JP4749791B2 - はんだボールの製造方法 - Google Patents
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- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 title claims description 301
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 116
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 116
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 103
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 45
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000011805 ball Substances 0.000 description 184
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 20
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 13
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 12
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000011806 microball Substances 0.000 description 5
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 235000019198 oils Nutrition 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 240000002791 Brassica napus Species 0.000 description 1
- 235000004977 Brassica sinapistrum Nutrition 0.000 description 1
- 244000068988 Glycine max Species 0.000 description 1
- 235000010469 Glycine max Nutrition 0.000 description 1
- 208000025599 Heat Stress disease Diseases 0.000 description 1
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007116 SnPb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009071 Sn—Zn—Bi Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 210000001787 dendrite Anatomy 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000002480 mineral oil Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 235000015112 vegetable and seed oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000008158 vegetable oil Substances 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/11—Manufacturing methods
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/0132—Binary Alloys
- H01L2924/01322—Eutectic Alloys, i.e. obtained by a liquid transforming into two solid phases
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Description
(1)基板上に多数の島状はんだペースト領域4を形成し、各島状はんだペースト領域4に金属ボール2を配置し、その後基板上のはんだを溶融させ、さらにその後、金属ボールとはんだの結合体7を加熱した液相31中に自由落下させ、金属コアはんだボール形状とすることを特徴とするはんだボールの製造方法。
(2)基板3は、溶融したはんだとの接触角が60°以上であることを特徴とする上記(1)に記載のはんだボールの製造方法。
(3)基板3の材質は、カーボン、ガラス、セラミックスのいずれかであることを特徴とする上記(2)に記載のはんだボールの製造方法。
(4)はんだペースト領域4の形成は、はんだペースト10を液滴ジェット11として基板上に転写する方法、あるいははんだペースト10をスクリーン印刷して基板上に転写する方法を用いることを特徴とする上記(1)乃至(3)のいずれかに記載のはんだボールの製造方法。
(5)島状はんだペースト領域4は、基板上に設けた凹部5に形成することを特徴とする上記(1)乃至(4)のいずれかに記載のはんだボールの製造方法。
(6)金属ボール2は銅ボールであることを特徴とする上記(1)乃至(5)のいずれかに記載のはんだボールの製造方法。
BGA(Ball Grid Array)/CSP(Chip Size Package)等に用いられるはんだボールの接合信頼性評価方法として、はんだバンプ形成後のShear/Pull強度試験を行った。評価対象とした本発明例のCuコアボールは実施例1で作製した、表1の2のCuコア径Φ150μm、ボール外径Φ200μmのCuコアボール(以下、Cuコアと記す)であり、比較対象はΦ200μmのSn−3Ag−0.5Cu鉛フリーはんだボール(以下SACと記す)を用いた。
Shear/Pull強度試験装置としてDAGE社製4000を用いた。Shear試験は測定高さ10μm、測定速さ300μm/sec、Pull試験は測定速さ250μm/secで行い、測定点はそれぞれ20点行った。
第1に、プリント基板上にボールバンプを実装する評価を行った。
Shear/Pull強度評価結果を行ったところ、Shear強度はCuコアで190g、SACで165gであり、Pull強度はCuコアで120g、SACで175gであった。これらの値は、フリップチップ接合した場合の接合強度としては十分な値である。以上から本発明Cuコアボールが、バンプ高さを所定に保ち且つ、通常のはんだボールと同等の接合信頼性を有し、実用上有効に機能することが確認できた。
2 金属ボール
3 基板
4 島状はんだペースト領域
5 凹部
6 基板表面
7 金属ボールとはんだの結合体
8 バンプ
9 はんだ
10 はんだペースト
11 液滴ジェット
12 スクリーン
16 半導体基板
17 電極
18 回路基板
19 はんだボール
21 液滴ジェット発生機
22 容器
23 ノズル
25 開口
26 金属ボール配列装置
27 配列板
28 吸引口
29 トレー
30 吸引装置
31 容器
32 液相
33 加熱装置
34 高温領域
35 低温領域
41 はんだボール供給
42 直径上限外れはんだボール
43 直径下限外れはんだボール
44 直径合格はんだボール
θ 接触角
Claims (6)
- 基板上に多数の島状はんだペースト領域を形成し、各島状はんだペースト領域に金属ボールを配置し、その後基板上のはんだを溶融させ、さらにその後、金属ボールとはんだの結合体を加熱した液相中に自由落下させ、金属コアはんだボール形状とすることを特徴とするはんだボールの製造方法。
- 前記基板は、溶融したはんだとの接触角が60°以上であることを特徴とする請求項1に記載のはんだボールの製造方法。
- 前記基板の材質は、カーボン、ガラス、セラミックスのいずれかであることを特徴とする請求項2に記載のはんだボールの製造方法。
- はんだペースト領域の形成は、はんだペーストを液滴ジェットとして基板上に転写する方法、あるいははんだペーストをスクリーン印刷して基板上に転写する方法を用いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のはんだボールの製造方法。
- 前記島状はんだペースト領域は、前記基板上に設けた凹部に形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のはんだボールの製造方法。
- 前記金属ボールは銅ボールであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のはんだボールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005220128A JP4749791B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | はんだボールの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005220128A JP4749791B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | はんだボールの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007036082A JP2007036082A (ja) | 2007-02-08 |
JP4749791B2 true JP4749791B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=37794936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005220128A Expired - Fee Related JP4749791B2 (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | はんだボールの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4749791B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5036265B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2012-09-26 | 株式会社新菱 | 接続端子用ボールのめっき方法 |
JP5456545B2 (ja) | 2009-04-28 | 2014-04-02 | 昭和電工株式会社 | 回路基板の製造方法 |
JP5908893B2 (ja) * | 2010-05-03 | 2016-04-26 | ア レイモン エ シーA. Raymond Et Cie | 接着要素をマトリックス上に配置する方法及び装置 |
JP5690554B2 (ja) | 2010-10-27 | 2015-03-25 | 昭和電工株式会社 | はんだボールの製造方法 |
CN105826207B (zh) * | 2016-03-17 | 2018-05-04 | 大连理工大学 | 一种核壳结构凸点制备方法及装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH0936118A (ja) * | 1995-07-24 | 1997-02-07 | Fujitsu Ltd | 半導体装置製造方法及び半導体装置 |
JPH1079404A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 半田バンプを有する配線基板及びその製造方法 |
JP2001077144A (ja) * | 1999-09-06 | 2001-03-23 | Micro Tekku Kk | 半田ボール形成方法 |
JP2001244286A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Fujitsu Ltd | 球状電極、半導体デバイスの突起電極および実装基板の形成方法 |
JP2001267730A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-28 | Hitachi Metals Ltd | 半田ボール |
-
2005
- 2005-07-29 JP JP2005220128A patent/JP4749791B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0936118A (ja) * | 1995-07-24 | 1997-02-07 | Fujitsu Ltd | 半導体装置製造方法及び半導体装置 |
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JP2001244286A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Fujitsu Ltd | 球状電極、半導体デバイスの突起電極および実装基板の形成方法 |
JP2001267730A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-28 | Hitachi Metals Ltd | 半田ボール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007036082A (ja) | 2007-02-08 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070124 |
|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110209 |
|
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140527 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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