JP4736445B2 - 半導体デバイス用基板洗浄液及び洗浄方法 - Google Patents
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また、金属配線を有する基板に吸着した金属不純物やパーティクルの除去のため、分散剤及び/又は界面活性剤に有機酸化合物を添加した洗浄液も提案されている(特開2001−007071号公報)。
また、水を滴下したときの表面の接触角が70度以上の基板の接触角を50度以下にする脂肪族ポリカルボン酸類と界面活性剤とを含む洗浄液も提案されている(特開2003−318150号公報)。
また、金属配線を腐食することなくパーティクルや金属汚染の除去が行える有機酸と錯化剤を含んだ洗浄液も提案されている(特許第3219020号公報)。
更には、表面欠陥が大幅に低減された、Cu及びCu合金を平坦化する効率的な方法も提案されている(特開2001−156029号公報)。
また、基板表面を腐食することなく、基板に付着した微粒子や有機汚染を除去するため、特定の界面活性剤と水に、アルカリ又は有機酸を添加した洗浄液も提案されている(特開2003−289060号公報)。
成分(a):カルボキシル基を1以上有する炭素数1〜10の有機酸
成分(b):下記一般式(I)で表される有機アルカリ成分
(R 1 ) 4 N + OH − …(I)
(但し、R 1 は水素原子、或いは水酸基、アルコキシ基、又はハロゲンにて置換されていてもよいアルキル基を示し、4個のR 1 は全て同一でもよく、互いに異なっていてもよい。但し、全て同時に水素原子である場合を除く。)
成分(c):アニオン系界面活性剤
成分(d):水
(R1)4N+OH− …(I)
(但し、R1は水素原子、或いは水酸基、アルコキシ基、又はハロゲンにて置換されていてもよいアルキル基を示し、4個のR1は全て同一でもよく、互いに異なっていてもよい。但し、全て同時に水素原子である場合を除く。)
の塩、アルキルベンゼンスルホン酸及びその塩、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸及びその塩、アルキルメチルタウリン酸及びその塩、アルキル硫酸エステル及びその塩、アルキルエーテル硫酸エステル及びその塩並びにスルホコハク酸ジエステル及びその塩よりなる群より選ばれる少なくとも一つのアニオン系界面活性剤が好ましい。
(R1)4N+OH− …(I)
(但し、R1は水素原子、或いは水酸基、アルコキシ基、又はハロゲンにて置換されていてもよいアルキル基を示し、4個のR1は全て同一でもよく、互いに異なっていてもよい。但し、全て同時に水素原子である場合を除く。)
を含有させても良い。錯化剤には、基板表面の金属汚染を低減する効果がある。錯化剤としては、従来公知の任意のものを使用できる。錯化剤の種類は、基板表面の汚染レベル、金属の種類、基板表面に要求される清浄度レベル、錯化剤コスト、化学的安定性などから総合的に判断して選択すればよく、例えば、以下の(1)〜(4)に示すものが挙げられる。
(3−1)エチレンジアミンジオルトヒドロキシフェニル酢酸[EDDHA]及びその誘導体: 例えば、エチレンジアミンジオルトヒドロキシフェニル酢酸[EDDHA]、エチレンジアミン−N,N’−ビス〔(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)酢酸〕[EDDHMA]、エチレンジアミン−N,N’−ビス〔(2−ヒドロキシ−5−クロルフェニル)酢酸〕[EDDHCA]、エチレンジアミン−N,N’−ビス〔(2−ヒドロキシ−5−スルホフェニル)酢酸〕[EDDHSA]等の芳香族含窒素カルボン酸類;エチレンジアミン−N,N’−ビス〔(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)ホスホン酸〕、エチレンジアミン−N,N’−ビス〔(2−ヒドロキシ−5−ホスホフェニル)ホスホン酸〕等の芳香族含窒素ホスホン酸類が挙げられる。
(3−2)N,N’−ビス(2−ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン−N,N’−2酢酸[HBED]及びその誘導体:例えば、N,N’−ビス(2−ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン−N,N’−2酢酸[HBED]、N,N’−ビス(2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)エチレンジアミン−N,N’−2酢酸[HMBED]、N,N’−ビス(2−ヒドロキシ−5−クロルベンジル)エチレンジアミン−N,N’−2酢酸などが挙げられる。
ような金属材料に悪影響を及ぼすことなく、充分な洗浄性能を示す。
(スクラブ式洗浄によるパーティクル汚染の洗浄性評価)
Cu膜付きの8インチシリコン基板を、ベンゾトリアゾール系防食剤入りCMP用スラリー(酸性、SiO2粒子含有)で1分間研磨後、17秒間水研磨を行った。このCMP研磨後の基板を、表1に示す配合の洗浄液を用いて、マルチスピンナー((株)カイジョー製「KSSP−201」)により、PVA製のブラシを用いてブラシスクラブ洗浄し、パーティクルを除去した。洗浄液による洗浄は、室温で30秒間実施し、この後、基板を超純水で10秒間又は30秒間リンスし、スピン乾燥して、洗浄済みの基板を得た。
TMAH:テトラメチルアンモニウムヒドロキシド
N(Et)3:トリエチルアミン
コリン:トリメチル(ヒドロキシエチル)アンモニウムヒドロキシド
NH3:アンモニア
DBS:ドデシルベンゼンスルホン酸
DPDSA:ドデシルジフェニルエーテルジスルホン酸ジアンモニウム塩
MMTA:N−ミリストイルメチルタウリンアンモニウム
MSA:メタンスルホン酸
IPA:イソプロピルアルコール
また、表1中、洗浄液中の金属不純物濃度は、洗浄液中に含まれるNa,Mg,Al,K,Ca,Fe,Cu,Pb,Znの各濃度を表す。後掲の表2〜6においても同様である。
(スクラブ式洗浄によるパーティクル汚染の洗浄性評価)
Cu膜付きの8インチシリコン基板を、防食剤入りCMP用スラリー(アルカリ性、SiO2粒子含有)で1分間研磨後、17秒間水研磨を行った。このCMP研磨後の基板を、表2に示す配合の洗浄液を用いて、マルチスピンナー((株)カイジョー製「KSSP−201」)により、PVA製のブラシを用いてブラシスクラブ洗浄し、パーティクルを除去した。洗浄液による洗浄は、室温で30秒間実施し、この後、基板を超純水で30秒間リンスし、スピン乾燥して、洗浄済みの基板を得た。
(スクラブ式洗浄によるパーティクル汚染の洗浄性評価)
Cu膜付きの8インチシリコン基板を、ベンゾトリアゾール系防食剤入りCMP用スラリー(酸性、SiO2粒子含有)で1分間研磨後、水研磨を行わず研磨を終了し基板を取り外した。研磨パッド上にCu汚染を残留させた状態で、続けてLow−k膜(BLACK DIAMOND)膜付きの8インチシリコン基板をベンゾトリアゾール系防食剤入りCMP用スラリー(酸性、SiO2粒子)で1分間研磨後、17秒間水研磨を行った。このCMP研磨後のLow−k膜(BLACK DIAMOND)膜付き基板を、表3に示す配合の洗浄液を用いて、マルチスピンナー((株)カイジョー製「KSSP−201」)により、PVA製のブラシを用いてブラシスクラブ洗浄し、パーティクルを除去した。洗浄液による洗浄は、室温で30秒間実施し、この後、基板を超純水で30秒間又は60秒間リンスし、スピン乾燥して、洗浄済みの基板を得た。
(スクラブ式洗浄によるパーティクル汚染の洗浄性評価)
Cu膜付きの8インチシリコン基板を、防食剤入りCMP用スラリー(アルカリ性、SiO2粒子含有)で1分間研磨後、水研磨を行わず研磨を終了し基板を取り外した。研磨パッド上にCu汚染を残留させた状態で、続けてLow−k膜(BLACK DIAMOND)膜付きの8インチシリコン基板を防食剤入りCMP用スラリー(アルカリ性、SiO2粒子)で1分間研磨後、17秒間水研磨を行った。このCMP研磨後のLow−k膜(BLACK DIAMOND)膜付き基板を、表4に示す配合の洗浄液を用いて、マルチスピンナー((株)カイジョー製「KSSP−201」)により、PVA製のブラシを用いてブラシスクラブ洗浄し、パーティクルを除去した。洗浄液による洗浄は、室温で30秒間実施し、この後、基板を超純水で30秒間リンスし、スピン乾燥して、洗浄済みの基板を得た。
(スクラブ式洗浄による金属汚染の洗浄性評価)
Cu膜付きの8インチシリコン基板を、ベンゾトリアゾール系防食剤入りCMP用スラリー(酸性、SiO2粒子含有)で1分間研磨後、水研磨を行わず研磨を終了し基板を取り外した。研磨パッド上にCu汚染を残留させた状態で、続けてTEOS(テトラエトキシシラン)膜付きの8インチシリコン基板をベンゾトリアゾール系防食剤入りCMP用スラリー(酸性、SiO2粒子)で1分間研磨後、17秒間水研磨を行った。研磨後のTEOS膜付きの基板を、表5に示す洗浄液を用いて、マルチスピンナー((株)カイジョー製「KSSP−201」)により、PVA製のブラシを用いてブラシスクラブ洗浄し、金属汚染を除去した。洗浄液による洗浄は、室温で30秒間実施し、この後、基板を超純水で60秒間リンスし、スピン乾燥して、洗浄済みの基板を得た。
基板表面にある金属を、フッ酸0.1重量%と過酸化水素1重量%を含む水溶液で、基板を処理することによって回収し、誘導結合プラズマ質量分析計(ICP−MS)を用いて該金属量を測定し、基板表面での金属濃度(×1010atoms/cm2)に換算した。
(Cu膜エッチングレート評価)
Cu膜付きの8インチシリコン基板片(1.5cm×2cm)を、表6に示す洗浄液に3時間浸した。浸漬後の洗浄液のCu濃度(ppb)を誘導結合プラズマ質量分析計(ICP−MS)を用いて測定し、下記式により洗浄液のCuエッチングレート(nm/min)を計算した。
Cuエッチングレート(nm/min)=C×L/G/S/100/H
C:洗浄液のCu濃度(ppb)
L:洗浄液量(cm3)
G:Cuの密度(8.95g/cm3)
S:Cu基板片の面積(cm2)
H:浸漬時間(180min)
Claims (14)
- 基材表面にCu膜と低誘電率絶縁膜を有する半導体デバイス用基板をCMP処理後に洗浄する洗浄液であって、半導体デバイス用基板の洗浄液において、以下の成分(a)、(b)、(c)、及び(d)を含み、かつpHが2.7以上6.5未満であることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
成分(a):カルボキシル基を1以上有する炭素数1〜10の有機酸
成分(b):下記一般式(I)で表される有機アルカリ成分
(R 1 ) 4 N + OH − …(I)
(但し、R 1 は水素原子、或いは水酸基、アルコキシ基、又はハロゲンにて置換されていてもよいアルキル基を示し、4個のR 1 は全て同一でもよく、互いに異なっていてもよい。但し、全て同時に水素原子である場合を除く。)
成分(c):アニオン系界面活性剤
成分(d):水 - 請求項1において、前記成分(c)の含有量が0.0001〜1重量%であることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
- 請求項1又は2において、前記成分(a)の含有量が0.05〜30重量%であり、前記成分(b)の含有量が0.01〜10重量%であり、且つ、前記成分(c)の含有量が0.0003〜1重量%であることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記成分(a)と(b)との重量比率[成分(a)/成分(b)]が0.8以上5以下であり、前記成分(c)と(b)との重量比率[成分(c)/成分(b)]が0.01以上0.2以下であることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
- 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記Cu膜がCu配線であることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、前記成分(a)がクエン酸であることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
- 請求項1ないし6のいずれか1項において、前記CMP処理がアゾール系防食剤を含む研磨剤により行われることを特徴とする半導体デバイス用基板洗浄液。
- 基板表面にCu膜と低誘電率絶縁膜を有する半導体デバイス用基板を、CMP処理後に洗浄する洗浄方法であって、以下の成分(a)、(b)、(c)、及び(d)を含み、かつpHが2.7以上6.5未満である液を用いて、半導体デバイス用基板を洗浄することを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
成分(a):カルボキシル基を1以上有する炭素数1〜10の有機酸
成分(b):下記一般式(I)で表される有機アルカリ成分
(R 1 ) 4 N + OH − …(I)
(但し、R 1 は水素原子、或いは水酸基、アルコキシ基、又はハロゲンにて置換されていてもよいアルキル基を示し、4個のR 1 は全て同一でもよく、互いに異なっていてもよい。但し、全て同時に水素原子である場合を除く。)
成分(c):アニオン系界面活性剤
成分(d):水 - 請求項8において、前記液中の前記成分(c)の含有量が0.0001〜1重量%であることを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
- 請求項8又は9のいずれか1項において、前記液中の前記成分(a)の含有量が0.05〜30重量%であり、前記成分(b)の含有量が0.01〜10重量%であり、且つ、前記成分(c)の含有量が0.0003〜1重量%であることを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
- 請求項8ないし10のいずれか1項において、前記液中の前記成分(a)と(b)との重量比率[成分(a)/成分(b)]が0.8以上5以下であり、前記成分(c)と(b)との重量比率[成分(c)/成分(b)]が0.01以上0.2以下であることを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
- 請求項8ないし11のいずれか1項において、前記Cu膜がCu配線であることを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
- 請求項8ないし12のいずれか1項において、前記成分(a)がクエン酸であることを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
- 請求項8ないし13のいずれか1項において、前記CMP処理がアゾール系防食剤を含む研磨剤により行われることを特徴とする半導体デバイス用基板の洗浄方法。
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US8372757B2 (en) | 2003-10-20 | 2013-02-12 | Novellus Systems, Inc. | Wet etching methods for copper removal and planarization in semiconductor processing |
TW200745313A (en) * | 2006-05-26 | 2007-12-16 | Wako Pure Chem Ind Ltd | Substrate etching liquid |
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WO2010086893A1 (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-05 | 三洋化成工業株式会社 | 銅配線半導体用洗浄剤 |
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JP2017011225A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨方法及び不純物除去用組成物並びに基板及びその製造方法 |
KR20230141902A (ko) | 2016-03-31 | 2023-10-10 | 후지필름 가부시키가이샤 | 반도체 제조용 처리액, 반도체 제조용 처리액이 수용된 수용 용기, 패턴 형성 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
WO2017188325A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、組成物収容体、組成物の製造方法 |
KR102051346B1 (ko) | 2016-06-03 | 2019-12-03 | 후지필름 가부시키가이샤 | 처리액, 기판 세정 방법 및 레지스트의 제거 방법 |
US11085011B2 (en) * | 2018-08-28 | 2021-08-10 | Entegris, Inc. | Post CMP cleaning compositions for ceria particles |
US11060051B2 (en) | 2018-10-12 | 2021-07-13 | Fujimi Incorporated | Composition for rinsing or cleaning a surface with ceria particles adhered |
WO2022264931A1 (ja) * | 2021-06-14 | 2022-12-22 | 富士フイルム株式会社 | 洗浄組成物、半導体基板の洗浄方法、半導体素子の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000319699A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-21 | Tama Kagaku Kogyo Kk | 精密洗浄剤組成物 |
JP2002299300A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kaijo Corp | 基板処理方法 |
JP2003076037A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ホトレジスト用剥離液 |
JP2003289060A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-10-10 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体デバイス用基板の洗浄液および洗浄方法 |
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---|---|---|---|---|
JPH0864594A (ja) * | 1994-08-18 | 1996-03-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 配線の形成方法 |
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- 2005-01-31 JP JP2005023550A patent/JP4736445B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000319699A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-21 | Tama Kagaku Kogyo Kk | 精密洗浄剤組成物 |
JP2002299300A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kaijo Corp | 基板処理方法 |
JP2003076037A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ホトレジスト用剥離液 |
JP2003289060A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-10-10 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体デバイス用基板の洗浄液および洗浄方法 |
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