JP4730358B2 - 半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体 - Google Patents
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これらの無機粒子及び有機粒子は、それぞれ1種のみを使用してもよいし、2種以上を併用してもよく、無機粒子と有機粒子とを併用することもできる。
この特定の作用を有する研磨速度調整剤を含有させることにより、特定の研磨速度の比を有する化学機械研磨用水系分散体を容易に得ることができる。
pHの調整は硝酸、硫酸、リン酸等の無機酸、或いはギ酸、酢酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸及び安息香酸等の有機酸によって行うことができる。
尚、バリアメタル層は、タンタル、チタン等のうちの1種のみにより形成されることが多いが、タンタルと窒化タンタルなどが同一基板上において併用されることもある。
この研磨において、研磨後、被研磨面に残留する研磨剤は除去することが好ましい。この研磨剤の除去は通常の洗浄方法によって行うことができるが、有機粒子の場合は、被研磨面を、酸素の存在下、高温にすることにより粒子を燃焼させて除去することもできる。燃焼の方法としては、酸素プラズマに晒したり、酸素ラジカルをダウンフローで供給すること等のプラズマによる灰化処理等が挙げられ、これによって残留する有機粒子を被研磨面から容易に除去することができる。
(1)研磨剤を含むスラリーの調製
容量2リットルのポリエチレン製の瓶に、100gのヒュームド法シリカ粒子(日本アエロジル株式会社製、商品名「アエロジル#50」)、又はヒュームド法アルミナ粒子(日本アエロジル株式会社製、商品名「アルミナC」)を入れた後、イオン交換水を投入して全量を1000gとし、超音波分散機によって分散させ、調製した。
容量1リットルのポリエチレン製の瓶に、5gの5−アミノ−1H−テトラゾール、グアニン又は3−メルカプト−1,2,4−トリアゾールを入れた後、イオン交換水を投入し、溶解させ、全量500gの水溶液を調製した。
容量2リットルのポリエチレン製の瓶に、上記(1)の研磨剤を含むスラリー(実施例1及び3〜5、参考例1並びに比較例1では500g、実施例2では300g)と、上記(2)の研磨速度調整剤を含む水溶液(実施例1〜3及び5、参考例1では200g、実施例4では5g)とを入れ、硝酸によってpHを調整した後、イオン交換水を投入して全量を1000gとし、実施例1〜5、参考例1の化学機械研磨用水系分散体を調製した。また、上記(2)の水溶液を含まない他は実施例1と同様にして比較例1の水系分散体を調製した。それぞれの水系分散体の配合組成は表1のとおりである。
テーブル回転数;50rpm、ヘッド回転数;50rpm、研磨圧力;300g/cm2、水系分散体供給速度;100cc/分、研磨時間;1分、研磨パッド;ロデール・ニッタ株式会社製、品番IC1000/SUBA400の2層構造
研磨速度(Å/分)=(研磨前の各膜の厚さ−研磨後の各膜の厚さ)/研磨時間
各膜の厚さ(Å)=[シート抵抗値(Ω/cm2)×銅、タンタル、窒化タンタル又はプラズマTEOSの抵抗率(Ω/cm)]×108
Claims (2)
- 研磨剤、水及び研磨速度調整剤を含有する半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体であって、
上記研磨速度調整剤が、5−アミノ−1H−テトラゾール、グアニン、又は1−フェニル−5−メルカプト−1H−テトラゾールであり、
pHが1〜7であることを特徴とする半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体。 - 上記研磨速度調整剤は、上記銅膜の研磨を抑制し、上記タンタル層及び/又は窒化タンタル層の研磨を促進する請求項1記載の半導体装置の製造に用いる化学機械研磨用水系分散体。
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