JP4727194B2 - 回路基板 - Google Patents
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表面の酸化膜を除去した厚さ35μmの電気めっき銅箔を準備し、10wt%酢酸水溶液を底に入れた密閉型デシケータ内で、酢酸水溶液に浸すことなく室温の雰囲気で30分放置した。放置後の銅箔表面を図5に示すように飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS: Time-of-Flight Second Ion Mass-Spectrometry)で分析し、表面に酢酸に帰属する化合物が吸着しているのを確認した。
実施例1で用いた銅箔を酢酸水溶液の雰囲気に曝さなかった。カップリング剤による表面処理は実施例1と同様に行い、真空ラミネートでラミネートし、エポキシ樹脂を硬化させ、同様にしてピール強度を測定した。ピール強度は、0.6kgf/cmの値であった。
表面の酸化膜を除去した厚さ35μmの電気めっき銅箔を準備し、5wt%蟻酸水溶液を底に入れた密閉型デシケータ内で蟻酸水溶液に浸すことなく40℃の雰囲気で10分放置した。
表面の酸化膜を除去した厚さ35μmの電気めっき銅箔を準備した。次に、この銅箔を5wt%の酢酸と1wt%のγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、製品名“KBM−803”)混合水溶液を底に入れた密閉型デシケータ内で混合水溶液に浸すことなく室温(23℃)で60分放置し、酢酸とシランカップリング剤の混合水溶液の蒸気の雰囲気で表面処理を行った。その後、110℃で30分乾燥させ、カップリング剤の表面処理を完結させた。
厚さ35μmの電気めっき銅箔を過酸化水素−硫酸系の処理液(菱江化学社製、製品名“CPE−800”)で処理し、銅箔表面に10点平均表面粗さ約1μmの粗化処理を行った。次に、室温(23℃)、相対湿度80%RH以上の密閉型デシケータ内に60分放置した。放置後の銅箔表面を図6A、図6Bに示すようにXPS(X線光電子分光法)で分析し、表面に亜酸化銅と酸化銅が形成されているのを確認した。図6AはCu(OH)2とCuOとCuとCu2OをCU 2p3/2により分析したチャートであり、図6BはCu2OとCuを分離するCu Augerの分析チャートである。またオージェ電子分光法(AES: Auger Electron Spectroscopy)で深さ方向に分析し、亜酸化銅と酸化銅トータルの膜厚が1〜20nmであるのを確認した。このとき表面には水酸基が吸着していた。
実施例4における過酸化水素−硫酸系の処理液を菱江化学社製、製品名“CPE−900”に代えた以外は同様の条件で、銅箔表面に10点平均表面粗さ約2μmの粗化処理を行い、同様にしてピール強度を測定した。ピール強度は、1.2kgf/cmの値が得られた。
実施例4におけるカップリング剤をγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製、商品名“KBM−403”)に代えた以外は、同様にしてピール強度を測定した。ピール強度は、1.0kgf/cmの値が得られた。
実施例4で用いた銅箔のカップリング剤処理をせず、そのまま真空ラミネートでラミネートし、エポキシ樹脂を硬化させた以外は、同様にしてピール強度を測定した。ピール強度は、0.4kgf/cmの値であった。
厚さ35μmの電気めっき銅箔を過酸化水素−硫酸系の処理液(菱江化学社製、製品名“CPE−800”)で処理し、銅箔表面に10点平均表面粗さ約0.8μmの粗化処理を行った。次に、大気中で130℃、30分間加熱処理した。この加熱処理により、酸化銅が形成され、この酸化銅は空気中の水分と反応して水酸基が吸着した。加熱処理後の銅箔表面をXPSで分析し、表面に酸化銅が形成されているのを確認した。またAESで深さ方向に分析し、酸化銅トータルの膜厚が10〜30nmであることを確認した。
厚さ35μmの電気めっき銅箔を過酸化水素−硫酸系の処理液(CPE−900:菱江化学製)で処理し、銅箔表面に10点平均表面粗さ約1.5μmの粗化処理を行った。
厚さ35μmの電気めっき銅箔を過酸化水素−硫酸系の処理液(菱江化学社製、製品名“CPE−800”)で処理し、銅箔表面に10点平均表面粗さ約1μmの粗化処理を行った。次に、10wt%酢酸水溶液を底に入れた密閉型デシケータ内で、酢酸水溶液に浸すことなく室温で30分放置し、曝露処理を行った。放置後の銅箔表面を図7A、図7Bに示すようにXPS(X線光電子分光法)で分析し、表面に亜酸化銅と酸化銅が形成されているのを確認した。図7AはCu(OH)2とCuOとCu2OとCuをCU 2p3/2により分析したチャートであり、図7BはCu2OとCuを分離するCu Augerの分析チャートである。またAESで深さ方向に分析し、亜酸化銅と酸化銅トータルの膜厚が1〜20nmであるのを確認した。このとき表面には実施例1と同様に酢酸が吸着していることを確認した。
実施例4において、銅の表面粗さを変え、0.2〜3.0μmの平均表面粗さのものを作成した以外は、実施例4と同様に処理した。その結果を図8に示す。本発明の実施例の水酸基吸着ありのサンプルは、水酸基吸着なしのサンプルと比較して、ピール強度で明らかな優位さが認められた。すなわち、導体層の表面の平均表面粗さは0.3μm以上2μm未満であるとピール強度で明らかな優位さが認められた。平均表面粗さが0.3μmを超えると、表面凹凸によるアンカー効果が支配的となるので、ピール強度には差が見られなくなる傾向となるが、本発明の効果が無くなる訳ではない。
2,8,8’ 絶縁樹脂層
3,11 無電解めっき層
4,12 レジスト樹脂層
5,13 電気銅めっき層
6,6’ 吸着層
7,7' カップリング層
9 ビアホール
10 下側導体層
10' 上側導体層
Claims (4)
- 導体層と絶縁樹脂とを含む回路基板において、
前記導体層の表面に−COOH基を含む吸着層を形成し、
前記吸着層の上にカップリング剤を結合させ、
前記カップリング剤を結合した表面に絶縁樹脂を形成したことを特徴とする回路基板。 - 前記−COOH基はRCOOH(但し、RはH又は炭素数C1〜2の炭化水素)の残基である請求項1に記載の回路基板。
- 前記導体層の表面の平均表面粗さは0.3μm以上2μm未満である請求項1に記載の回路基板。
- 前記導体層の表面には、さらに亜酸化銅又は酸化銅が膜厚0.5nm以上30nm以下の範囲で形成されている請求項1に記載の回路基板。
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