JP4686949B2 - 感光性エレメント、及びこれを用いたレジストパターンの製造法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板の製造に用いられる感光性エレメントに関し、詳しくは、重合速度が良好で、かつ解像度や細線密着性にも優れた感光性エレメントに関し、特にＵＶ（紫外光）レーザの走査露光に対して好適な感光性エレメントに関する。さらに本発明はこれらの感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の処理速度の高速化の要求から、プリント配線板の配線が高密度化しており、また、携帯電話に代表されるような、電子機器の超小型化の急速な進展に伴い、プリント配線板も多品種化している。これらを背景に、少量多品種の高密度の配線を有するプリント配線板を効率的に生産する技術が求められている。
【０００３】
一方、従来からプリント配線板の製造分野においては、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料として、感光性樹脂組成物層、ベースフィルム及び保護フィルムからなる感光性エレメントが広く用いられている。プリント配線板の製造の際には、感光性エレメントを基板上にラミネートして、マスクを通して画像を露光した後、未硬化部分を現像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施して、パターンを形成し、次いで硬化部分を基板上から剥離除去する方法が採用されている。この方法においては、解像度や細線密着性を向上させつつ、感光性エレメントの露光時の重合速度を上げ、スループットを改善する技術が求められている。
【０００４】
さらに、これらの方法では、パターン露光過程等で、フォトマスクあるいは基板が伸縮し、位置ずれが生じる場合があり、特に細線のパターン露光が難しく、高密度の配線を有するプリント配線板の生産が困難であった。また、フォトマスク作成に時間・コストを要することから、特にマスクあたりのプリント配線板の生産量が少ない場合、プリント配線板あたりのフォトマスクのコストが増大し、コスト面からも不利になっている。
【０００５】
これらをうけて、ＣＡＤで作成した回路を、レーザ光により直接描画する方法（Laser Direct Imaging、以下ＬＤＩという）が見直されてきている。ＬＤＩは、ＣＡＤデータから直接パターンの描画を行うため、少量多品種の生産が効率的に行える他、フォトマスクを使わないため位置あわせの工程が省略でき、スケーリングの補正も容易であり、マスクへの異物の付着、汚れ、傷の管理の必要がなくなる等、多くの利点を有する。
【０００６】
しかし、ＬＤＩでは、レーザ走査により直接描画を行うため、フォトマスクを利用して一括で露光する場合に比べて、タクトタイムが長く、スループットの点が不十分であるという欠点を有していた。スループットを改善するには、レーザの走査速度をあげることが必要であるが、従来の感光性エレメントでは、感度（５０〜１００mJ／cm2）が不十分であるため、走査速度をあげることが難しいという問題がある。
【０００７】
さらに、レーザ光は、赤外領域から紫外領域まで様々なものがあるが、黄色下での取り扱いが容易で作業性に優れるＵＶ（紫外光）レーザ光を利用する場合、可視光レーザよりも一般に出力が小さいため、さらに高感度の感光性エレメントが要求されるという問題がある。
【０００８】
高感度の感光性エレメントへの要求が増す一方で、同時に感光性エレメントは、露光・現像した際に、良好なレジストパターン、すなわち矩形のレジストパターンが得られるものであることが必要である。感光性エレメントの感度をあげるために、光重合開始剤の添加を過剰に行うと、表面近傍での硬化が進み、低部光重合が進まないために、現像によりレジストパターンが逆台形となり、その後の製造過程で望ましくない結果を生むこととなる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、プリント配線板の製造に用いられる感光性エレメントを提供するものであり、重合速度が良好で、スループットに対する貢献が可能であり、同時に解像度及び細線密着性に優れる感光性エレメントを提供するものである。特に本発明は、感度・解像度に優れ、ＵＶ（紫外光）レーザ走査露光においても、露光・現像後に良好なレジストパターンが得られる感光性エレメントを提供するものである。さらに本発明はこれらの感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した感光性エレメントにおいて、
該感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、
該感光性樹脂組成物層の波長３６５nmの光に対する吸光度が０．１５〜０．８である、
感光性エレメントを提供するものである。
【００１１】
さらに、本発明は、該吸光度が０．３〜０．８である、上記の感光性エレメントを提供するものであり、該光重合性化合物が、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物を含み、また該バインダーポリマーが、スチレン又はスチレン誘導体を含む上記の感光性エレメントを提供するものである。
【００１２】
さらに、本発明は、該感光性樹脂組成物層が、該バインダーポリマー及び該光重合性化合物の配合量の合計を１００重量部として、４０〜８０重量部の該バインダーポリマーと、２０〜６０重量部の該光重合性化合物と、０．０１〜２０重量部の該光重合開始剤とを含有する、上記の感光性エレメントである。
【００１３】
さらに、本発明は、該光重合開始剤が、ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、アリールグリシン系化合物、アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物を含む上記の感光性エレメントであり、また、該光重合開始剤として、さらにオニウム塩を含有する、上記の感光性エレメントである。
【００１４】
本発明は、上記の感光性エレメントを基板上に感光性樹脂組成物層が接するようにして積層し、活性光線により露光させた後、現像することを特徴とするレジストパターンの製造方法であり、活性光線による露光が、ＵＶ（紫外線）レーザでの走査露光であるレジストパターンの製造方法である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性エレメントは、ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した構造を有する。
【００１６】
本発明においてベースフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合フィルムを使用することができる。これらの重合体フィルムの厚みは、１〜１００μmとすることが好ましい。
【００１７】
本発明において感光性樹脂組成物層は、（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを含み、波長３６５nmの光に対する吸光度が０．１５〜０．８、好ましくは０．３〜０．８のものである。吸光度をこの範囲とすることにより、感光性樹脂組成物層の重合速度が良好で、かつ解像度及び細線密着性にも優れた感光性エレメントを得ることができる。
【００１８】
（Ａ）バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性の見地からは、アクリル系樹脂が好ましい。バインダーポリマーは、単独でも、２種以上を混合して使用することもできる。
【００１９】
（Ａ）バインダーポリマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合等で重合させたものを用いることができる。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。
【００２０】
重合性単量体としては、重合可能なスチレン誘導体、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−エチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−エトキシスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｐ−ブロモスチレン等；アクリルアミド、例えば、ジアセトンアクリルアミド等；ビニルアルコールのエステル類、例えば、アクリロニトリル、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等；（メタ）アクリル酸エステル類、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート等；（メタ）アクリル酸類、例えば、（メタ）アクリル酸α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸；マレイン酸及びマレイン酸物エステル類、例えば、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等；フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。
【００２１】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、一般式（Ｉ）：
【００２２】
【化１】
【００２３】
（式中、Ｒ2は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ3は炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示す）で示される化合物、及びこれらの化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロゲン基等が置換した化合物等が挙げられる。
【００２４】
一般式（Ｉ）で表される単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。
【００２５】
（Ａ）バインダーポリマーには、アルカリ現像性の観点から、カルボキシル基を含有させることが好ましく、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合等により重合させたものを用いることができる。カルボキシル基を有する重合性単量体としては、メタクリル酸が好ましい。
【００２６】
さらに、（Ａ）バインダーポリマーには、可とう性の見地からスチレン又はスチレン誘導体が重合性単量体であるものを含有させることが好ましい。スチレン又はスチレン誘導体は、バインダーポリマーの総重量に対して、０．１〜３０重量％で含有させることが好ましい。スチレン又はスチレン誘導体の含有量がこの範囲にあると、感光性樹脂組成物層と基板との密着性が良好であり、かつ、プリント配線板の作製の過程でレジストを剥離させる場合の剥離性も良好である。含有量のより好ましい範囲は１〜２８重量％であり、特に好ましくは１．５〜２７重量％である。
【００２７】
（Ａ）バインダーポリマーの酸価は、３０〜２００mgKOH/gであることが好ましい。酸価がこの範囲にあると、現像時間後が適切であり、光硬化したレジストの耐現像液性も良好である。酸価のより好ましい範囲は、４５〜１５０mgKOH/gである。
【００２８】
（Ａ）バインダーポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算する）は、２０，０００〜３００，０００であることが好ましい。重量平均分子量が、この範囲にあると、耐現像液性も良好で、現像時間も適切である。重量平均分子量のより好ましい範囲は、２５，０００〜１５０，０００である。
【００２９】
（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ウレタンモノマー；ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレート；フタル酸系化合物；（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物又はウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物を含有することが好ましい。
【００３０】
多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールグリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３１】
ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、例えば２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等があげられる。２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能である。
【００３２】
グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。
【００３３】
ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１１等が挙げられる。また、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１３等が挙げられる。
【００３４】
なお、ＥＯはエチレンオキサイドを示し、ＥＯ変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキサイドを示し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキサイド基のブロック構造を有する。
【００３５】
ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３６】
フタル酸系化合物としては、例えば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β′−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等が挙げられる。
【００３７】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００３８】
（Ｃ）光重合開始剤は、（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、（Ｃ２）アリールグリシン系化合物及び（Ｃ３）ベンゾフェノン化合物を含有することが好ましい。
【００３９】
（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物は、特に制限はなく、アリール基に炭素数１〜６のアルコキシ基を有することが好ましく、分子内の炭素数１〜６のアルコキシ基の数が４つであることが好ましい。炭素数１〜６のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ペントキシ基、これらの構造異性体等が挙げられ、メトキシ基であることが好ましい。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００４０】
（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物は、例えば、式（II）：
【００４１】
【化２】
【００４２】
（式中、４つのＲはそれぞれ独立して、炭素数１〜６のアルキル基である）で示される化合物が挙げられる。前記一般式（II）中のフェニル基は置換基を有すことができ、それらの例としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１８のアリール基、フェナシル基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基、炭素数２〜２０のジアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、カルボニル基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、アリル基、水酸基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜１０のアルキルカルボニル基、炭素数２〜１０のアルケニル基、炭素数２〜１０のＮ−アルキルカルバモイル基、複素環を含む基、これらの置換基で置換されたアリール基等が挙げられる。上記置換基の数が２つ以上の場合は２つ以上の置換基は同一でも相違していてもよい。
【００４３】
（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物としては、具体的には、２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，６−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−フルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−フルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，６−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール等が挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００４４】
（Ｃ２）アリールグリシン系化合物としては、例えば、一般式（III）：
【００４５】
【化３】
【００４６】
（式中、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基である）で示される化合物が挙げられる。また、前記一般式（III）中のフェニル基は、置換基を有してもよく、それらの例としては、前述した置換基などが挙げられる。上記置換基の数が２つ以上の場合は２つ以上の置換基は同一でも相違していてもよい。
【００４７】
（Ｃ２）アリールグリシン系化合物としては、具体的には、Ｎ−フェニルグリシン（ＮＰＧ）、Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−シアノフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−メチルフェニル）グリシン、Ｎ−ブチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−プロピル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）−Ｎ−メチルグリシン、Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）−Ｎ−エチルグリシン等が挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００４８】
（Ｃ３）アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン等が挙げらる。
【００４９】
本発明において、光重合開始剤は、さらに（Ｃ４）オニウム塩を含有することができる。（Ｃ４）オニウム塩を含めると、特にＵＶ（紫外光）レーザでの走査露光に好ましい高感度の感光性樹脂組成物層が得られる。
【００５０】
（Ｃ４）オニウム塩化合物としては、例えば、ヨードニウム塩化合物、スルホニウム塩化合物、アンモニウム塩化合物、ホスホニウム塩化合物、アルソニウム塩化合物、スチボニウム塩化合物、オキソニウム塩化合物、セレノニウム塩化合物、スタンノニウム塩化合物等が挙げられ、アンモニウム塩化合物、ヨードニウム塩化合物又はスルホニウム塩化合物であることが好ましい。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００５１】
上記ヨードニウム塩化合物としては、ジアリールヨードニウム塩化合物が好ましく、それらの例としては、一般式（IV）：
【００５２】
【化４】
【００５３】
（式中、Ｒ4及びＲ5は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基であり、Ｘ―は対アニオンである）で示される化合物が挙げられる。
【００５４】
前記一般式（IV）中のＸ―としては、例えば、Ｃｌ―、Ｂｒ―等のハロゲンイオン、ＨＳＯ4-、ＢＦ4-、ＰＦ6-、ＡｓＦ6-、ＣｌＯ4-、ＦＳＯ3-、Ｆ2ＰＯ2-、ＳｂＦ6-、ＣＦ3ＳＯ3-、Ｃ4Ｆ9ＳＯ3-、Ｂ(Ｃ6Ｆ5)4-、ＣＨ3ＳＯ3-、Ｃ8Ｆ17ＳＯ3-、
【００５５】
【化５】
【００５６】
が挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００５７】
前記ヨードニウム塩化合物としては、具体的には、ジフェニルヨードニウム塩、ジトリルヨードニウム塩、フェニル（ｐ−メトキシフェニル）ヨードニウム塩、ビス（ｐ−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム塩、ビス（ｐ−シアノフェニル）ヨードニウム塩、４−イソプロピル−４′−メチルジフェニルヨードニウム塩等のクロライド、ブロマイド、トリフレート、４フッ化ホウ素塩、６フッ化リン塩、６フッ化ヒ素塩、６フッ化アンチモン塩、ベンゼンスルホン酸塩、ｐ−トルエンスルホン酸塩、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ素塩等のクロライド、ブロマイド、トリフレート、４−フッ化ホウ素塩、６−フッ化リン塩、６−フッ化ヒ素塩、６−フッ化アンチモン塩、ベンゼンスルホン酸塩、ｐ−トルエンスルホン酸塩、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ素塩が挙げられる。
【００５８】
本発明の感光性樹脂組成物層は、本発明の効果を阻害しない範囲で、（Ｃ１）〜（Ｃ４）成分以外の光重合開始剤を含有していてもよい。
【００５９】
本発明の感光性樹脂組成物層において、（Ａ）バインダーポリマーの配合量は、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、４０〜８０重量部であることが好ましい。配合量がこの範囲にあると、硬化物の硬化度、感光性エレメントとしての塗膜性も良好である。なお、配合量のより好ましい範囲は、４０〜７０重量部である。
【００６０】
（Ｂ）光重合性化合物の配合量は、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、２０〜６０重量部であることが好ましい。配合量がこの範囲にあると、硬化物の硬化度、感度の観点から望ましい。なお、配合量のより好ましい範囲は、３０〜６０重量部である。
【００６１】
（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、０．０１〜２０重量部であることが好ましい。なお、配合量のより好ましい範囲は、０．１〜１５重量部である。
【００６２】
また、本発明の感光性樹脂組成物層には、必要に応じて、染料（例えばマラカイトグリーン等）、光発色剤（ロイコクリスタルバイオレット等）、熱発色防止剤、可塑剤（例えばｐ−トルエンスルホンアミド等）、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等の添加剤を、各々の添加剤が、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、各々０．０１〜２０重量部程度、含有させることができる。
【００６３】
本発明の感光性樹脂組成物層は、ベースフィルム上に、上記の成分を配合した感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて形成する。その際に、吸光度が、０．１５〜０．８となるようにする。吸光度の調整は、感光性樹脂組成物層の塗布量、厚み等の調整で行うことができる。例えば、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合、
（Ａ）バインダーポリマー４０〜８０重量部と、
（Ｂ）光重合性化合物２０〜６０重量部と、
（Ｃ）光重合開始剤（ここで、（Ｃ）光重合開始剤は、ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、アリールグリシン系化合物、アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物、オニウム塩を含有する）０．０１〜２０重量部と、
を配合して感光性樹脂組成物とし、ベースフィルム上に塗布し、乾燥させる場合、厚みを１〜１００μmとすることにより製造することができる。ＵＶ（紫光線）レーザ走査露光用に用いる場合は、吸光度が０．３〜０．８となるように厚みを調整することが好ましい。
【００６４】
なお、本発明において吸光度とは、感光性エレメントに波長３６５nmの紫外線を照射した際の感光性樹脂組成物層の吸光度をいう。吸光度は、ＵＶ分光計により測定することができ、例えば、（株）日立製作所製２２８Ａ型Ｗビーム分光光度計等で測定することができる。
【００６５】
塗布の際には、感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解して感光性樹脂組成物の総重量に対して、固形分が３０〜６０重量％である溶液とすることができる。
【００６６】
塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、７０〜１５０℃、５〜３０分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以下とすることが好ましい。
【００６７】
ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層したものを感光性エレメントとして用いることもできるが、さらに感光性樹脂組成物層のベースフィルムとは反対側の面に、保護フィルムを積層して感光性エレメントとしてもよい。保護フィルムとしては、ベースフィルムとして例示した重合体フィルムが使用できるが、感光性樹脂組成物層及び保護フィルムの接着力は、感光性樹脂組成物層及びベースフィルムの接着力よりも小さいものが好ましい。また、保護フィルムは、保護フィルム中に含まれるフィッシュアイが少ないものが好ましい。
【００６８】
さらに、感光性エレメントには、感光性樹脂組成物層、ベースフィルム及び保護フィルムの他に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を含有することができる。
【００６９】
感光性エレメントは、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）等のプラスチック等の円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵することができる。なお、この際、ベースフィルムが、外側になるように巻き取られることが好ましい。ロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、梱包方法として、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００７０】
なお、使用目的に応じては、本発明の感光性エレメントは、ベースフィルムのかわりに、支持体として、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に、上記の感光性樹脂組成物を上記で挙げた溶剤で希釈して液状レジストとして塗布し、乾燥させた形態、又は必要に応じてその上にポリエチレン、ポリプロピレン等の重合体フィルム等の保護フィルムを被覆した形態で用いることができる。この場合も、感光性樹脂組成物層の厚みは、感光性樹脂組成物層の吸光度が、０．１５〜０．８となるようにする。
【００７１】
感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造は、以下により行うことができるが、これは、他の方法による製造を制限するものではない。
【００７２】
感光性エレメントに保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去した後、回路形成基板と感光性エレメントの感光性樹脂組成物層が接するようにして、感光性エレメントを７０〜１３０℃程度に加熱しながら、０．１〜１MPa程度（１〜１０kgf/cm2程度）の圧力で圧着することにより積層することができる。積層は、減圧下で行うことが望ましい。感光性エレメントを積層する回路形成基板の表面は、通常金属面であるが、特に制限はない。
【００７３】
感光性エレメントを積層した回路形成基板の感光性エレメント上に、ネガマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する。上記活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いることができる。また、フォトマスクを用いずに、ＣＡＤで作成した回路を、レーザ光により直接描画する方法（ＬＤＩ）を用いることもできる。特に、光重合開始剤に（Ｃ４）オニウム塩を含む本発明の感光性樹脂組成物は、高感度であるため、レーザー露光に有効であり、特にＵＶ（紫外線）レーザー露光に好適に使用することができる。
【００７４】
ＵＶレーザーとしては、Dominant wavelengthが３００〜４００nmのアルゴンレーザーであることが好ましく、３３０〜３８５nmのアルゴンレーザーであることがより好ましく、３４０〜３７５nmアルゴンレーザーであることが特に好ましく、３５０〜３６５nmのアルゴンレーザーであることが極めて好ましい。出力としては特に制限はないが、０．０１〜５W程度が好ましい。レーザー露光装置としては、例えば、オルボテック社製商品名ＤＰ−１００等が挙げられる。
【００７５】
露光後、感光性エレメントにベースフィルムが存在している場合には、ベースフィルムを除去後、現像液によるウェット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して現像し、レジストパターンを製造することができる。
【００７６】
現像液としては、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等を用いることができ、特にアルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液としては、例えば、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液等が挙げられる。上記アルカリ性水溶液のpHは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。また、現像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。
【００７７】
現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０mJ/cm2程度の露光を行うことによりレジストパターンをさらに硬化して用いてもよい。
【００７８】
プリント配線板の製造は以下のようにして行うことができる。現像されたレジストパターンをマスクとして、回路形成用基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法で処理する。エッチングには、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液等を用いることができる。また、めっき法としては、例えば、銅めっき、はんだめっき、ニッケルめっき、金めっき等が挙げられる。
【００７９】
次いで、レジストパターンを、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０重量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウム水溶液等が用いられる。剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレイ方式等が挙げられる。また、レジストパターンが形成されたプリント配線板は、多層プリント配線板でもよく、小径スルーホールを有していてもよい。
【００８０】
【実施例】
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれらにより制限されるものではない。
【００８１】
参考例１〜４、比較例１〜３
表１に示す成分を配合し、溶液を得た。
【００８２】
【表１】
【００８３】
次いで、得られた溶液に、表２に示す（Ｃ）光重合開始剤の成分を溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００８４】
【表２】
【００８５】
この感光性樹脂組成物の溶液を、ベースフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１６μm）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥器で１０分間乾燥して、感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の厚さは３０μmであった。
【００８６】
一方、銅箔（厚さ３５μm）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業（株）製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、♯６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓（株）製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥した。その後、銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に、上記の感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層と銅表面が接するようにして、１１０℃に加熱しながらラミネートし積層した。
【００８７】
（重合速度の測定）
次いで、高圧水銀ランプを有する示差走査熱量測定機（ＤＳＣ）（セイコーインスツルメンツ製 ＳＣ５２００）を用いて、参考例１〜４、比較例１〜３の光重合速度を測定した。光重合速度はモノマ消費濃度−反応時間曲線における光照射後６〜１２秒間の直線の傾きとした。光重合速度が大きいほど光開始能が高いことを示す。結果を表３及びグラフ１に示す。
【００８８】
（細線密着性の測定）
ステップ２１段の露光量における現像後のパターンを光学顕微鏡により観察し、ライン：スペース＝ｘμm：４００μmとして残ったライン幅ｘμmを細線密着性（μm）とした。値が小さい程、細線密着性に優れること示す。結果を表３に示す。
【００８９】
（感度の測定）
高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク（株）製）５９０を用いて、ネガとしてストーファー４１段ステップタブレットを試験片の上に置いて、５、１０又は２０mJ／cm2で露光した。次に、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を最小現像時間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。さらに、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定し、得られたステップ段数からステップ２１段に相当する露光量を露光量対数回帰計算により求め、感度とした。感度は、値が小さい程、高感度であることを示す。結果を表３に示す。
【００９０】
（吸光度の測定）
なお、吸光度は、ＵＶ分光計（（株）日立製作所製２２８Ａ型Ｗビーム分光光度計）を用いて測定した。測定は、ＵＶ分光計の測定側に参考例１〜４、比較例１〜３で得た感光性エレメントを配置し、リファレンス側に実施例及び比較例で使用したものと同じベースフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１６μm）を配置し、吸光度モードにより、７００〜３００μmまでを連続測定し、３６５nmの値を読みとることにより行った。
【００９１】
【表３】
【００９２】
【表４】
【００９３】
表３及びグラフ１より、本発明の範囲である吸光度０．１５〜０．８の感光性樹脂組成物層を持つ参考例１〜４では、重合度速度が良好であり、かつ細線密着性にも優れることがわかる。一方、吸光度が０．８を超える比較例１〜３では、光重合速度も遅く、細線密着性も３０μmと劣る。
【００９４】
実施例５〜８、比較例４〜５
表４に示す成分を配合し、溶液を得た。
【００９５】
【表５】
【００９６】
次いで、得られた溶液に、表５に示す（Ｃ）光重合開始剤の成分を溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００９７】
【表６】
【００９８】
この感光性樹脂組成物の溶液を、ベースフィルム（ポリエチレンポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１６μm）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥器で１０分間乾燥して、感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の厚さは３０μmであった。
【００９９】
一方、銅箔（厚さ３５μm）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業（株）製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、♯６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓（株）製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥した。その後、銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に、上記の感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層と銅表面が接するようにして、１１０℃に加熱しながらラミネートし積層した。
【０１００】
その後、ダイレクトイメージングシステム（オルボテック社製商品名ＤＰ−１００）を用いてレーザ走査露光（Dominant wavelength：３５１〜３６４nm、出力：０．２７〜４．０W）を行った。
【０１０１】
次いで、ベースフィルムを除去して、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を２０秒間スプレーし、未露光部分を除去し、レジストパターンを製造した。
【０１０２】
（吸光度、感度、レジストパターンの測定）
吸光度は、参考例１〜４と同様にして求めた。
感度は、レーザの出力及び露光時間を変化させることにより露光量を振り分け、現像後のパターンを顕微鏡で観察し求めた。レジストパターンも同様に顕微鏡により比較をした。感度は、値が小さい程、高感度であることを示す。レジストパターンは、矩形、次いで台形が好ましい。結果を表６に示す。
【０１０３】
【表７】
【０１０４】
表６より、本発明の範囲である吸光度０．１５〜０．８の感光性樹脂組成物層を持つ実施例５〜８の感光性エレメントは、感度に優れ、また良好な形状のレジストパターンを与えるものであることがわかる。特に、実施例５〜７が好ましい。一方、比較例４〜５の感光性エレメントは、感光性樹脂組成物層の吸光度が本発明の範囲から外れるため、レジストパターンが逆台形と好ましくない。
【０１０５】
【発明の効果】
本発明の感光性エレメントは、重合速度が良好で、かつ解像度及び細線密着性にも優れた感光性エレメントであり、また、特にＵＶ（紫外光）レーザの走査露光に対して好適な感光性エレメントの提供をも可能とするものであり、プリント配線板の高密度化、多品種少量生産の要求に寄与することができる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板の製造に用いられる感光性エレメントに関し、詳しくは、重合速度が良好で、かつ解像度や細線密着性にも優れた感光性エレメントに関し、特にＵＶ（紫外光）レーザの走査露光に対して好適な感光性エレメントに関する。さらに本発明はこれらの感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の処理速度の高速化の要求から、プリント配線板の配線が高密度化しており、また、携帯電話に代表されるような、電子機器の超小型化の急速な進展に伴い、プリント配線板も多品種化している。これらを背景に、少量多品種の高密度の配線を有するプリント配線板を効率的に生産する技術が求められている。
【０００３】
一方、従来からプリント配線板の製造分野においては、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料として、感光性樹脂組成物層、ベースフィルム及び保護フィルムからなる感光性エレメントが広く用いられている。プリント配線板の製造の際には、感光性エレメントを基板上にラミネートして、マスクを通して画像を露光した後、未硬化部分を現像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施して、パターンを形成し、次いで硬化部分を基板上から剥離除去する方法が採用されている。この方法においては、解像度や細線密着性を向上させつつ、感光性エレメントの露光時の重合速度を上げ、スループットを改善する技術が求められている。
【０００４】
さらに、これらの方法では、パターン露光過程等で、フォトマスクあるいは基板が伸縮し、位置ずれが生じる場合があり、特に細線のパターン露光が難しく、高密度の配線を有するプリント配線板の生産が困難であった。また、フォトマスク作成に時間・コストを要することから、特にマスクあたりのプリント配線板の生産量が少ない場合、プリント配線板あたりのフォトマスクのコストが増大し、コスト面からも不利になっている。
【０００５】
これらをうけて、ＣＡＤで作成した回路を、レーザ光により直接描画する方法（Laser Direct Imaging、以下ＬＤＩという）が見直されてきている。ＬＤＩは、ＣＡＤデータから直接パターンの描画を行うため、少量多品種の生産が効率的に行える他、フォトマスクを使わないため位置あわせの工程が省略でき、スケーリングの補正も容易であり、マスクへの異物の付着、汚れ、傷の管理の必要がなくなる等、多くの利点を有する。
【０００６】
しかし、ＬＤＩでは、レーザ走査により直接描画を行うため、フォトマスクを利用して一括で露光する場合に比べて、タクトタイムが長く、スループットの点が不十分であるという欠点を有していた。スループットを改善するには、レーザの走査速度をあげることが必要であるが、従来の感光性エレメントでは、感度（５０〜１００mJ／cm2）が不十分であるため、走査速度をあげることが難しいという問題がある。
【０００７】
さらに、レーザ光は、赤外領域から紫外領域まで様々なものがあるが、黄色下での取り扱いが容易で作業性に優れるＵＶ（紫外光）レーザ光を利用する場合、可視光レーザよりも一般に出力が小さいため、さらに高感度の感光性エレメントが要求されるという問題がある。
【０００８】
高感度の感光性エレメントへの要求が増す一方で、同時に感光性エレメントは、露光・現像した際に、良好なレジストパターン、すなわち矩形のレジストパターンが得られるものであることが必要である。感光性エレメントの感度をあげるために、光重合開始剤の添加を過剰に行うと、表面近傍での硬化が進み、低部光重合が進まないために、現像によりレジストパターンが逆台形となり、その後の製造過程で望ましくない結果を生むこととなる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、プリント配線板の製造に用いられる感光性エレメントを提供するものであり、重合速度が良好で、スループットに対する貢献が可能であり、同時に解像度及び細線密着性に優れる感光性エレメントを提供するものである。特に本発明は、感度・解像度に優れ、ＵＶ（紫外光）レーザ走査露光においても、露光・現像後に良好なレジストパターンが得られる感光性エレメントを提供するものである。さらに本発明はこれらの感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した感光性エレメントにおいて、
該感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、
該感光性樹脂組成物層の波長３６５nmの光に対する吸光度が０．１５〜０．８である、
感光性エレメントを提供するものである。
【００１１】
さらに、本発明は、該吸光度が０．３〜０．８である、上記の感光性エレメントを提供するものであり、該光重合性化合物が、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物を含み、また該バインダーポリマーが、スチレン又はスチレン誘導体を含む上記の感光性エレメントを提供するものである。
【００１２】
さらに、本発明は、該感光性樹脂組成物層が、該バインダーポリマー及び該光重合性化合物の配合量の合計を１００重量部として、４０〜８０重量部の該バインダーポリマーと、２０〜６０重量部の該光重合性化合物と、０．０１〜２０重量部の該光重合開始剤とを含有する、上記の感光性エレメントである。
【００１３】
さらに、本発明は、該光重合開始剤が、ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、アリールグリシン系化合物、アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物を含む上記の感光性エレメントであり、また、該光重合開始剤として、さらにオニウム塩を含有する、上記の感光性エレメントである。
【００１４】
本発明は、上記の感光性エレメントを基板上に感光性樹脂組成物層が接するようにして積層し、活性光線により露光させた後、現像することを特徴とするレジストパターンの製造方法であり、活性光線による露光が、ＵＶ（紫外線）レーザでの走査露光であるレジストパターンの製造方法である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性エレメントは、ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した構造を有する。
【００１６】
本発明においてベースフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合フィルムを使用することができる。これらの重合体フィルムの厚みは、１〜１００μmとすることが好ましい。
【００１７】
本発明において感光性樹脂組成物層は、（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤とを含み、波長３６５nmの光に対する吸光度が０．１５〜０．８、好ましくは０．３〜０．８のものである。吸光度をこの範囲とすることにより、感光性樹脂組成物層の重合速度が良好で、かつ解像度及び細線密着性にも優れた感光性エレメントを得ることができる。
【００１８】
（Ａ）バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性の見地からは、アクリル系樹脂が好ましい。バインダーポリマーは、単独でも、２種以上を混合して使用することもできる。
【００１９】
（Ａ）バインダーポリマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合等で重合させたものを用いることができる。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とはアクリル酸及びそれに対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとはアクリレート及びそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基及びそれに対応するメタクリロイル基を意味する。
【００２０】
重合性単量体としては、重合可能なスチレン誘導体、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−エチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−エトキシスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｐ−ブロモスチレン等；アクリルアミド、例えば、ジアセトンアクリルアミド等；ビニルアルコールのエステル類、例えば、アクリロニトリル、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等；（メタ）アクリル酸エステル類、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート等；（メタ）アクリル酸類、例えば、（メタ）アクリル酸α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸；マレイン酸及びマレイン酸物エステル類、例えば、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等；フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。
【００２１】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、一般式（Ｉ）：
【００２２】
【化１】
（式中、Ｒ2は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ3は炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示す）で示される化合物、及びこれらの化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロゲン基等が置換した化合物等が挙げられる。
【００２４】
一般式（Ｉ）で表される単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。
【００２５】
（Ａ）バインダーポリマーには、アルカリ現像性の観点から、カルボキシル基を含有させることが好ましく、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合等により重合させたものを用いることができる。カルボキシル基を有する重合性単量体としては、メタクリル酸が好ましい。
【００２６】
さらに、（Ａ）バインダーポリマーには、可とう性の見地からスチレン又はスチレン誘導体が重合性単量体であるものを含有させることが好ましい。スチレン又はスチレン誘導体は、バインダーポリマーの総重量に対して、０．１〜３０重量％で含有させることが好ましい。スチレン又はスチレン誘導体の含有量がこの範囲にあると、感光性樹脂組成物層と基板との密着性が良好であり、かつ、プリント配線板の作製の過程でレジストを剥離させる場合の剥離性も良好である。含有量のより好ましい範囲は１〜２８重量％であり、特に好ましくは１．５〜２７重量％である。
【００２７】
（Ａ）バインダーポリマーの酸価は、３０〜２００mgKOH/gであることが好ましい。酸価がこの範囲にあると、現像時間後が適切であり、光硬化したレジストの耐現像液性も良好である。酸価のより好ましい範囲は、４５〜１５０mgKOH/gである。
【００２８】
（Ａ）バインダーポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算する）は、２０，０００〜３００，０００であることが好ましい。重量平均分子量が、この範囲にあると、耐現像液性も良好で、現像時間も適切である。重量平均分子量のより好ましい範囲は、２５，０００〜１５０，０００である。
【００２９】
（Ｂ）分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ウレタンモノマー；ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレート；フタル酸系化合物；（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物又はウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物を含有することが好ましい。
【００３０】
多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールグリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３１】
ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物としては、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、例えば２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等があげられる。２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能である。
【００３２】
グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。
【００３３】
ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１１等が挙げられる。また、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１３等が挙げられる。
【００３４】
なお、ＥＯはエチレンオキサイドを示し、ＥＯ変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキサイドを示し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキサイド基のブロック構造を有する。
【００３５】
ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３６】
フタル酸系化合物としては、例えば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β′−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等が挙げられる。
【００３７】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００３８】
（Ｃ）光重合開始剤は、（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、（Ｃ２）アリールグリシン系化合物及び（Ｃ３）ベンゾフェノン化合物を含有することが好ましい。
【００３９】
（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物は、特に制限はなく、アリール基に炭素数１〜６のアルコキシ基を有することが好ましく、分子内の炭素数１〜６のアルコキシ基の数が４つであることが好ましい。炭素数１〜６のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ペントキシ基、これらの構造異性体等が挙げられ、メトキシ基であることが好ましい。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００４０】
（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物は、例えば、式（II）：
【００４１】
【化２】
（式中、４つのＲはそれぞれ独立して、炭素数１〜６のアルキル基である）で示される化合物が挙げられる。前記一般式（II）中のフェニル基は置換基を有すことができ、それらの例としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１８のアリール基、フェナシル基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基、炭素数２〜２０のジアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、カルボニル基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、アリル基、水酸基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数２〜１０のアルキルカルボニル基、炭素数２〜１０のアルケニル基、炭素数２〜１０のＮ−アルキルカルバモイル基、複素環を含む基、これらの置換基で置換されたアリール基等が挙げられる。上記置換基の数が２つ以上の場合は２つ以上の置換基は同一でも相違していてもよい。
【００４３】
（Ｃ１）ヘキサアリールビスイミダゾール化合物としては、具体的には、２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，６−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−フルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−フルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，６−ジフルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラキス（３−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（２，３−ジブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルビスイミダゾール等が挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００４４】
（Ｃ２）アリールグリシン系化合物としては、例えば、一般式（III）：
【００４５】
【化３】
（式中、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基である）で示される化合物が挙げられる。また、前記一般式（III）中のフェニル基は、置換基を有してもよく、それらの例としては、前述した置換基などが挙げられる。上記置換基の数が２つ以上の場合は２つ以上の置換基は同一でも相違していてもよい。
【００４７】
（Ｃ２）アリールグリシン系化合物としては、具体的には、Ｎ−フェニルグリシン（ＮＰＧ）、Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−シアノフェニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−メチルフェニル）グリシン、Ｎ−ブチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−プロピル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−（ｐ−ブロモフェニル）−Ｎ−メチルグリシン、Ｎ−（ｐ−クロロフェニル）−Ｎ−エチルグリシン等が挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００４８】
（Ｃ３）アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン等が挙げらる。
【００４９】
本発明において、光重合開始剤は、さらに（Ｃ４）オニウム塩を含有することができる。（Ｃ４）オニウム塩を含めると、特にＵＶ（紫外光）レーザでの走査露光に好ましい高感度の感光性樹脂組成物層が得られる。
【００５０】
（Ｃ４）オニウム塩化合物としては、例えば、ヨードニウム塩化合物、スルホニウム塩化合物、アンモニウム塩化合物、ホスホニウム塩化合物、アルソニウム塩化合物、スチボニウム塩化合物、オキソニウム塩化合物、セレノニウム塩化合物、スタンノニウム塩化合物等が挙げられ、アンモニウム塩化合物、ヨードニウム塩化合物又はスルホニウム塩化合物であることが好ましい。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００５１】
上記ヨードニウム塩化合物としては、ジアリールヨードニウム塩化合物が好ましく、それらの例としては、一般式（IV）：
【００５２】
【化４】
（式中、Ｒ4及びＲ5は、それぞれ独立して水素原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基であり、Ｘ―は対アニオンである）で示される化合物が挙げられる。
【００５４】
前記一般式（IV）中のＸ―としては、例えば、Ｃｌ―、Ｂｒ―等のハロゲンイオン、ＨＳＯ4-、ＢＦ4-、ＰＦ6-、ＡｓＦ6-、ＣｌＯ4-、ＦＳＯ3-、Ｆ2ＰＯ2-、ＳｂＦ6-、ＣＦ3ＳＯ3-、Ｃ4Ｆ9ＳＯ3-、Ｂ(Ｃ6Ｆ5)4-、ＣＨ3ＳＯ3-、Ｃ8Ｆ17ＳＯ3-、
【００５５】
【化５】
が挙げられる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００５７】
前記ヨードニウム塩化合物としては、具体的には、ジフェニルヨードニウム塩、ジトリルヨードニウム塩、フェニル（ｐ−メトキシフェニル）ヨードニウム塩、ビス（ｐ−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム塩、ビス（ｐ−シアノフェニル）ヨードニウム塩、４−イソプロピル−４′−メチルジフェニルヨードニウム塩等のクロライド、ブロマイド、トリフレート、４フッ化ホウ素塩、６フッ化リン塩、６フッ化ヒ素塩、６フッ化アンチモン塩、ベンゼンスルホン酸塩、ｐ−トルエンスルホン酸塩、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ素塩等のクロライド、ブロマイド、トリフレート、４−フッ化ホウ素塩、６−フッ化リン塩、６−フッ化ヒ素塩、６−フッ化アンチモン塩、ベンゼンスルホン酸塩、ｐ−トルエンスルホン酸塩、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ホウ素塩が挙げられる。
【００５８】
本発明の感光性樹脂組成物層は、本発明の効果を阻害しない範囲で、（Ｃ１）〜（Ｃ４）成分以外の光重合開始剤を含有していてもよい。
【００５９】
本発明の感光性樹脂組成物層において、（Ａ）バインダーポリマーの配合量は、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、４０〜８０重量部であることが好ましい。配合量がこの範囲にあると、硬化物の硬化度、感光性エレメントとしての塗膜性も良好である。なお、配合量のより好ましい範囲は、４０〜７０重量部である。
【００６０】
（Ｂ）光重合性化合物の配合量は、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、２０〜６０重量部であることが好ましい。配合量がこの範囲にあると、硬化物の硬化度、感度の観点から望ましい。なお、配合量のより好ましい範囲は、３０〜６０重量部である。
【００６１】
（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、０．０１〜２０重量部であることが好ましい。なお、配合量のより好ましい範囲は、０．１〜１５重量部である。
【００６２】
また、本発明の感光性樹脂組成物層には、必要に応じて、染料（例えばマラカイトグリーン等）、光発色剤（ロイコクリスタルバイオレット等）、熱発色防止剤、可塑剤（例えばｐ−トルエンスルホンアミド等）、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等の添加剤を、各々の添加剤が、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合に、各々０．０１〜２０重量部程度、含有させることができる。
【００６３】
本発明の感光性樹脂組成物層は、ベースフィルム上に、上記の成分を配合した感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて形成する。その際に、吸光度が、０．１５〜０．８となるようにする。吸光度の調整は、感光性樹脂組成物層の塗布量、厚み等の調整で行うことができる。例えば、（Ａ）バインダーポリマーと（Ｂ）光重合性化合物との総重量を１００重量部とした場合、
（Ａ）バインダーポリマー４０〜８０重量部と、
（Ｂ）光重合性化合物２０〜６０重量部と、
（Ｃ）光重合開始剤（ここで、（Ｃ）光重合開始剤は、ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、アリールグリシン系化合物、アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物、オニウム塩を含有する）０．０１〜２０重量部と、
を配合して感光性樹脂組成物とし、ベースフィルム上に塗布し、乾燥させる場合、厚みを１〜１００μmとすることにより製造することができる。ＵＶ（紫光線）レーザ走査露光用に用いる場合は、吸光度が０．３〜０．８となるように厚みを調整することが好ましい。
【００６４】
なお、本発明において吸光度とは、感光性エレメントに波長３６５nmの紫外線を照射した際の感光性樹脂組成物層の吸光度をいう。吸光度は、ＵＶ分光計により測定することができ、例えば、（株）日立製作所製２２８Ａ型Ｗビーム分光光度計等で測定することができる。
【００６５】
塗布の際には、感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解して感光性樹脂組成物の総重量に対して、固形分が３０〜６０重量％である溶液とすることができる。
【００６６】
塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、７０〜１５０℃、５〜３０分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以下とすることが好ましい。
【００６７】
ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層したものを感光性エレメントとして用いることもできるが、さらに感光性樹脂組成物層のベースフィルムとは反対側の面に、保護フィルムを積層して感光性エレメントとしてもよい。保護フィルムとしては、ベースフィルムとして例示した重合体フィルムが使用できるが、感光性樹脂組成物層及び保護フィルムの接着力は、感光性樹脂組成物層及びベースフィルムの接着力よりも小さいものが好ましい。また、保護フィルムは、保護フィルム中に含まれるフィッシュアイが少ないものが好ましい。
【００６８】
さらに、感光性エレメントには、感光性樹脂組成物層、ベースフィルム及び保護フィルムの他に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を含有することができる。
【００６９】
感光性エレメントは、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）等のプラスチック等の円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵することができる。なお、この際、ベースフィルムが、外側になるように巻き取られることが好ましい。ロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、梱包方法として、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００７０】
なお、使用目的に応じては、本発明の感光性エレメントは、ベースフィルムのかわりに、支持体として、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に、上記の感光性樹脂組成物を上記で挙げた溶剤で希釈して液状レジストとして塗布し、乾燥させた形態、又は必要に応じてその上にポリエチレン、ポリプロピレン等の重合体フィルム等の保護フィルムを被覆した形態で用いることができる。この場合も、感光性樹脂組成物層の厚みは、感光性樹脂組成物層の吸光度が、０．１５〜０．８となるようにする。
【００７１】
感光性エレメントを用いたレジストパターンの製造は、以下により行うことができるが、これは、他の方法による製造を制限するものではない。
【００７２】
感光性エレメントに保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去した後、回路形成基板と感光性エレメントの感光性樹脂組成物層が接するようにして、感光性エレメントを７０〜１３０℃程度に加熱しながら、０．１〜１MPa程度（１〜１０kgf/cm2程度）の圧力で圧着することにより積層することができる。積層は、減圧下で行うことが望ましい。感光性エレメントを積層する回路形成基板の表面は、通常金属面であるが、特に制限はない。
【００７３】
感光性エレメントを積層した回路形成基板の感光性エレメント上に、ネガマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する。上記活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いることができる。また、フォトマスクを用いずに、ＣＡＤで作成した回路を、レーザ光により直接描画する方法（ＬＤＩ）を用いることもできる。特に、光重合開始剤に（Ｃ４）オニウム塩を含む本発明の感光性樹脂組成物は、高感度であるため、レーザー露光に有効であり、特にＵＶ（紫外線）レーザー露光に好適に使用することができる。
【００７４】
ＵＶレーザーとしては、Dominant wavelengthが３００〜４００nmのアルゴンレーザーであることが好ましく、３３０〜３８５nmのアルゴンレーザーであることがより好ましく、３４０〜３７５nmアルゴンレーザーであることが特に好ましく、３５０〜３６５nmのアルゴンレーザーであることが極めて好ましい。出力としては特に制限はないが、０．０１〜５W程度が好ましい。レーザー露光装置としては、例えば、オルボテック社製商品名ＤＰ−１００等が挙げられる。
【００７５】
露光後、感光性エレメントにベースフィルムが存在している場合には、ベースフィルムを除去後、現像液によるウェット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して現像し、レジストパターンを製造することができる。
【００７６】
現像液としては、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等を用いることができ、特にアルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液としては、例えば、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液等が挙げられる。上記アルカリ性水溶液のpHは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。また、現像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。
【００７７】
現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０mJ/cm2程度の露光を行うことによりレジストパターンをさらに硬化して用いてもよい。
【００７８】
プリント配線板の製造は以下のようにして行うことができる。現像されたレジストパターンをマスクとして、回路形成用基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法で処理する。エッチングには、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液等を用いることができる。また、めっき法としては、例えば、銅めっき、はんだめっき、ニッケルめっき、金めっき等が挙げられる。
【００７９】
次いで、レジストパターンを、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０重量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウム水溶液等が用いられる。剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレイ方式等が挙げられる。また、レジストパターンが形成されたプリント配線板は、多層プリント配線板でもよく、小径スルーホールを有していてもよい。
【００８０】
【実施例】
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれらにより制限されるものではない。
【００８１】
参考例１〜４、比較例１〜３
表１に示す成分を配合し、溶液を得た。
【００８２】
【表１】
次いで、得られた溶液に、表２に示す（Ｃ）光重合開始剤の成分を溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００８４】
【表２】
この感光性樹脂組成物の溶液を、ベースフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１６μm）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥器で１０分間乾燥して、感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の厚さは３０μmであった。
【００８６】
一方、銅箔（厚さ３５μm）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業（株）製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、♯６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓（株）製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥した。その後、銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に、上記の感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層と銅表面が接するようにして、１１０℃に加熱しながらラミネートし積層した。
【００８７】
（重合速度の測定）
次いで、高圧水銀ランプを有する示差走査熱量測定機（ＤＳＣ）（セイコーインスツルメンツ製 ＳＣ５２００）を用いて、参考例１〜４、比較例１〜３の光重合速度を測定した。光重合速度はモノマ消費濃度−反応時間曲線における光照射後６〜１２秒間の直線の傾きとした。光重合速度が大きいほど光開始能が高いことを示す。結果を表３及びグラフ１に示す。
【００８８】
（細線密着性の測定）
ステップ２１段の露光量における現像後のパターンを光学顕微鏡により観察し、ライン：スペース＝ｘμm：４００μmとして残ったライン幅ｘμmを細線密着性（μm）とした。値が小さい程、細線密着性に優れること示す。結果を表３に示す。
【００８９】
（感度の測定）
高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク（株）製）５９０を用いて、ネガとしてストーファー４１段ステップタブレットを試験片の上に置いて、５、１０又は２０mJ／cm2で露光した。次に、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を最小現像時間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。さらに、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定し、得られたステップ段数からステップ２１段に相当する露光量を露光量対数回帰計算により求め、感度とした。感度は、値が小さい程、高感度であることを示す。結果を表３に示す。
【００９０】
（吸光度の測定）
なお、吸光度は、ＵＶ分光計（（株）日立製作所製２２８Ａ型Ｗビーム分光光度計）を用いて測定した。測定は、ＵＶ分光計の測定側に参考例１〜４、比較例１〜３で得た感光性エレメントを配置し、リファレンス側に実施例及び比較例で使用したものと同じベースフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１６μm）を配置し、吸光度モードにより、７００〜３００μmまでを連続測定し、３６５nmの値を読みとることにより行った。
【００９１】
【表３】
【表４】
表３及びグラフ１より、本発明の範囲である吸光度０．１５〜０．８の感光性樹脂組成物層を持つ参考例１〜４では、重合度速度が良好であり、かつ細線密着性にも優れることがわかる。一方、吸光度が０．８を超える比較例１〜３では、光重合速度も遅く、細線密着性も３０μmと劣る。
【００９４】
実施例５〜８、比較例４〜５
表４に示す成分を配合し、溶液を得た。
【００９５】
【表５】
次いで、得られた溶液に、表５に示す（Ｃ）光重合開始剤の成分を溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００９７】
【表６】
この感光性樹脂組成物の溶液を、ベースフィルム（ポリエチレンポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１６μm）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥器で１０分間乾燥して、感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の厚さは３０μmであった。
【００９９】
一方、銅箔（厚さ３５μm）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業（株）製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、♯６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓（株）製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥した。その後、銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に、上記の感光性エレメントを、感光性樹脂組成物層と銅表面が接するようにして、１１０℃に加熱しながらラミネートし積層した。
【０１００】
その後、ダイレクトイメージングシステム（オルボテック社製商品名ＤＰ−１００）を用いてレーザ走査露光（Dominant wavelength：３５１〜３６４nm、出力：０．２７〜４．０W）を行った。
【０１０１】
次いで、ベースフィルムを除去して、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を２０秒間スプレーし、未露光部分を除去し、レジストパターンを製造した。
【０１０２】
（吸光度、感度、レジストパターンの測定）
吸光度は、参考例１〜４と同様にして求めた。
感度は、レーザの出力及び露光時間を変化させることにより露光量を振り分け、現像後のパターンを顕微鏡で観察し求めた。レジストパターンも同様に顕微鏡により比較をした。感度は、値が小さい程、高感度であることを示す。レジストパターンは、矩形、次いで台形が好ましい。結果を表６に示す。
【０１０３】
【表７】
表６より、本発明の範囲である吸光度０．１５〜０．８の感光性樹脂組成物層を持つ実施例５〜８の感光性エレメントは、感度に優れ、また良好な形状のレジストパターンを与えるものであることがわかる。特に、実施例５〜７が好ましい。一方、比較例４〜５の感光性エレメントは、感光性樹脂組成物層の吸光度が本発明の範囲から外れるため、レジストパターンが逆台形と好ましくない。
【０１０５】
【発明の効果】
本発明の感光性エレメントは、重合速度が良好で、かつ解像度及び細線密着性にも優れた感光性エレメントであり、また、特にＵＶ（紫外光）レーザの走査露光に対して好適な感光性エレメントの提供をも可能とするものであり、プリント配線板の高密度化、多品種少量生産の要求に寄与することができる。
Claims (7)
- ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した感光性エレメントであって、
（１）該感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、
（２）該感光性樹脂組成物層の波長３６５nmの光に対する吸光度が０．１５〜０．８であり、
該光重合開始剤が、ヘキサアリールビスイミダゾール化合物、アリールグリシン系化合物、アルキルアミノ基を有するベンゾフェノン化合物、及びオニウム塩を含有する感光性エレメント。 - 該吸光度が０．３〜０．８である、請求項１記載の感光性エレメント。
- 該光重合性化合物が、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物を含む、請求項１又は２記載の感光性エレメント。
- 該バインダーポリマーが、スチレン又はスチレン誘導体を含む、請求項１〜３のいずれか１項記載の感光性エレメント。
- 該感光性樹脂組成物層が、該バインダーポリマー及び該光重合性化合物の配合量の合計を１００重量部として、４０〜８０重量部の該バインダーポリマーと、２０〜６０重量部の該光重合性化合物と、０．０１〜２０重量部の該光重合開始剤とを含有する、請求項１〜４のいずれか１項記載の感光性エレメント。
- 請求項１〜５のいずれか１項記載の感光性エレメントを基板上に感光性樹脂組成物層が接するようにして積層し、活性光線により露光させた後、現像することを特徴とするレジストパターンの製造方法。
- 活性光線による露光が、ＵＶ（紫外線）レーザでの走査露光である、請求項６記載のレジストパターンの製造方法。
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Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08123018A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-05-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フィルム |
| JPH09176253A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
| JPH10110008A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-04-28 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィル ムレジスト |
| JPH10123708A (ja) * | 1996-10-17 | 1998-05-15 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂組成物およびその用途 |
| JP2000275861A (ja) * | 1999-01-21 | 2000-10-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物層、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法及びリードフレームの製造法 |
| JP2000321767A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Nichigo Morton Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト |
| JP2001159817A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 |
| JP2001249448A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-09-14 | Shipley Co Llc | 増加したフォトスピードを有するフォトレジスト |
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Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08123018A (ja) * | 1994-10-20 | 1996-05-17 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性フィルム |
| JPH09176253A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
| JPH10110008A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-04-28 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィル ムレジスト |
| JPH10123708A (ja) * | 1996-10-17 | 1998-05-15 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂組成物およびその用途 |
| JP2000275861A (ja) * | 1999-01-21 | 2000-10-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物層、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法、プリント配線板の製造法及びリードフレームの製造法 |
| JP2000321767A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Nichigo Morton Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト |
| JP2001159817A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 |
| JP2001249448A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-09-14 | Shipley Co Llc | 増加したフォトスピードを有するフォトレジスト |
| JP2002303971A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Asahi Kasei Corp | ドライフィルムレジスト |
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