JP4715432B2 - ハイブリッドレーザ加工方法とその装置 - Google Patents
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Description
このハイブリッドレーザ加工装置のノズルは消耗品であって、加工ヘッドに交換可能に設けられており、しかも上記ノズルはOリングなどのシール手段を介して加工ヘッドの内部の液体通路が液密になるように所定位置に装着されている。
こうした従来の装置においては、被加工物を切断する際の切断幅を小さくするために、ノズルから噴射する液柱の径を細くする必要がある。
また、従来の装置においては、ノズルから噴射する液柱を安定して細長い直線状にするために、液体供給源から加工ヘッド内に高い圧力の液体を供給している。
そのため、切断加工前にノズルの中心とレーザ光の光軸を合わせておいても切断加工終了後に被加工物を取り替える場合など一旦加工ヘッドへの液体の送液を停止して噴射を停止した後、再び加工ヘッドへ液体を送液して切断加工を再開する際にノズルに送液停止前とは異なる位置ずれが生じて、レーザ光がノズル内における所定の光路からはずれてノズルが損傷するという問題が生じる。
このような問題点を解消するためには、切断加工を開始してから終了するまで、常に加工ヘッド内を加圧しておくようにすればいい。
そのためには、例えば高圧ポンプによって加工ヘッドへ常に送液してやればよい。しかしながら、高圧ポンプを用いて液体を加工ヘッド内に給送すると、ポンプから送液される液体の脈動によってノズルから噴射される液柱にも脈動が生じることになり、このような脈動のある液柱を被加工物に噴射しながら加工を施すと、加工精度が悪くなるという欠点がある。
少なくとも上記被加工物にレーザ光を照射して加工している期間では上記ポンプとアキュムレータとの連通を阻止して、上記アキュムレータのみから加工ヘッドへ液体を供給し、
被加工物にレーザ光を照射せず加工を行わない期間に上記ポンプとアキュムレータを連通させて該アキュムレータに液体を充填するとともに、上記ポンプと加工ヘッドを連通させて加工ヘッドには常時高圧の液体を供給するようにしたものである。
また、請求項3に記載した第2の本発明は、高圧の液体を送液するポンプと、このポンプから送液された液体を貯溜するとともに貯溜した液体を吐出するアキュムレータと、内部に高圧の液体が供給される液体通路が構成されて、この液体通路から液体を液柱状にして被加工物に向けて噴射させるとともに上記液柱状の液体内を通過したレーザ光を被加工物に照射させる加工ヘッドと、この加工ヘッドと被加工物を相対移動させる移動手段と、上記ポンプ、アキュムレータおよび移動手段の作動を制御する制御装置とを備えて、被加工物に所要の加工を施すようにしたハイブリッドレーザ加工装置において、
上記制御装置は、レーザ光を被加工物に照射して加工を行う期間では上記ポンプとアキュムレータとの間に設けた開閉弁を閉鎖させてポンプとアキュムレータの連通を阻止して、アキュムレータのみから加工ヘッドへ液体を供給させ、
レーザ光を被加工物に照射せず加工を行わない期間に上記開閉弁を開放させて、上記ポンプとアキュムレータおよび上記ポンプと液体通路とを連通させ、該アキュムレータに液体を充填させるとともに、上記加工ヘッドには常時高圧の液体を供給するようにしたものである。
また、加工ヘッド内には常にポンプあるいはアキュムレータからの液圧が作用しているので、液圧の変動によって加工ヘッドに取り付けられたノズルが位置ずれすることがない。
したがって、レーザ光によってノズルが損傷するのを防止することができる。
ハイブリッドレーザ加工装置1は、上記被加工物3を保持する加工テーブル4と、レーザ光Lを発振するレーザ発振器5と、被加工物3に向けて高圧水を液柱Wにして噴射し、かつ上記液柱Wにレーザ光Lを導光してから被加工物3に照射する上記加工ヘッド2と、高圧水を上記加工ヘッド2内へ供給する液体供給手段6とを備えており、これらは図示しない制御装置によって作動を制御されるようになっている。
ハイブリッドレーザ加工装置1は、被加工物3として薄板状の半導体ウエハを切断加工するものであり、この他にもエポキシ樹脂板や樹脂と金属からなる複合材料なども切断加工することができる。また、ハイブリッドレーザ加工装置1は、切断加工や穴明け加工のほかにも、被加工物3の表面に対して溝加工を行うことも可能である。そして、本実施例においては、半導体ウエハ3をダイシングして複数の方形の半導体チップに分割するものであり、図2に示したように、縦横それぞれにおける複数の平行な2点鎖線がそれぞれ切断予定線S1、S2、S3……となる。
図2に平面図として示したように、被加工物3としての略円形の半導体ウエハはレーザ光Lおよび液体を透過する粘着シート3A上に貼りつけられており、この粘着シート3Aはウエハリング3Bの下面に張設されている。
このウエハリング3Bを加工テーブル4側のX軸テーブル4Aの上面4aに設けられたリング支持部4Cに固定することで、被加工物3としての半導体ウエハを加工テーブル4上にセットするようになっており、半導体ウエハ3はウエハリング3Bとともに加工テーブル4に対して搬出入されるようになっている。
加工テーブル4上にセットされた被加工物3は、X軸テーブル4AおよびY軸テーブル4Bが図示しない移動機構によって水平面のX軸方向およびY軸方向に移動されることに伴って水平方向に移動されるようになっている。上記移動機構は図示しない制御装置によって作動を制御されるようになっている。
レーザ発振器5と加工ヘッド2との間には、レーザ光Lを遮断するシャッタ7と、レーザ光Lを加工ヘッド2に向けて反射させる反射ミラー8と、レーザ発振器5から照射されたレーザ光Lを集光する集光レンズ9とが設けられている。
上記シャッタ7は上記制御装置によって作動を制御されるようになっており、このシャッタ7は、図示しない駆動手段によってレーザ光Lの光路上と光路外とを往復動する反射ミラー7Aと、この反射ミラー7Aによって反射したレーザ光Lのエネルギーを吸収するダンパ7Bとを備えている。
上記反射ミラー7Aをレーザ光Lの光路上に位置させると、レーザ光Lはこの反射ミラー7Aに反射され、そのレーザ光Lのエネルギーが上記ダンパ7Bに吸収されるようになっている。
一方、反射ミラー7Aをレーザ光Lの光路外に移動させると、レーザ光Lは上記反射ミラー8で反射された後、集光レンズ9により収束されて上記加工ヘッド2へと導入される。
なお、レーザ発振器5としてこの他にも半導体レーザやCO2レーザ発振器等を用いることも可能であるが、CO2レーザ発振器のように発振されるレーザ光Lが水に吸収されやすい波長である場合には、加工ヘッド2より噴射される液体をレーザ光Lが吸収されにくい液体にすればよい。
本実施例においては上記レーザ発振器5と、上記シャッタ7と、上記反射ミラー8と、上記集光レンズ9とによってレーザ光導光手段12を構成しており、このレーザ光導光手段12は、図示しない固定フレームに設けられている。
上記ハウジング13はレーザ光Lの光路となる上下方向の段付貫通孔を有しており、この段付貫通孔には下端に大径部13Aとその上に小径部13B、さらにその上に中径部13Cが設けられている。段付貫通孔の中径部13Cには下端に液密を保持して透明なガラス板17を嵌着している。中径部13Cの段部端面に形成した環状溝に環状のシール部材23を装着してあり、このシール部材23にガラス板17の下面を密着させている。これにより、ガラス板17と中径部13との間の液密が保持されている。
上記大径部13Aの段部上端の高さでハウジング13に横方向の貫通孔13Dを2箇所形成し、貫通孔13Dと大径部13Aが連通するようにしている。この貫通孔13Dのハウジング13の側面13Eにおける開口部は後述する導管18が接続される接続口13Fとしている。
上記ノズルホルダ14は、段付筒状に形成され、ハウジング13の大径部13Aに下方側から液密を保持して嵌着されハウジング13の底面に当接させて連結している。このノズルホルダ14の中心部には段付貫通孔が形成され、上端から大径部14A、小径部14B、中径部14Cが設けられ、大径部14A、小径部14Bの内部空間が液体通路を形成している。ノズルホルダ14の上面には放射状に複数の溝14Dが形成され、ハウジング13の段付貫通孔の大径部13Aの段部上端面との間に液体通路を形成している。
また、ノズルホルダ14の段付貫通孔の中径部14Cの下端部の内周面は、下方部が拡径するテ―パ面14Eとしている。このテ―パ面14Eとそれに対向するノズル15の外周面とノズル押え16の上面とで形成される環状の空間部内にゴム製のOリング22を圧縮変形させた状態で装着している。これにより、ノズル15の外周部の液密を保持して下方へ水が漏れるのを防止している。そして、集光レンズ9によって収束された後のレーザ光Lがガラス板17および液体通路19内の水を通過してから噴射孔15Aを通過し、さらに液柱Wとなった水を通過して被加工物3に照射されるようになっている。
上記ノズル15はボルト21をゆるめてノズル押え16を取り外すことによって容易に別のノズルと交換できるようになっており、所要に応じて噴射孔15Aの径が異なるものと交換したり、噴射孔15Aが消耗や損傷したような場合にも交換することができるようになっている。
そして、上述した加工ヘッド2は、図示しない昇降機構および水平移動機構に設けられ、レーザ光導光手段12によってガラス板17から導入されるレーザ光Lがノズル15の噴射孔15Aに導入されるように、加工ヘッド2の位置を調整できるようになっている。
また、加工テーブル4には軸心合せ用のモニター20を配置してあり、このモニター20は加工テーブル4と一体となって移動されるようになっている。上記ノズル15から水を噴射して液柱Wを形成している状態において、レーザ光Lを液柱Wに透過させて、ノズル15の軸心とレーザ光Lの軸心合せの作業を行う際に、上記モニター20によって液柱Wを透過してきたレーザ光Lを検出して、該レーザ光Lのエネルギーが最大となった際にノズル15とレーザ光Lの軸心が一致したと判定するようになっている。
上記貯水タンク24は給水源26に接続される導管27から水が供給されるようになっており、導管27には、給水源26からの水の供給を制御する開閉弁28と、給水源26から供給される水に含有される異物を除去するフィルタ31とを備えている。
上記ポンプ25と加工ヘッド2とを接続する導管18には、上流側のポンプ25側から順に、ポンプ25への水の逆流を防止する逆止弁32、上記制御装置によって開閉作動を制御される電磁開閉弁33、ポンプ25から送液される水を貯溜するとともにポンプ25からの圧力を蓄圧するアキュムレータ34、および水内の異物を除去するフィルタ35が設けられている。
従来公知のとおり、アキュムレータ34は、その内部に封入しているガス圧を変更することで蓄圧力を調整できるものである。
制御装置によってポンプ25が作動され、かつ電磁開閉弁33が開放された状態では、ポンプ25から送液された所定液圧の高圧水は導管18と加工ヘッド2内の液体通路19を介してノズル15から被加工物3へ液柱Wとなって噴射されるとともに、ポンプ25から送液された高圧水はアキュムレータ34内に充填されるようになっている。これは、ノズル15の噴射孔15Aの最小径が50μm以下と極端に小さいために液体通路19への高圧水の供給量に対して噴射孔15Aから外部へ放出される高圧水の排出量が少ないためである。
上記電磁開閉弁33が閉鎖されたときなどにポンプ25から吐出される高圧水を貯水タンク24に戻すことができるようになっている。また、圧力調整弁41はポンプ25から加工ヘッド2までの導管18内部の高圧水の圧力を一定に保つために設けられている。
このような液体供給手段6は、制御装置によって切断加工などにおいてノズル15の噴射孔15Aの大きさと噴射圧力と加工時間から水の排出量が算出でき、アキュムレータ34とポンプ25の連通を阻止した状態でのアキュムレータ34内の貯水量が求められることから、その貯水量が予め設定した下限量より減少しないように制御される。即ち、アキュムレータ34内の貯水量が減少するとアキュムレータ34のみからの吐出圧力が弱くなるが、そのアキュムレータ34のみからの吐出圧力が加工時に最低限必要とされる圧力よりも低くならないように、電磁開閉弁33の閉鎖時間が制御される。
すなわち、上記ハイブリッドレーザ加工装置1によって順次被加工物3としての各半導体ウエハに対して縦横の切断予定線S1〜S3……上を切断加工することで、多数の方形の半導体チップを切り出す場合の加工工程を説明する。
この場合、加工テーブル4に被加工物3がセットされた状態において、制御装置は先ず加工テーブル4を移動して加工ヘッド2の下方にモニター40を位置させるとともに電磁開閉弁33を開放させてからポンプ25を作動させる(図4のS1参照)。すると、ポンプ25から送液された高圧水はアキュムレータ34に充填され始めるとともに、ポンプ25から送液された高圧水は導管18を介して加工ヘッド2の液体通路19内に供給されて、該液体通路19内が高圧水で充填される。このように液体通路19内に充填された高圧水は、ノズル15の噴射孔15Aから下方に向けて液柱Wとなって噴射され、その噴射状態が維持される。
その後、ノズル15から噴射される液柱Wの直線状態が安定したら、制御装置はレーザ発振器5を作動させる(図4のS3)。なお、このとき、シャッタ7の反射ミラー7Aはレーザ光Lの光路外に後退されている。そのため、レーザ発振器5から発振されたレーザ光Lは、反射ミラー8に反射された後に集光レンズ9によって収束されてガラス板17を介して加工ヘッド2内に導入される。これにより、液柱W内にレーザ光Lが導光される(図1、図4のS3)。
このようにして、レーザ光Lの光軸と液柱Wの軸心とを一致させたら、制御装置は一旦、シャッタ7の反射ミラー7Aを光路上に位置させてレーザ光Lが加工ヘッド2へ導入されるのを阻止する。これにより、加工ヘッド2へのレーザ光Lの導入が停止されるが、ノズル15からは液柱Wが継続して噴出している状態となっている。そして、この状態において、加工テーブル4のX軸テーブル4A、Y軸テーブル4Bを図示しない移動機構により移動させることで、ノズル15の軸心を被加工物3における最初の切断予定線S1の延長線上となる移動開始点P0の直上まで相対移動させる(図1、図2、図4のS5参照)。
このように電磁開閉弁33を閉鎖してアキュムレータ34のみから高圧水を加工ヘッド2内へ送液して、液柱Wを切断予定線S1の移動開始点P0に噴射させた状態において、制御装置はシャッタ7の反射ミラー7Aをレーザ光Lの光路外に後退させることにより、レーザ光Lが加工ヘッド2内へ導光され、さらに液体通路19を通過して液柱Wに導光されてからその内部を通過して被加工物3の移動開始点P0に照射される。
さらに、切断予定線S2における移動開始点P2から切断予定線S2の左端の移動終了点まで相対移動させることにより被加工物3の切断予定線S2が直線状に切断される(図4のS6)。
これにより、被加工物3に対する全ての切断加工が終了したことになるので、制御装置はシャッタ7の反射ミラー7Aをレーザ光Lの光路上に位置させて、レーザ光Lが加工ヘッド2へ導入されるのを阻止する(図4のS7)。
次に、このようにレーザ光Lを加工ヘッド2に導光していない間は、被加工物3に対して切断加工を行わない期間となるので、上述したようにシャッタ7によってレーザ光Lを遮断した直後に制御装置は電磁開閉弁33を開放させる(図4のS8)。これにより、ポンプ25とアキュムレータ34とが連通して、ポンプ25から送液される高圧水がアキュムレータ34に充填されるとともに加工ヘッド2の液体通路19にも供給される。
この状態となったら、加工テーブル4上から加工後の被加工物3(製品)を搬出し、第2の新たな被加工物3を搬入して加工テーブル4上にセットする(図4のS10)。
この状態において、移動機構によって加工テーブル4を移動させることで、上記ノズル15を第2の新たな被加工物3における加工予定線S1の延長線上となる移動開始点P0の直上まで相対移動させる(図1、図2、図4のS11参照)。
また、この直後に制御装置はシャッタ7の反射ミラー7Aをレーザ光Lの光路外に後退させるので、レーザ光Lが加工ヘッド2内へ導光される。これにより、レーザ光Lは加工ヘッド2に導入されて液柱Wに導光されてからその内部を通過して被加工物3の切断予定線S1における移動開始点P0に照射され、加工テーブル4の移動により切断予定線S1の切断加工が開始される。
この後、上述した最初の被加工物3に対する切断加工工程と同様にして、第2の被加工物3に向けて液柱Wを噴射しながらレーザ光Lを切断予定線S2,S3……上に照射させて、該被加工物3から多数の半導体チップが切り出される。
また、切断予定線S1、S2、S3……を順次切断加工している途中で、アキュムレータ34内に貯溜される貯溜水量が下限量より減少する場合には、移動開始点や移動終了点で工程の進行を停止して、電磁開閉弁33を一旦開放しアキュムレータ34に高圧水を充填するようにしても良い。つまり、これらの場合も、レーザ光Lを被加工物3に照射しないで切断加工をしていないときに電磁開閉弁33を開放することになるものである。
このため液体通路19内に常に圧力が掛かっているため、Oリング22に作用する液圧が変動することがない。そのため、Oリング22を介して保持されているノズル15の軸心の位置ずれが生じないので、ノズル15の軸心とレーザ光Lの光軸がずれることを良好に防止できる。そのため、レーザ光Lによってノズル15が損傷することを防止できる。
しかも、被加工物3に切断加工を施している間は、アキュムレータ34だけから加工ヘッド2の液体通路19に高圧水を供給しているので、加工ヘッド2から被加工物3の加工部分へ噴射される液柱Wにはポンプ25の脈動が伝達されず、高精度な切断加工を行うことができる。
したがって、本実施例によれば、ノズル15の損傷を防止して該ノズル15の寿命を長くすることができ、しかも加工精度が高いハイブリッドレーザ加工装置およびハイブリッドレーザ加工方法を提供することができる。
3…被加工物 25…ポンプ
33…電磁開閉弁 34…アキュムレータ
S1〜S3…切断予定線 L…レーザ光
W…液柱
Claims (4)
- 高圧の液体を送液するポンプと、このポンプから送液された液体を貯溜するとともに貯溜した液体を吐出するアキュムレータと、液体を液柱状にして被加工物に向けて噴射させるとともに上記液柱状の液体内を通過したレーザ光を被加工物に照射させる加工ヘッドとを備えて、上記加工ヘッドと被加工物とを相対移動させることにより、被加工物に所要の加工を施すようにしたハイブリッドレーザ加工方法において、
少なくとも上記被加工物にレーザ光を照射して加工している期間では上記ポンプとアキュムレータとの連通を阻止して、上記アキュムレータのみから加工ヘッドへ液体を供給し、
被加工物にレーザ光を照射せず加工を行わない期間に上記ポンプとアキュムレータを連通させて該アキュムレータに液体を充填するとともに、上記ポンプと加工ヘッドを連通させて加工ヘッドには常時高圧の液体を供給することを特徴とするハイブリッドレーザ加工方法。 - 上記アキュムレータのみからの吐出圧力が所定の圧力よりも低くならないようにポンプとアキュムレータの連通を阻止する時間を制御したことを特徴とする請求項1に記載のハイブリッドレーザ加工方法。
- 高圧の液体を送液するポンプと、このポンプから送液された液体を貯溜するとともに貯溜した液体を吐出するアキュムレータと、内部に高圧の液体が供給される液体通路が構成されて、この液体通路から液体を液柱状にして被加工物に向けて噴射させるとともに上記液柱状の液体内を通過したレーザ光を被加工物に照射させる加工ヘッドと、この加工ヘッドと被加工物を相対移動させる移動手段と、上記ポンプ、アキュムレータおよび移動手段の作動を制御する制御装置とを備えて、被加工物に所要の加工を施すようにしたハイブリッドレーザ加工装置において、
上記制御装置は、レーザ光を被加工物に照射して加工を行う期間では上記ポンプとアキュムレータとの間に設けた開閉弁を閉鎖させてポンプとアキュムレータの連通を阻止して、アキュムレータのみから加工ヘッドへ液体を供給させ、
レーザ光を被加工物に照射せず加工を行わない期間に上記開閉弁を開放させて、上記ポンプとアキュムレータおよび上記ポンプと液体通路とを連通させ、該アキュムレータに液体を充填させるとともに、上記加工ヘッドには常時高圧の液体を供給することを特徴とするハイブリッドレーザ加工装置。 - 上記制御装置はアキュムレータのみからの吐出圧力が所定の圧力よりも低くならないようにポンプとアキュムレータとの間に設けた開閉弁の閉鎖時間を制御したことを特徴とする請求項3に記載のハイブリッドレーザ加工装置。
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Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5147445B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2013-02-20 | 株式会社スギノマシン | 噴流液柱内に導かれたレーザー光によるレーザー加工装置 |
JP2009241119A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 結晶性材料の割断方法及びその装置 |
JP5072691B2 (ja) * | 2008-04-04 | 2012-11-14 | 株式会社片岡製作所 | レーザ光の出力計測方法、出力計測装置 |
JP5501099B2 (ja) * | 2010-06-03 | 2014-05-21 | 株式会社ディスコ | レーザ加工装置 |
JP5501098B2 (ja) * | 2010-06-03 | 2014-05-21 | 株式会社ディスコ | レーザ加工装置 |
JP5220914B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2013-06-26 | 株式会社スギノマシン | レーザー加工装置 |
JP6139918B2 (ja) * | 2013-03-06 | 2017-05-31 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工機 |
JP6490206B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-03-27 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械 |
EP3300833B1 (en) * | 2016-10-03 | 2019-11-27 | Synova SA | Device for generating a jet of liquid |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03271013A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-03 | Nissan Motor Co Ltd | 複合液圧回路の液圧供給装置 |
JPH06143145A (ja) * | 1992-11-04 | 1994-05-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | アブレイシブウォータージェット装置の高圧水通路構造 |
JPH06179014A (ja) * | 1992-12-10 | 1994-06-28 | Nireco Corp | スケール除去装置 |
JPH0740297A (ja) * | 1993-05-27 | 1995-02-10 | Daikin Ind Ltd | ウォータジェット式切断装置 |
JP2001321977A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ハイブリッド加工装置 |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005289259A patent/JP4715432B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03271013A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-03 | Nissan Motor Co Ltd | 複合液圧回路の液圧供給装置 |
JPH06143145A (ja) * | 1992-11-04 | 1994-05-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | アブレイシブウォータージェット装置の高圧水通路構造 |
JPH06179014A (ja) * | 1992-12-10 | 1994-06-28 | Nireco Corp | スケール除去装置 |
JPH0740297A (ja) * | 1993-05-27 | 1995-02-10 | Daikin Ind Ltd | ウォータジェット式切断装置 |
JP2001321977A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ハイブリッド加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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