JP4687351B2 - 表示パネルの製造方法 - Google Patents
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Description
基板に設けられた突出層上に位置する画素配列領域に設けられた複数の前記画素電極を第一の方向において仕切るとともに前記第一の方向に直交する第二の方向に沿って設けられ、前記第二の方向において前記画素配列領域外に開放する複数の隔壁間の複数の前記画素電極にわたって前記第二の方向に沿って連続して有機化合物含有液を塗布し、塗布された前記有機化合物含有液の余分量を前記突出層の側面をつたって前記画素配列領域外に流し落とすことを特徴とする。
図1を参照して本実施形態に用いられる塗布装置200について詳細に説明する。塗布装置200は、有機EL素子20のアノードとカソードとの間に積層される有機EL素子層16’を基板11に塗布する装置であり、図1に示すように、x軸ステージ110、ヘッド120、x軸ガイド130、y軸ステージ150、及びコントローラ260等からなる。塗布装置200は、微小の独立した液滴を個々に吐出するインクジェットと異なり、有機化合物溶液を連続して流すノズルコータである。
x軸ステージ110は、コントローラ260から送信される制御信号に応じてx軸ガイド130が案内する方向(x軸方向であり、y軸ステージ150の表面と平行な方向)に移動可能となっている。
突出層12は、単数又は複数の絶縁膜を備えており、層間絶縁膜、保護絶縁膜、又は平坦化絶縁膜として機能している。
そして、縦方向に隣接する画素電極13同士の間の絶縁膜14上には、絶縁膜14より高い隔壁15が設けられている。この隔壁15は、画素電極13と所定の距離だけ離間しており、有機EL素子20の対向電極17に接続される配線として利用することもでき、また絶縁材料で形成してあってもよい。
まず、塗布装置200を用いる前に基板11に突出層12、画素電極13、絶縁膜14、隔壁15を形成するので、これらを形成する方法について説明する。
すなわち、まず、基板11の突出層12、画素電極13、絶縁膜14が形成された面を上にして、基板11をy軸ステージ150上に載置する。次いで、コントローラ260によりノズル、x軸ステージ110及びy軸ステージ150を制御し、ノズルを基板11に対して相対的に移動させながら、有機化合物含有液を基板11に塗布し、乾燥させて有機化合物層を形成する。有機EL層16’は、有機化合物からなる発光層を少なくとも一層備えており、この発光層以外に他の有機化合物層或いは無機化合物層を備えていてもよい。
また、画素電極13を陰極とする場合には、有機EL層16’として、例えば電子輸送層、発光層の順に形成されていてもよいし、発光層の次に正孔輸送層が形成されていてもよいし、電子輸送層が設けられていなくてもよい。また、有機EL層16’を形成する前に、画素電極13上に真空蒸着法等により電子注入層を形成してもよい。
これにより、画素電極13と対向電極との間に有機EL層16’を挟み込んだ有機EL素子20が基板11上にマトリクス状に形成される。
その後、封止基板(例えば、メタルキャップ、ガラス基板等)を接着剤により対向電極に接着する。これにより、ELディスプレイパネルが完成する。
12 突出層
13 画素電極(画素電極)
15 隔壁
16 有機化合物含有液
Claims (4)
- 画素電極、有機EL層、対向電極が積層されてなる表示パネルの製造方法において、
基板に設けられた突出層上に位置する画素配列領域に設けられた複数の前記画素電極を第一の方向において仕切るとともに前記第一の方向に直交する第二の方向に沿って設けられ、前記第二の方向において前記画素配列領域外に開放する複数の隔壁間の複数の前記画素電極にわたって前記第二の方向に沿って連続して有機化合物含有液を塗布し、塗布された前記有機化合物含有液の余分量を前記突出層の側面をつたって前記画素配列領域外に流し落とすことを特徴とする表示パネルの製造方法。 - 前記複数の隔壁は線形状であることを特徴とする請求項1に記載の表示パネルの製造方法。
- 前記突出層は、前記側面が傾斜していることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示パネルの製造方法。
- 前記複数の隔壁の末端部に位置し、前記隔壁よりも低く、前記画素電極よりも高い膜を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
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