JP4733586B2 - 電子部品装着装置 - Google Patents

Description

本発明は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置に関する。

この種の電子部品装着装置は、特許文献１などのように広く知られている。そして、この種の電子部品装着装置における部品供給ユニットのフィーダベース上への取り付け位置のズレは以下のように測定されていた。即ち、フィーダベース上の所定の位置（配置番号「１０１」の位置）に部品供給ユニットに代えて測定用ユニットを取り付け、部品吸着位置に配置番号「１０１」の位置が来るようにフィーダベースを移動させ、測定用ユニットに設けた測定ピンにツールスコープの目盛りを合わせる。次いで、配置番号「１０２」の位置に測定用ユニットを取り付けて部品吸着位置に配置番号「１０２」位置が来るようにフィーダベースを移動させ、測定用ユニットに設けた測定ピンの位置をツールスコープの目盛りから読み取るようにして、配置番号「１０１」を基準にした最後の配置番号までのＸ方向（Ｙ、Ｚ方向も）のズレ量を測定する。そして、この測定データをオフセットデータとして記憶装置に格納し、部品供給ユニットから電子部品の取り出しの際にこのオフセットデータを利用していた。
特開２００３−６９２８７号公報

しかし、前述した測定に際しては、作業者がフィーダベース上方に身を乗り出して行なうため、大変危険でしかも重労働であった。

そこで本発明は、フィーダベースに取り付けられる部品供給ユニットの取り付け位置を自動測定できるようにして、安全で且つ測定労働を軽減できる電子部品装着装置を提供することを目的とする。

このため第１の発明は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるもので少なくともＸ及びＹ方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための少なくともＸ及びＹ方向の変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする。

第２の発明は、装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるものでＸ、Ｙ及びＺ方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための各変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする。

第３の発明は、第１又は第２の電子部品装着装置に係る発明において、前記記憶装置に格納されたＸ方向における測定データに基づいて前記フィーダベースの移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。

第４の発明は、第１又は第２の電子部品装着装置に係る発明において、前記装着ヘッドを間欠回転するロータリテーブルの周縁に所定間隔を存して設けると共に該装着ヘッドに対して鉛直軸線まわりに駆動源により回転する回転体に前記吸着ノズルを設け、前記記憶装置に格納されたＹ方向における測定データに基づいて前記回転体の移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。

第５の発明は、第２の電子部品装着装置に係る発明において、前記記憶装置に格納されたＺ方向における測定データに基づいて前記装着ヘッド又は吸着ノズルの昇降駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする。

本発明は、フィーダベースに取り付けられる部品供給ユニットの取り付け位置を自動測定できるようにして、安全で且つ測定労働を軽減できる電子部品装着装置を提供することができる。
電子部品装着装置を提供することができる。

以下本発明の一実施形態を図に基づき詳述する。図１及び図２に於いて、１はＹ軸モータ２の駆動によりＹ方向に移動するＹテーブルであり、３はＸ軸モータ４の駆動によりＹテーブル１上でＸ方向に移動することにより結果的にＸＹ方向に移動するＸＹテーブルであり、チップ状電子部品５（以下、「電子部品」或いは「部品」という。）が装着されるプリント基板６が図示しない固定手段に固定されて載置される。

７はフィーダベースである供給台であり、電子部品５を吸着取出位置まで供給する部品供給ユニット８が多数台配設されており、供給台７上の最右の部品供給ユニット８の配置番号が「１０１」であり、順に「１０２」、［１０３］・・・である。９は供給台駆動モータであり、ボールネジ１０を回動させることにより、該ボールネジ１０が嵌合し供給台７に固定されたナット１１を介して、供給台７がリニアガイド１２に案内されてＸ方向に移動する。１３はインデックス機構により間欠回動するロータリテーブルであり、該テーブル１３の外縁部には吸着ノズル１４を複数本有する装着ヘッド１５が間欠ピッチに合わせて等間隔に配設されている。

前記部品供給ユニット８はテープ送り機構（図示せず）の１回の送り動作で収納テープＣを１送りピッチ分だけシュート８Ｂ上を摺動させながら移動させると共に剥離機構によりカバーテープを剥離して凹部ＣＡ内の電子部品５を部品取出し可能に供給し、この供給した後にシャッター８Ａを移動させて供給された電子部品５を吸着ノズル１４により取出し可能にする（図４参照）。

前記ロータリテーブル１３の間欠回転の停止による停止位置（図１中上方の黒丸の付された位置）が吸着ステーションＡであり、この吸着ステーションＡにて装着ヘッド１５及び吸着ノズル１４が下降することにより吸着ノズル１４が部品供給ユニット８により部品取出位置へ供給された部品５を吸着して取出す。

Ｂは部品５を吸着した装着ヘッド１５がロータリテーブル１３の間欠回転により停止する認識ステーションであり、この認識ステーションにて部品認識カメラ１６により部品５の画像が撮像され、この撮像された画像が認識処理装置６５で認識処理され吸着ノズル１４に対する部品５の位置ずれが認識される。

Ｃは吸着ノズル１４が吸着保持している部品５をプリント基板６に装着するために装着ヘッド１５が停止する装着ステーション（図１中下方の黒丸の付された位置）であり、この装着ステーションにおいて装着ヘッド１５及び吸着ノズル１４の下降によりＸＹテーブル３の移動により所定の位置に停止したプリント基板６上に部品５が装着される。

１８は後述する電流駆動負荷としてのパルスモータ３１を駆動するためのロータリテーブル１３内に格納された駆動回路８２（図５参照）からの電流を伝達するための動力線、電流駆動負荷である真空バルブに電流を伝達するための動力線及び他の電流駆動負荷に電流を伝達して流す電線等をも含むケーブルであり、各装着ヘッド１５に接続されている。１９は真空チューブで、吸着ノズル１４より電子部品５を吸着するため図示しない真空源に連通する。

前記装着ヘッド１５はヘッドブロック２１を介してリニアガイド２２に取り付けられ、ロータリテーブル１３に対して上下動可能になされている。

２６は部品供給装置８の揺動レバー２７を揺動させるために上下動する昇降レバーであり、該昇降レバー２７を揺動させテープリール２８内に巻回された図示しない収納テープを送り、該収納テープ内に収納された電子部品５を該ノズル１４の吸着取出位置に供給させる。

前記ロータリテーブル１３は基台２９に回転可能に取り付けられているものであり、前記供給台７及びＸＹテ−ブル３も該基台２９に対して移動するものである。

以下に図３に基づき、装着ヘッド１５について説明する。装着ヘッド１５内にはパルスモータ３１が組み込まれ形成されている。３２は該モータ３１の回転体としてのロータであり、ハウジング部となっているステータ３０内でθ方向に回転可能になされている。ここで、θ方向とは上下に伸びる軸（鉛直軸）の回りに回転する方向である。３３はロータ３２の周囲に全周にわたり埋設された永久磁石であり、その上下には該磁石３３に磁化される鉄芯３４が周方向に凹凸を繰り返して設けられている。３５はステータ３０の内壁に全周にわたり取り付けられた鉄芯であり、該鉄芯３５のステータ３０の周方向の複数個所は突部となっており、該突部の周りにはコイル３６が巻かれている。

このコイル３６に前記ケーブル１８よりのパルス状の電流が流され、永久磁石３３に磁化された鉄芯３４の突部との反発力によりロータ３２はパルス数に応じて所定角度量回転する。３８はロータ３２をステータ３０に対して回転可能に支持するベアリングである。

前記吸着ノズル１４は夫々ロータ３２を上下方向に貫通して上下動可能に設けられており、該ノズル１４の先端から真空吸引孔４０が穿設されている。該真空吸引孔４０はノズル１４の側面の中間でロータ３２側に開口しており、ロータ３２に穿設された連通孔３７を介して該ロータ３２の軸方向に伸びる真空室３９に連通する。

吸着ノズル１４の上部には係合体４２が形成されており、押圧バネ５０により下方に付勢されている。前記ロータ３２の上部には各吸着ノズル１４の係合体４２に係合して該バネ５０に抗して吸着ノズル１４を上昇した状態に保持するためのレバー４６がロータ３２の軸方向に揺動するようバネ４７に付勢されて取り付けられている。図示しないレバー回動装置によりレバー４６がバネ４７に抗してその下端が開くように揺動されると、該レバー４６により図３の左側のように保持されていた吸着ノズル１４は下方に右側のように突出して部品５を吸着する使用状態になされる。また、吸着ノズル１４が使用されずに係合体４２がレバー４６に保持され収納された図３の左側の状態では、ノズル１４の胴部の開口は連通孔３７には連通せず、連通孔３７はノズル１４の側面で封止され真空が漏れないようになされている。

前記真空室３９はロータ３２の上部にて回転可能なロータリジョイント４９を介して真空チューブ１９に連通している。ロータリジョイント４９は図示しない中空部を有する回転端５１及び該回転端５１に図示しないボールベアリングにより相対的に回転可能に設けられた図示しない中空部を有する固定端５２とより構成されている。

ロータ３２の下端部４８は円盤形状を呈するが、この下端部４８の円周上の１箇所にはマグネット４１が埋設されている。また、ステータ３０には原点検出のための電流駆動負荷としての原点検出素子４３（ホールＩＣ）が設けられており、ロータ３２の回転によりマグネット４１が該原点検出素子に対向した時に原点検出信号が出力され、この信号電流が前記ケーブル１８内の通信線を流れてロータリテーブル１３内のマイクロコンピュータ７８に該信号が入力されるようになされている。

また、前記ヘッドブロック２１には電流駆動負荷としての真空バルブが搭載されており、真空チューブ１９を介してヘッド１５の真空室３９内に負圧を供給するためにロータリテーブル１３内の真空通路４５を介して図示しない真空源に連通させるように切り替えるか、前記真空室３９を大気開放状態に切り替える機能を有している。該真空バルブは電磁弁であり、前記ケーブル１８中の動力線を流れる電流により前記マイクロコンピュータ７８からの制御により駆動される。

前記ケーブル１８は装着ヘッド１５にヘッド側接続部材としてのコネクタ５４で着脱自在に接続されている。ケーブル１８に固定されている駆動側コネクタ５５とヘッド１５に固定されている従動側コネクタ５６でコネクタ５４は構成されており、駆動側コネクタ５５が従動側コネクタ５６に着脱されるものである。図２に示すように、ケーブル１８はロータリテーブル１３に一体コネクタであるテーブル側接続部材５８で着脱自在に接続されている。

図５の電子部品自動装着装置の制御ブロック図に基いて説明する。７４はＣＰＵであり、ＲＡＭ７５に記憶された種々のデータ等に基づき、ＲＯＭ７６に格納されたプログラムに従って電子部品５の装着に係わる種々の動作を制御する。

前記ＲＡＭ７５には、部品装着に係るプリント基板Ｐの種類毎に装着データが記憶されており、その装着順序毎（ステップ番号毎）に、プリント基板Ｐ内での各電子部品の装着座標のＸ方向（Ｘで示す）、Ｙ方向（Ｙで示す）及び角度（Ｚで示す）情報や、各部品供給ユニット７の配置番号情報（Ｆで示す）等が格納されている。

また前記ＲＡＭ７５には、前記各部品供給ユニット８の部品供給ユニット配置番号に対応した各電子部品の種類（部品ＩＤ）の情報、即ち部品配置データが格納されており、この部品ＩＤ毎に電子部品のＸ方向（Ｘで示す）、Ｙ方向（Ｙで示す）、厚さ（Ｔで示す）情報及び使用吸着ノズル１４のノズルＩＤ等に関する部品ライブラリデータが格納されている。更には、フィーダベースである供給台７上に各部品供給ユニット８を配設する各間隔データも格納されている。

そして、ＣＰＵ７４はこの装着データに基づきＸＹテ−ブル３の移動先の位置を表すデータをＸ方向及びＹ方向毎にＸ軸モータ４、Ｙ軸モータ２に指令すると共に後述するマイクロコンピュータ７８に装着角度データに基づきこの制御用データの信号が送られるものである。

６５はインターフェース６６を介して前記ＣＰＵ７４に接続される認識処理装置で、前記部品認識カメラ１６により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置６５にて行われ、ＣＰＵ７４に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ７４は、部品認識カメラ１６に撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置６５に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置６５から受取るものである。

即ち、前記認識処理装置６５の認識処理により位置ずれ量が把握されると、その結果がＣＰＵ７４に送られ、ＣＰＵ７４はインターフェース６６及び駆動回路６７を介してＸＹテーブル３のＹ軸モータ２及びＸ軸モータ４を駆動させＸＹ方向にプリント基板６を移動させることにより、またインターフェース６６、マイクロコンピュータ７８、駆動回路８２を介してパルスモータ３１を駆動させて結果として使用している吸着ノズル１４をθ回転させ、Ｘ，Ｙ方向及び鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなされるものである。

尚、前記部品認識カメラ１６により撮像された画像を認識処理装置６５が取り込むが、その取り込まれた画像をモニタ６８が表示する。そして、前記モニタ６８にはデータ設定のための入力手段としての種々のタッチパネルスイッチ６９が設けられ、作業者がタッチパネルスイッチ６９を操作することにより、種々の設定を行うことができるが、データ設定のための入力手段としてキーボードを用いてもよい。

次に、部品供給ユニット８のフィーダベースである供給台７上への取り付け位置のズレは、以下のように測定される。先ず、図６及び図７において、取付部７０Ｔを上部に備えＸ、Ｙ及びＺ方向の面７０Ｘ、７０Ｙ、７０Ｚを備え装着ヘッド１５に吸着ノズル１４に代えて取り付けられる概ね四角柱状の鋼鉄製の測定用ノズル７０と、この測定用ノズル７０の各面との距離を測定するための、例えば渦電流変位センサから成る変位検出センサ７１Ｘ、７１Ｙ、７１Ｚを備えて前記供給台７上の配置番号「１０１」の位置に取付部７１Ｔ、７１Ｔを介して前記部品供給ユニット８に代えて取り付けられる測定用ユニット７１とを備えることにより、測定が可能となる。

即ち、前記測定用ノズル７０は測定用に作製されたもので、装着ヘッド１５に取り付けられた際に、Ｘ、Ｙ及びＺ方向の端部が吸着ノズル１４と略同様な寸法を有し、また測定用ユニット７１も測定用に作製されたもので、供給台７に取り付けられた際に、部品供給ユニット８と略同様な寸法を有しているもので、作業者が装着ヘッド１５に吸着ノズル１４に代えて測定用ノズル７０を取り付けると共に供給台７上の配置番号「１０１」の位置に部品供給ユニット８に代えて測定用ユニット７１を取り付ける。

そして、モニタ６８に表示されたタッチパネルスイッチ６９を押圧操作して、配置番号「１０１」の位置に設置された部品供給ユニット８の取り付け位置ズレ測定のための画面を表示して、タッチパネルスイッチ６９の供給台移動スイッチ部を押圧操作すると、吸着ステーションＡにおいて予め測定用ノズル７０を下げた状態のところに、ＣＰＵ７４は前記配置番号「１０１」に位置する測定用ユニット７１を供給台駆動モータ９を駆動させることにより移動させる。

このとき、装着ヘッド１５に取り付けられた測定用ノズル７０のＸ、Ｙ及びＺ方向の面７０Ｘ、７０Ｙ、７０Ｚが各変位検出センサ７１Ｘ、７１Ｙ、７１Ｚに近接しているので、タッチパネルスイッチ６９の測定スイッチ部を押圧操作すると、この測定用ノズル７０の各面との距離が測定される。従って、各測定結果は増幅器（図示せず）を介してＣＰＵ７４に出力されるので、配置番号「１０１」としての基準値との差であるオフセット値としてＲＡＭ７５に格納される。

次いで、作業者は測定用ノズル７０をそのままとして、タッチパネルスイッチ６９の移動スイッチ部を押圧操作して供給台駆動モータ９を駆動させて供給台７を移動させて測定用ユニット７１を吸着ステーションＡから右方へ離した後、供給台７上の配置番号「１０１」の位置から測定用ユニット７１を取り外して「１０２」の位置に移し変える。そして、モニタ６８に表示されたタッチパネルスイッチ６９を押圧操作して、配置番号「１０２」の位置に設置された部品供給ユニット８の取り付け位置ズレ測定のための画面を表示して、タッチパネルスイッチ６９の供給台移動スイッチ部を押圧操作する。すると、ＣＰＵ７４は供給台駆動モータ９を駆動させることにより供給台７を移動させ、前記配置番号「１０２」に位置する測定用ユニット７１をロータリテーブル１３の吸着ステーションＡの位置へ移動させる。

そして、装着ヘッド１５に取り付けられた測定用ノズル７０のＸ、Ｙ及びＺ方向の面７０Ｘ、７０Ｙ、７０Ｚが各変位検出センサ７１Ｘ、７１Ｙ、７１Ｚに近接しているので、タッチパネルスイッチ６９の測定スイッチ部を押圧操作すると、この測定用ノズル７０の各面との距離が測定され、各測定結果が増幅器を介してＣＰＵ７４に出力され、配置番号「１０２」としての基準値との差であるオフセット値としてＲＡＭ７５に格納される。以下、同様に順次各配置番号に測定用ユニット７１を移し変えつつ、各基準値との差であるオフセット値としてＲＡＭ７５に格納する。

なお、変位検出センサ７１Ｘ、７１Ｙ、７１Ｚとして渦電流変位センサを使用して測定用ノズル７０のＸ、Ｙ及びＺ方向の面７０Ｘ、７０Ｙ、７０Ｚとは非接触状態で検出するようにしたが、これに限らず、接触して検出するようなセンサを使用してもよい。

以上のような構成により以下動作について説明する。先ず、電子部品自動装着装置の部品５をプリント基板６に装着する自動運転の動作について説明する。装置に電源が投入されると、各装着ヘッド１５の吸着ノズル１４の回転位置（即ちロータ３２の回転位置）の原点位置の検出が行われる。即ち、ロータ３２を低速で回転させ、原点検出素子４３がマグネット４１に対向する位置で検出信号が出力され、該信号電流がケーブル１８を介して伝達されマイクロコンピュータ７８に検出され、原点位置が記憶される。

次に、自動運転が開始されると、装着ヘッド１５がロータリテーブル１３のインデックス機構を介する間欠回転により吸着ステ−ションＡに停止した際に、供給台駆動モータ９の駆動により供給台７がＸ方向に移動され、ＲＡＭ７５に格納された装着データに従い、供給すべき電子部品５を収納する部品供給ユニット８は吸着ステ−ションＡの装着ヘッド１５の吸着ノズル１４の吸着位置に停止されて、該吸着ノズル１４の下降により電子部品５が取出される。

このときに、ＣＰＵ７４はＲＡＭ７５に格納された電子部品を供給する部品供給ユニット８の配置番号に対応するオフセット値に基づいて、Ｘ方向については供給台駆動モータ９を、Ｙ方向についてはパルスモータ３１を補正制御することにより、確実に部品供給ユニット８から電子部品を吸着取り出しすることができる。

次に、ロータリテーブル１３がインデックス機構を介して間欠回転を行い、電子部品５を保持した装着ヘッド１５は次のステ−ションに移動して停止し、さらに回転して行き認識ステ−ションＢに移動する。そして、部品認識カメラ１６により吸着ノズル１４に吸着された電子部品５の撮像が行われ、その画像が認識処理装置６５により認識処理され、部品５の吸着ノズル１４に対する位置ずれが認識される。次に、認識が終了したならばＣＰＵ７４は該認識結果により補正すべき量を装着データの装着角度に加えた角度量を算出し、この算出された角度量が当該装着ヘッド１５のマイクロコンピュータ７８に出力され、駆動回路８２を介してパルスモータ３１を駆動させて吸着ノズル１４をθ回転させ、鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなされるものである。

このパルスモータ３１の回転と並行してロータリテーブル１３は間欠回転を行って装着ステ−ションＣに達し、角度位置決めが終了した電子部品５をＸＹテーブル３の移動により装着データの示す座標位置に位置決めされたプリント基板６に装着する。

以上の実施形態は、ロータリテーブル型の高速型電子部品装着装置について説明したが、ＸＹロボ型の、いわゆる多機能チップマウンタに適用してもよい。この場合、ＲＡＭ７５に格納されたＸ方向及びＹ方向における測定データに基づいて装着ヘッドをＸＹ方向に移動させるＸ軸駆動モータ及びＹ軸駆動モータを補正するよう、また吸着ノズルをＺ方向に移動させる昇降モータを補正するようにＣＰＵ７４が制御する。

以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。

電子部品装着装置の平面図である。 電子部品装着装置の一部破断せる側面図である。 装着ヘッドの一部拡大縦断面図である。 部品供給ユニットの縦断面図である。 制御ブロック図である。 測定用ノズルと測定用ユニットとの斜視図である。 変位検出センサによる部品供給ユニットの取り付け位置ズレを測定するための模式図である。

符号の説明

７ 供給台
８ 部品供給ユニット
９ 供給台駆動モータ
１３ ロータリテーブル
１４ 吸着ノズル
１５ 装着ヘッド
３１ パルスモータ
７４ ＣＰＵ
７５ ＲＡＭ
７０ 測定用ノズル
７１ 測定用ユニット
７１Ｘ、Ｙ、Ｚ 変位検出センサ

Claims (5)

1. 装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるもので少なくともＸ及びＹ方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための少なくともＸ及びＹ方向の変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装置。
2. 装着ヘッドに設けられた吸着ノズルでフィーダベース上に並設された任意の部品供給ユニットより供給された電子部品を取出してプリント基板上に装着する電子部品自動装着装置において、前記装着ヘッドに前記吸着ノズルに代えて取り付けられるものでＸ、Ｙ及びＺ方向の面を備えた測定用ノズルと、この測定用ノズルの各面との距離を測定するための各変位検出センサを備えて前記フィーダベース上に前記部品供給ユニットに代えて取り付けられる測定用ユニットと、この測定用ユニットの各変位検出センサにより測定された各測定データを格納する記憶装置とを設けたことを特徴とする電子部品自動装着装置。
3. 前記記憶装置に格納されたＸ方向における測定データに基づいて前記フィーダベースの移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電子部品装着装置。
4. 前記装着ヘッドを間欠回転するロータリテーブルの周縁に所定間隔を存して設けると共に該装着ヘッドに対して鉛直軸線まわりに駆動源により回転する回転体に前記吸着ノズルを設け、前記記憶装置に格納されたＹ方向における測定データに基づいて前記回転体の移動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電子部品装着装置。
5. 前記記憶装置に格納されたＺ方向における測定データに基づいて前記装着ヘッド又は吸着ノズルの昇降駆動源を制御する制御装置とを設けたことを特徴とする請求項２に記載の電子部品装着装置。
   
   

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