JP4686268B2 - 工程制御システム、工程制御方法及び電子装置の製造方法 - Google Patents
工程制御システム、工程制御方法及び電子装置の製造方法 Download PDFInfo
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Description
本発明の実施の形態の変形例に係る工程制御方法では、0.13μmデザインルールの半導体装置、例えばDRAM混載ロジック製品の製造工程を例にとり説明する。説明を簡単にするため、制御対象の製造工程として、DRAM部の深溝に埋め込まれたa‐Si膜の一部を任意の深さまで除去するリセスRIE工程を一例として、図11の工程フローチャート、及び図12〜図14の工程断面図を用いて説明する。
上記のように、本発明の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者にはさまざまな代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
12…工程管理サーバ
14…生産管理システム
15…クライアントコンピュータ
16…製造装置
18…モニタユニット
19…装置制御ユニット
20…品質管理装置
22…装置情報データベース
24…品質管理データベース
26…処理情報データベース
30…入力部
32…装置情報収集部
36…特徴量算出部
38…パラメータ算出部
40…出力部
42…内部メモリ
50…通信回線
Claims (5)
- 参照ウェハに対する参照製造工程における、製造装置の処理状態を表す装置情報の参照モニタ値と、前記製造装置を制御する制御パラメータの中の処理時間及び前記参照製造工程の仕上り形状から得られる特徴量との相関を作成するクライアントコンピュータと、
対象ウェハに対する実製造工程の第1のステップの第1の設定値として、前記実製造工程の処理対象構造の寸法に基づいて算出された前記処理時間の値を記載した処理レシピを作成する生産管理システムと、
前記実製造工程を前記第1の設定値で実施中の前記製造装置から前記装置情報の対象モニタ値を収集する装置情報収集部と、
前記相関に基づいて前記対象モニタ値に対応する特徴量の値を算出する特徴量算出部と、
前記対象モニタ値に対応する特徴量の値に基づいて、前記実製造工程の第1のステップに続く前記実製造工程の第2のステップの処理時間として第2の設定値を算出するパラメータ算出部と、
前記第2の設定値を前記第2のステップの設定値として前記処理レシピを変更する装置制御ユニット
とを備えることを特徴とする工程制御システム。 - 装置制御ユニットは、前記第1のステップが終了するまでに、前記第2の設定値が取得されない場合に追加ステップを前記第1のステップに追加して前記処理レシピを変更することを特徴とする請求項1に記載の工程制御システム。
- 参照ウェハに対する参照製造工程における、製造装置の処理状態を表す装置情報の参照モニタ値と、前記製造装置を制御する制御パラメータの中の処理時間及び前記参照製造工程の仕上り形状から得られる特徴量との相関を、クライアントコンピュータが作成し、
対象ウェハに対する実製造工程の第1のステップの設定値として、前記実製造工程の処理対象構造の寸法に基づいて算出された前記処理時間の第1の設定値を記載した処理レシピを、生産管理システムが作成し、
前記実製造工程を前記第1の設定値で実施中の前記製造装置から前記装置情報の対象モニタ値を、装置情報収集部が収集し、
前記相関に基づいて前記対象モニタ値に対応する特徴量の値を、特徴量算出部が算出し、
前記対象モニタ値に対応する特徴量の値に基づいて、前記実製造工程の第1のステップに続く前記実製造工程の第2のステップの処理時間として第2の設定値を、パラメータ算出部が算出し、
前記第2の設定値を前記第2のステップの設定値として前記処理レシピを、装置制御ユニットが変更する
ことを含むことを特徴とする工程制御方法。 - 前記第1のステップが終了するまでに、前記第2の設定値が取得されない場合に追加ステップを前記第1のステップに追加して前記処理レシピを、前記装置制御ユニットが変更することを、更に含むことを特徴とする請求項3に記載の工程制御方法。
- 参照ウェハで参照製造工程を実施して、製造装置の処理状態を表す装置情報の参照モニタ値と、前記製造装置を制御する制御パラメータの中の処理時間及び前記参照製造工程の仕上り形状から得られる特徴量との相関を作成し、
対象ウェハに対する実製造工程の第1のステップの第1の設定値として、前記実製造工程の処理対象構造の寸法に基づいて算出された前記処理時間の値を記載した処理レシピを作成し、
前記実製造工程を前記第1の設定値で実施中の前記製造装置から前記装置情報の対象モニタ値を収集し、
前記相関に基づいて前記対象モニタ値に対応する特徴量の値を算出し、
前記対象モニタ値に対応する特徴量の値に基づいて、前記実製造工程の第1のステップに続く前記実製造工程の第2のステップの処理時間として第2の設定値を算出し、
前記第2の設定値を前記第2のステップの設定値として前記処理レシピを変更し、
前記製造装置により前記対象ロットを加工する
ことを含むことを特徴とする電子装置の製造方法。
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