JP4690754B2 - 大面積マスクレス露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
一方、連続的または間欠的な基板スキャン若しくは光学像スキャン又はそれらの組み合わせによって露光位置移動を行って、基板面での空間光変調器の転写面積(1回の露光面積)を超える大面積の領域を露光する場合、基板の傾き補正と焦点合わせを、手動で行うとすれば、煩雑熟練を要する作業が必要となり、時間がかかるという問題がある。
光源、空間光変調器、結像光学系及び移動ステージを備えた大面積マスクレス露光装置を使用し、露光位置移動によって1回の露光面積よりも大きな領域を露光する大面積マスクレス露光方法において、
前記大面積マスクレス露光装置に、
前記空間光変調器に、同一パターンである第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンのうち、第1の検査用明暗パターン及び第2の検査用明暗パターンの組と第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組とを第1軸に対して線対称に、且つ、第1の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組と第2の検査用明暗パターン及び第3の検査用明暗パターンの組とを第1軸に直交する第2軸に対して線対称に同時又は順次表示させる第1ステップと、
前記第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、前記結像光学系を介して、前記移動ステージ上に設置された平板状基板の表面の1つの露光領域に、該ステージの設置面に平行な第3軸に前記第1軸が合致し、且つ、該ステージの設置面に平行で前記3軸に直交する第4軸に前記第2軸が合致するように、投影させる第2ステップと、
前記1つの露光領域からの反射光であって前記第1の検査用明暗パターン、前記第2の検査用明暗パターン、前記第3の検査用明暗パターン及び前記第4の検査用明暗パターンに対応する各々の光を前記結像光学系を介して前記空間光変調器に再結像させ、前記第1の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第1の光電変換部に結像させ、前記第2の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第2の光電変換部に結像させ、前記第3の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第3の光電変換部に結像させ、前記第4の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第4の光電変換部に結像させる第3ステップと、
前記設置面に直交する第5軸に沿っての前記ステージの移動、前記第3軸及び前記第4軸を中心とする前記ステージの傾動によって、前記第1の光電変換部、前記第2の光電変換部、前記第3の光電変換部及び前記第4の光電変換部の各々の出力を同時に最大にする位置及び傾きに前記平板状基板を固定する第4ステップと、
前記空間変調器に所望の露光用明暗パターンを表示させ、露光波長領域の光を照射する第5ステップとを、
前記平板状基板の前記結像光学系の光軸に垂直な面内での移動の度に順次実行させ、前記平板状基板の全露光領域で、常に焦点のあった露光を自動的に行わせることを特徴とする。
第2ステップでは、第1ステップで、空間光変調器に表示された検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、結像光学系を介して、移動ステージ上に設置された平板状基板の表面の1つの露光領域に投影させる。
第3ステップでは、その露光領域からの反射光であって検査用明暗パターンに対応する各々の光を結像光学系を介して空間光変調器に再結像させ、上記、その各々の光に対応した複数の光電面を有する光電変換部(例えば図1の光電変換素子80)に結像させる。
第4ステップでは、平板状基板の結像光学系の光軸上の位置及び傾きを移動ステージによって変化させ、光電面の各々からの出力(例えばIA,IB,IC,ID)を同時に最大にする位置及び傾きを検出し、その位置及び傾きに基板を固定する。
第5ステップでは、空間変調器に所望の露光用明暗パターンを表示させ、露光波長領域の光を照射する。
露光対象である平板状基板の前記結像光学系の光軸に垂直な面内での移動の度に、
前記空間光変調器に、同一パターンである第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンのうち、第1の検査用明暗パターン及び第2の検査用明暗パターンの組と第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組とを第1軸に対して線対称に、且つ、第1の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組と第2の検査用明暗パターン及び第3の検査用明暗パターンの組とを第1軸に直交する第2軸に対して線対称に同時又は順次表示させ、
前記第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、前記結像光学系を介して、前記移動ステージ上に設置された平板状基板の表面の1つの露光領域に、該ステージの設置面に平行な第3軸に前記第1軸が合致し、且つ、該ステージの設置面に平行で前記3軸に直交する第4軸に前記第2軸が合致するように、投影させ、
前記1つの露光領域からの反射光であって前記第1の検査用明暗パターン、前記第2の検査用明暗パターン、前記第3の検査用明暗パターン及び前記第4の検査用明暗パターンに対応する各々の光を前記結像光学系を介して前記空間光変調器に再結像させ、前記第1の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第1の光電変換部に結像させ、前記第2の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第2の光電変換部に結像させ、前記第3の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第3の光電変換部に結像させ、前記第4の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第4の光電変換部に結像させ、
前記設置面に直交する第5軸に沿っての前記ステージの移動、前記第3軸及び前記第4軸を中心とする前記ステージの傾動によって、前記第1の光電変換部、前記第2の光電変換部、前記第3の光電変換部及び前記第4の光電変換部の各々の出力を同時に最大にする位置及び傾きに前記平板状基板を固定し、
前記空間変調器に所望の露光用明暗パターンを表示させ、露光波長領域の光を照射するように構成されていることを特徴とする。
図1には本発明の大面積マスクレス露光装置の第1実施形態が示されている。この露光装置100は次の通り構成されている。
60は、x、y、z、θx、θy、θzの6軸方向に精密に微移動可能に構成されている。このうち、x−y平面は両側テレセントリック光学系40の光軸に対して直交する平面であり、z軸は両側テレセントリック光学系40の光軸に対して平行な軸である。また、θxはx軸に平行な軸、、θyはy軸に平行な軸、θzはz軸に平行な軸である。
この検査光学系は、平板状基板50での反射光を結像レンズ90によって光電変換素子80に結像させるようになっている。すなわち、この検査光学系では、平板状基板50での反射光は前記両側テレセントリック光学系40を通ってDMD30に入射する。DMD30は両側テレセントリック光学系40からの光を反射させ、光源10側に向かわせる。そして、DMD30と光源10との間に設けられたハーフミラー70によってDMD30からの光は反射され、結像レンズ90を介して光電変換素子80に結像する。
これら4つの検査用明暗パターンは、DMD30上の第1軸、第2軸がそれぞれ6軸ステージ60のθx、θyの軸に合致するように平板状基板50に投影される。そして、4つの検査用明暗パターンの投影像は4分割された光電変換素子80の対応光電変換部に結像される。
図5(A)には、平板状基板50がθyの軸だけを中心として傾いている状態が示されている。この場合、6軸ステージ60を所定位置からZ方向に動かし平板状基板50を両側テレセントリック光学系の光軸方向に移動すると、平板状基板50が所定位置からZADだけ移動した所で検査用明暗パターンA、Dの焦点が合う(図6(A)参照)。この時には、検査用明暗パターンB、Cの焦点は合っていない。さらに、6軸ステージ60をZ方向に動かし平板状基板50を両側テレセントリック光学系の光軸方向に移動すると、所定位置からZBCだけ移動した所で検査用明暗パターンB、Cの焦点が合う(図6(B)参照)。この時には、検査用明暗パターンA、Dは焦点位置からずれる。
同図からは、光電変換素子80の光電変換部からの出力Iは、対応の検査用明暗パターンの焦点が合った時に最大となることが分かる。この場合の最大値IMAXは、検査用明暗
パターンが市松模様状となっているため、IONのほぼ1/2である。
具体的には、IAD/IONとIBC/IONの差Δ=(IAD−IBC)/IONを算出し、6軸ステージ60により基板位置をZ軸方向に移動してΔ=0となる位置に基板を固定する。続いて、Δ=0を保ちつつ、IADまたはIBCが最大になるまで、6軸ステージ60をθyについて傾動することで、基板傾斜の補正及び焦点合わせが同時にできることになる(図7参照)。
である。しかし、実際には平板状基板50の表面の1つの露光領域はうねり等によってθx及びθy双方に対して傾いている場合が多い。
そこで、前記の手順を、x軸方向の傾きに対応する、IABとICDの組み合わせに対して適用すれば、θxに関する傾斜補正ができ、且つ基板全体について、焦点合わせが行われる。
例えば、第1実施形態では、傾き補正を焦点あわせに先行させたが、焦点合わせを行った後に傾き補正を行ってもよい。
20 リフレクタ
30 DMD
40 両側テレセントリック光学系(結像光学系)
50 平板状基板
70 ハーフミラー
80 光電変換素子
Claims (2)
- 光源、空間光変調器、結像光学系及び移動ステージを備えた大面積マスクレス露光装置を使用し、露光位置移動によって1回の露光面積よりも大きな領域を露光する大面積マスクレス露光方法において、
前記大面積マスクレス露光装置に、
前記空間光変調器に、同一パターンである第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンのうち、第1の検査用明暗パターン及び第2の検査用明暗パターンの組と第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組とを第1軸に対して線対称に、且つ、第1の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組と第2の検査用明暗パターン及び第3の検査用明暗パターンの組とを第1軸に直交する第2軸に対して線対称に同時又は順次表示させる第1ステップと、
前記第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、前記結像光学系を介して、前記移動ステージ上に設置された平板状基板の表面の1つの露光領域に、該ステージの設置面に平行な第3軸に前記第1軸が合致し、且つ、該ステージの設置面に平行で前記3軸に直交する第4軸に前記第2軸が合致するように、投影させる第2ステップと、
前記1つの露光領域からの反射光であって前記第1の検査用明暗パターン、前記第2の検査用明暗パターン、前記第3の検査用明暗パターン及び前記第4の検査用明暗パターンに対応する各々の光を前記結像光学系を介して前記空間光変調器に再結像させ、前記第1の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第1の光電変換部に結像させ、前記第2の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第2の光電変換部に結像させ、前記第3の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第3の光電変換部に結像させ、前記第4の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第4の光電変換部に結像させる第3ステップと、
前記設置面に直交する第5軸に沿っての前記ステージの移動、前記第3軸及び前記第4軸を中心とする前記ステージの傾動によって、前記第1の光電変換部、前記第2の光電変換部、前記第3の光電変換部及び前記第4の光電変換部の各々の出力を同時に最大にする位置及び傾きに前記平板状基板を固定する第4ステップと、
前記空間変調器に所望の露光用明暗パターンを表示させ、露光波長領域の光を照射する第5ステップとを、
前記平板状基板の前記結像光学系の光軸に垂直な面内での移動の度に順次実行させ、前記平板状基板の全露光領域で、常に焦点のあった露光を自動的に行わせることを特徴とする大面積マスクレス露光方法。 - 光源、空間光変調器、結像光学系及び移動ステージを備え、露光位置移動によって1回の露光面積よりも大きな領域を露光する大面積マスクレス露光装置において、
露光対象である平板状基板の前記結像光学系の光軸に垂直な面内での移動の度に、
前記空間光変調器に、同一パターンである第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンのうち、第1の検査用明暗パターン及び第2の検査用明暗パターンの組と第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組とを第1軸に対して線対称に、且つ、第1の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンの組と第2の検査用明暗パターン及び第3の検査用明暗パターンの組とを第1軸に直交する第2軸に対して線対称に同時又は順次表示させ、
前記第1の検査用明暗パターン、第2の検査用明暗パターン、第3の検査用明暗パターン及び第4の検査用明暗パターンを反映し且つ露光波長領域から外れた光を、前記結像光学系を介して、前記移動ステージ上に設置された平板状基板の表面の1つの露光領域に、該ステージの設置面に平行な第3軸に前記第1軸が合致し、且つ、該ステージの設置面に平行で前記3軸に直交する第4軸に前記第2軸が合致するように、投影させ、
前記1つの露光領域からの反射光であって前記第1の検査用明暗パターン、前記第2の検査用明暗パターン、前記第3の検査用明暗パターン及び前記第4の検査用明暗パターンに対応する各々の光を前記結像光学系を介して前記空間光変調器に再結像させ、前記第1の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第1の光電変換部に結像させ、前記第2の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第2の光電変換部に結像させ、前記第3の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第3の光電変換部に結像させ、前記第4の検査用明暗パターンの表示部からの反射光を第4の光電変換部に結像させ、
前記設置面に直交する第5軸に沿っての前記ステージの移動、前記第3軸及び前記第4軸を中心とする前記ステージの傾動によって、前記第1の光電変換部、前記第2の光電変換部、前記第3の光電変換部及び前記第4の光電変換部の各々の出力を同時に最大にする位置及び傾きに前記平板状基板を固定し、
前記空間変調器に所望の露光用明暗パターンを表示させ、露光波長領域の光を照射するように構成されていることを特徴とする大面積マスクレス露光装置。
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