JP4710576B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4710576B2 JP4710576B2 JP2005351221A JP2005351221A JP4710576B2 JP 4710576 B2 JP4710576 B2 JP 4710576B2 JP 2005351221 A JP2005351221 A JP 2005351221A JP 2005351221 A JP2005351221 A JP 2005351221A JP 4710576 B2 JP4710576 B2 JP 4710576B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- light
- shielding film
- metal light
- light shielding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
上記スイッチング素子14のゲートG(図9参照)は上記ゲート配線Yに接続され、ドレインDは上記信号配線Xに接続され、ソースSは上記画素電極10に接続される。図8中では、一部の画素では回路構成が示され、他の一部の画素では回路部品の配列位置が示されている。
この場合、上述したように、第1の金属遮光膜42を設けてあるとはいえ、侵入光L1を十分に遮断することができず、この侵入光L1の一部が内部を反射してスイッチング素子14まで到達して光キャリアを発生する場合があった。
ここで、上記の遮光用絶縁膜50の厚さH1は、青色光の400nm以下に設定しておけば遮光用絶縁膜50内に入射する光の波は、上下方向については金属に吸収、又は反射されてしまうために遮光効果を最も高くすることが出来る。当然、第1の金属遮光膜42と、第2の金属遮光膜52とは絶縁する必要があるので、歩留まりを考慮した上で上記遮光用絶縁膜50の膜厚H1を400nm以下の範囲で設定する。
このため、画素電極10の画素間隙20からスイッチング素子14に侵入してくる大部分の光をカットすることができ、光によるリーク電流を防止することが出来る。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、金属遮光膜間のショートの発生を防止することにより、製品の歩留まりを大幅に向上させることが可能な液晶表示装置及びその製造方法を提供することにある。
この場合、例えば請求項2に規定するように、前記第1の金属遮光膜が形成されている領域において、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜との間には前記遮光用絶縁膜のみが介在しており、かつ、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜との間に介在する前記遮光用絶縁膜の厚さは、前記侵入光の波長以下である。
この場合、例えば請求項4に規定するように、前記遮光用絶縁膜形成工程において、前記第1の金属遮光膜の表面上における前記遮光用絶縁膜の厚さを、前記透明基板側から前記画素間隙に入射する侵入光の波長以下にする。
第1の金属遮光膜の周辺部の側壁にサイドウォールを形成することにより、これと第2の金属遮光膜との間のショートの発生を防止することができるので、製品の歩留まりを高く維持できると共に、画素電極の耐圧性も高く維持でき、高歩留り化による低コスト化を実現することが出来る。このため、遮光用絶縁膜の膜厚を従来よりも薄くすることができる。
さらに光リークを低減することが出来ると同時に保持容量値を大きくすることができることから、フリッカーや焼き付きを低減できると共に、寄生容量に関係するクロストークやフィードスルーなどのアナログ特性を改善することが出来る。
図1は本発明に係る液晶表示装置の第1実施例の一画素を中心にして示す断面図、図2は本発明装置の第1実施例におけるサイドウォールの作用を説明するための部分拡大図、図3及び図4は本発明装置の第1実施例の製造過程を示す工程図である。尚、図8〜図10に示す構成部分と同一の構成部分については同一符号を付してある。
すなわち、図1に示すように、この液晶表示装置は、複数の反射型の画素電極10が所定の画素間隙20を隔ててマトリクス状に表面に形成された半導体基板である第1の基板24と、表面に透明電極12が全画素に亘って共通に形成された透明基板である第2の基板26と、上記画素電極10と透明電極12との間に封入された液晶28とにより主に構成されている。ここで1つの画素電極10に相当する部分が1画素Pxに対応する。
ここで、上記の遮光用絶縁膜50の厚さH1は、青色光の400nm以下に設定しておけば遮光用絶縁膜50内に入射する光の波は、上下方向については金属に吸収、又は反射されてしまうために遮光効果を最も高くすることが出来る。当然、第1の金属遮光膜42と、第2の金属遮光膜52とは絶縁する必要があるので、歩留まりを考慮した上で上記遮光用絶縁膜50の膜厚H1を400nm以下の範囲で設定する。
このため、画素電極10の画素間隙20からスイッチング素子14に侵入してくる大部分の光をカットすることができ、光によるリーク電流を防止することが出来る。
図2(A)は比較のために図10に示す第1の金属遮光膜の周辺部の拡大図であり、図2(B)は本発明装置の第1の金属遮光膜の周辺部の拡大図である。実際の装置では、上記第1の金属遮光膜42の上面及び下面には、それぞれTiN膜よりなる反射防止膜60A及びバリヤメタル60Bが形成されている。
図2(A)に示すように、従来の装置では、第1の金属遮光膜42のパターン形成された側壁の角部分Aにおいて、遮光用絶縁膜50の厚さH1を400nm以下(例えば200nm)に薄く設定しているため、第2の金属遮光膜44とショートしそうになっていることがわかる。
これによって、TiN膜よりなる反射防止膜60Aがひさしの形状になってカバレッジが劣化し、このひさし部分が第2の金属遮光膜44とショートを引き起こし易くなる。
次に、図3(B)に示すように、SiO2 膜よりなる酸化膜64を例えば500nmの厚さでCVD法にて成膜する。
次に、図3(E)に示すように、TiNを70nm成膜し、これをパターニングすることによって第2の金属遮光膜52を形成する。
次に、図4(B)に示すように、第1の金属遮光膜42、第2の金属遮光膜52及び画素電極10を接続するための接続孔66をパターニングとエッチングを用いて形成する。
次に、図4(D)に示すように、画素電極をスパッタ、パターニング、エッチング等を用いて形成する。
以上の各工程により、実質的に第1の基板24が完成されることになる。その後は、図1に示すように、この第1の基板24と、上記透明電極12を有する第2の基板26とを対向させて、両基板間に液晶28を封入することにより液晶表示装置が完成されることになる。
そして、図5(B)に示すように、外部からの信号を供給するためのフレキシブルプリント配線板80が外部接続端子78に接続されており、外部信号は、このフレキシブルプリント配線板80に設けられた外部入力端子82から入力されるようになっている。
次に本発明方法の第2実施例について説明する。
先の第1実施例においては、画素電極10とメタル膜42Aとは埋め込み配線48により、直接的に電気的に接続するようにしたが、この第2実施例では、画素電極10とメタル膜42Aとは、埋め込み配線48と第2の金属遮光膜12とを介して電気的に接続するように構成している。
図6及び図7は上記のような本発明方法の第2実施例の製造工程を示す工程図である。尚、図1乃至図4に示した構成部分と同一構成部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
次に、図7(A)に示すように、第2の金属遮光膜52と画素電極10とを接続するための接続孔66をパターニングとエッチングを用いて形成する。
次に、図7(C)に示すように、画素電極をスパッタ、パターニング、エッチング等を用いて形成する。これにより、画素電極10が、埋め込み配線48、第2の金属遮光膜52を介してメタル膜42Aに接続される。
以上の各工程により、実質的に第1の基板24が完成されることになる。その後は、図1に示すように、この第1の基板24と、上記透明電極12を有する第2の基板26とを対向させて、両基板間に液晶28を封入することにより液晶表示装置が完成されることになる。
さらに光リークを低減することが出来ると同時に保持容量値を大きくすることができることから、フリッカーや焼き付きを低減できると共に、寄生容量に関係するクロストークやフィードスルーなどのアナログ特性を改善することが出来る。
この他に本発明を用いて、従来と同じ画素数の反射型の液晶表示装置を作成すれば、画面サイズを小さくすることが出来るためチップサイズが小さくなり、例えば1枚のウエハサイズから切り出す反射型の液晶表示装置用のチップ数が多くなるために、大幅なコストダウンが可能になる。なお、反射型の液晶表示装置の画面サイズが小さくなれば、光学系やランプなどを小さくすることが可能になるために、プロジェクターシステムの小型化や、低コスト化、軽量化が同時に可能になるため、大幅な高性能化が可能になる。
Claims (4)
- 所定の画素間隙をもってマトリクス状に複数個配列された反射型の画素電極が絶縁層を介してその表面上に形成された半導体基板と、
前記画素電極と所定の間隙を有して対向する透明電極がその表面上に形成された透明基板と、
前記所定の間隙に充填された液晶と、
前記絶縁層内の少なくとも前記画素間隙を含む領域に形成され、前記透明基板側から前記画素間隙に入射した侵入光を遮断すると共に前記画素電極とは絶縁された所定の厚さを有する第1の金属遮光膜と、
前記第1の金属遮光膜の側壁のみに形成され、前記透明基板側から前記半導体基板側に向かって円弧状に幅広になる断面形状を有する絶縁材料からなるサイドウォールと、
前記サイドウォールを覆うように前記第1の金属遮光膜の表面に形成された所定の厚さを有する遮光用絶縁膜と、
前記遮光用絶縁膜の表面に形成された第2の金属遮光膜と、
を有することを特徴とする液晶表示装置。 - 前記第1の金属遮光膜が形成されている領域において、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜との間には前記遮光用絶縁膜のみが介在しており、かつ、前記第1の金属遮光膜と前記第2の金属遮光膜との間に介在する前記遮光用絶縁膜の厚さは、前記侵入光の波長以下であることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。
- 所定の画素間隙をもってマトリクス状に複数個配列された反射型の画素電極を有すると共に前記画素電極に電源を供給するスイッチング素子がその表面に形成された半導体基板と、前記画素電極と所定の間隙を有して対向する透明電極がその表面上に形成された透明基板と、前記所定の間隙に充填された液晶とを有する液晶表示装置の製造方法において、
前記半導体基板の表面に、前記スイッチング素子と接続する第1の配線層を形成する第1配線層形成工程と、
前記第1の配線層を覆って、前記半導体基板の表面全体に第1の絶縁層を形成する第1絶縁層形成工程と、
前記第1の絶縁層の所定位置に、前記第1の配線層の表面が露出するように第1の接続穴を形成する第1接続穴形成工程と、
前記第1の絶縁層の表面上に、所定のパターン形状及び所定の厚さを有する第1の金属遮光膜と、前記第1の金属遮光膜と所定の間隙を有すると共に前記第1の接続穴を埋めて前記第1の配線層と接続する第2の配線層とを形成する第1金属遮光膜形成工程と、
前記第1の金属遮光膜を覆う絶縁膜を形成した後に前記絶縁膜をエッチバックして、前記第1の金属遮光膜の表面を露出させると共に前記第1の金属遮光膜の側壁のみに前記第1の金属遮光膜の表面側から反対側の裏面側に向かって円弧状に幅広になる断面形状を有するサイドウォールを形成するサイドウォール形成工程と、
前記サイドウォールを覆うように前記第1の金属遮光膜の表面に所定の厚さを有する遮光用絶縁膜を形成する遮光用絶縁膜形成工程と、
前記遮光用絶縁膜の表面上に所定のパターン形状を有する第2の金属遮光膜を形成する第2金属遮光膜形成工程と、
前記第2の金属遮光膜を覆うように、前記遮光用絶縁膜の表面上に第2の絶縁層を形成する第2絶縁層形成工程と、
前記第2の絶縁層の所定位置に、前記第2の配線層の表面が露出するように第2の接続穴を形成する第2接続穴形成工程と、
前記第2の接続穴を埋めて前記第2の配線層と接続する前記画素電極を、前記所定の画素間隙をもってマトリクス状に複数個配列されるように形成する画素電極形成工程と、
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記遮光用絶縁膜形成工程において、前記第1の金属遮光膜の表面上における前記遮光用絶縁膜の厚さを、前記透明基板側から前記画素間隙に入射する侵入光の波長以下にすることを特徴とする請求項3記載の液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005351221A JP4710576B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005351221A JP4710576B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007156102A JP2007156102A (ja) | 2007-06-21 |
JP4710576B2 true JP4710576B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=38240551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005351221A Active JP4710576B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4710576B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6403000B2 (ja) * | 2014-11-10 | 2018-10-10 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電子機器、及び電気光学装置の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000267128A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004206108A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-22 | Victor Co Of Japan Ltd | 反射型液晶表示装置及び反射型液晶表示装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-12-05 JP JP2005351221A patent/JP4710576B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000267128A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004206108A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-22 | Victor Co Of Japan Ltd | 反射型液晶表示装置及び反射型液晶表示装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007156102A (ja) | 2007-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW514757B (en) | Electro-optical device and production method thereof and electronic equipment | |
US7038740B1 (en) | Liquid crystal display device having high light utilization efficiency | |
GB2275809A (en) | Liquid crystal display | |
KR20080077323A (ko) | 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 그리고 전자 기기 | |
JP2004125887A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2002151699A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置 | |
JP4869985B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
US20060262240A1 (en) | Display device | |
US7764325B2 (en) | Electro-optical device, method of producing the same, and electronic apparatus | |
JP4710576B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
US6757033B2 (en) | Liquid crystal display device and method for manufacturing the same | |
JP2006330526A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
CN112119498B (zh) | 制造阵列基板的方法、阵列基板、显示设备 | |
JP2022139567A (ja) | 電気光学装置および電子機器 | |
JP4289143B2 (ja) | 反射型液晶表示装置及び反射型液晶表示装置の製造方法 | |
JP4075691B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法並びに基板装置の製造方法 | |
JP2008164668A (ja) | 液晶表示素子及びその製造方法 | |
JP2008249975A (ja) | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 | |
JP5569448B2 (ja) | 液晶表示素子及びその製造方法 | |
JP4269659B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2004246315A (ja) | 電気光学基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004004337A (ja) | 反射型液晶表示装置 | |
JP2005223015A (ja) | 薄膜トランジスタ、tft基板、及び、液晶表示装置 | |
JP4349105B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法及び該電気光学装置、並びに電子機器 | |
JPH1048626A (ja) | 反射型画像表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101005 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110307 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4710576 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |