JP4725801B2 - 配線用板の処理装置 - Google Patents
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Description
2 処理液供給部
22 処理液導入管
3 仕切板
4 処理槽
5 第1バッファー槽
52 第1廃棄管
6 第2バッファー槽
62 第2廃棄管
7 第1循環路
71 第1循環ポンプ
72 第1循環バルブ
8 第2循環路
81 第2循環ポンプ
82 第2循環バルブ
9 第3循環路
91 第3循環ポンプ
92 第3循環バルブ
Claims (2)
- 配線用板を、水洗処理を行うための処理液としての水洗水又は防錆処理を行うための処理液としての防錆液の処理液で処理する配線用板処理部とこの配線用板処理部に処理液を供給する処理液供給部とが仕切板を介して区分されている処理槽と、処理液を移動させるための第1バッファー槽と、前記配線用板処理部から排出された処理液を前記処理液供給部を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第1循環路と、前記配線用板処理部から排出された処理液を前記第1バッファー槽を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第2循環路と、を備えた配線用板の処理装置であって、処理液供給部は外部から処理液を導入するための処理液導入管が設けられ、第1バッファー槽は第2循環路内の処理液を廃棄する第1廃棄管が設けられ、第1循環路はこの第1循環路内の処理液を循環させる第1循環ポンプと処理液の循環を調整する第1循環バルブとが設けられ、第2循環路はこの第2循環路内の処理液を循環させる第2循環ポンプと、処理液の循環を調整する第2循環バルブとが設けられ、配線用板処理部で配線用板を処理液により処理しつつ、処理を停止することなく配線用板処理部への処理液の供給を第1循環路から第2循環路に切替え、処理液供給部内の処理液を第1バッファー槽に移動させた後にその状態で処理液供給部に新しい処理液を導入し、次いで再度、処理を停止することなく配線用板処理部への処理液の供給を第2循環路から第1循環路に切替えるとともに第2循環路内の処理液を廃棄することで、処理液を更新することを特徴とする配線用板の処理装置。
- 請求項1の配線用板の処理装置において、前記処理液とは異なる処理液を前記配線用板処理部に供給する第2バッファー槽と、前記配線用板処理部から排出された前記処理液とは異なる処理液を第2バッファー槽を通して再び前記配線用板処理部へ供給する第3循環路と、をさらに備え、第3循環路はこの第3循環路内の処理液を循環させる第3循環ポンプと処理液の循環を調整する第3循環バルブとが設けられ、配線用板処理部で配線用板を処理液により処理しつつ、処理を停止することなく配線用板処理部への処理液の供給を第1循環路から第2循環路に切替えた後、第1バッファー槽に移動した処理液とは異なる処理液を、前記配線用板処理部に供給する第3循環路に切替えて配線用板を異なる処理液で処理し、その状態で処理液供給部に新しい処理液を導入するとともに第2循環路内の処理液を廃棄することで、処理液を更新することを特徴とする配線用板の処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006318914A JP4725801B2 (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | 配線用板の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006318914A JP4725801B2 (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | 配線用板の処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008135464A JP2008135464A (ja) | 2008-06-12 |
JP4725801B2 true JP4725801B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=39560126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006318914A Active JP4725801B2 (ja) | 2006-11-27 | 2006-11-27 | 配線用板の処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4725801B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59153887A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-01 | Trinity Ind Corp | 前処理装置 |
JPH0351268Y2 (ja) * | 1985-04-26 | 1991-11-01 | ||
JP2546825B2 (ja) * | 1986-05-01 | 1996-10-23 | 九州日本電気株式会社 | 薬液循環装置 |
JPH05129756A (ja) * | 1991-10-31 | 1993-05-25 | Hitachi Chem Co Ltd | エツチング装置 |
JPH0661966A (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-04 | Fujitsu Ltd | ディジタルスタッフ制御回路 |
JP3151957B2 (ja) * | 1992-10-07 | 2001-04-03 | 松下電器産業株式会社 | 化学反応装置とその反応制御方法、薬液廃棄方法、および薬液供給方法 |
JPH1088370A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-07 | Fujisash Co | アルミニウム押出形材の良否判別用エッチング処理装置 |
JP3519675B2 (ja) * | 2000-08-03 | 2004-04-19 | 株式会社 シーズ | 基板処理装置 |
-
2006
- 2006-11-27 JP JP2006318914A patent/JP4725801B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008135464A (ja) | 2008-06-12 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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