JP2006210592A - Tape sticking method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶パネル又は液晶パネルに接続するFPC(Flexible Print Circuit)等において、ACF(Anisotropic Conductive Film:異方導電性フィルム)テープをハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法に関する。 The present invention relates to a tape attaching method in which an ACF (Anisotropic Conductive Film) tape is half-cut and attached to a substrate in a liquid crystal panel or an FPC (Flexible Print Circuit) connected to the liquid crystal panel.
ACFテープの台紙テープに貼着したACFシートを所定貼付長でハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法は、従来から知られている(特許文献1及び2)。
2. Description of the Related Art Conventionally, a tape application method in which an ACF sheet attached to an ACF tape mount tape is half-cut with a predetermined application length and attached to a substrate is known (
まず、基板を載置して水平移動自在なステージの上側に配置したACF切断機構にACFテープをACFシートを下向きにして供給する。そしてACFテープの先端側を挟持部材で挟持する。次にACFシートに第1ハーフカット切目をACF切断機構で形成する。その後、挟持部材で挟持したACFテープを所定貼付長だけ送って第2ハーフカット切目をACF切断機構で形成することにより第1及び第2ハーフカット切目で挟まれるACF貼付シートを作製する。そしてACF切断機構をACFテープ送り方向に交差する水平方向に退避させる。次に、基板を載置したステージを、ACF貼付シートの下側に基板が位置するように水平移動させる。その後、ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧する。そして台紙テープを基板から浮き上がらせて張力を与える。次に切断機構を進出させ、繰り返してACF貼付シートを作製して基板に貼り付ける。
しかしながら従来の構成では、台紙テープに対する押圧力が十分でない場合等に、ACF貼付シートと基板との間で粘着力が十分に発生せず、ACF貼付シートが基板に付着せずに台紙テープに残る貼付けミスが発生するという問題がある。 However, in the conventional configuration, when the pressing force against the mount tape is not sufficient, the adhesive force is not sufficiently generated between the ACF adhesive sheet and the substrate, and the ACF adhesive sheet does not adhere to the substrate and remains on the mount tape. There is a problem that a pasting error occurs.
また、ACFテープを挟持する挟持部材の磨耗等により挟持力が低下して、テープ送りの精度が悪化し、ACF貼付シートの貼付長の寸法精度が悪化する。このため、貼付長寸法不良のACF貼付シートが基板に貼り付けられ、これに高価なIC等を実装してしまい、ロスコストが増大してしまうという問題がある。 Further, the clamping force is reduced due to wear of the clamping member that clamps the ACF tape, the tape feeding accuracy is deteriorated, and the dimensional accuracy of the application length of the ACF adhesive sheet is deteriorated. For this reason, there is a problem that an ACF sticking sheet having a bad sticking length dimension is stuck on the substrate, and an expensive IC or the like is mounted thereon, resulting in an increase in loss cost.
さらに、最近のデジタルネットワーク商品の小型化に伴い電子部品の高密度実装化が一層進み、IC実装位置と他の電子部品実装位置とのピッチも狭ピッチ化に拍車がかかり実装精度の向上を図って行かなくてはならない。このような状況において、ACFテープの貼り付け位置の精度をより一層向上させる必要があるという問題がある。 Furthermore, with the recent miniaturization of digital network products, electronic components have become more densely mounted, and the pitch between the IC mounting position and other electronic component mounting positions has been spurred to narrow the pitch, thereby improving mounting accuracy. I have to go. In such a situation, there is a problem that it is necessary to further improve the accuracy of the attachment position of the ACF tape.
本発明の目的は、上記従来例の問題点を解決し得るテープ貼付方法を提供することにある。 The objective of this invention is providing the tape sticking method which can solve the problem of the said prior art example.
本発明に係る第1のテープ貼付方法は、ACFテープの台紙テープに貼着したACFシートを所定貼付長でハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法であって、基板を載置してカメラを上向きに設けた水平移動自在なステージの上側に配置した切断機構にACFテープをACFシートを下向きにして供給し、ACFシートに第1ハーフカット切目を切断機構で形成し、所定貼付長だけACFテープを送って第2ハーフカット切目を切断機構で形成することにより第1及び第2ハーフカット切目で挟まれる第1ACF貼付シートを作製し、切断機構をACFテープ送り方向に交差する水平方向に退避させ、第1ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させ、第1ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、台紙テープを基板から浮き上がらせて張力を与え、切断機構を進出させ、所定貼付長だけACFテープを送って第3ハーフカット切目を切断機構で形成することにより第2及び第3ハーフカット切目で挟まれる第2ACF貼付シートを作製し、切断機構を前記水平方向に退避させ、第1及び第2ハーフカット切目で挟まれる台紙テープ領域の下側にカメラが位置するようにステージを水平移動させて、この台紙テープ領域をカメラで撮像し、この撮像画像に基づいて第1ACF貼付シートの残存の有無を判断し、第1ACF貼付シートが残存しないと判断したときは、第2ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させて、第2ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、第1ACF貼付シートが残存すると判断したときは、第2ACF貼付シートを基板に貼付ける工程をエラー停止することを特徴とする。 A first tape application method according to the present invention is a tape application method in which an ACF sheet attached to a mount tape of an ACF tape is half-cut with a predetermined application length and attached to a substrate. The ACF tape is supplied with the ACF sheet facing downward to the cutting mechanism disposed on the upper side of the horizontally movable stage with the ACF facing upward, and the ACF sheet is formed with the first half-cut cut by the cutting mechanism. By feeding the tape and forming the second half-cut cut with the cutting mechanism, the first ACF adhesive sheet sandwiched between the first and second half-cut cuts is produced, and the cutting mechanism is retracted in the horizontal direction intersecting the ACF tape feed direction. The stage is horizontally moved so that the substrate is positioned below the first ACF adhesive sheet, and the first ACF adhesive sheet is attached to the substrate. The tape is pressed toward the substrate, the mount tape is lifted from the substrate, tension is applied, the cutting mechanism is advanced, the ACF tape is fed by a predetermined sticking length, and the third half-cut cut is formed by the cutting mechanism. The second ACF adhesive sheet sandwiched between the second and third half cut cuts is produced, the cutting mechanism is retracted in the horizontal direction, and the camera is positioned below the mount tape area sandwiched between the first and second half cut cuts. When the stage is moved horizontally, the mount tape area is imaged with a camera, the presence or absence of the first ACF adhesive sheet is determined based on the captured image, and when it is determined that the first ACF adhesive sheet does not remain, Mount tape for attaching the second ACF adhesive sheet to the substrate by horizontally moving the stage so that the substrate is positioned below the second ACF adhesive sheet Pressed toward the substrate, when it is determined that the first 1ACF sticking sheet remains is characterized in that an error stop sticking Keru step the first 2ACF sticking sheet to the substrate.
この構成によれば、第1及び第2ハーフカット切目で挟まれる台紙テープ領域の撮像画像に基づいて第1ACF貼付シートの残存の有無を判断する。このため、第1ACF貼付シートが残存すると判断した場合、第1ACF貼付シートが基板に正常に貼り付けられていないとしてマシンをエラー停止することにより、貼付けミスを未然に防ぐことができる。 According to this configuration, the presence or absence of the first ACF sticking sheet is determined based on the captured image of the mount tape area sandwiched between the first and second half cut cuts. For this reason, when it is determined that the first ACF sticking sheet remains, it is possible to prevent a sticking mistake by stopping the machine with an error that the first ACF sticking sheet is not normally stuck on the substrate.
第1ACF貼付シートが残存しないと判断したときに、第2ACF貼付シートをカメラで撮像し、この撮像画像に基づいて第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内であるか否かを判断し、第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内と判断したときに、第2ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させて、第2ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、第2ACF貼付シート寸法が所定範囲外と判断したときは、第2ACF貼付シートを基板に貼付ける工程をエラー停止することが好ましい。寸法が所定範囲外の不良ACF貼付シートを貼り付けることを未然に防止するためである。 When it is determined that the first ACF-attached sheet does not remain, the second ACF-attached sheet is imaged with a camera, and it is determined whether or not the second ACF-attached sheet size is within a predetermined range based on the captured image, When it is determined that the sheet size is within a predetermined range, the stage is horizontally moved so that the substrate is positioned below the second ACF adhesive sheet, and the mount tape is directed toward the substrate in order to attach the second ACF adhesive sheet to the substrate. When the second ACF adhesive sheet size is determined to be out of the predetermined range, it is preferable that the process of attaching the second ACF adhesive sheet to the substrate is stopped by error. This is to prevent the defective ACF sticking sheet having a dimension outside the predetermined range from being stuck.
第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内と判断したときに、第2ACF貼付シートの撮像画像に基づいて第2ACF貼付シートの位置及び回転角度を算出し、算出した第2ACF貼付シートの位置及び回転角度に基づいて基板に対する第2ACF貼付シートの貼付位置を補正することが好ましい。第2ACF貼付シートの貼付け精度を向上させるためである。 When it is determined that the size of the second ACF adhesive sheet is within the predetermined range, the position and rotation angle of the second ACF adhesive sheet are calculated based on the captured image of the second ACF adhesive sheet, and the calculated position and rotation angle of the second ACF adhesive sheet are calculated. It is preferable to correct the sticking position of the second ACF sticking sheet on the substrate based on the above. This is to improve the pasting accuracy of the second ACF pasting sheet.
本発明に係る第2のテープ貼付方法は、ACFテープの台紙テープに貼着したACFシートを所定貼付長でハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法であって、ACFシートに第1及び第2ハーフカット切目を形成して、その間に第1ACF貼付シートを作製し、この第1ACF貼付シートを基板に貼付け、第3ハーフカット切目をACFシートに形成して第2ACF貼付シートを作製し、第1ACF貼付シートを保持していた台紙テープ上に残存テープがないかをチェックし、残存テープがあった場合は第2ACF貼付シートを貼り付けず、残存テープがなかった場合に第2ACF貼付シートを基板に貼り付けることを特徴とする。 A second tape application method according to the present invention is a tape application method in which an ACF sheet attached to an ACF tape mount tape is half-cut with a predetermined application length and attached to a substrate. Two half-cut cuts are formed, a first ACF sticking sheet is produced between them, the first ACF sticking sheet is stuck on the substrate, a third half-cut cut is formed on the ACF sheet, and a second ACF sticking sheet is produced. Check whether there is any remaining tape on the mount tape that held the 1ACF adhesive sheet. If there is residual tape, do not attach the second ACF adhesive sheet. If there is no residual tape, use the second ACF adhesive sheet as a substrate. It is characterized by sticking to.
本発明によれば、ACF貼付シートの貼付けミスを防止し、貼付長寸法不良のACF貼付シートの基板への貼付けを防止することができるテープ貼付方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the sticking mistake of an ACF sticking sheet can be prevented, and the tape sticking method which can prevent the sticking to the board | substrate of the ACF sticking sheet of a sticking length dimension defect can be provided.
図1は、本実施の形態に係るACFテープ貼付装置100の斜視図であり、図2はACFテープ貼付装置100のACF貼付部15等を説明するための斜視図である。ACFテープ貼付装置100は、基板ステージ12を備える。基板ステージ12は、XYステージ駆動部23及び24によりXY方向(水平方向)に移動自在に設けられる。基板ステージ12の上には基板11が載置される。基板ステージ12の側部にはカメラ1が上向きに設けられる。
FIG. 1 is a perspective view of an ACF
ACFテープ貼付装置100には、ACFテープ2を巻回したテープ繰出しリール17が設けられる。図3(a)はACFテープ2を説明するための断面図であり、図3(b)はその下面図である。ACFテープ2は、厚み約80μmの台紙テープ4と、台紙テープ4の表面を覆って形成した厚み約60〜80μmのACFシート3と、ACFシート3を保護するためにその表面を覆って形成したカバーテープ(図示せず)とを有する。
The ACF
テープ繰出しリール17に巻回されたACFテープ2は、テンションローラ18に巻き付けられ、カバーテープ吸引装置20によりカバーテープ(図示せず)を剥ぎ取られてACFシート3が露出され、ガイドローラ33及び34により、基板ステージ12の上側に配置したACF切断部13(図1)に案内される。
The
ACF切断部13に案内されたACFテープ2は、剥離ローラユニット32を介してテープ供給部16に到る。テープ供給部16には、ACFテープ2を挟持する固定チャック26と、所定のACFテープ貼付長だけACFテープ2をテープ送りするフィードチャック31と、ACFテープ貼付長に相当するストローク分だけテープ走行方向に往復移動可能にフィードチャック31を駆動するためのサーボモータ27と、ACFテープ2の台紙テープ4を吸引する台紙テープ吸引装置19とが設けられる。
The ACF
ACF切断部13は、台紙テープ4に貼着したACFシート3を、台紙テープ4を切断することなく所定貼付長で切断した幅約40μmのハーフカット切目5、6を形成してACF貼付シート8を作製する。このACF切断部13は、矢印25に示すACFテープ送り方向に直交する水平方向に進退自在に設けられる。
The ACF cutting section 13 forms
ACFテープ貼付装置100にはACF貼付部15(図2)が設けられる。ACF貼付部15は、ACF貼付シート8を基板11の所定実装位置に貼付けるために台紙テープ4を加熱しながら基板11に向けて加圧する。
The ACF
このACF貼付部15は、矢印30で示す垂直方向に昇降自在に設けられる。ACF貼付部15が動作するときには、ACF切断部13は矢印25方向に移動して退避状態にあり、一方、ACF切断部13が動作するときにはACF貼付部15は上方へ移動して退避状態となる。
The ACF attaching
ACFテープ貼付装置100には、基板11を上側から照らす照明装置28と、基板11上に設けられた基板位置補正用のマーク(図示せず)を認識するための撮像装置29と、撮像装置29からの撮像情報に基づいて基板位置補正量を演算するコントローラ21と、ACFテープ2の貼付長等の外形寸法及び貼り付け条件等を入力する入力部22とが設けられる。
The ACF
このように構成されたACFテープ貼付装置100の動作を説明する。図5(a)〜図5(c)及び図6(a)〜図6(c)は、ACFテープ貼付装置100の動作を説明するための模式図である。
The operation of the ACF
テープ繰出しリール17から繰り出されたACFテープ2は、テンションローラ18、ガイドローラ33及び34を経由して、ACF切断部13及びACF貼付部15の作動場所を通り、剥離ローラユニット32を経由して開状態のフィードチャック31を通って固定チャック26により挟持される。
The
次にACF切断部13は、ACFシート3を上記所定貼付長に切断するために第1ハーフカット切目5と第2ハーフカット切目6とを形成する。上記第1ハーフカット切目5と第2ハーフカット切目6との間の距離は、上記所定貼付長分に対応し、フィードチャック31によるACFテープ2の送り量で制御される。よってサーボモータ27の制御により第1ハーフカット切目5と第2ハーフカット切目6との間の距離は任意に設定することができ、所望の貼付長にACFシート3を切断することができる。
Next, the ACF cutting unit 13 forms the first half-
その後、ACF切断部13を矢印25の方向に退避させる。そして、両ハーフカット切目5、6で挟まれるACF貼付シート8の下側にカメラ1が位置するように基板ステージ12を移動させる。
Thereafter, the ACF cutting part 13 is retracted in the direction of the
そして、正常にハーフカットされているか否かを確認するためにACF貼付シート8をカメラ1で撮像し、その撮像情報に基づいてコントローラ21により四隅の4点P1、P2、P3及びP4の座標を求め、点P1及び点P4の中点P5、並びに点P2及び点P3の中点P6を求め、点P5及び点P6の間の長さを求めて、ACF貼付シート8の外形寸法を算出する。そして、算出した外形寸法と入力部22で入力したACF貼付シート8の外形寸法とを比較し、外形寸法算出結果が、入力部22で設定した許容量範囲外であれば、マシンをエラー停止する。
Then, in order to confirm whether or not the half-cut is normally performed, the ACF-attached
外形寸法算出結果が許容範囲内であれば、ACF貼付シート8の撮像情報に基づいてコントローラ21により、四隅の4点P1、P2、P3及びP4の座標からACF貼付シート8の中心点P7及び回転角度を求め、その結果に基づいて基板11の位置補正量を算出し、XYステージ駆動部23、24により基板ステージ12を駆動して基板11の位置を補正する。そして図5(a)及び図5(b)に示すように、ACF貼付部15及びACFテープ2を原点高さ(ORG)から基板11上まで下降させて所定の押圧力で台紙テープ4を加圧し、約85℃で加熱することによりACF貼付シート8の粘着面を基板11の所定位置に貼り付ける。
If the outer dimension calculation result is within the allowable range, the
そして図5(c)に示すように、ACF貼付部15を基板11から所定の剥離高さH1だけ上昇させる。次にテープたわみ発生部(図示せず)により剥離ローラユニット32側のACFテープ2を撓ませて、図6(a)に示すように、剥離ローラユニット32をACF貼付シート8を越えてガイドローラ34側に移動させて台紙テープ4をACF貼付シート8から浮き上がらせて剥離させる。その後、図6(b)に示すように剥離ユニット32は逆方向にACF貼付シート8を越えて元の位置に戻る。そして図6(c)に示すように、ACF貼付部15及びACFテープ2を原点高さ(ORG)まで上昇させる。次に、フィードチャック31を閉じ、固定チャック26を開いて、上記所定貼付長分だけACFテープ2を送る。台紙テープ4は台紙テープ吸引装置19で回収される。
Then, as shown in FIG. 5C, the
次にACF切断部13を進出させ、図4(a)及び図4(b)に示すように第3ハーフカット切目7をACF切断部13で形成することにより第2ハーフカット切目6及び第3ハーフカット切目7で挟まれるACF貼付シート9を作製する。その後、ACF切断部13を矢印25の方向に退避させる。次に第1及び第2ハーフカット切目5、6で挟まれる台紙テープ領域の下側にカメラ1が位置するように基板ステージ12を水平移動させる。
Next, the ACF cutting part 13 is advanced, and as shown in FIGS. 4A and 4B, the third half-
そして、今回貼り付け対象となるACF貼付シート9の位置より1回前のACF貼付シート8の貼付け位置(第1ハーフカット切目5と第2ハーフカット切目6とで挟まれる台紙テープ4の領域)をカメラ1で撮像する。そして、その撮像情報に基づいて、貼付けミスシート(ACF貼付シート8)の有無をコントローラ21で判断する。その位置にACF貼付シート8が有ると判断した場合、ACF貼付シート8が基板11に正常に貼り付けられていないと判断し、マシンをエラー停止する。貼付けミスシート(ACF貼付シート8)がない領域は台紙テープ4が灰色に認識される。貼付けミスシートがある領域は白色に認識される。従って、公知の画像処理技術により貼付けミスシートの有無を判断することができる。
Then, the pasting position of the
ACF貼付シート8がないと判断した場合には、ACF貼付シート9をカメラ1で撮像して貼付長寸法が許容範囲内であるか否かを判断する。許容範囲内であると判断した場合にはACF貼付部15によりACF貼付シート9を基板に貼付け、許容範囲内でないと判断した場合にはマシンをエラー停止する。
When it is determined that there is no
図7(a)は熱圧着による溶解が生じたACFテープを説明するための断面図であり、図7(b)はその下面図である。図8(a)は熱圧着によるACFテープの溶解の有無の検査を説明するための断面図であり、図8(b)はその下面図である。 FIG. 7A is a cross-sectional view for explaining an ACF tape that has been melted by thermocompression bonding, and FIG. 7B is a bottom view thereof. FIG. 8A is a cross-sectional view for explaining the inspection of whether or not the ACF tape is dissolved by thermocompression bonding, and FIG. 8B is a bottom view thereof.
ACF貼付け部15を交換等したときに、その取付位置が図7(a)の矢印A7方向にずれると、ACF貼付シート8を加圧して基板11に貼り付けるときに、ACF貼付け部15の端面15Aがハーフカット切目6を超えてACFシート3の端部3Bの上まで熱圧着してしまう。このため、端部3Bが溶解してギザギザな形状になり、次のACF貼付シート9の貼付長が短くなるおそれがある。そこで本実施の形態では、ACF貼付シート9を基板11に貼り付ける前に、端部3Bの粗さD1をカメラ1により検出して所定値例えば75μm以上の場合には、マシンをエラー停止する。
When the
なお、粗さD1が所定値以上の場合に、ACF貼付部15の端面15Aの位置がハーフカット切目7を越えてACFシート3側にないか否かをカメラ1により認識して判定してもよい。
When the roughness D1 is equal to or larger than a predetermined value, the
また図4(a)、図4(b)において、1回前のACF貼付シート8の貼付け位置とACF貼付シート9とを別個にカメラ1で撮像する例を示したが、1視野で同時に撮像してもよい。
4 (a) and 4 (b) show an example in which the past position of the
本発明は、液晶パネル又は液晶パネルに接続するFPC等において、ACFテープをハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法に適用することができる。 The present invention can be applied to a tape attaching method in which an ACF tape is half cut and attached to a substrate in a liquid crystal panel or an FPC connected to the liquid crystal panel.
1 カメラ
2 ACFテープ
3 ACFシート
4 台紙テープ
5、6、7ハーフカット切目
8、9 ACF貼付シート
10 台紙テープ領域
11 基板
12 基板ステージ
13 ACF切断部
100 ACFテープ貼付装置
DESCRIPTION OF
Claims (4)
第1ACF貼付シートが残存しないと判断したときは、第2ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させて、第2ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、
第1ACF貼付シートが残存すると判断したときは、第2ACF貼付シートを基板に貼付ける工程をエラー停止することを特徴とするテープ貼付方法。 A tape application method for attaching an ACF sheet attached to an ACF tape mount tape to a substrate by half-cutting it with a predetermined application length, and placing the substrate on top of a horizontally movable stage with the camera facing upward ACF tape is supplied to the cutting mechanism placed on the ACF sheet with the ACF sheet facing downward, the first half-cut cut is formed on the ACF sheet by the cutting mechanism, and the ACF tape is fed by a predetermined pasting length to cut the second half-cut cut. To form a first ACF adhesive sheet sandwiched between the first and second half-cut cuts, retract the cutting mechanism in a horizontal direction intersecting the ACF tape feeding direction, and a substrate is placed below the first ACF adhesive sheet. The stage is moved horizontally so that it is positioned, and in order to attach the first ACF attachment sheet to the substrate, the mount tape is pressed toward the substrate, and the mount tape is The tape is lifted from the substrate, tension is applied, the cutting mechanism is advanced, the ACF tape is fed by a predetermined sticking length, and the third half cut cut is formed by the cutting mechanism, so that it is sandwiched between the second and third half cut cuts. A second ACF sticking sheet is prepared, the cutting mechanism is retracted in the horizontal direction, and the stage is moved horizontally so that the camera is positioned below the mount tape area sandwiched between the first and second half cut cuts. The mount tape area is imaged with a camera, and the presence or absence of the first ACF sticking sheet is determined based on the captured image,
When it is determined that the first ACF adhesive sheet does not remain, the stage is horizontally moved so that the substrate is positioned below the second ACF adhesive sheet, and the mount tape is attached to the substrate to adhere the second ACF adhesive sheet to the substrate. Press towards
When it is determined that the first ACF sticking sheet remains, the step of sticking the second ACF sticking sheet to the substrate is stopped by error.
第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内と判断したときに、第2ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させて、第2ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、
第2ACF貼付シート寸法が所定範囲外と判断したときは、第2ACF貼付シートを基板に貼付ける工程をエラー停止する請求項1記載のテープ貼付方法。 When it is determined that the first ACF adhesive sheet does not remain, the second ACF adhesive sheet is imaged with a camera, and it is determined whether or not the second ACF adhesive sheet dimension is within a predetermined range based on the captured image.
When it is determined that the size of the second ACF adhesive sheet is within a predetermined range, the stage is horizontally moved so that the substrate is positioned below the second ACF adhesive sheet, and a mount tape is attached to attach the second ACF adhesive sheet to the substrate. Press towards the board,
The tape sticking method according to claim 1, wherein when the second ACF sticking sheet dimension is determined to be outside the predetermined range, the step of sticking the second ACF sticking sheet to the substrate is stopped by error.
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