての領域において塗布ムラが認められなかった。また、画素アレイを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは認められなかった。得られた画素の基板との密着性にも優れていた。
Reference example 3
(A) 100 parts by weight of a 65/35 (weight ratio) mixture of CI Pigment Green 36 and CI Pigment Yellow 150 as a colorant, and BYK-161 (solid content concentration 30%) 100 parts by weight (B ) Methacrylic acid / 2-hydroxyethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization weight ratio = 15/15/70, Mw = 25,000, Mn = 10,000) 75 parts by weight as alkali-soluble resin, (C) 75 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a polyfunctional monomer, (D) 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl)-as a photopolymerization initiator 10 parts by weight of s-triazine and (E) 700 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate as a solvent, propylene A liquid composition (G1) of a radiation sensitive composition was prepared by mixing 600 parts by weight of lenglycol monomethyl ether acetate and 300 parts by weight of cyclohexanone.
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film is formed on the substrate and a green stripe pixel array is formed in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (G1) is used instead of the liquid composition (R1). Evaluation was performed.
When the surface of the obtained coating film was observed by irradiating with sodium lamp light, coating unevenness was not observed in all regions. Further, when the pixel array was observed using an optical microscope, no development residue was observed on the unexposed portion of the substrate. The resulting pixel had excellent adhesion to the substrate.

実施例
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(B1)を用い、スピンコーターの代わりに、スリットダイコーターを用いて塗布した以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗布膜を形成し、且つ青色のストライプ状画素アレイを形成して評価を行った。
た、画素アレイを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは認められなかった。得られた画素の基板との密着性にも優れていた。
Example 1
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film is formed on the substrate in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (B1) is used instead of the liquid composition (R1) and the slit die coater is used instead of the spin coater. Then, a blue stripe pixel array was formed and evaluated.
When the pixel array was observed using an optical microscope, no development residue was observed on the unexposed substrate. The resulting pixel had excellent adhesion to the substrate.

参考
液状組成物(R1)の(E)溶媒を3−メトキシブチルアセテート1400重量部に置き換えて混合して、感放射線性組成物の液状組成物(R2)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(R2)を用いた以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗膜を形成し、評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、一部塗布ムラが認められた。
Reference example 4
The liquid composition (R2) of the radiation sensitive composition was prepared by replacing the (E) solvent of the liquid composition (R1) with 1400 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate and mixing.
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film was formed on the substrate and evaluated in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (R2) was used instead of the liquid composition (R1).
When the surface of the obtained coating film was irradiated with a sodium lamp and observed, partial coating unevenness was observed.

参考
液状組成物(B1)の(E)溶媒を3−メトキシブチルアセテート330重量部に置き換えて混合して、感放射線性組成物の液状組成物(B2)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(B2)を用いた以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗膜を形成し、評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、塗布ムラが認められた。
参考
液状組成物(G1)の(E)溶媒を3−メトキシブチルアセテート300重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート250重量部に置き換えて混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G2)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(G2)を用いた以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗膜を形成し、評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、一部塗布ムラが認められた。
参考
液状組成物(G1)の(E)溶媒をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1600重量部に置き換えて混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G3)を調製した。
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(R1)の代わりに、液状組成物(G3)を用いた以外は、参考例1と同様にして、基板上に塗膜を形成し、評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、一部塗布ムラが認められた。
比較例
〈画素アレイの形成および評価〉
液状組成物(B1)の代わりに、液状組成物(B2)を用いた以外は、実施例と同様にして、基板上に塗膜を形成し、評価を行った。
得られた塗膜表面をナトリウムランプ光で照射して観察したところ、全面にわたり塗布ムラが認められた。
Reference Example 5
The liquid composition (B2) was prepared by replacing the (E) solvent of the liquid composition (B1) with 330 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate and mixing.
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film was formed on the substrate and evaluated in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (B2) was used instead of the liquid composition (R1).
When the obtained coating film surface was observed by irradiating with sodium lamp light, coating unevenness was observed.
Reference Example 6
A liquid composition (G2) of a radiation sensitive composition was prepared by replacing the (E) solvent of the liquid composition (G1) with 300 parts by weight of 3-methoxybutyl acetate and 250 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate. did.
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film was formed on the substrate and evaluated in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (G2) was used instead of the liquid composition (R1).
When the surface of the obtained coating film was irradiated with a sodium lamp and observed, partial coating unevenness was observed.
Reference Example 7
The liquid composition (G3) was prepared by replacing the solvent (E) in the liquid composition (G1) with 1600 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate and mixing.
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film was formed on the substrate and evaluated in the same manner as in Reference Example 1 except that the liquid composition (G3) was used instead of the liquid composition (R1).
When the surface of the obtained coating film was irradiated with a sodium lamp and observed, partial coating unevenness was observed.
Comparative Example 1
<Formation and evaluation of pixel array>
A coating film was formed on the substrate and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the liquid composition (B2) was used instead of the liquid composition (B1).
When the surface of the obtained coating film was irradiated with a sodium lamp and observed, coating unevenness was observed over the entire surface.

Claims (4)

(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)光ラジカル発生剤および(E)溶剤を含有する感放射線性組成物からなり、(E)溶剤が、3−メトキシブチルアセテートと、3−エトキシプロピオン酸エチルおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも1種とを含有するものであり、3−メトキシブチルアセテートが溶剤全体の15〜60重量%であり、且つ固形分濃度が10〜30重量%であることを特徴とし、スリットダイコーターによる塗布に用いられる、カラーフィルタ用感放射線性組成物。 It comprises a radiation sensitive composition containing (A) a pigment, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, (D) a photoradical generator, and (E) a solvent. , 3-methoxybutyl acetate and 3-ethoxypropionate are those containing at least one selected from ethyl and propylene glycol monomethyl ether acetate tape preparative O Li Cheng group 15 3-methoxybutyl acetate of the total solvent A radiation-sensitive composition for a color filter, characterized in that it has a solid content concentration of 10 to 30% by weight and is used for coating with a slit die coater. (B)アルカリ可溶性樹脂として、(メタ)アクリル酸を含有するカルボキシル基含有不飽和単量体成分と、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種との共重合体を使用する、請求項1に記載のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (B) As an alkali-soluble resin, a carboxyl group-containing unsaturated monomer component containing (meth) acrylic acid, styrene, methyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, N- phenylmaleimide, using a copolymer of at least one selected from the group consisting of polystyrene macromonomer and polymethyl methacrylate macromonomer, of claim 1 A radiation-sensitive composition for color filters. 請求項1または2に記載のカラーフィルタ用感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタ。 Claim 1 or 2 color filter formed from the color filter radiation-sensitive composition according to. 請求項に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示装置。 A color liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 3 .
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