JP4708896B2 - Adhesive tape sticking device and sticking method - Google Patents

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この発明は基板の側部上面に設けられた複数の端子からなる端子部に粘着性テープを貼着する粘着性テープの貼着装置及び貼着方法に関する。   The present invention relates to an adhesive tape attaching apparatus and an attaching method for attaching an adhesive tape to a terminal portion composed of a plurality of terminals provided on a side surface of a substrate.

たとえば、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットパネルディスプレイなどの製造工程においては、ガラス製の基板の側部上面に、TCP(Tape Carrier Package)などの電子部品を異方性導電性部材からなる粘着性テープを介して貼着する工程がある。   For example, in the manufacturing process of flat panel displays such as liquid crystal display panels and plasma display panels, electronic components such as TCP (Tape Carrier Package) are placed on the upper surface of the side of a glass substrate. There exists the process of sticking through the adhesive tape which consists of.

上記電子部品を上記基板の側部上面に貼着する前に、基板の側部上面に所定の長さに切断された上記粘着性テープを貼着する工程がある。粘着性テープは離型テープに貼着されていて、これらは供給リールに巻装されている。   Before the electronic component is attached to the upper surface of the side portion of the substrate, there is a step of attaching the adhesive tape cut to a predetermined length to the upper surface of the side portion of the substrate. Adhesive tapes are affixed to a release tape, which is wound around a supply reel.

基板の側部上面に電子部品を粘着性テープによって貼着する場合、まず、離型テープとともに供給リールから繰り出された粘着性テープを所定長さに切断する。このときの粘着性テープの切断長さは、上記基板の側部上面に設けられた複数の端子からなる端子部の長さに対応する長さに設定される。   When an electronic component is attached to the upper surface of the side portion of the substrate with an adhesive tape, first, the adhesive tape fed out from the supply reel together with the release tape is cut into a predetermined length. The cutting length of the adhesive tape at this time is set to a length corresponding to the length of the terminal portion composed of a plurality of terminals provided on the side surface of the substrate.

ついで、所定長さに切断された粘着性テープを、たとえばチャックなどによって上記供給リールから引き出し、その切断された部分がテーブルに載置された基板の側部上面に対向するよう位置決めした後、切断された粘着性テープを基板に加圧して貼着するようにしている。   Next, the adhesive tape cut to a predetermined length is pulled out from the supply reel by, for example, a chuck, and positioned so that the cut portion faces the upper surface of the side part of the substrate placed on the table, and then cut. The adhesive tape thus applied is pressed and applied to the substrate.

上記基板の側部上面に設けられた端子部に所定長さに切断された粘着性テープを貼着する際、基板と粘着性テープとが精度よく位置決めされていないと、貼着された粘着性テープの長手方向の一端部から端子部の端子が露出してしまうということがある。   When sticking the adhesive tape cut to a predetermined length to the terminal part provided on the side part upper surface of the above substrate, if the substrate and the adhesive tape are not positioned accurately, the attached adhesive The terminal of the terminal part may be exposed from one end part in the longitudinal direction of the tape.

そのような状態で、上記粘着性テープを介して電子部品を基板に貼着すると、電子部品に設けられた端子が基板の端子に対して電気的に確実に接続されないということが生じる。したがって、粘着性テープを基板に貼着する際には、基板と切断された粘着性テープを精度よく位置決めしなければならない。   In such a state, when the electronic component is attached to the substrate via the adhesive tape, a terminal provided on the electronic component may not be reliably connected electrically to the terminal of the substrate. Therefore, when adhering the adhesive tape to the substrate, the substrate and the cut adhesive tape must be accurately positioned.

従来、基板と粘着性テープとの位置決めは、粘着性テープを切断した後、この粘着性テープを離型テープとともにチャックによって引き出すとき、このチャックの移動距離を制御することで行なわれていた。つまり、チャックによる粘着性テープの引き出し量を制御して基板に対して粘着性テープを位置決めしていた。このような従来技術は特許文献1に示されている。
特開平7−101618号公報
Conventionally, the positioning of the substrate and the adhesive tape has been performed by controlling the moving distance of the chuck when the adhesive tape is cut out together with the release tape after the adhesive tape is cut. That is, the adhesive tape is positioned with respect to the substrate by controlling the amount of the adhesive tape drawn by the chuck. Such a conventional technique is disclosed in Patent Document 1.
JP-A-7-101618

しかしながら、チャックの移動距離によって粘着性テープを位置決め制御する場合、上記チャックは離型テープを挟持してこの離型テープとともに粘着性テープを供給リールから引き出すため、引き出し時に上記離型テープに張力が加わると、この離型テープに伸びが生じ、その伸びによって上記粘着性テープを上記基板に対して高精度に位置決めできないということがある。   However, when controlling the positioning of the adhesive tape according to the moving distance of the chuck, the chuck holds the release tape and pulls the adhesive tape together with the release tape from the supply reel. When it is added, the release tape is stretched, and the adhesive tape cannot be positioned with high accuracy with respect to the substrate due to the stretch.

しかも、上記チャックは機械的に駆動して位置決め制御する構成が採用されている。つまり、駆動ねじをサーボモータによって回転駆動するとともに、この駆動ねじによって上記チャックを直線駆動するようにしている。   In addition, the chuck is mechanically driven to perform positioning control. That is, the drive screw is rotationally driven by the servo motor, and the chuck is linearly driven by the drive screw.

そのため、チャックの位置決め精度は、駆動ねじとチャックとの機械的クリアランス(がた)によって限界が生じるため、そのことによっても上記粘着性テープを上記基板に対して高精度に位置決めすることができないということがあった。   For this reason, the chuck positioning accuracy is limited by the mechanical clearance between the drive screw and the chuck, and it is impossible to position the adhesive tape with respect to the substrate with high accuracy. There was a thing.

この発明は、所定長さに切断された粘着性テープと基板とを高精度に位置決めすることができるようにした粘着性テープの貼着装置及び貼着方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an adhesive tape sticking device and a sticking method which can position an adhesive tape cut to a predetermined length and a substrate with high accuracy.

この発明は、基板の側部上面に複数の端子からなる端子部が所定の長さで設けられ、離型テープに貼着された粘着性テープを上記端子部と対応する長さに切断してその端子部に貼着する貼着装置であって、
上記基板が載置されるテーブルと、
上記粘着性テープを所定の長さに切断する切断ユニットと、
切断された上記粘着性テープを上記離型テープとともに上記テーブルに載置された上記基板の上記端子部に対向する位置に搬送して位置決めする搬送手段と、
位置決めされた粘着性テープの一端部と他端部とを上記基板の側辺部の一端部と他端部に設けられた位置決めマークとともに同時に撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号に基いて上記粘着性テープと基板との相対的位置を補正する補正手段と、
この補正手段による位置補正後に上記基板に上記粘着性テープを加圧貼着する加圧手段と
を具備したことを特徴とする粘着性テープの貼着装置にある。
According to the present invention, a terminal portion composed of a plurality of terminals is provided at a predetermined length on the side surface of the substrate, and the adhesive tape attached to the release tape is cut to a length corresponding to the terminal portion. A sticking device for sticking to the terminal part,
A table on which the substrate is placed;
A cutting unit for cutting the adhesive tape into a predetermined length;
Transport means for transporting and positioning the cut adhesive tape together with the release tape to a position facing the terminal portion of the substrate placed on the table;
Imaging means for simultaneously imaging one end and the other end of the positioned adhesive tape together with positioning marks provided on one end and the other end of the side of the substrate ;
Correction means for correcting the relative position of the adhesive tape and the substrate based on the imaging signal from the imaging means;
A pressure-sensitive adhesive tape attaching apparatus comprising: a pressure means for pressure-adhering the pressure-sensitive adhesive tape to the substrate after position correction by the correction means.

上記補正手段は、上記撮像手段の撮像信号に基いて上記テーブルを位置決め制御することが好ましい。   It is preferable that the correction unit controls the positioning of the table based on an imaging signal of the imaging unit.

上記補正手段は、上記撮像手段の撮像信号に基いて上記搬送手段による上記粘着性テープの搬送位置を制御することが好ましい。   It is preferable that the correction unit controls a transport position of the adhesive tape by the transport unit based on an imaging signal of the imaging unit.

上記基板に貼り付けられた粘着性テープを上記撮像手段によって撮像し、その撮像信号によって上記粘着性テープと基板との相対的位置をフィードバック制御することが好ましい。   It is preferable that the adhesive tape attached to the substrate is imaged by the imaging means, and the relative position between the adhesive tape and the substrate is feedback controlled by the imaging signal.

この発明は、基板の側部上面に複数の端子からなる端子部が所定の長さで設けられ、離型テープに貼着された粘着性テープを上記端子部と対応する長さに切断してその端子部に貼着する貼着方法であって、
基板をテーブルに載置する工程と、
上記粘着性テープを所定の長さに切断する工程と、
切断された上記粘着性テープを上記離型テープとともに上記基板の上記端子部に対向する位置に搬送して位置決めする工程と、
位置決めされた粘着性テープの一端部と他端部とを上記基板の側辺部の一端部と他端部に設けられた位置決めマークとともに同時に撮像する工程と、
上記粘着性テープと上記位置決めマークの撮像結果に基いて上記基板と粘着性テープとの相対的位置を補正する工程と、
位置補正後に上記基板に上記粘着性テープを加圧貼着する工程と
を具備したことを特徴とする粘着性テープの貼着方法にある。
According to the present invention, a terminal portion composed of a plurality of terminals is provided at a predetermined length on the side surface of the substrate, and the adhesive tape attached to the release tape is cut to a length corresponding to the terminal portion. A sticking method for sticking to the terminal part,
Placing the substrate on the table;
Cutting the adhesive tape into a predetermined length;
Transporting and positioning the cut adhesive tape together with the release tape to a position facing the terminal portion of the substrate; and
A step of simultaneously imaging one end and the other end of the positioned adhesive tape together with positioning marks provided on one end and the other end of the side of the substrate ;
Correcting the relative position between the substrate and the adhesive tape based on the imaging result of the adhesive tape and the positioning mark ;
And a step of pressure-bonding the adhesive tape to the substrate after position correction.

この発明によれば、粘着性テープを所定の長さに切断してから基板に対向する位置まで引き出したならば、この粘着性テープの一端部と他端部とを撮像し、その撮像信号に基いて上記粘着性テープと基板とを相対的に位置決めする。そのため、引き出し時の誤差の影響を排除して上記基板に上記粘着性テープを高精度に位置決めして貼着することが可能となる。   According to the present invention, if the adhesive tape is cut to a predetermined length and then pulled out to a position facing the substrate, one end and the other end of the adhesive tape are imaged, and the imaging signal is obtained. Based on this, the adhesive tape and the substrate are relatively positioned. Therefore, it becomes possible to position and stick the adhesive tape to the substrate with high accuracy by eliminating the influence of errors at the time of drawing.

以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1はこの発明の一実施の形態に係る貼着装置を示し、この貼着装置は基板ステージ5を備えている。この基板ステージ5はベース6を有し、このベース6の上面にX駆動源6a、Y駆動源6b及びθ駆動源6cによってX、Y及びθ方向に駆動されるテーブル7が設けられている。   FIG. 1 shows a sticking apparatus according to an embodiment of the present invention, and this sticking apparatus includes a substrate stage 5. The substrate stage 5 has a base 6, and a table 7 that is driven in the X, Y, and θ directions by an X drive source 6 a, a Y drive source 6 b, and a θ drive source 6 c is provided on the upper surface of the base 6.

上記テーブル7上には、図3(a)に示すように液晶ディスプレイパネルなどに用いられる、重ね合わされたガラス製の一対の基板Wが供給されて真空吸着される。基板Wの上面の一側部には複数の端子1aが所定間隔で形成された端子部1が所定長さで設けられている。さらに、基板Wの上記側辺部の両端部には、上記テーブル7によって上記基板Wを位置決めするための位置決めマークmが設けられている。   On the table 7, as shown in FIG. 3A, a pair of glass substrates W used for a liquid crystal display panel or the like are supplied and vacuum-sucked. On one side portion of the upper surface of the substrate W, a terminal portion 1 having a plurality of terminals 1a formed at a predetermined interval is provided with a predetermined length. Furthermore, positioning marks m for positioning the substrate W by the table 7 are provided at both ends of the side portion of the substrate W.

上記端子部1には後述するように所定の長さに切断された、両面粘着性の異方性導電部材からなる粘着性テープ2が貼着されるようになっている。そして、粘着性テープ2が貼着された端子部1には、図3(b)に示すようにTCPなどの電子部品3が圧着される。   An adhesive tape 2 made of a double-sided adhesive anisotropic conductive member cut to a predetermined length as described later is attached to the terminal portion 1. Then, an electronic component 3 such as TCP is pressure-bonded to the terminal portion 1 to which the adhesive tape 2 is attached, as shown in FIG.

図1に示すように、上記粘着性テープ2は一側面に透光性の樹脂テープからなる離型テープ8が貼着されて供給リール9に巻かれていて、粘着性テープ2を下にして一対のガイドローラ11にガイドされて上記テーブル7に載置された上記基板Wの端子部1の上方に対向して走行するようになっている。   As shown in FIG. 1, the adhesive tape 2 has a release tape 8 made of a translucent resin tape attached to one side and wound around a supply reel 9, with the adhesive tape 2 facing downward. The pair of guide rollers 11 are guided to run above the terminal portion 1 of the substrate W placed on the table 7.

上記テーブル7の上方には加圧ツール13が上下駆動機構14によって上下動可能に設けられている。粘着性テープ2は、後述する切断ユニット23によって所定長さに切断され、その切断された部分がテーブル7上に載置された基板Wの端子部1に対向する位置まで搬送されると、その位置で停止する。停止後に加圧ツール13が下降し、上記基板Wに粘着性テープ2の所定長さに切断された部分が貼着される。その後、上記離型テープ8が図示しない離型ローラによって粘着性テープ2から剥離され、巻取りリール12に巻き取られるようになっている。   A pressurizing tool 13 is provided above the table 7 so as to be movable up and down by a vertical drive mechanism 14. The adhesive tape 2 is cut to a predetermined length by a cutting unit 23 described later, and when the cut portion is conveyed to a position facing the terminal portion 1 of the substrate W placed on the table 7, Stop at position. After stopping, the pressing tool 13 is lowered, and the portion of the adhesive tape 2 cut to a predetermined length is attached to the substrate W. After that, the release tape 8 is peeled off from the adhesive tape 2 by a release roller (not shown) and wound on the take-up reel 12.

上記粘着性テープ2と離型テープ8との搬送は、搬送手段としての送り装置20によって行なわれる。この送り装置20は離型テープ8を挟持可能に形成されたチャック21を有する。このチャック21は図示しないガイド体によって回転不能にガイドされ、サーボモータ22bによって回転駆動される駆動ねじ22aによって直線駆動されるようになっている。   The pressure-sensitive adhesive tape 2 and the release tape 8 are conveyed by a feeding device 20 as a conveying means. The feeding device 20 has a chuck 21 formed so as to be able to sandwich the release tape 8. The chuck 21 is guided in a non-rotatable manner by a guide body (not shown), and is linearly driven by a drive screw 22a that is rotationally driven by a servo motor 22b.

したがって、上記チャック21が離型テープ8を挟持した状態で上記駆動ねじ22aを回転駆動し、このチャック21を図1に矢印Xで示す方向へ駆動すれば、上記離型テープ8とともに粘着性テープ2をX方向へ搬送し、この粘着性テープ2を所定の位置、つまり基板Wの端子部1に対向する位置に位置決めできるようになっている。   Therefore, if the chuck 21 holds the release tape 8 and the drive screw 22a is driven to rotate, and the chuck 21 is driven in the direction indicated by the arrow X in FIG. 2 is conveyed in the X direction, and the adhesive tape 2 can be positioned at a predetermined position, that is, a position facing the terminal portion 1 of the substrate W.

上記粘着性テープ2は基板Wよりも搬送方向上流側において、上記切断ユニット23によって所定の長さに切断される。この切断ユニット23は、粘着性テープ2の供給リール9から引き出されて水平に走行する部分の下方に先端を対向させて配置されたカッタ24と、このカッタ24よりも粘着性テープ2の走行方向下流側の下方に対向して配置された剥離機構25とから構成されている。上記カッタ24は図示しない駆動機構によって上下方向に駆動可能となっている。   The adhesive tape 2 is cut to a predetermined length by the cutting unit 23 on the upstream side of the substrate W in the transport direction. The cutting unit 23 includes a cutter 24 that is drawn from the supply reel 9 of the adhesive tape 2 and is disposed below the portion that travels horizontally, and a traveling direction of the adhesive tape 2 relative to the cutter 24. It is comprised from the peeling mechanism 25 arrange | positioned facing the downstream lower part. The cutter 24 can be driven in the vertical direction by a drive mechanism (not shown).

上記切断ユニット23は、搬送される粘着性テープ2の上面側の上記カッタ24と剥離機構25とに対向して配置された保持ブロック26を有する。この保持ブロック26には離型テープ8を介して上記粘着性テープ2の上面を押圧する押し出し部材27がスライド可能に設けられている。この押し出し部材27は図示せぬシリンダなどによって所定のタイミングで押圧される。   The cutting unit 23 includes a holding block 26 that is disposed to face the cutter 24 and the peeling mechanism 25 on the upper surface side of the adhesive tape 2 to be conveyed. The holding block 26 is slidably provided with an extruding member 27 that presses the upper surface of the adhesive tape 2 through the release tape 8. The pushing member 27 is pressed at a predetermined timing by a cylinder (not shown).

図2に示すように、上記押し出し部材27と対向する粘着性テープ2の下面側には剥離ヘッド28が配置されている。この剥離ヘッド28はベース板29に取り付けられている。このベース板29には粘着テープ31が巻回された供給リール32が設けられ、この粘着テープ31は上記剥離ヘッド28の上面に沿って走行して巻取りリール33に巻き取られるようになっている。   As shown in FIG. 2, a peeling head 28 is disposed on the lower surface side of the adhesive tape 2 facing the push member 27. The peeling head 28 is attached to the base plate 29. The base plate 29 is provided with a supply reel 32 around which an adhesive tape 31 is wound. The adhesive tape 31 travels along the upper surface of the peeling head 28 and is wound around a take-up reel 33. Yes.

上記ベース板29はシリンダ34によって上下駆動される。ベース板29が上昇方向に駆動されると、押し出し部材27によって粘着性テープ2の一対の切断線2bによって切断された箇所が押し下げられる。上記切断線2bは、上記カッタ24が上昇方向に駆動され、粘着性テープ2の上記保持ブロック26の下面に対向する部分に突き当たることで形成される。   The base plate 29 is driven up and down by a cylinder 34. When the base plate 29 is driven in the upward direction, the portion cut by the pair of cutting lines 2b of the adhesive tape 2 is pushed down by the pushing member 27. The cutting line 2b is formed when the cutter 24 is driven in the upward direction and abuts against a portion of the adhesive tape 2 facing the lower surface of the holding block 26.

それによって、粘着性テープ2の切断された部分2aが剥離ヘッド28の粘着テープ31に押し付けられるから、その部分2aが離型テープ8から剥離される。つまり、粘着性テープ2は、基板Wに貼着される所定長さの両端部分に上記カッタ24によってそれぞれ一対の切断線2bが所定間隔で形成され、その間の部分2aが上記剥離機構25によって除去されてから、残りの部分が上記加圧ツール13によって基板Wに端子部1に貼着されることになる。   Accordingly, the cut portion 2 a of the adhesive tape 2 is pressed against the adhesive tape 31 of the peeling head 28, so that the portion 2 a is peeled from the release tape 8. In other words, the adhesive tape 2 has a pair of cutting lines 2b formed at predetermined intervals by the cutter 24 at both end portions of a predetermined length to be adhered to the substrate W, and the portion 2a therebetween is removed by the peeling mechanism 25. After that, the remaining portion is adhered to the terminal portion 1 on the substrate W by the pressure tool 13.

なお、粘着性テープ2は、それぞれ一対の2箇所の切断線2bによって図1に示すように所定の長さに切断される。カッタ24による粘着性テープ2の切断のタイミングは、たとえば粘着性テープ2を供給リール9から引き出すチャック21の動きに連動して行なわれる。   The adhesive tape 2 is cut into a predetermined length as shown in FIG. 1 by a pair of two cutting lines 2b. The timing of cutting of the adhesive tape 2 by the cutter 24 is performed in conjunction with the movement of the chuck 21 that pulls out the adhesive tape 2 from the supply reel 9, for example.

上記テーブル7上に供給載置された基板Wの端子部1が設けられた一側部の両端部に設けられた上記位置合わせマークmは、図5に示す撮像手段を構成する第1のカメラ36と第2のカメラ37とによって撮像される。   The alignment marks m provided at both ends of one side where the terminal portion 1 of the substrate W supplied and placed on the table 7 is provided are the first cameras constituting the imaging means shown in FIG. 36 and the second camera 37.

上記切断ユニット23によって所定の長さに切断された粘着性テープ2がチャック21に挟持されてテーブル7上の基板Wの端子部1に対向する位置まで引き出されると、この粘着性テープ2が加圧ツール13によって上記端子部1に加圧貼着される前に、長手方向の一端部と他端部とが上記第1のカメラ36と第2のカメラ37とによって撮像される。   When the adhesive tape 2 cut to a predetermined length by the cutting unit 23 is sandwiched by the chuck 21 and pulled out to a position facing the terminal portion 1 of the substrate W on the table 7, the adhesive tape 2 is added. Before being pressure-bonded to the terminal portion 1 by the pressure tool 13, one end portion and the other end portion in the longitudinal direction are imaged by the first camera 36 and the second camera 37.

上記第1のカメラ36と第2のカメラ37は、図示せぬ駆動機構によって上昇した加圧ツール13の長手方向両端部の下面側に入り込む撮像位置と、加圧ツール13の下面側から退避する退避位置との間で図示せぬ駆動機構によって駆動可能に設けられていて、撮像位置で離型テープ8を介してテーブル7上の基板Wの位置合わせマークmととともに、上記粘着性テープ2の一端部と他端部を同時に撮像するようになっている。   The first camera 36 and the second camera 37 are retracted from the imaging position entering the lower surface side of both ends in the longitudinal direction of the pressure tool 13 raised by a drive mechanism (not shown) and the lower surface side of the pressure tool 13. The adhesive tape 2 is provided so as to be driven by a driving mechanism (not shown) between the retraction position and the alignment mark m of the substrate W on the table 7 via the release tape 8 at the imaging position. One end and the other end are imaged simultaneously.

この実施の形態では、所定長さに切断された粘着性テープ2の一端と一方の位置合わせマークmが第1のカメラ36によって同時に撮像可能であり、他方の位置合わせマークmと粘着性テープ2の他端とが上記第2のカメラ37によって同時に撮像可能となっている。   In this embodiment, one end of the adhesive tape 2 cut to a predetermined length and one alignment mark m can be simultaneously imaged by the first camera 36, and the other alignment mark m and the adhesive tape 2 are captured. The other end of the image can be simultaneously imaged by the second camera 37.

図4に示すように、上記第1のカメラ36と第2のカメラ37の撮像信号は制御装置39に設けられた図示しない画像処理部に入力されてデジタル信号に変換処理される。上記テーブル7がティーチング位置に位置決めされると、上記第1のカメラ36と第2のカメラ37が基板Wの一対の位置合わせマークmを撮像し、その撮像信号によってテーブル7上に供給載置された基板WのX、Y及びθ方向の位置が算出される。   As shown in FIG. 4, the imaging signals of the first camera 36 and the second camera 37 are input to an image processing unit (not shown) provided in the control device 39 and converted into a digital signal. When the table 7 is positioned at the teaching position, the first camera 36 and the second camera 37 image a pair of alignment marks m on the substrate W, and are supplied and placed on the table 7 by the imaging signal. The positions of the substrate W in the X, Y, and θ directions are calculated.

上記第1のカメラ36と第2のカメラ37は一対の位置合わせマークmと同時に上記粘着性テープ2の一端部と他端部とを撮像する。制御装置39はその撮像信号によって上記粘着性テープ2の一端と他端である、先端と後端とのX座標を算出する。基板Wの一対の位置合わせマークmのX座標と、粘着性テープ2の一端と他端とのX座標によって基板Wと粘着性テープ2とのX方向の相対的位置が求められる。   The first camera 36 and the second camera 37 image one end and the other end of the adhesive tape 2 simultaneously with the pair of alignment marks m. The control device 39 calculates the X coordinates of the front end and the rear end, which are one end and the other end of the adhesive tape 2, based on the imaging signal. The relative position in the X direction between the substrate W and the adhesive tape 2 is determined from the X coordinate of the pair of alignment marks m on the substrate W and the X coordinate between one end and the other end of the adhesive tape 2.

それによって、制御装置39はテーブル7をX、Y及びθ方向に駆動して基板Wの一対の位置合わせマークmの間に所定長さに切断された粘着性テープ2が位置するよう、上記基板Wを位置決めする。つまり、基板Wの一側部に形成された端子部1の長手方向中心に、上記粘着性テープ2の長手方向中心が一致するよう位置決めされる。   Thereby, the control device 39 drives the table 7 in the X, Y and θ directions so that the adhesive tape 2 cut to a predetermined length is positioned between the pair of alignment marks m on the substrate W. Position W. That is, the adhesive tape 2 is positioned so that the longitudinal center of the adhesive tape 2 coincides with the longitudinal center of the terminal portion 1 formed on one side of the substrate W.

なお、上記X駆動源6a,Y駆動源6b、θ駆動源6c、上下駆動機構14およびサーボモータ22bも上記制御装置39によって駆動が制御される。   The driving of the X drive source 6a, Y drive source 6b, θ drive source 6c, vertical drive mechanism 14 and servo motor 22b is also controlled by the control device 39.

つぎに、上記構成の貼着装置によって基板Wに粘着性テープ2を貼着する場合について説明する。
まず、テーブル7に基板Wを供給載置したならば、このテーブル7をティーチング位置、つまり加圧ツール13の下方に駆動する。それと同時に、送り装置20のチャック21によって離型テープ8が挟持され、切断ユニット23のカッタ24によって所定の長さに切断された粘着性テープ2が上記基板Wの一側部に設けられた端子部1の上方に引き出される。
Next, the case where the adhesive tape 2 is stuck to the substrate W by the sticking apparatus having the above configuration will be described.
First, when the substrate W is supplied and placed on the table 7, the table 7 is driven to the teaching position, that is, below the pressurizing tool 13. At the same time, the release tape 8 is held by the chuck 21 of the feeding device 20 and the adhesive tape 2 cut to a predetermined length by the cutter 24 of the cutting unit 23 is provided on one side of the substrate W. It is pulled out above the part 1.

ついで、加圧ツール13の下方である、撮像位置に第1のカメラ36と第2のカメラ37が駆動され、上記基板Wの端子部1が設けられた一側部の両端の位置合わせマークmと、粘着性テープ2の一端と他端とが同時に撮像される。この状態を図5(a)に示す。   Next, the first camera 36 and the second camera 37 are driven to the imaging position below the pressurizing tool 13, and alignment marks m on both ends of one side where the terminal portion 1 of the substrate W is provided. And one end and the other end of the adhesive tape 2 are imaged simultaneously. This state is shown in FIG.

第1のカメラ36と第2のカメラ37の撮像信号は制御装置39に入力される。それによって、テーブル7上の基板Wの位置と、ティーチング位置とのずれ量が算出され、そのずれがなくなるよう、テーブル7が駆動されて基板Wが位置決めされる。   Imaging signals from the first camera 36 and the second camera 37 are input to the control device 39. Thereby, the amount of deviation between the position of the substrate W on the table 7 and the teaching position is calculated, and the table 7 is driven and positioned so that the deviation is eliminated.

さらに、ティーチング位置に位置決めされた基板Wの一対の位置合わせマークmに対し、所定長さに切断された粘着性テープ2の一端と他端とのX座標のずれ量が算出される。そして、左右一対の位置合わせマークmと、粘着性テープ2の一端と他端とのX座標のずれ量が等しくなるよう、上記基板WのX方向の位置がさらに補正される。それによって、所定長さに切断された粘着性テープ2が端子部1に対してX方向のずれがない状態に位置決めされることになる。つまり、粘着性テープ2の長手方向中心が端子部1の長手方向中心に一致するよう位置決めされる。   Further, an X-coordinate deviation amount between one end and the other end of the adhesive tape 2 cut to a predetermined length is calculated with respect to the pair of alignment marks m on the substrate W positioned at the teaching position. Then, the position of the substrate W in the X direction is further corrected so that the amount of deviation of the X coordinate between the pair of left and right alignment marks m and one end and the other end of the adhesive tape 2 becomes equal. As a result, the adhesive tape 2 cut to a predetermined length is positioned so as not to be displaced in the X direction with respect to the terminal portion 1. That is, the adhesive tape 2 is positioned so that the longitudinal center of the adhesive tape 2 coincides with the longitudinal center of the terminal portion 1.

このように、基板Wと粘着性テープ2とが位置決めされると、第1のカメラ36と第2のカメラ37とが退避位置に駆動されてから、図5(b)に示すように加圧ツール13が下降方向に駆動される。それによって、所定長さに切断された粘着性テープ2が端子部1に貼着される。貼着後、加圧ツール13が上昇して基板Wに貼着された粘着性テープ2から離型テープ8が剥離される。   As described above, when the substrate W and the adhesive tape 2 are positioned, the first camera 36 and the second camera 37 are driven to the retracted position, and then the pressure is applied as shown in FIG. The tool 13 is driven in the downward direction. Thereby, the adhesive tape 2 cut into a predetermined length is attached to the terminal portion 1. After the sticking, the pressing tool 13 is raised and the release tape 8 is peeled from the adhesive tape 2 stuck on the substrate W.

剥離後、テーブル7が加圧ツール13の下方から移動し、粘着性テープ2に貼着された基板Wが上記テーブル7から取り出され、新たな基板Wが供給されて上述した粘着性テープ2の貼着が繰り返して行なわれる。   After peeling, the table 7 moves from below the pressure tool 13, the substrate W adhered to the adhesive tape 2 is taken out from the table 7, a new substrate W is supplied, and the adhesive tape 2 described above is supplied. Adhesion is repeated.

このように、チャック21によって基板Wの上方に引き出された所定長の粘着性テープ2を、第1、第2のカメラ36,37によって基板Wに形成された位置合わせマークmとともに撮像し、その撮像信号に基いて上記粘着性テープ2と基板Wとを位置合わせしてから、上記粘着性テープ2を基板Wに貼着するようにした。   In this way, the adhesive tape 2 of a predetermined length drawn out above the substrate W by the chuck 21 is imaged together with the alignment mark m formed on the substrate W by the first and second cameras 36 and 37, The adhesive tape 2 and the substrate W were aligned based on the imaging signal, and then the adhesive tape 2 was attached to the substrate W.

そのため、所定長さに切断された粘着性テープ2が上記チャック21によって引き出されたときに、この粘着性テープ2が基板Wの端子部1に対して位置がずれていても、その位置ずれを確実に補正して上記基板Wに貼着することができる。   Therefore, even when the adhesive tape 2 cut to a predetermined length is pulled out by the chuck 21, even if the adhesive tape 2 is misaligned with respect to the terminal portion 1 of the substrate W, the misalignment is prevented. It can correct | amend reliably and can affix on the said board | substrate W. FIG.

したがって、基板に設けられた端子部1の端子1aが、この端子部1に貼着された粘着性テープ2から露出するのを防止できるから、上記端子部1に電子部品3を粘着性テープ2を介して確実に電気的に接続することが可能となる。   Therefore, since the terminal 1a of the terminal part 1 provided on the substrate can be prevented from being exposed from the adhesive tape 2 attached to the terminal part 1, the electronic component 3 is attached to the terminal part 1 with the adhesive tape 2. Thus, it is possible to make an electrical connection reliably.

上記一実施の形態では基板と粘着性テープとのX方向の位置ずれの補正は、第1、第2のカメラからの撮像信号に基いてテーブル(基板)のX方向の位置を補正するようにしたが、第1、第2のカメラからの撮像信号に基いてチャック21による粘着性テープの引出し量を位置を補正するようにしてもよい。   In the embodiment described above, correction of the positional deviation in the X direction between the substrate and the adhesive tape is performed so as to correct the position in the X direction of the table (substrate) based on the imaging signals from the first and second cameras. However, the position of the pull-out amount of the adhesive tape by the chuck 21 may be corrected based on the imaging signals from the first and second cameras.

基板の位置合わせマークと粘着性テープの両端との撮像を、第1、第2のカメラによって同時に行なうようにしたが、位置合わせマークと粘着性テープの両端との距離が大きな場合にはそれぞれ別々の撮像カメラを用いて撮像するようにしてもよい。   Imaging of the alignment mark on the substrate and both ends of the adhesive tape is performed simultaneously by the first and second cameras. However, when the distance between the alignment mark and both ends of the adhesive tape is large, each is separate. You may make it image using the imaging camera of.

また、粘着性テープを基板に貼着して加圧ツールが上昇した後、この粘着性テープの両端部を第1、第2にカメラによって再度撮像してそのX座標を検出し、その検出値をフィードバックしてテーブルをティーチング位置に位置決めすれば、テーブルのX方向の位置決め精度を高めることが可能となる。   Further, after the adhesive tape is stuck on the substrate and the pressure tool is raised, both ends of the adhesive tape are first and second imaged again by the camera to detect the X coordinate, and the detected value If the table is fed back and the table is positioned at the teaching position, the positioning accuracy of the table in the X direction can be improved.

この発明の一実施の形態を示す粘着性テープの貼着装置の概略的構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic block diagram of the sticking apparatus of the adhesive tape which shows one embodiment of this invention. 粘着性テープを所定の長さに切断するための切断ユニットの構成図。The block diagram of the cutting unit for cut | disconnecting an adhesive tape to predetermined length. (a)所定長さに切断された粘着性テープを基板の一側部の端子部に貼着した状態の平面図、(b)は基板の一側部に電子部品を貼着した平面図。(A) The top view of the state which affixed the adhesive tape cut | disconnected by predetermined length on the terminal part of the one side part of a board | substrate, (b) is the top view which affixed the electronic component on the one side part of a board | substrate. 制御系統のブロック図。The block diagram of a control system. 基板に粘着性テープを貼着する手順を示す説明図。Explanatory drawing which shows the procedure which sticks an adhesive tape on a board | substrate.

符号の説明Explanation of symbols

1…端子部、2…粘着性テープ、3…電子部品、7…テーブル、13…加圧ツール(加圧手段)、21…チャック(搬送手段)、23…切断ユニット、36…第1のカメラ(撮像手段)、37…第2のカメラ(撮像手段)、39…制御装置(補正手段)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Terminal part, 2 ... Adhesive tape, 3 ... Electronic component, 7 ... Table, 13 ... Pressing tool (pressurizing means), 21 ... Chuck (conveying means), 23 ... Cutting unit, 36 ... 1st camera (Imaging means), 37 ... second camera (imaging means), 39 ... control device (correction means).

Claims (5)

基板の側部上面に複数の端子からなる端子部が所定の長さで設けられ、離型テープに貼着された粘着性テープを上記端子部と対応する長さに切断してその端子部に貼着する貼着装置であって、
上記基板が載置されるテーブルと、
上記粘着性テープを所定の長さに切断する切断ユニットと、
切断された上記粘着性テープを上記離型テープとともに上記テーブルに載置された上記基板の上記端子部に対向する位置に搬送して位置決めする搬送手段と、
位置決めされた粘着性テープの一端部と他端部とを上記基板の側辺部の一端部と他端部に設けられた位置決めマークとともに同時に撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号に基いて上記粘着性テープと基板との相対的位置を補正する補正手段と、
この補正手段による位置補正後に上記基板に上記粘着性テープを加圧貼着する加圧手段と
を具備したことを特徴とする粘着性テープの貼着装置。
A terminal portion composed of a plurality of terminals is provided on the side surface of the substrate with a predetermined length, and the adhesive tape affixed to the release tape is cut to a length corresponding to the terminal portion to form the terminal portion. A sticking device for sticking,
A table on which the substrate is placed;
A cutting unit for cutting the adhesive tape into a predetermined length;
Transport means for transporting and positioning the cut adhesive tape together with the release tape to a position facing the terminal portion of the substrate placed on the table;
Imaging means for simultaneously imaging one end and the other end of the positioned adhesive tape together with positioning marks provided on one end and the other end of the side of the substrate ;
Correction means for correcting the relative position of the adhesive tape and the substrate based on the imaging signal from the imaging means;
A pressure-sensitive adhesive tape bonding apparatus comprising: a pressure unit that pressure-bonds the pressure-sensitive adhesive tape to the substrate after position correction by the correction unit.
上記補正手段は、上記撮像手段の撮像信号に基いて上記テーブルを位置決め制御することを特徴とする請求項1記載の粘着性テープの貼着装置。   2. The adhesive tape sticking apparatus according to claim 1, wherein the correcting means controls the positioning of the table based on an imaging signal of the imaging means. 上記補正手段は、上記撮像手段の撮像信号に基いて上記搬送手段による上記粘着性テープの搬送位置を制御することを特徴とする請求項1記載の粘着性テープの貼着装置。   The adhesive tape sticking apparatus according to claim 1, wherein the correction unit controls a transport position of the adhesive tape by the transport unit based on an imaging signal of the imaging unit. 上記基板に貼り付けられた粘着性テープを上記撮像手段によって撮像し、その撮像信号によって上記粘着性テープと基板との相対的位置をフィードバック制御することを特徴とする請求項1記載の粘着性テープの貼着装置。   2. The adhesive tape according to claim 1, wherein an image of the adhesive tape affixed to the substrate is imaged by the imaging means, and a relative position between the adhesive tape and the substrate is feedback-controlled by the imaging signal. Sticking device. 基板の側部上面に複数の端子からなる端子部が所定の長さで設けられ、離型テープに貼着された粘着性テープを上記端子部と対応する長さに切断してその端子部に貼着する貼着方法であって、
基板をテーブルに載置する工程と、
上記粘着性テープを所定の長さに切断する工程と、
切断された上記粘着性テープを上記離型テープとともに上記基板の上記端子部に対向する位置に搬送して位置決めする工程と、
位置決めされた粘着性テープの一端部と他端部とを上記基板の側辺部の一端部と他端部に設けられた位置決めマークとともに同時に撮像する工程と、
上記粘着性テープと上記位置決めマークの撮像結果に基いて上記基板と粘着性テープとの相対的位置を補正する工程と、
位置補正後に上記基板に上記粘着性テープを加圧貼着する工程と
を具備したことを特徴とする粘着性テープの貼着方法。
A terminal portion composed of a plurality of terminals is provided on the side surface of the substrate with a predetermined length, and the adhesive tape affixed to the release tape is cut to a length corresponding to the terminal portion to form the terminal portion. A sticking method for sticking,
Placing the substrate on the table;
Cutting the adhesive tape into a predetermined length;
Transporting and positioning the cut adhesive tape together with the release tape to a position facing the terminal portion of the substrate; and
A step of simultaneously imaging one end and the other end of the positioned adhesive tape together with positioning marks provided on one end and the other end of the side of the substrate ;
Correcting the relative position between the substrate and the adhesive tape based on the imaging result of the adhesive tape and the positioning mark ;
A method of applying pressure-sensitive adhesive tape to the substrate after position correction.
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