JP4681970B2 - 研磨パッドおよび研磨機 - Google Patents
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Description
この実施形態研磨パッドの裏面の平面を図1の日立製作所製走査型電子レーザ顕微鏡S−2250Nの倍率100倍でのSEM写真に示す。このSEM写真に示す実施形態研磨パッドはウレタンのプレポリマーと鎖延長剤、発泡剤、整泡剤を混合して、金型に注型して硬化し、その後、1.3mmにスライスしたものである。この実施形態研磨パッドは、硬化時に化学発泡している。SEM写真は両面粘着テープに設置する前の状態での写真である。実施形態研磨パッドの裏面には、砥粒粒度が番手♯240の研削装置により多数の開口した直径が各種の気泡と気泡との間のエリアに縦横の筋状研削痕が形成されている。この気泡は研削前はほぼ円形の凹部形状であったが、研削圧力によりその円形形状が崩されている。この筋状研削痕は直交二次元XY座標軸方向に形成されている。すなわち、研削処理は2回実施されている。上記エリアに止まらず、気泡の周縁部分にも研削処理で適宜の中心線平均粗さRaに形成されている。実施形態研磨パッドの裏面の表面粗さはレーザ顕微鏡表面粗さ測定による中心線平均粗さRa(日本工業規格JIS B 0601)で11.2μmである。
・研磨スラリー:pH11のコロイダル・シリカ・スラリー
・研磨機:両面研磨機
・研磨時間:40分
・研磨スラリー希釈比率:1:20(希釈後スラリー濃度:2.5%)
(B)シリコンウエハ観察
・ADE社製の三次元表面測定器(Ultra Gage)9500A
以上の測定において、実施形態研磨パッドの測定結果は以下の通りであった。
GBIR:0.22μm
SFQR:0.034μm(25mm平方平均)
(剥離試験結果)
実施形態研磨パッドと両面粘着テープとの間の粘着強度180度剥離試験:剥離強度:4.8kgf/inch
なお、実施形態研磨パッドとして中心線平均粗さRa2.0μmと30μmとについて研磨を行ったところ、中心線平均粗さRa2.0μmのものでは、GBIRは0.25μm、SFQRは0.04μm(25mm平方平均)、剥離強度4.5kgf/inchであり、中心線平均粗さRa30μmのものでは、GBIRは0.28μm、SFQRは0.038μm(25mm平方平均)、剥離強度は4.9kgf/inchであった。
この比較研磨パッドの裏面の平面を図2のSEM写真に示す。このSEM写真は図1のSEM写真と同条件で撮影した写真である。比較研磨パッドの裏面の表面粗さはレーザ顕微鏡(電子顕微鏡)表面粗さ測定による中心線平均粗さRa(日本工業規格JIS B 0601)で2.1μmである。
(研磨結果)
GBIR:1.12μm
SFQR:0.54μm(25mm平方平均)
(剥離試験結果)
実施形態研磨パッドと両面粘着テープとの間の粘着強度180度剥離試験:2.7kgf/inch
以上、実施形態研磨パッドと比較研磨パッドとを対比すると、実施形態研磨パッドはGBIRは0.5μm未満、SFQRは0.1μm未満と極めて良好な結果となった。
Claims (5)
- ウレタンのプレポリマー、鎖延長剤および発泡剤を混合して硬化させて得られる、ポリウレタンを主な材料とする研磨パッドにおいて、当該研磨パッドの裏面に開口している気泡と気泡との間のエリアが中心線平均粗さRaで2μm以上、30μm以下の表面粗さに加工処理されている、ことを特徴とする研磨パッド。
- 前記加工処理が研削処理である、ことを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記研削による筋状研削痕が1または複数の互いに異なる方向で形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の研磨パッド。
- 前記中心線平均粗さRaが、10μm平方の前記エリアでの表面粗さである、ことを特徴とする請求項1ないし3いずれかに記載の研磨パッド。
- 請求項1ないし4いずれかに記載の研磨パッドを用いてシリコンウエハを研磨する研磨機。
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