JP4720181B2 - バレルめっき装置及び電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、筒状のバレルを用いたバレルめっき装置及び電子部品の製造方法に関し、より詳細には、バレルの向きを変化させる手段が設けられたバレルめっき装置及び該バレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法に関する。

例えば積層コンデンサなどの積層セラミック電子部品では、外部電極表面にめっき膜が形成されることが多い。例えば、Ａｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金もしくはＣｕなどを含有する導電ペーストの焼付けにより形成された下地電極層上に、Ｎｉめっき膜及びＳｎめっき膜をこの順序で形成することにより外部電極が形成されている。これは、Ｓｎめっき膜を最外層に形成することにより半田付け性を高め、かつＮｉめっき膜を形成することにより下地電極層の半田喰われを防止するためである。

ところで、上記めっき膜の形成に際しては、バレルめっき法が主として用いられている。下記の特許文献１には、この種のバレルめっき法及び該バレルめっき法に用いられるバレルめっき装置が開示されている。

特許文献１に記載のバレルめっき装置では、図７に示す筒状のバレル１０１が用いられる。筒状のバレル１０１内には、被めっき物として多数の積層セラミック電子部品素子が導電性メディアとともに収納されている。また、バレル１０１は、軸方向に延びる回転軸１０２を有している。この回転軸１０２が、図示しない回転駆動源に連結され、バレル１０１は軸方向周りに回転され得るように構成されている。筒状のバレル１０１は、軸方向が水平方向となるような向きでめっき液内に浸漬され、その状態でバレル内の陰極と、陽極との間に通電することによりめっきが行われている。

上記バレルめっき装置を用いた場合、一度に多数の積層セラミック電子部品にめっき膜を形成することができる。従って、外部電極形成工程における生産性を高めることができる。
特開２００４−１１１５３４号公報

近年、電子部品の小型化が進んでいる。積層セラミック電子部品などにおいても、外部電極が形成されるセラミック焼結体の寸法は、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍや、０．４ｍｍ×０．２ｍｍ×０．２ｍｍ程度にまで小さくなってきている。このような小型の電子部品にバレルめっき装置を用いてめっき膜を形成しようとした場合、従来とは異なり、必要な部分にめっき膜が形成されないものがあった。あるいは、必要な部分にめっき膜が形成されたとしても、膜厚が所望の膜厚に達しないものがあった。

すなわち、特許文献１に記載のような従来のバレルめっき装置を用いた場合、電子部品の小型化を進めると、必要な部分に所望の膜厚で確実にめっき膜を形成することができないものがあった。

本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、被めっき物の小型化を進めた場合であっても、めっき膜を形成すべき部分に確実に所望の膜厚のめっき膜を形成することを可能とするバレルめっき装置、並びに該バレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法を提供することにある。

本発明のある広い局面によれば、内部に複数の被めっき物が収容され、かつ内部と外部とを連通させる複数の貫通孔が少なくとも側面に形成されている筒状のバレルと、前記バレルが浸漬されるめっき液が収納されており、めっき液の液面の上方が開かれているめっき槽と、前記バレルの軸方向周りに該バレルを回転させるようにバレルに連結されている回転装置と、前記バレルに連結されており、該バレルがめっき液の上方に位置している第１の状態と、めっき液にバレルが浸漬されている第２の状態との間でバレルを上下方向に移動させるバレル移動装置とを備えるバレルめっき装置において、前記バレルの軸方向の水平方向に対する角度である軸角度を変化させるように、前記バレルの軸方向一端側に連結されたシリンダーをさらに備えており、前記シリンダーは前記バレルの軸方向が水平方向に延びる状態と、前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜した状態を維持する状態とをとり得るように動作することを特徴とする、バレルめっき装置が提供される。

本発明に係るバレルめっき装置の他の特定の局面では、前記バレルを回転可能に支持するように設けられているバレル支持部材がさらに備えられており、該バレル支持部材が、前記バレルの一端側から他端側に向かって延びる部分を有し、該バレル支持部材の前記バレルの一端側に位置している部分に前記シリンダーが連結されている。
本発明に係るバレルめっき装置のさらに他の特定の局面では、前記バレルの軸方向一端が上方となるようにバレルの軸方向が傾斜されている際のバレルの軸角度が、水平方向に対して５°〜２０°の範囲内の傾斜角度である。

本発明に係る電子部品の製造方法は、本発明に従って構成されたバレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法であって、上記第１の状態とされているバレル内に複数の被めっき物としての複数の電子部品素体と、複数の導電性メディアとを投入する工程と、前記バレルの軸方向を前記第１の状態から前記第２の状態までの間に、前記シリンダーにより前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させるように軸角度を変化させる工程と、前記バレルの軸方向が傾斜された状態を維持した状態で、前記バレル移動装置により前記バレルを下降し、該バレルを前記第２の状態としてめっき液に浸漬する工程と、前記バレルをめっき液に浸漬する工程の後に、めっき液中でのバレルの軸方向を水平方向に戻す工程をさらに備え、前記バレルの軸方向を水平方向に沿うように戻した後に、前記めっき液にバレルが浸漬された状態でバレルを回転させ、バレルめっきを行う工程とを備える、電子部品の製造方法である。

本発明に係る電子部品の製造方法のある特定の局面では、前記バレルの軸角度を傾斜させる工程において、前記バレルの軸角度が５°〜２０°の範囲となるように軸角度が変化される。

本発明に係る電子部品の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記バレルをめっき液に浸漬する工程の次に、めっき液中でバレルの軸角度が０°となるようにバレルの軸方向を水平方向に戻す工程がさらに備えられており、バレルの軸方向を水平方向に沿うように戻した後に、前記バレルめっき工程が行われる。

本発明に係るバレルめっき装置では、バレルの軸方向の水平方向に対する角度である軸角度を変化させるようにバレルに軸角度可変装置が連結されている。従って、バレルめっきに際し、上記軸角度を変化させることができる。

本発明のバレルめっき装置を用いた場合、上記のように軸角度可変装置によりバレルの軸角度を変化させることができるので、それによってバレルをめっき液に浸漬する前にバレルの軸角度を変化させ、バレルの一端側を他端側に対して上方に引き上げて、その状態でめっき液に浸漬することができる。そのため、バレル内の空気を効率良く、かつ確実にバレル外に排出させることができる。従って、バレル内に残存する空気を低減することができる。よって、後述の具体的な実験例から明らかなように、上記空気に由来するめっき不良を低減することができ、めっき膜を形成すべき部分に確実に所望の膜厚のめっき膜を形成することが可能となる。

上記軸角度可変装置が、バレルの軸方向一端側部分を他端側部分に比べて上方に引き上げるようにバレルに連結されたシリンダーであるため、往復駆動源であるシリンダーを駆動するだけで、バレルの軸角度を容易に変化させることができる。また、シリンダーのストロークにより、変化される軸角度が決定されるため、バレルの軸角度を所望の角度となるように確実に変化させることができる。

上記バレルを回転可能に支持する支持部材が備えられており、支持部材のバレルの軸方向一端側においてシリンダーが連結されている場合には、バレルの回転を阻害することなく、バレルの軸角度をシリンダーにより変化させることができる。

本発明に係る電子部品の製造方法では、バレル内に複数の電子部品素体及び導電性メディアを投入した後に、軸角度可変装置によりバレルの軸が傾けられる。そして、バレルの軸が傾けられた状態でバレルがめっき液に浸漬されるため、バレル内の空気が、軸方向が水平方向を向いている場合に比べて、円滑にかつ効率良く排出される。従って、バレルめっき工程において、バレル内に残存している空気が少ないため、該空気に由来するめっき不良を軽減することができる。すなわち、電子部品素体の小型化を進めた場合であっても、めっき膜が形成されるべき部分に所望の膜厚のめっき膜を確実に形成することが可能となる。

本発明に係る電子部品の製造方法において、バレルの軸角度を５°〜２０°となるようにバレルの軸を傾斜させた場合には、電子部品の小型化を進めた場合であっても、めっき膜形成部分により一層確実に所望のめっき膜を形成することができる。

めっき液に浸漬する工程の次に、めっき液中でバレルの軸をほぼ水平に戻す工程をさらに備える場合には、空気がバレルから円滑にかつ確実に排出された後に、バレル軸がほぼ水平に戻されてめっきが行われる。従って、めっきに際してのバレルの回転は、バレルの軸方向が水平方向となるように行われるので、安定にバレルを回転させることができる。

以下、図面を参照しつつ本発明の具体的な実施形態を説明することにより本発明を明らかにする。

図４は、本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置を説明するための略図的正面図である。バレルめっき装置１は、筒状のバレル２を有する。バレル２は、図７に示した従来のバレルめっき装置のバレル１０１と同様に、筒状の形状を有する。本実施形態では、バレル２は、六角筒状の形状を有する。もっとも、バレル２の横断面形状は六角形に限定されず、他の多角形であってもよい。

バレル２の外周側面、すなわち６つの側面には、複数の貫通孔２ａが形成されている。貫通孔２ａは、バレル２の内部とバレル２の外部とを連通させるために設けられている。

なお、貫通孔２ａは、少なくとも側面に形成されておればよい。従って、貫通孔２ａはバレル２の６つの側面の両端に位置している一対の端面にも形成されていてもよい。

他方、バレル２は、支持部材３に回転可能に支持されている。支持部材３は、一対の支持板４，５を有する。支持板４，５は、上下方向に延びるように配置されている。また、支持板４，５には、バレル２を回転可能に支持するために、スリーブ４ａ，５ａが設けられている。スリーブ４ａ，５ａにより、バレル２が回転可能に支持されている。

バレル２は、その軸方向が支持板４，５を結ぶ方向に延びるように配置されている。図４に示すように、初期状態では、支持板４，５は、上下方向に延び、従ってバレル２の軸方向は水平方向に一致している。

他方、スリーブ４ａには、陰極端子６が取り付けられている。陰極端子６は、スリーブ６を経てバレル２内に延ばされている。この陰極端子６は、めっきに際し陽極からの電流を通電させるために設けられており、陰極端子６のバレル内に延びている部分が陰極を構成している。

支持板４とバレル３との間には、歯車７が配置されている。歯車７は、バレル２と一体に回転するようにバレル２に取り付けられており、かつバレル２の軸方向中心を中心にバレル２とともに回転する。また、支持板４，５間には、ロッド８が回転可能に取り付けられている。このロッド８と一体に歯車９が設けられている。歯車９はロッド８とともに回転するように構成されており、かつ前述した歯車７と噛み合わされている。

また、支持板４，５間には、回転装置を構成するモーター１１が取り付けられている。モーター１１の回転軸１２に歯車１３が一体に設けられている。歯車１３は、前述した歯車９に噛み合わされている。従って、モーター１１を動作させ、回転軸１２を回転させた場合、それにともなってバレル２が軸方向周りに回転され得る。

なお、バレル２をその軸方向周りに回転するための回転装置は上記モーター１１、並びに歯車７，９，１３を組み合わせた構造に限定されるものではない。例えば、モーター１１の回転軸を直接バレル２に連結してもよく、また複数の歯車に代えて、無端ベルトなどの動力伝達機構を用いてモーターとバレル２とを連結してもよい。

図４に示すように、上記支持板４，５の上方には、支持板４，５を連結する連結バー１４が架け渡されている。連結バー１４の上方に保持プレート１５が配置されている。保持プレート１５の下面に脚部１５ａ，１５ｂが一体に設けられている。脚部１５ａが支持板４側に、脚部１５ｂが支持板５側に配置されている。また、連結バー１４は、脚部１５ａ，１５ｂに固定されている。

他方、保持プレート１５は、上下方向に延びる保持ロッド１７にピン１６を中心に回転可能に連結されている。保持ロッド１７は、略図的に示す往復駆動源１８に連結されており、往復駆動源１８を駆動することにより、上下方向に移動し得るように構成されている。すなわち、保持ロッド１７及び往復駆動源１８からなるバレル移動装置により、支持部材４，５に支持されたバレル２は、図４に示されている上方に位置している第１の状態と、後述するように下方のめっき液に浸漬された第２の状態との間で移動され得るように構成されている。

往復駆動源１８は、モーターなどの回転駆動源と、回転駆動力を往復駆動力に変化する動力変換機構とを組み合わせたもの、あるいは油圧シリンダーやエアーシリンダーなどの往復駆動源により構成され得る。すなわち、往復駆動源１８の機構は特に限定されるものではない。

また、保持プレート１５の上面には、エアーシリンダー１９のシリンダーロッド１９ａの下端が連結されている。エアーシリンダー１９を駆動することにより、図４に示した初期状態からシリンダーロッド１９ａの一部をシリンダー本体１９ｂ内に引き込んだ状態とすることができる。

図１に示すように、シリンダーロッド１９ａが引き込まれた状態とされると、保持プレート１５がシリンダー本体１９ｂ側に寄せられる。その結果、保持プレート１５が保持ロッド１７に、ピン１６を介して連結されているので、保持プレート１５が、シリンダーロッド１９ａ側において上方に移動し、保持プレート１５の脚部１５ｂ側が上方に引き上げられる。すなわち、保持ロッド１７は上下方向に延びており、保持プレート１５の主面との間の角度θが９０°よりも小さくなる。これにともなって、支持板４，５もまた傾斜し、支持板４，５間に支持されているバレル２の軸方向は、水平方向と角度α＝（９０°−θ）だけ傾斜されることになる。このバレル２の軸方向と水平方向となす角度αを軸角度とする。本実施形態では、この軸角度αが０°よりも大きくなるように、すなわちバレル２の軸方向が水平方向に対して傾斜されることにより、後述するよりにバレル２内の空気を円滑にかつ確実にバレル外に排出させることができる。なお、好ましくは、上記軸角度は５°〜２０°の範囲とされる。軸角度が５°以上の場合には、５°未満の場合に比べて空気を効率良く排出することができる。軸角度が２０°を超えると、空気の排出が悪く、残留する空気量が多くなることがある。

上記支持部材３の下方には、めっき槽２１が配置されている。めっき槽２１内には、めっき液２２が注入されている。なお、めっき槽２１内には図示しない陽極が配置されている。めっき液２２の液面の上方が開かれており、該めっき液２２の上方に上記支持部材３が配置されている。

次に、図１及び図４と、図２，図３並びに図５，図６を参照して、本実施形態のバレルめっき装置を用いて電子部品を製造する方法を説明する。

本実施形態の電子部品の製造方法では、図２に示す電子部品素体３１にめっき膜を形成する。電子部品素体３１は、積層セラミックコンデンサを構成する焼結体３２を有する。焼結体３２内には、内部電極３３ａ〜３３ｉがセラミック層を介して重なり合うように配置されている。内部電極３３ａ，３３ｃ，３３ｅ，３３ｇ，３３ｉが端面３２ａに引き出されており、内部電極３３ｂ，３３ｄ，３３ｆ，３３ｈが端面３２ｂが引き出されている。端面３２，３２ａを覆うように、Ａｇペーストの焼付けにより形成された下地電極層３４ａ，３５ａが形成されている。

多数の電子部品素体３１が前述したバレル２内に投入される。また、上記電子部品素体３１に加えて複数の導電性メディア、例えばスチールボールがバレル２に投入される。他方、電子部品素体３１及び導電性メディアが投入されたバレル２は、初期の第１の状態では、図４に示すように、めっき液２２の上方に配置される。この状態では、支持板４，５は上下方向に延びるように配置されており、バレル２の軸方向の前述した軸角度は０°である。すなわち、バレル２の軸方向は水平方向に延びている。

次に、シリンダー１９を駆動し、シリンダーロッド１９ａの一部を引き込み、保持プレート１５を図１に示すように傾ける。その結果、バレル２の軸角度が０°よりも大きくなるようにバレル２が傾斜される。

次に、往復駆動源１８を駆動し、保持ロッド１７を下方に移動させ、バレル２を下方に移動し、第２の状態とする。

なお、上記バレル２の軸角度を０°よりも大きくなるようにバレル２を傾斜させる工程は、往復駆動源１８によるバレル２の下方への移動に先立って行われている。もっとも、往復駆動源１８によりバレル２を下方に移動させるに際し、同時にシリンダー１８を駆動し、バレル２を傾斜させてもよい。いずれにしても、バレル２がめっき液２２に浸漬される前に、バレル２の軸角度が変化されておればよい。その結果、図５に示すように、バレル２は傾斜された状態でめっき液２に浸漬される。

傾斜された状態でめっき液２２にバレル２が浸漬されると、バレル２内の空気は上方に移動し、貫通孔２ａから外部に排出される。この場合、バレル２が傾斜されていると、図５に示す位置において、バレル２の内、側面の上方に位置する側面部分２ｂが水平方向に対して傾斜しているため、矢印Ａで略図的に示すように空気が傾斜している側面部分２ｂの内側を移動し易くなり、側面部分２ｂに開口している貫通孔２ａから速やかに排出される。

すなわち、側面部分２ｂが水平方向に延ばされている場合には、側面部分２ｂの内面に接触している気泡が移動し難くなり、残存するおそれがある。これに対して、側面部分２ｂが傾斜していると、空気が側面部分２ｂの内面を伝って移動し易くなり、貫通孔２ａから外部に容易に排出される。

次に、図６に示すようにめっき液２２にバレル２が浸漬されている第２の状態においてシリンダー１９を駆動し、ピストンロッド１９ａを当初の状態に復帰させる。その結果、バレル２の軸方向が水平方向に延びるように戻される。そして、この状態で、給電端子６とめっき液に浸漬されている陰極との間に電流を流すことにより、めっきを行うことができる。上記バレル２内の空気の残留が生じ難いため、めっきにより、めっきしたい部分に確実にかつ所望の厚みのめっき膜を形成することができる。

このようにして、図３に示すＮｉめっき膜３４ｂ，３５ｂを形成する。しかる後、めっき液を交換することにより、Ｎｉめっき膜３４ｂ，３５ｂ上に、Ｓｎめっき膜３４ｃ，３５ｃを形成する。従って、図３に示すように、下地電極層３４ａ，３５ａ上に、Ｎｉめっき膜３４ｂ，３５ｂ及びＳｎめっき膜３４ｃ，３５ｃが積層された外部電極３４，３５が形成される。このようにして、積層セラミックコンデンサ３７が得られる。

なお、上記実施形態では、バレルを傾斜させる手段として、シリンダーで一端を引き上げているが、これに限定されるものではない。例えば、サーボモータとボールねじの組み合わせやカム等を用いることが可能である。また、本発明においてめっき膜が形成される電子部品素体は、図２に示した積層セラミックコンデンサ用電子部品素体３１に限定されず、様々な積層セラミック電子部品、あるいは積層セラミック電子部品以外の電子部品を構成する電子部品素体を用いることができる。

さらに、本発明は、下地電極層上に２層のめっき膜を形成する方法に限定されず、電子部品本体の外表面に１層のめっき膜のみが形成されてもよく、３層以上のめっき膜が積層されてもよい。

次に、具体的な実験例につき説明する。図２に示した電子部品素体３１として、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍの寸法のセラミック焼結体を５００個用意した。このセラミック焼結体５００個と、直径５ｍｍの絶縁性粒体７５０個と、直径０．４５ｍｍの球状の導電性メディア１０００個とをバレル２に投入した。使用したバレル２は、横断面が正六角形であり、該正六角形の一辺が４５ｍｍであり、軸方向長さが１４０ｍｍである正六角筒状のバレルである。

上記寸法のバレル２を有するバレルめっき装置において、バレル２をＮｉめっき液に上記軸角度が下記の表１に示す値となるように浸漬し、しかる後、浸漬後にバレル２の軸方向を水平となるように、すなわち軸角度を０°となるようにし、次にバレルを回転しつつ１５０分通電した。このようにして、目標膜厚３．０μｍのＮｉめっき膜の形成を試みた。

上記浸漬に際しての軸角度を下記の表１に示すように種々変更して、上記のようにしてＮｉめっき膜を形成し、得られた積層セラミックコンデンサにめっき不良が発生しているか否かを評価した。めっき不良の評価に際しては、得られた積層セラミックコンデンサにおいてＮｉめっき膜が下地電極層を確実に被覆しているように形成されているか否かを確認することにより行った。下記の表１においては、５００個の積層セラミックコンデンサにおいて、めっき不良が生じた数の割合を示した。

また、上記めっき不良評価に先立ち、浸漬に際しての軸角度を種々変化させてめっきを行った場合、浸漬されているバレル２内の残存している空気の量を測定した。この残存している空気のバレル容積に対する比率をバレル内空気比率として下記の表１に併せて示す。

表１から明らかなように、バレル２を浸漬するに際し、上記軸角度を有するようにすなわちバレル２を傾斜させて浸漬させた場合には、軸角度が０°の場合に比べて、残存している空気を少なくし得ることがわかる。そして、この空気比率が低い場合には、得られた積層セラミックコンデンサにおけるめっき不良も発生していなかった。

これに対して、軸角度が０°の場合には、バレル内空気比率が１．１％と高く、めっき不良が２ｐｐｍの割合で発生した。これは、空気がバレル内に残存した状態でバレル２が回転されるため、投入されている多数の積層セラミックコンデンサの一部には、空気の気泡が付着し、めっき液が付着し難い状態となり、それによってめっき不良が生じたものと考えられる。

従って、上記実験例からも明らかなように、バレル２の軸角度を０°より大きくすることにより、電子部品素体の小型化を進めた場合でも、めっき不良を確実に抑制し得ることがわかる。特に、上記浸漬に際しての軸角度を５°〜２０°の範囲とした場合には、残存空気比率をより一層低めることができ、従ってめっき不良の発生をより効果的に抑制し得ることがわかる。

なお、軸角度が２０°を超えると、残存空気比率が高くなり、やはりめっき不良が生じるおそれがある。従って、好ましくは、上記軸角度は５°〜２５°の範囲とすることが望ましく、より好ましくは５°〜２０°の範囲とすることが望ましい。

本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置においてバレルを水平方向に対して傾斜させた状態を示す略図的正面断面図。 本発明の一実施形態でめっき膜が形成される電子部品素体を説明するための正面断面図。 本発明の一実施形態においてめっき膜が形成された電子部品としての積層セラミックコンデンサを示す正面断面図。 本発明の一実施形態に係るバレルめっき装置において、バレルが傾斜される前の状態を示す正面断面図。 本発明の一実施形態の電子部品の製造方法において、バレルをめっき液に傾斜させた状態で浸漬する工程を説明するための正面断面図。 本発明の一実施形態において、めっき液内においてバレルの軸角度を０に戻しめっきを行う工程を説明するための正面断面図。 従来のバレルめっき装置に用いられるバレルを示す略図的斜視図。

符号の説明

１…バレルめっき装置
２…バレル
２ａ…貫通孔
２ｂ…側面
３…支持部材
４，５…支持板
４ａ，５ａ…スリーブ
７…歯車
８…ロッド
９…歯車
１１…モーター
１２…回転軸
１３…歯車
１４…連結バー
１５…保持プレート
１５ａ，１５ｂ…脚部
１６…ピン
１７…保持ロッド
１８…移動装置
１９…シリンダー
１９ａ…シリンダーロッド
１９ｂ…シリンダー本体
２１…めっき槽
２２…めっき液
３１…電子部品素体
３２…セラミック焼結体
３２ａ，３２ｂ…端面
３３ａ〜３３ｉ…内部電極
３４，３５…外部電極
３４ａ，３５ａ…下地電極層
３４ｂ，３５ｂ…Ｎｉめっき膜
３４ｃ，３５ｃ…Ｓｎめっき膜
３７…積層セラミックコンデンサ

Claims (6)

1. 内部に複数の被めっき物が収容され、かつ内部と外部とを連通させる複数の貫通孔が少なくとも側面に形成されている筒状のバレルと、
   前記バレルが浸漬されるめっき液が収納されており、めっき液の液面の上方が開かれているめっき槽と、
   前記バレルの軸方向周りに該バレルを回転させるようにバレルに連結されている回転装置と、
   前記バレルに連結されており、該バレルがめっき液の上方に位置している第１の状態と、めっき液にバレルが浸漬されている第２の状態との間でバレルを上下方向に移動させるバレル移動装置とを備えるバレルめっき装置において、
   前記バレルの軸方向の水平方向に対する角度である軸角度を変化させるように、前記バレルの軸方向一端側に連結されたシリンダーをさらに備えており、前記シリンダーは前記バレルの軸方向が水平方向に延びる状態と、前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜した状態を維持する状態とをとり得るように動作することを特徴とする、バレルめっき装置。
2. 前記バレルを回転可能に支持するように設けられているバレル支持部材をさらに備え、該バレル支持部材が、前記バレルの一端側から他端側に向かって延びる部分を有し、該バレル支持部材の前記バレルの一端側に位置している部分に前記シリンダーが連結されている、請求項１に記載のバレルめっき装置。
3. 前記バレルの軸方向一端が上方となるようにバレルの軸方向が傾斜されている際のバレルの軸角度が、水平方向に対して５°〜２０°の範囲内の傾斜角度である、請求項１または２に記載のバレルめっき装置。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載のバレルめっき装置を用いた電子部品の製造方法であって、
   前記第１の状態とされている前記バレル内に複数の被めっき物としての複数の電子部品素体と、複数の導電性メディアとを投入する工程と、
   前記バレルの軸方向を前記第１の状態から前記第２の状態までの間に、前記シリンダーにより前記バレルの軸方向を水平方向に対して傾斜させるように軸角度を変化させる工程と、
   前記バレルの軸方向が傾斜された状態を維持した状態で、前記バレル移動装置により前記バレルを下降し、該バレルを前記第２の状態としてめっき液に浸漬する工程と、
   前記バレルをめっき液に浸漬する工程の後に、めっき液中でのバレルの軸方向を水平方向に戻す工程をさらに備え、
   前記バレルの軸方向を水平方向に沿うように戻した後に、前記めっき液にバレルが浸漬された状態でバレルを回転させ、バレルめっきを行う工程とを備える、電子部品の製造方法。
5. 前記バレルの軸角度を変化させる工程において、前記バレルの軸角度が５°〜２０°の範囲となるように軸角度を変化させることを特徴とする、請求項４に記載の電子部品の製造方法。
6. 前記バレルをめっき液に浸漬する工程の次に、めっき液中でバレルの軸角度が０°となるようにバレルの軸方向を水平方向に戻す工程をさらに備え、バレルの軸方向を水平方向に沿うように戻した後に、前記バレルめっき工程を行う、請求項４または５に記載の電子部品の製造方法。

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