JP4693188B2 - シリコンウェハのエッチング方法 - Google Patents
シリコンウェハのエッチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4693188B2 JP4693188B2 JP2008182051A JP2008182051A JP4693188B2 JP 4693188 B2 JP4693188 B2 JP 4693188B2 JP 2008182051 A JP2008182051 A JP 2008182051A JP 2008182051 A JP2008182051 A JP 2008182051A JP 4693188 B2 JP4693188 B2 JP 4693188B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- etching
- defect
- silicon wafer
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Weting (AREA)
Description
図7に、従来技術に係るウェハ10の側面断面図を示す。図7において、ウェハ10は無欠陥層11とバルク層12とを備えており、バルク層12の内部には、BMD欠陥13とCOP欠陥14とが混在している。
このような無欠陥層11を備えたウェハ10は、BMD欠陥13とCOP欠陥14とを、厚さ方向全体に含んで製作されたウェハ10に対して、水素やアルゴンなどの雰囲気中で1100°C〜1250°Cでアニーリングを行なうことによって製造される。これにより、ウェハ10の表面近くの層からBMD欠陥13及びCOP欠陥14が取り除かれ、無欠陥層11が形成される。
このとき、無欠陥深さtは、アニーリングの温度及び時間によって変化するので、所定の無欠陥深さtの無欠陥層11を得るためには、アニーリングの温度及び時間との関係を正確に導出する必要がある。また、アニーリングしたウェハ10に対し、所定の無欠陥深さtが得られたか否かを、検査することも必要である。
これらの理由から、ウェハ10の無欠陥深さtを、迅速に、かつ正確に測定する技術が求められている。
即ち、ウェハ10の表層を所定厚さまで研磨によって除去し、除去後に露出した新表面上に酸化膜及び電極からなるMOS構造を作成する。そして、MOS構造に電圧を印加して、GOI(ゲート酸化膜耐圧特性)を測定することにより、無欠陥深さtを測定するというものである。
図9に示すように、電圧Vが電界値に換算して約1MV/cmまでの範囲では、電圧Vを増加させていくに従い、電流iが増大する。そして、電界値換算で6〜7MV/cmまでは電流iはゆっくりと増加し、電界値換算で6〜7MV/cmを越えると、約12MV/cmまでは一気に増加する。
即ち従来技術においては、ウェハ10の表層を、研磨により除去している。研磨の工程としては、粗い砥粒を用いて研磨を行なう粗研磨工程と、微細な砥粒や砥液を用いる仕上げ研磨工程とが必要となる。
これは、粗研磨のみを行なって仕上げ研磨を行なわないと、粗研磨によって生じた微小な傷がGOI測定の際に素子の耐圧不良を引き起こし、そのために、測定値がウェハ10の特性を表さなくなってしまうことがあるためである。
一方、仕上げ研磨のみによってウェハ10を所定の取り代(例えば9μm)だけ研磨しようとすると、非常に多くの時間を要するため、両者を併せて用いる必要がある。
図11に、従来技術に係る、無欠陥深さt測定のための手順をフローチャートで示す。まず、粗研磨機によってウェハ10を粗研磨し(ステップS11)、ウェハ10を仕上げ研磨機に搬送し(ステップS12)、仕上げ研磨機によってウェハ10を仕上げ研磨し(ステップS13)、GOI測定を行なう(ステップS14)。或いは、ステップS12において、ウェハ10を搬送する代わりに、アタッチメントを付け替えてもよい。
特に昨今、無欠陥層11を備えた上記のような高品質ウェハ10の需要が急増しているため、短時間でウェハ10の無欠陥深さtを測定することが求められている。そのためには、ウェハ10の表層を、短時間で所定の取り代だけ正確に除去する必要がある。
特に、粗研磨及び仕上げ研磨によってウェハ10の表層を短時間で除去するためには、粗研磨でなるべく所望する厚さ近くまで研磨し、その後、仕上げ研磨で微小厚さを研磨することが望まれる。しかしながら、粗研磨で多くを除去するほど、上記のダメージが残ることが多く、これを避けるには、仕上げ研磨で除去する厚さを増やす必要があるため、さらに長い研磨時間が必要となる。
これによれば、エッチングによってウェハの表層を除去するので、粗研磨よりも短時間で除去が可能である。また、シリコンウェハにダメージが残りにくいので、このダメージを欠陥と誤認識することが少ない。
これにより、1μm単位での無欠陥深さの測定が可能であり、デバイスメーカが要求する仕様を満足することができる。
スピンエッチングは、高速でシリコンウェハの表層を除去可能であり、測定に要する時間が短縮される。しかも取り代の精度が正確で、除去後の面粗さが小さいので、無欠陥深さの測定が正確になる。
これにより、エッチング液の供給停止後にエッチングが進行することが少なく、シリコンウェハの表面の荒れが少なくなってヘイズが減少する。その結果、欠陥検出時に、ヘイズに起因する素子の耐圧不良が発生することが少なくなり、検出結果がより正確になる。
これにより、シリコンウェハの新表面がより滑らかになってヘイズがほぼなくなり、同様に検出結果がより正確になる。
エッチングとGOI測定とを組み合わせることにより、欠陥数を正確に、かつ迅速に測定することができる。
これにより、エッチング液の供給停止後にエッチングが進行することが少なく、ヘイズの少ない、滑らかなシリコンウェハの新表面が得られる。
(1)シリコンウェハ10の表層を略均等に所定の取り代で除去する除去工程と、除去されて露出した新表面18における欠陥を検出する欠陥検出工程とを備え、前記除去工程がエッチングによってシリコンウェハ10の表層を除去することを特徴とする、シリコンウェハの欠陥検出方法。
(2)上記(1)に記載のシリコンウェハの欠陥検出方法において、前記エッチングが、取り代の寸法精度が±0.5μm以内となるようにシリコンウェハ10の表層を除去可能なエッチングであることを特徴とするシリコンウェハの欠陥検出方法。
(3)上記(1)に記載のシリコンウェハの欠陥検出方法において、前記エッチングが、シリコンウェハ10を回転させつつその表面にエッチング液25を供給して表層を除去するスピンエッチングであることを特徴とするシリコンウェハの欠陥検出方法。
(4)上記(3)に記載のシリコンウェハの欠陥検出方法において、前記スピンエッチング直後に、エッチングによって露出したシリコンウェハ10の表面にエッチングの進行を停止させるリンス液27を供給するようにしたことを特徴とするシリコンウェハの欠陥検出方法。
(5)上記(1)〜(4)のいずれかに記載のシリコンウェハの欠陥検出方法において、前記除去工程が、エッチング工程によって露出した表面を仕上げ研磨してシリコンウェハ10の新表面18を露出させる仕上げ研磨工程を備えたことを特徴とするシリコンウェハの欠陥検出方法。
(6)上記(1)〜(5)のいずれかに記載のシリコンウェハの欠陥検出方法において、前記欠陥検出工程が、露出した新表面18に酸化膜15及び電極16からなるMOS構造を作成するMOS作成工程と、MOS構造に電圧を印加してその電流−電圧特性に基づいてシリコンウェハ10の欠陥を検出する電圧印加工程とを備えたゲート酸化膜耐圧特性測定工程であることを特徴とするシリコンウェハの欠陥検出方法。
(7)シリコンウェハ10を回転させつつその表面にエッチング液25を供給するスピンエッチング工程と、エッチング液25の供給停止直後に、エッチングによって露出したシリコンウェハ10の表面にエッチングの進行を停止させるリンス液27を供給するリンス工程とを備えたことを特徴とするシリコンウェハのエッチング方法。
まず、第1実施形態を説明する。図1に、第1実施形態に係る無欠陥深さtの測定方法の一例を、フローチャートで示す。
まず、ウェハを後述するスピンエッチャーに搭載し、スピンエッチングにより、表層を所定の厚さだけ除去する(ステップS21)。スピンエッチャーとは、ウェハを高速で回転させながら、その表面にエッチング液を供給することにより、ウェハの表層を所望する取り代にわたってエッチングして除去するものである。これにより、ウェハの表層は均一に除去され、滑らかな新表面が露出する。
即ち、図8に示したように、除去後に露出した新表面18上に、酸化膜15及び電極16からなるMOS構造を作成する。そして、MOS構造に電圧を印加して、GOI(ゲート酸化膜耐圧特性)を測定することにより、ある深さにおける欠陥を検出する。
図2に、スピンエッチャー22の一例を示す。本実施形態に好適なスピンエッチャー22の一例としては、日本エスイーゼット社製のRST200等がある。図2においてスピンエッチャー22は、モータ28によって高速で回転する回転台23を備えている。回転台23の上部には、ベルヌーイチャックによる図示しない保持機構が備えられ、ウェハ10を表面を上方に向けて略水平に保持している。
また、ウェハ10表面に、エッチング液25を中和したり洗い流したりして、エッチングの進行を停止させる(リンスする)、純水等のリンス液27を供給するリンス管26を備えている。
このとき、図示しないコントローラからの指令により、ウェハ10の回転速度とエッチング液25の供給量を調節し、ウェハ10の取り代を、所望する値に制御可能である。
例えば、ある程度の時間が経過してからリンス液27を供給したり、或いはリンス管26からはリンス液27の供給を行なわず、ウェハ10上にエッチング液25が残存している状態で、ウェハ10を洗浄装置に搬送してリンスや洗浄を行なったりしていた。
このようなヘイズが、これまでにさほど問題とならなかったのは、スピンエッチングが、酸化膜の除去などの目的に用いられてきたためであるが、GOI測定のように平坦な表面が必要な場合には問題となる。即ち、ヘイズは、GOI測定時に、COP欠陥14と同様に絶縁破壊の生じる電界Eを下げるような働きをするため、GOI測定の精度が低下してしまう。
エッチングによって表層を除去したウェハ10に対してGOI測定を行なった場合に、従来の研磨によって表層を除去した場合と同様の精度の測定結果が得られるか否かについて、実験を行なった。実験は、次の条件で行なわれた。
その結果、同一条件でアニーリングを行なった3枚のウェハ10を1組とする、20組のアニーリング済ウェハ10が得られた。
そして、1組3枚のウェハ10のうち、1枚は研磨(粗研磨及び仕上げ研磨)によって厚さ9μmの表層を除去し、他の2枚はスピンエッチングによって厚さ9μmの表層を除去した。これらの表層除去済ウェハ10に対して、図10に示したように素子を多数作成し、各素子に対してGOI測定を行なった。そして、8MV/cm程度の電界をかけた際に絶縁破壊を起こさなかった素子数の、全素子数に対する比率を良品率とした。
この結果から、研磨の代わりにスピンエッチングを用いてウェハ10の表層を除去しても、正確なGOI測定の結果が得られることがわかる。
実験に際し、まず、小さなCOP欠陥14が高密度で存在するウェハ群10Aと、大きなCOP欠陥14が低密度で存在するウェハ群10Bとを、それぞれ20枚ずつ製作した。尚、COP欠陥14の大きさや密度に関しては、例えばウェハ10の結晶を引き上げる際の引き上げ速度や雰囲気温度等の諸条件により、予め予測が可能である。
1)1100°Cで1時間
2)1150°Cで1時間
3)1200°Cで1時間
4)1200°Cで2時間
スピンエッチングの取り代は、1,3,6,9μmとした。また、比較のために、除去を行なわない取り代0のウェハ10に対しても、GOI測定を行なった。GOI測定においては、酸化膜の厚さを24nmとし、8MV/cmまでの電界を印加して、破壊されなかった素子を良品と評価した。
図4に、ウェハ群10Aに関し、横軸に取り代、縦軸に良品率を取ったグラフを示す。図4に示すようにウェハ群10Aにおいては、条件3),4)の1200°Cでアニーリングしたものは、深さ9μmまで表層を除去しても、良品率が90%を越えている。
これにより、小さなCOP欠陥14が高密度で存在するようなウェハ10Aに対しては、1200°C以上のアニーリングを1時間以上施すことにより、深さ9μmまでCOP欠陥の除去が可能であることがわかる。
図5に、ウェハ群10Bに関し、横軸に取り代、縦軸に良品率を取ったグラフを示す。図5に示すようにウェハ群10Bにおいては、条件4)のように1200°Cで2時間アニーリングしたウェハ10のみが、取り代3μmまで良品率90%を越えており、6μmの取り代においても、80%の良品率を得ている。
一方、条件4)以外では、取り代1μmであっても、どのアニーリング条件のウェハも良品率90%を越えることができない。従って、大きなCOP欠陥14を除去するためには、高温で長時間のアニーリングが必要であり、ことに無欠陥深さtが9μmのウェハ10を得るためには、さらに好適なアニーリング条件を探す必要があることがわかる。
例えば、従来の研磨を用いた測定方法によれば、ウェハ10の表層を9μmの取り代にわたって除去するためには、粗研磨と仕上げ研磨とを合わせて、1枚当たり約12分を要していた。これに対し、本実施形態のスピンエッチングを用いるならば、約8分で除去が完了する。
このように、無欠陥深さtの測定や検査に要する時間を短縮することが可能となっている。
従って、GOI測定の測定結果に、高い信頼性が得られる。
これにより、ウェハ10の新表面18のヘイズによって、GOI測定に誤差が生じることが少なく、より正確な無欠陥深さtの測定が可能である。
図6に、第2実施形態に係るGOI測定方法のフローチャートを示す。まず、スピンエッチャー22によってウェハ10をエッチングし(ステップS31)、ウェハ10を仕上げ研磨機に搬送し(ステップS32)、仕上げ研磨機によってウェハ10を仕上げ研磨して(ステップS33)、GOI測定を行なう(ステップS34)。
従って、第2実施形態に示したように、スピンエッチングの後に仕上げ研磨を行なうことにより、ヘイズをより確実に除去し、GOI測定やこれ以外の測定方法においても、正確な欠陥検出を可能としている。
これに対し、本実施形態に述べたように、エッチング後に仕上げ研磨を行なうことにより、より正確な厚さの除去が可能となっている。
従って、まずスピンエッチャー22以外の、取り代の精度は粗いが所要時間の短いエッチング方法によってウェハ10の表層を除去し、その後に仕上げ研磨を施すことにより、除去に必要な時間をさらに減らすことも可能となっている。
Claims (2)
- 所定の無欠陥深さを有するシリコンウェハの製造方法におけるエッチング方法であって、
シリコンウェハを水素やアルゴンなどの雰囲気中でアニーリング処理をし、
該シリコンウェハの表層を略均等に3μm以上の取り代で寸法精度が±0.5μm以内となるように除去する除去工程を備え、
前記除去工程が、硝酸(HNO3)、弗酸(HF)、及び硫酸(H2SO4)のうち少なくとも1つを含むエッチング液を用いたスピンエッチングによってシリコンウェハ(10)の表層を除去するが、シリコンウェハ(10)の回転速度とエッチング液(25)の供給量を調節して、前記取り代を除去し、前記エッチング液の供給停止直後に、エッチングによって露出したシリコンウェハ(10)の表面にリンス液(27)を供給し前記エッチング液を中和し洗い流してエッチングの進行を即座に停止させるスピンエッチングを研磨の代わりに用いることを特徴とするエッチング方法。 - 前記アニーリング処理は、1200°C以上、1時間以上であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008182051A JP4693188B2 (ja) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | シリコンウェハのエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008182051A JP4693188B2 (ja) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | シリコンウェハのエッチング方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002220582A Division JP4257080B2 (ja) | 2002-07-30 | 2002-07-30 | シリコンウェハの欠陥検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008300857A JP2008300857A (ja) | 2008-12-11 |
JP4693188B2 true JP4693188B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=40174005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008182051A Expired - Lifetime JP4693188B2 (ja) | 2008-07-11 | 2008-07-11 | シリコンウェハのエッチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4693188B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112233967B (zh) * | 2020-10-15 | 2024-05-03 | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 | 一种改善背面金属与衬底Si脱落异常的加工方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08279484A (ja) * | 1995-04-07 | 1996-10-22 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウェハのエッチング方法及び装置 |
JPH10112450A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法 |
JPH10112485A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの加工歪層深さの測定方法 |
JPH10112486A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの酸化膜耐圧特性の測定方法 |
JP2000031110A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-28 | Seiko Epson Corp | 半導体基板処理装置 |
WO2001016409A1 (fr) * | 1999-08-27 | 2001-03-08 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Plaquette en silicium et procede de fabrication, et procede d'evaluation de plaquette en silicium |
-
2008
- 2008-07-11 JP JP2008182051A patent/JP4693188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08279484A (ja) * | 1995-04-07 | 1996-10-22 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウェハのエッチング方法及び装置 |
JPH10112450A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの製造方法 |
JPH10112485A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの加工歪層深さの測定方法 |
JPH10112486A (ja) * | 1996-10-04 | 1998-04-28 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの酸化膜耐圧特性の測定方法 |
JP2000031110A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-28 | Seiko Epson Corp | 半導体基板処理装置 |
WO2001016409A1 (fr) * | 1999-08-27 | 2001-03-08 | Komatsu Denshi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Plaquette en silicium et procede de fabrication, et procede d'evaluation de plaquette en silicium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008300857A (ja) | 2008-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2260507B1 (en) | Methods for etching the edge of a silicon wafer, silicon wafer, etching apparatus | |
US7955956B2 (en) | Method for recycling/reclaiming a monitor wafer | |
JP6066729B2 (ja) | Soi構造における非接合領域の幅の減少方法ならびにその方法によって製造したウエハおよびsoi構造 | |
TWI427721B (zh) | Production method of monocrystalline silicon wafer, single crystal silicon wafer, and evaluation method of single crystal silicon wafer | |
US6635500B2 (en) | Treatment of substrates | |
CN109500663A (zh) | 一种降低8英寸硅抛光片表面粗糙度的抛光工艺 | |
JP2013520838A5 (ja) | ||
US7699997B2 (en) | Method of reclaiming silicon wafers | |
JP4257080B2 (ja) | シリコンウェハの欠陥検出方法 | |
JP4693188B2 (ja) | シリコンウェハのエッチング方法 | |
CN108885982B (zh) | 硅晶圆的单面抛光方法 | |
CN116918041A (zh) | 硅晶圆的清洗方法、硅晶圆的制造方法及硅晶圆 | |
JP7078005B2 (ja) | シリコンウェーハの平坦化加工方法 | |
JP7003904B2 (ja) | シリコンウェーハのバッチ式洗浄方法並びにその洗浄方法を用いたシリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハの洗浄条件決定方法 | |
JP4809033B2 (ja) | 拡散ウェーハの製造方法 | |
JP7279753B2 (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法および製造方法 | |
JP6996488B2 (ja) | シリコンウェーハのバッチ式洗浄方法並びにその洗浄方法を用いたシリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハの洗浄条件決定方法 | |
JP2010165960A (ja) | シリコンウェハの洗浄方法 | |
WO2022190830A1 (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法、シリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハ | |
KR100883511B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 연마 방법 및 장치 | |
JP3778538B2 (ja) | シリコンウェーハの評価方法 | |
JP5134586B2 (ja) | シリコンウエーハの再生方法 | |
Pham et al. | Strength improvement for the GaAs thin wafer | |
WO2003075336A1 (fr) | Procede de fabrication d'une couche de silicium monocristallin et couche de silicium monocristallin | |
JP2022138089A (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法、シリコンウェーハの製造方法及びシリコンウェーハ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110216 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110221 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4693188 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |