JP4681111B2 - 多層回路基板の製造方法、およびプレス装置 - Google Patents
多層回路基板の製造方法、およびプレス装置Info
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層回路基板の製造方法、および多層回路基板の製造に使用されるプレス装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、多層回路基板の製造方法として、所定の導体回路を形成させたプリント基板の複数枚を積層し、一括プレスにより多層化する方法がある。このような多層回路基板の製造において、プリント基板の一面側に導電性バンプを突設させておき、この導電性バンプを対向するプリント基板の導体回路に押圧することによって、上下の導体回路を電気的に接続する技術が知られている。
【0003】
図5には、多層回路基板の製造に使用される従来のプレス装置101の概略図を示した。このプレス装置101には、上下二枚のプレス板102が備えられている。このプレス板102間に、例えば熱硬化性の接着剤層を備えたプリント基板の複数枚を積層した積層体103を挿入する。次いで、加熱加圧プレスを行うと、昇温につれて一旦軟化した接着剤層を導電性バンプが貫通して、対向するプリント基板のランドに接続される。その後、接着剤層が硬化して各プリント基板が接着される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のようなプレス装置においては、上下二枚のプレス板102に備えられた電気ヒータにより加熱を行う。このため、複数組の積層体103を重ねて一度にプレスを行う場合には、プレス板102の近くに配された積層体103Aと比較して遠くに配された積層体103Bへの熱の伝達が遅くなることが考えられる。このような場合には、プレス板102から遠くに配された積層体103Bにおいては、接着剤層が充分に軟化されない状態で加圧が行われ、導電性バンプと導体回路との接触が阻害されるおそれがあった。
【0005】
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、プリント基板を加圧加熱プレスする際に熱の伝達に時間差の生じない多層回路基板の製造方法、およびプレス装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために請求項1の発明に係る多層回路基板の製造方法は、加熱手段が内蔵された一対の熱板の間に、中間板が複数枚配置されていて、複数枚のプリント基板を熱硬化性接着剤層を介して積層した積層体の複数組を前記中間板を介して重ね合わせ、一括して加熱加圧プレスすることによって、前記プリント基板を接着して複数枚の多層回路基板を形成させる多層回路基板の製造方法であって、前記加熱加圧プレスの際に、前記中間板のうち熱板に接触している第1中間板の端部と、同熱板に接触されていない第2中間板の端部とを熱伝導可能に束ねることにより、前記熱板によって前記第1中間板を加熱するとともにこの第1中間板から前記端部を介して前記第2中間板を加熱することを含む。
【0007】
請求項2の発明は、加熱手段が内蔵された一対の熱板を有し、両熱板の間に複数枚の中間板を配置してなり、複数枚のプリント基板を熱硬化性接着剤層を介して積層した積層体の複数組を前記中間板を介して重ね合わせた状態で加圧加熱プレスすることにより多層回路基板を製造するプレス装置であって、前記複数組の積層体を挟み付ける一対の熱板と、前記中間板のうち前記熱板に接触している第1中間板と、同熱板に接触されていない第2中間板と、前記第1中間板の端部と前記第2中間板の端部とを熱伝導可能に束ねる結束手段とを備え、前記熱板によって前記第1中間板を加熱するとともにこの第1中間板から前記端部を介して前記第2中間板を加熱する。
【0009】
ここで、中間板の材質としては、熱伝導性のものであれば特に制限はなく、例えば金属製のものが好ましく使用できる。
【0010】
また、「熱伝導可能に束ねる」とは、例えば熱板と中間板、もしくは中間板同士を直接接触させていてもよい。あるいは、熱伝導性を備えた連結部材を介してプレス板と中間板、もしくは中間板同士を連結させていてもよい。
【0011】
【発明の作用、および発明の効果】
本発明の多層回路基板の製造方法およびプレス装置によれば、各積層体間に中間板を配し、この中間板を加熱する。このようにすれば、各積層体に均等に熱を伝達することができ、熱板の近くに配された積層体と遠くに配された積層体との熱の伝達に時間差が生じることがない。このため、すべての積層体において、接着剤層が充分に軟化された状態で加圧を行うことができ、導電性バンプと導体回路との接触性を確保することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
<第1実施形態>
【0013】
以下、本発明の第1実施形態について、図1〜図3を参照しつつ詳細に説明する。
【0014】
図1には、本実施形態のプレス装置1の概略図を示した。このプレス装置1には箱状に形成された本体2が備えられ、本体2の天井部分には、断熱性の固定板3が設置されている。この固定板3の下面側には上部熱板4(本発明のプレス板に該当する)が固定されている。また、上部熱板4の下方には、油圧シリンダ6によって上下方向に可動とされた下部熱板5(本発明のプレス板に該当する)が備えられている。両熱板4、5には電気ヒータ(図示せず)が内蔵されて、所定の温度に加熱可能とされている。本体2の側面には、本体2内部の空間と連通する吸引パイプ7が備えられており、この吸引パイプ7は図示しない吸引ポンプに連結されている。
【0015】
上部熱板4と下部熱板5の間には、例えばステンレス製の中間板8(厚さ1mm)が複数枚配置されていて、各中間板8の間に後述の積層体21を挟みこむことが可能とされている。そして、各中間板8の一方の端部8Cは、それぞれ中央方向へ向けて折り曲げられて、クリップ9によって一つに束ねられている。
【0016】
次に、本実施形態の多層回路基板11を構成するプリント基板12の製造方法について説明する。
【0017】
多層回路基板11を形成するプリント基板12の出発材料は、片面銅張積層板13である。片面銅張積層板13は、例えば板状のガラス布エポキシ樹脂により形成される絶縁性基板14の一方の面(図2において下面側)に、全面に銅箔15が貼り付けられた周知の構造である(図2A)。
【0018】
この絶縁性基板14の所定の位置に、絶縁性基板14の銅箔15とは反対側の面(図2において上面側)からレーザ照射を行い、絶縁性基板14の厚さ方向に貫通して銅箔15に到達するビアホール16を形成する(図2B)。レーザ加工は、例えばパルス発振型炭酸ガスレーザ加工装置によって行うことが可能であり、その場合には、パルスエネルギーが2.0mJ〜10.0mJ、パルス幅が1μs〜100μs、パルス間隔が0.5ms以上、ショット数が3〜50という条件で形成することが望ましい。
【0019】
この後、生成されたビアホール16の内部に残留する樹脂を取り除くためのデスミア処理を行う。デスミア処理は、例えば過マンガン酸カリウム処理、酸素プラズマ放電、コロナ放電処理等により行うことができる。
【0020】
次に、銅箔15を例えばポリエチレンテレフタレート製の保護フィルムで覆った状態で(図示せず)、ビアホール16内に、銅箔15を一方の電極とした電気めっき法により、めっき導体17を形成させる(図2C)。めっき導体17の充填量は、その上面が絶縁性基板14の表面から僅かに低くなる程度とするのが好ましい。めっき金属としては、銅がもっとも好ましいが、スズ、銀、はんだ、銅/スズ、銅/銀等、めっき可能な金属であればよい。
【0021】
ビアホール16内のめっき導体17に重ねるようにして、バンプめっきにより例えばはんだ等の低融点材料からなる導電性バンプ18を形成させる。導電性バンプ18は、絶縁性基板14の上面から僅かに突出されるように充填される(図2D)。この後、前記の保護フィルムを銅箔15から剥ぎ取った後、銅箔15を周知のエッチング手法によりエッチングすることにより、導体回路19が形成される(図2E)。導体回路19の一部には、対向するプリント基板12の導電性バンプ18と接続可能なランド19Aが形成される。
【0022】
次いで、導電性バンプ18を形成させた面上に、接着剤層20が形成される(図2F)。接着剤層20としては、例えばエポキシ樹脂に硬化剤を配合した熱硬化性接着剤を使用し、これをロールコート法により塗布して乾燥、固化させる。
このようにして、プリント基板12が形成される。
【0023】
次に、このプリント基板12を積層し、プレスすることにより多層回路基板11を製造する工程について説明する。
【0024】
上記のようにして形成された2枚のプリント基板12を位置合わせして重ね合わせ、積層体21とする(図3A)。より詳細には、下側のプリント基板12が、導体回路19が下側を向き、導電性バンプ18が上側を向くようにして配置されており、その上方に位置するプリント基板12は、下側に導体回路19が位置するようにして積層される。こうして、下側に位置するプリント基板12の導電性バンプ18が、上側に位置するプリント基板12のランド19Aに接続可能な方向に積層される。このとき、導電性バンプ18とランド19Aとの間には、接着剤層20が存在する状態となっている。また、上側のプリント基板12の表面には、銅箔15が積層される。
【0025】
このようにして積層された積層体21をプレス装置1にセットする。プレス装置1の下部熱板5上には、中間板8を載置し、その上面側に、両面にクッション材22(例えばクラフト紙が使用できる)を重ね合わせた積層体21を載置する。そしてその上面側に、中間板8と積層体21とを順次載置し、最上層の積層体21の上面側にも中間板8を配置する。
【0026】
この状態で、吸引パイプ7に接続された真空ポンプを作動させて、本体2内部を真空にする。次いで、油圧シリンダ6を作動させて下部熱板5を押し上げ、上部熱板4との間で積層体21および中間板8を挟みつけて20kgf/cm2で加圧する。同時に、プレス板を4℃/minで第1のプレス温度に達するまで昇温する。第1のプレス温度は、接着剤層20を導電性バンプ18が貫通可能な程度に軟化させた状態とすることが可能な温度であって、90℃〜120℃が好ましく、100℃がより好ましい。
【0027】
両熱板4、5が第1のプレス温度に達したところで昇温を停止し、一定温度で30分間保持する。これにより、導電性バンプ18は軟化した接着剤層10を突きぬけて、上側に位置するランド19Aに接触する(図3B)。このとき、中間板8はその端部8Cがクリップ9によって一つに束ねられている。このため、両熱板4、5からの熱は最上層及び最下層の中間板8Aに伝達され、さらに束ねられた端部8Cを介して、内層に配された中間板8Bに速やかに伝達される。このため、これらの中間板8A、8Bを介して、すべての積層体21に均等に熱を伝達することができる。
【0028】
次に、再びプレス板を4℃/minで第2のプレス温度に達するまで昇温する。第2のプレス温度は180℃が好ましい。そして、第2のプレス温度に達したところで昇温を停止し、一定温度で70分間保持する。これにより、導電性バンプ18が上側に位置するランド19Aと反応して金属接続が形成されるとともに、接着剤層10が完全に硬化する(図3C)。
【0029】
この後、プレス板を水冷し、60℃まで温度が低下したところでプレス圧を解除する。最後に、最上層に積層された銅箔15をエッチングして所定の導体回路(図示せず)を形成させることにより、多層回路基板11が完成する。
【0030】
以上のように本実施形態によれば、各中間板8の端部8Cがクリップ9によって一つに束ねられている。このため、両熱板4、5からの熱はすべての中間板8A、8Bに速やかに伝達される。これにより、これらの中間板8を介して、各積層体21に均等に熱を伝達することができ、熱板4、5の近くに配された積層体21Aと遠くに配された積層体21Bとの熱の伝達に時間差が生じることがない。従って、熱板4、5から遠くに配された積層体21Bにおいても、接着剤層20を充分に軟化して導電性バンプ18を確実に貫通させることができ、導電性バンプ18と導体回路19との接触性を確保することができる。
【0031】
<参考例>
【0032】
次に、本発明の参考例について、図4を参照しつつ詳細に説明する。
【0033】
本参考例と第1実施形態との相違点は、中間板32の加熱方法にある。図4には、本参考例のプレス装置30の概略図を示した。このプレス装置1においては、各中間板32の一方の端部が側方(図4において右方向)へ延出されている。そして、本体31内部の上面および底面には、この延出部分32Cを挟むように一対の電磁誘導加熱装置33A、33B(本発明の加熱手段に該当する)が備えつけられている。電磁誘導加熱装置33A、33Bの内部には、磁力発生コイル34が内蔵されており、この磁力発生コイル34は図示しない電源に接続されている。ここで、各中間板32の延出部分32Cの長さについては、両熱板4、5と接している中間板32Aについては短くされている。また、両熱板4、5から離れ、熱の伝達が遅い内層に配された中間板32Bについては、両熱板4、5と接している中間板32Aよりも長く延出され、電磁誘導加熱装置33A、33Bによってより大きな熱を発生可能な構成とされている。
【0034】
このプレス装置30に第1実施形態と同様に積層体21を載置し、プレスを行う。このとき、電磁誘導加熱装置33A、33Bを作動させることにより、中間板32を発熱させる。これにより、これらの中間板32を介して、各積層体21に均等に熱を伝達することができ、第1実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【0035】
なお、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態によって限定されるものではなく、例えば次に記載するようなものも本発明の技術的範囲に含まれる。その他、本発明の技術的範囲は、均等の範囲にまで及ぶものである。
(1)上記実施形態では、2枚のプリント基板12を積層させて多層回路基板11を製造したが、本発明によれば、プリント基板の積層枚数は上記実施形態の限りではなく、3枚あるいはそれ以上であってもよい。
(2)参考例においては、電磁誘導加熱装置33A、33Bにより中間板32を加熱したが、中間板の加熱方法は本参考例の限りではなく、例えば電気ヒータを中間板に接続することにより加熱を行ってもよい。
(3)参考例においては、上下のプレス板を電気ヒータを備えた上部熱板4、下部熱板5としたが、プレス板の構成は本参考例の限りではなく、加熱手段を備えないプレス板としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態のプレス装置の概略図
【図2】本実施形態におけるプリント基板の製造工程を示す断面図
(A)銅張積層板の断面図
(B)銅張積層板にビアホールを形成したときの断面図
(C)ビアホールにめっき導体を充填したときの断面図
(D)ビアホールに導電性バンプを形成させたときの断面図
(E)銅箔をエッチングして導体回路を形成させたときの断面図
(F)プリント基板に接着剤層が塗布されたときの断面図
【図3】本実施形態における多層回路基板の製造工程を示す断面図
(A)プリント基板を積層した断面図
(B)導電性バンプが接着剤層を貫通した断面図
(C)導電性バンプとランド間で金属接合が形成された断面図
【図4】参考例のプレス装置の概略図
【図5】従来のプレス装置の概略図
【符号の説明】
1...プレス装置
4、5...熱板
8...中間板
10...接着剤層
11...多層回路基板
12...プリント基板
21...積層体
33A、33B...電磁誘導加熱装置
Claims (2)
- 加熱手段が内蔵された一対の熱板の間に、中間板が複数枚配置されていて、複数枚のプリント基板を熱硬化性接着剤層を介して積層した積層体の複数組を前記中間板を介して重ね合わせ、一括して加熱加圧プレスすることによって、前記プリント基板を接着して複数枚の多層回路基板を形成させる多層回路基板の製造方法であって、
前記加熱加圧プレスの際に、前記中間板のうち熱板に接触している第1中間板の端部と、同熱板に接触されていない第2中間板の端部とを熱伝導可能に束ねることにより、前記熱板によって前記第1中間板を加熱するとともにこの第1中間板から前記端部を介して前記第2中間板を加熱することを含む多層回路基板の製造方法。 - 加熱手段が内蔵された一対の熱板を有し、両熱板の間に複数枚の中間板を配置してなり、複数枚のプリント基板を熱硬化性接着剤層を介して積層した積層体の複数組を前記中間板を介して重ね合わせた状態で加圧加熱プレスすることにより多層回路基板を製造するプレス装置であって、
前記複数組の積層体を挟み付ける一対の熱板と、前記中間板のうち前記熱板に接触している第1中間板と、同熱板に接触されていない第2中間板と、前記第1中間板の端部と前記第2中間板の端部とを熱伝導可能に束ねる結束手段とを備え、前記熱板によって前記第1中間板を加熱するとともにこの第1中間板から前記端部を介して前記第2中間板を加熱するプレス装置。
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---|---|---|---|---|
JPH04269897A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-09-25 | Toppan Printing Co Ltd | 多層プリント基板の製造方法 |
JPH11268063A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-05 | Nec Toyama Ltd | 多層銅張積層板の製造方法 |
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