JP4691923B2 - 半導体装置の搭載設備 - Google Patents
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Description
なお、本実施例のフリップチップボンダにおいては、半導体チップをダイシングフィルムに貼り付けた状態で供給しているが、半導体チップをチップトレイに収めた状態で供給する装置形態においても全く同じ効果を得ることが可能となる。
2…板カム
3…ローラギアカム形インデックステーブル
4…カムフォロア
5…反転機構ベースプレート
6…センターエアバルブ
7a、7b…エアチューブ
8a、8b…コレット上下機構
9a、9b…反転コレット
10…回転プレート
11a、11b…エア接続穴
21…ダイシングフレーム
22…ウェーハ回転機構
23…チップ剥離機構
24x、24y…ウェーハ並進移動機構
25…半導体チップ認識用カメラA
26…ダイシングフレーム固定ベース
27…ダイシングフィルム
31…搭載コレット
32…荷重調整機構
33…搭載コレット回転機構
34…搭載コレット上下機構
35…搭載コレットx移動機構
36…半導体チップ認識用カメラB
37…x移動ブロック
41…回路基板y送り機構
42…回路基板認識用カメラC
43…回路基板搬送路
51c…カムレバー
52、53…エアチューブ(エア吸引)
54…エアチューブ(エア噴出)
55、56…エア吸引溝
57…エア噴出穴
61…Vノッチプレート
62a、62b…ピン
63…カムレバー
64…直動テーブル
71…半導体チップ
72…回路基板
73…搭載済み半導体チップ
81…ボールスプライン外筒
82…ボールスプライン軸
83…下ストッパ
84…ストッパプレート
85…上ストッパ
86…上ストッパ固定具
87…引っ張りバネ
88…コレット上下レバー
89…カムフォロア
90…カムフォロア
91…コレットレバー押しプレート
Claims (4)
- 反転コレットを半導体装置に対して突き出し、
反転コレットを介してエアを吸引することにより、該半導体装置を反転コレットに吸着し、
半導体装置を保持した状態で反転コレットを退避させ、
反転コレットを回転させることにより、半導体装置の表裏を反転し、
エア回路を切り換えることにより反転コレットのエアの吸引力を弱めて該半導体装置を搭載コレットに受け渡し、
該搭載コレットを用いて半導体装置を搭載する半導体装置の搭載設備において、
前記反転コレットの突き出しおよび退避と反転コレットのエア回路切換の少なくともいずれかと前記反転コレットの回転とを、1台のモータで駆動するカム機構によりなすことを特徴とする半導体装置の搭載設備。 - 請求項1において、
前記表裏反転に伴い回転する部材と回転しない部材との機械的な噛み合わせによる倣い位置決めによって、前記反転の機構の停止位置における精密位置決めを行うことを特徴とする半導体装置の搭載設備。 - 請求項1又は2において、
搭載設備のサイクルタイムが一定となる稼働状態で、前記モータに加減速指令を与えずに回転駆動させることを特徴とする半導体装置の搭載設備。 - 請求項1または請求項2において、
前記カム機構は、モータに入力軸が接続されたローラギアカムを用いたインデックステーブルを有することを特徴とする半導体装置の搭載設備。
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