JP4703043B2 - 連続シート状材料の表面処理装置及び表面処理方法 - Google Patents

連続シート状材料の表面処理装置及び表面処理方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチックフィルム等の比較的滑りやすいシート状材料を真空室内において連続して走行させ、その走行経路中においてプラズマやスパッタ、CVD、蒸着等によって該シート状材料の表面を改質したり、該表面に金属膜、セラミックス膜、有機膜等の膜を成膜するなどの各種の表面処理を行なう、連続シート状材料の表面処理装置及び表面処理方法に関する。この表面処理装置及び方法は、太陽電池、フレキシブル配線基板(FPC)、タッチパネル、反射防止膜や赤外線・紫外線防止膜、電磁シールド膜などの各種の機能性フィルムの製造に好適に用いられるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、真空下において、連続シート状材料に対しプラズマ等による表面改質処理や、スパッタ、CVD、蒸着等による成膜処理などの表面処理を行う表面処理装置がある。かかる表面処理装置は、装置内を真空状態にして巻出部から巻取部までシート状材料を連続して走行させながら、その間の処理部でシート状材料に表面処理を施すものである。
【0003】
このようなシート状材料を巻出部にセットする際には、装置内を大気圧状態として、シート状材料の巻物体を巻出部にセットし、その始端を引き出して処理部を通過させてから巻取部まで導いて巻取側に接続する。そして、巻出部と巻取部との間にストールテンションと称される初期張力をかけて、大気中での準備が完了する。その後、装置内を密閉して、排気装置により内部を真空引きし、装置内を真空状態としてからシート状材料を走行させて表面処理を行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように大気圧下でセットされた巻物体は、そのシート状材料間に薄い空気層が介在していることから、その後真空引きする際に、この空気が抜き出されることになって、シート状材料にフローティング現象が起こる。また、かかるシート状材料の巻物体には、その巻回時における巻き込み張力等によって残留応力が存在している。そのため、このような残留応力等に起因して、上記フローティング現象の際にシート状材料に巻ズレが生じてしまうが、その時の左右への動き、量ないし程度は、全く予想できない。かかる巻ズレは、シート状材料の厚みが薄く、また、巻物体の巻径が大きいほど甚だしい状態となる。そして、一度巻ズレが起こってしまうと、その巻物体はもとの耳端の揃った状態にすることができない。
【0005】
このような巻ズレを抑制するため、従来は、上記のストールテンションをかなり強くして、真空引きを開始させるなどの工夫がなされているが、その効果は不十分である。また、シート状材料によっては、例えば薄いフィルムのように大きなストールテンションをかけられない場合もある。
【0006】
以上のように巻ズレが発生した巻物体を巻出部から巻き出すと、シート状材料の蛇行の原因になって次の工程に移すことができないばかりか、シート状材料が軌道から外れて破れるなどのトラブルの元になる。
【0007】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、真空室内において巻出部から巻取部まで連続して走行させるシート状材料の表面処理装置において真空引き時における巻ズレを防止することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の連続シート状材料の表面処理装置は、大気圧状態から真空状態に真空引き可能な内部空間を持つ本体と、該本体内に設けられた巻出部及び巻取部と、真空状態の本体内において巻出部から巻取部まで連続して走行するシート状材料に表面処理を施す処理部と、前記巻出部にセットされたシート状材料の巻物体の両端面を当接保持し、かつ当接解除可能な保持手段と、を備えるものである。
【0009】
本発明の連続シート状材料の表面処理方法は、該表面処理装置を用いてシート状材料に表面処理を施す方法であって、前記本体内が大気圧の状態で前記シート状材料の巻物体を前記巻出部にセットする工程、セットしたシート状材料の始端を巻取側に接続する工程、セットした巻物体の両端面を前記保持手段により当接保持する工程、巻物体の両端面を保持した状態で本体内を真空引きする工程、本体内が真空状態になった後、前記保持手段による保持を解除してから前記シート状材料を走行させて前記処理部で表面処理を施す工程、とを含むものである。
【0010】
本発明によれば、巻出部にシート状材料の巻物体をセットしてから本体内を真空引きする際に、該巻物体の左右両側の端面を保持手段により当接保持しているため、該巻物体におけるシート状材料間のズレを防止しながら、シート状材料間の空気を抜くことができる。そして、真空引きが完了すれば、もはや巻ズレが生じることはないので、保持手段による巻物体の保持を解除して、シート状材料を走行させ、表面処理を行うことができる。
【0011】
上記の保持手段は、巻物体を挟んでその軸方向の両側に相対して配された一対の保持部材であって、それぞれ軸方向に進退して巻物体の端面に当接しかつ離脱可能に設けられていてもよい。
【0012】
この場合、保持部材は、巻物体の端面を当接保持する当接面部と、該当接面部に設けられて巻物体の端面の位置を検知する検知部とを備え、前記保持部材を巻物体の端面に向かって移動させ、前記検知部によって当接面部が巻物体の端面に当接したことを検知したときに前記保持部材が停止するように構成することが好ましい。これにより、巻物体の端面を確実に探り当てることができ、保持部材と巻物体の端面との間に隙間ができたり、保持部材が巻物体の端面を不必要に押したりすることを防止することができる。
【0013】
上記においては、巻出部に保持手段を設けているが、真空引きの際に巻取部にもシート状材料の巻物体が配されている場合を考慮して、巻取側にも同様の保持手段を設けてもよい。すなわち、巻取部に配されたシート状材料の巻物体の両端面を当接保持し、かつ当接解除可能な第2の保持手段を設けて、大気圧状態で第2の保持手段により巻取部に配された巻物体の両端面を保持し、保持した状態で前記本体内を真空引きし、第2の保持手段による保持を解除してからシート状材料を走行させるようにしてもよい。このように巻出部と巻取部の両方に保持手段を設けた場合、シート状材料を正逆走行どちらで走行させる場合にも、真空引き時における巻出側での巻物体の巻ズレを防止することができる。また、巻取側を途中の径まで巻き込んだ後、大気に戻し、再度真空引きして継続的に正規の方向に巻き込みをさせる場合に、巻出部だけでなく巻取部でも真空引き時における巻物体の巻ズレを防止することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について図面に基づいて説明する。
【0015】
図1は、本発明の一実施形態に係る表面処理装置の側面断面図である。この装置は、プラスチックフィルム等の連続シート状材料Sをスパッタやプラズマ(CVD)により表面処理(コーティング)を行うものであり、大気圧状態から真空状態に真空引きすることができる密閉された室(内部空間)を形成する本体10を備える。
【0016】
本体10の天井面には、1又は複数の排気装置12が取り付けられており、これらの排気装置12を動作させることによって、本体10内は大気圧状態から真空状態に真空引きできるようになっている。
【0017】
本体10内は、巻出室14、巻取室16および反応室18と、これらを接続する接続室20とに区画されている。
【0018】
巻出室14内には、基材となるシート状材料SをコアC1に巻回してなる巻物体W1が水平にセットされ、この巻物体W1からシート状材料Sを順次に引き出す巻出部が構成されている。また、巻取室16内には、コアC2が水平にセットされ、このコアC2を駆動させることにより処理されたシート状材料Sを巻き取って巻物体W2を得る巻取部が構成されている。なお、本実施形態では、シート状材料Wが正逆両方向に走行できるように、巻出室14と巻取室16は、ともに巻出部としても巻取部としても作用し得るように構成されており、逆方向に走行させる際には、符号16が巻出室、符号14が巻取室となる。
【0019】
反応室18内には、巻出室14から巻取室16まで連続して走行するシート状材料Sに表面処理を施す処理部が構成されている。処理部は、シート状材料Sの加熱又は冷却を行うバックアップロール22と、このロール22に沿って走行するシート状材料Sと相対するように配されたスパッタ源やプラズマ源となる複数の電極24とからなり、各電極24毎に仕切壁26によって仕切られている。なお、本装置が蒸着装置である場合には、上記電極24は蒸発源となり、バックアップロール22の真下に位置することもある。
【0020】
接続室20内には、ガイドロール等の複数の支持ロール28が配されており、シート状材料Sは、これらの支持ロール28により支持されて巻出室14から反応室18を通って巻取室16まで走行する。
【0021】
巻出室14内には、セットされた巻物体W1の両端面を当接保持して、真空引き時におけるシート間のズレを防止する保持部材30が設けられており、図1では該保持部材30による巻物体W1の当接位置が示されている。
【0022】
図2は、巻出室14内に巻物体W1をセットし、その両端面を保持部材30で押さえている状態を示す図である。
【0023】
巻出室14には、巻物体W1のコアC1の両端を締め付けることにより保持するテーパーコーン32a,32bが左右に対向して配設されており、そのシャフト34a,34bとともに、コアC1のための回転軸受けが構成されている。そして、一方のテーパーコーン32aのシャフト34aはエアシリンダ36に接続されており、そのエア圧により他方のテーパーコーン32bとの間でコアC1を保持するようになっている。他方のテーパーコーン32bのシャフト34bは、ブレーキなどの駆動部38に接続されている。また、この駆動側には、シャフト34bを軸方向に進退させる軸サイドレー40が設けられており、これにより、巻物体W1を左右に移動させて軸方向での位置調整できるようになっている。
【0024】
保持部材30は、巻物体W1を挟んでその軸方向の両側に相対向するように対で設けられている。保持部材30は、巻物体W1の軸方向において、その端面に向かって前進して面接触にて当該端面に当接し、また、後退して当該端面から離脱するように構成されている。詳細には、保持部材30のシャフト42が、巻出室14の側壁に設けられた駆動部44に接続されて、この駆動部44により、巻出室14の側壁から巻物体W1の軸方向に押し出され、かつ、引き込まれるようになっている。
【0025】
駆動部44は、この実施形態ではエアシリンダからなる。エアシリンダは、エア圧をコントロールすることによって保持部材30による押圧力を変化させることができるため、後述するように大気中での保持部材30の位置調整が可能となり、好ましい。保持部材30によって規制する巻ズレの力は巻物体W1の径や幅により異なるが、通常、0.5〜10kg/cmの力で巻物体W1の端面を押すことができるエアシリンダであれば、好適に用いることができる。なお、駆動部44としては、電気的な駆動モータや手動ハンドルであってもよい。
【0026】
図3,4は、保持部材30の拡大図である。保持部材30は、巻物体W1の端面の一部を当接保持する矩形板状の当接面部46を備え、この当接面部46に巻物体W1の端面の位置を検知する検知部が設けられている。検知部は、当接面部46の中央部に配されたレバー48と、レバー48が当接面部46内に収納されることで押されるリミットスイッチ50とからなる。レバー48は、当接面部46に設けられた凹部内において軸52に回動可能に取り付けられ、その後面に付勢手段であるスプリング54が取り付けられて当接面部46の前面からわずかに突出した姿勢に保持されている。
【0027】
保持部材30が巻物体W1の端面に押し付けられると、レバー48がスプリング54の付勢力に抗して回動し、当接面部46の凹部内に収容されることでリミットスイッチ50を押す。上記駆動部44のエアシリンダには圧縮エアが電磁弁を通して供給されており、このリミットスイッチ50の信号でエア供給が停止され、同時に左右で押し引きしないようにエアシリンダにはロックがかかるようになっている。これにより、保持部材30は、当接面部46が巻物体W1の端面に当接したことを検知したときに停止するようになっており、保持部材30と巻物体W1の端面との間に隙間ができたり、保持部材30が巻物体W1の端面を不必要に押したりすることが防止されている。なお、保持部材30の駆動方式が電気的なモータである場合はリミットスイッチ50の信号でモータを停止させればよく、停止後の保持部材30の微動禁止のためのブレーキも、様々な方法で実施することができる。
【0028】
保持部材30による巻物体W1の当接範囲は、真空引き時における巻ズレを防止できるものであれば特に限定されない。保持部材30は、巻物体W1の径方向の全体にわたって当接することが好ましいが、必ずしも全体で当接していなくてもよい。巻ズレは巻物体の外径側で生じやすいため、巻物体W1の外周縁からの径方向における当接範囲Aが、コアC1上に巻かれたシート状材料Sの厚みBに対して30%以上(A≧0.3B)であれば、通常、巻ズレを防止することができる。
【0029】
なお、本実施形態では、図1に示すように、上述した保持部材30を巻出室14だけでなく、巻取室16にも設けており、巻取部にシート状材料Sの巻物体W2が配されていた状態で真空引きする際に、保持部材30により巻物体W2の両端面を当接保持して巻ズレを防止できるようになっている。
【0030】
上記した表面処理装置を用いてシート状材料Sに表面処理を施す際には、本体10内が大気圧の状態で、シート状材料Sの巻物体W1を巻出室14にセットし、セットした巻物体W1の始端S1を巻取側に接続する。巻出側への接続は、始端S1を巻出室14から引き出し所定の経路をパスして巻取室16まで導き、巻取室16にセットされた巻取用のコアC2に係止してもよく、あるいまた、先行して走行していた先のシート状材料の後端S0と接続してもよい。その際、図2に示すように、先のシート状材料の後端S0とセットした巻物体W1の始端S1とが幅方向において一致していない場合(ズレXがある場合)、軸サイドレー40により巻物体W1を軸方向にずらし、両者を一致させてから接続する。接続後、巻出部と巻取部との間のシート状材料Sにストールテンションと呼ばれる初期張力をかける。但し、走行は停止したままとする。
【0031】
次いで、図2に示すように、巻物体W1の両端面を保持手段30により当接保持する。詳細には、駆動部44によって保持部材30を巻物体W1の端面に向かって軸方向に移動させ、レバー48とリミットスイッチ50からなる検知部の作用によって、保持部材30をその当接面部46が巻物体W1の端面に当接したことを検知したときに停止させ、同時にロックをかけて、保持部材30が巻物体W1の端面を当接保持した状態のまま動かないように固定する。なお、左右の保持部材30は、同時に動作させても、片側ずつ動作させてもよい。
【0032】
このようにして保持部材30により巻物体W1の両端面を保持した状態で、扉(不図示)を閉めるなどして本体10内を密閉し、排気装置12により本体10内を大気圧状態から真空状態に真空引きする。真空引きにより、巻物体W1におけるシート材料間の空気が抜き出されシート状材料にフローティング現象が起こるが、巻物体W1の端面が保持部材30によって動かないように保持されているため、シート状材料間のズレが防止される。
【0033】
そして、本体10内が真空状態になった後、駆動部44によって保持部材30を巻物体W1から退避させて保持状態を解除する。その後、巻取軸となるコアC2を駆動させて、巻出室14から巻取室16までシート状材料Sを走行させ、その間の反応室18で表面処理を施す。なお、巻物体W1の端面を保持部材30が押さえたままの状態ではシート状材料Sの駆動装置が作動できないようなインターロック機構を設けておくこともできる。
【0034】
このようにして表面処理が終了すると、本体10内を大気圧状態に戻し、本体10を開けて、処理したシート状材料Sの巻物体W2を巻取室16から取り出す。
【0035】
以上のように本実施形態によれば、巻出室14にセットされた巻物体W1の両端面を保持部材30により当接保持した状態で本体10内を真空引きしているため、真空引き時における巻物体W1の巻ズレを確実に防止することができる。
【0036】
また、上記のように軸サイドレー40によって巻物体W1を軸方向にずらした場合には、保持部材30によって保持する巻物体W1の端面が正規の位置からずれることになる。このようにずれた場合でも、上記のように保持部材30の当接面部46に検知部を設けて、当接面部46が巻物体W1の端面に当接すると同時に保持部材30を停止させるようにしたので、左右の保持部材30が巻物体W1を押し引きするのを防止することができる。かかる構成は、特に、保持部材30の駆動を自動で行うことが要求される生産機に有効である。なお、保持部材30の駆動が手動の場合には、巻物体W1の端面の位置を目視で確認しながら保持部材30を当接させることができるため、このような検知部は不要である。
【0037】
上記実施形態においては、巻出室14にセットした巻物体W1の始端を巻取側に接続してから、その両端面を保持部材30により当接保持しているが、両者を入れ換えて、保持部材30を巻物体W1の端面に当接させてから、その始端を巻取側に接続するようにしてもよい。その場合、駆動部44がエアシリンダからなるため、エア圧をコントロールすることにより、巻物体W1の両端面を押さえた状態で軸サイドレー40を動作させることもでき(なお、保持部材30で巻物体W1を保持した後に軸サイドレー40を動作させる場合、駆動部44のロックを解除してエアシリンダーによって押す力だけにしておけば、軸サイドレー40の動作に追従させることが可能であることは言うまでもない)、大気中において、巻物体W1の位置調整とともに保持部材30の位置調整が可能となる。
【0038】
【発明の効果】
以上より、本発明によれば、真空空間内で巻出部から巻取部までシート状材料を連続して走行させながら表面処理を行う連続シート状材料の表面処理装置において、真空引き時における巻物体の巻ズレを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る表面処理装置の側面断面図である。
【図2】同表面処理装置における巻出部の平面図である。
【図3】同表面処理装置における保持部材の側面図である。
【図4】同表面処理装置における保持部材の正面図である。
【符号の説明】
10……本体
14……巻出室
16……巻取室
18……反応室(処理部)
30……保持部材
46……当接面部
48……レバー
50……リミットスイッチ
S……シート状材料
W1,W2……巻物体
C1,C2……コア

Claims (6)

  1. 大気圧状態から真空状態に真空引き可能な内部空間を持つ本体と、
    該本体内に設けられた巻出部及び巻取部と、
    真空状態の本体内において巻出部から巻取部まで連続して走行するシート状材料に表面処理を施す処理部と、
    前記巻出部にセットされたシート状材料の巻物体の両端面を当接保持し、かつ当接解除可能な保持手段と、
    を備える連続シート状材料の表面処理装置。
  2. 前記保持手段が大気圧状態で巻物体の両端面を保持し、この保持した状態で本体内を真空引きするようにした請求項1記載の表面処理装置。
  3. 前記保持手段が、巻物体を挟んでその軸方向の両側に相対して配された一対の保持部材であり、それぞれ軸方向に進退して巻物体の端面に当接しかつ離脱可能に設けられた請求項1又は2記載の表面処理装置。
  4. 前記保持部材が、巻物体の端面を当接保持する当接面部と、該当接面部に設けられて巻物体の端面の位置を検知する検知部とを備え、
    前記保持部材を巻物体の端面に向かって移動させ、前記検知部によって当接面部が巻物体の端面に当接したことを検知したときに前記保持部材が停止するようにした請求項3記載の表面処理装置。
  5. 前記巻取部に配されたシート状材料の巻物体の両端面を当接保持し、かつ当接解除可能な第2の保持手段を備える請求項1〜4のいずれかに記載の表面処理装置。
  6. 請求項1〜5のいずれかに記載の表面処理装置を用いてシート状材料に表面処理を施す方法であって、
    前記本体内が大気圧の状態で前記シート状材料の巻物体を前記巻出部にセットする工程、
    セットしたシート状材料の始端を巻取側に接続する工程、
    セットした巻物体の両端面を前記保持手段により当接保持する工程、
    巻物体の両端面を保持した状態で本体内を真空引きする工程、
    本体内が真空状態になった後、前記保持手段による保持を解除してから前記シート状材料を走行させて前記処理部で表面処理を施す工程、
    とを含む連続シート状材料の表面処理方法。
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