JP4736902B2 - 薄膜デバイス - Google Patents
薄膜デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP4736902B2 JP4736902B2 JP2006098575A JP2006098575A JP4736902B2 JP 4736902 B2 JP4736902 B2 JP 4736902B2 JP 2006098575 A JP2006098575 A JP 2006098575A JP 2006098575 A JP2006098575 A JP 2006098575A JP 4736902 B2 JP4736902 B2 JP 4736902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- thin film
- thickness
- film
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Description
Claims (3)
- 互いに対向配置された第1の磁性膜および第2の磁性膜と、前記第2の磁性膜に巻き付けられたソレノイド型の薄膜コイルとを備え、
前記薄膜コイルは、前記第1および第2の磁性膜の間に配列された複数の第1のコイル部分と、前記第2の磁性膜を挟んで前記第1のコイル部分と反対側に配列された複数の第2のコイル部分と、前記第1および第2のコイル部分を直列に接続する複数の第3のコイル部分とを含み、
前記第1のコイル部分の厚さは、前記第2のコイル部分の厚さよりも小さく、かつ、前記薄膜コイルの巻回方向における末端から中央へ向かって次第に大きくなっており、
前記第2の磁性膜は、中央から末端へ向かって前記第1の磁性膜に次第に近づいている
ことを特徴とする薄膜デバイス。 - 前記複数の第2のコイル部分は、前記複数の第1のコイル部分の一端または他端と重なるように配置されており、
前記第3のコイル部分は、前記第1および第2のコイル部分が互いに重なる位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜デバイス。 - 前記薄膜コイルの巻回方向における少なくとも末端の前記第1のコイル部分の厚さTAに対する前記第2のコイル部分の厚さTBの比TB/TAは、1<TB/TA≦2.7の範囲である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜デバイス。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006098575A JP4736902B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 薄膜デバイス |
US11/727,502 US7791837B2 (en) | 2006-03-31 | 2007-03-27 | Thin film device having thin film coil wound on magnetic film |
CN2007100921887A CN101071679B (zh) | 2006-03-31 | 2007-03-30 | 薄膜器件 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006098575A JP4736902B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 薄膜デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007273803A JP2007273803A (ja) | 2007-10-18 |
JP4736902B2 true JP4736902B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=38676277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006098575A Active JP4736902B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 薄膜デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4736902B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4706927B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-06-22 | Tdk株式会社 | 薄膜デバイス |
KR101116897B1 (ko) * | 2010-01-06 | 2012-03-06 | 주식회사 실리콘하모니 | 디지털 cmos 공정에서 주파수 합성기에 사용되는 솔레노이드 인덕터 |
EP3719819A1 (en) * | 2019-04-02 | 2020-10-07 | Nokia Technologies Oy | Inductive components and methods of forming inductive components |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0221414A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-24 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッド |
JPH05109557A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 高周波用薄膜トランスおよび高周波用薄膜インダクタ |
JP2000293818A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP2004296816A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 磁気誘導素子およびそれを用いた超小型電力変換装置 |
JP2005116101A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッド |
-
2006
- 2006-03-31 JP JP2006098575A patent/JP4736902B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0221414A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-24 | Nec Corp | 薄膜磁気ヘッド |
JPH05109557A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 高周波用薄膜トランスおよび高周波用薄膜インダクタ |
JP2000293818A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Tdk Corp | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP2004296816A (ja) * | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 磁気誘導素子およびそれを用いた超小型電力変換装置 |
JP2005116101A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007273803A (ja) | 2007-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7791837B2 (en) | Thin film device having thin film coil wound on magnetic film | |
JP4477345B2 (ja) | 薄膜コモンモードフィルタ及び薄膜コモンモードフィルタアレイ | |
JP5333461B2 (ja) | 積層インダクタ | |
JP2006286931A (ja) | 薄膜デバイス | |
JP4873522B2 (ja) | 積層インダクタ | |
JP5339398B2 (ja) | 積層インダクタ | |
JP4706927B2 (ja) | 薄膜デバイス | |
KR101843283B1 (ko) | 코일 전자 부품 | |
JPH0377360A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007266105A (ja) | 薄膜デバイス | |
JPH04363006A (ja) | 平面型磁気素子 | |
KR20150127490A (ko) | 칩 전자부품 및 그 제조방법 | |
CN101071679B (zh) | 薄膜器件 | |
CN109036798A (zh) | 用于磁芯的通孔以及相关系统和方法 | |
JP2007150209A (ja) | コモンモードフィルタ | |
JP2006313946A (ja) | 薄膜型コモンモードチョークコイル及びコモンモードチョークコイルアレイ | |
JP4736902B2 (ja) | 薄膜デバイス | |
JP2000277354A (ja) | 積層型コモンモードチョークコイル | |
US20020101683A1 (en) | Thin film coil and method of forming the same, thin film magnetic head, thin film inductor and thin film magnetic sensor | |
JP2007128928A (ja) | コイル素子 | |
JP2005012072A (ja) | 積層型コモンモードチョークコイル及びその製造方法 | |
JP5193843B2 (ja) | 積層インダクタ | |
JP2001319813A (ja) | インダクティブ素子 | |
JP2004260017A (ja) | 薄膜型コモンモードチョークコイル及びコモンモードチョークコイルアレイ | |
JPH06124843A (ja) | 高周波用薄膜トランス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4736902 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |