JP4681082B1 - 装置パラメータ設定支援システム - Google Patents
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Abstract
少なくとも、実装置の任意の二時点における実行結果を、装置設計製造支援システムのEESまたは装置コントローラから取得する実行結果取得部と、取得した実行結果に基づいて、各時点におけるPIDパラメータを算出するパラメータ算出部と、算出したそれぞれのPIDパラメータの差分を算出する差分算出部と、算出した差分について、単位期間あたりの変化値を算出する変化値算出部と、を有しており、装置設計製造支援システムでは、算出した変化値と装置シミュレータで記憶しているPIDパラメータとを演算して新たなPIDパラメータを算出し、該新たなPIDパラメータでPID制御を該装置シミュレータで実行する、装置パラメータ設定支援システムである。
【選択図】図1
Description
2:装置シミュレータ
3:装置コントローラ
4:EES
5:CAD
6:実装置
7:再現装置
11:レシピ管理システム
12:パラメータ設定システム
20:モデリングレイアウト部
21:データ記憶部
22:シミュレーション処理部
23:表示処理部
30:演算装置
31:記憶装置
32:表示装置
33:入力装置
34:通信装置
121:実行結果取得部
122:パラメータ算出部
123:差分算出部
124:変化値算出部
125:データ送出部
126:波形算出部
127:波形比較部
Claims (9)
- 処理装置の設計、製造を支援する装置設計製造支援システムで用いる装置パラメータ設定支援システムであって、
前記装置パラメータ設定支援システムは、
少なくとも、実装置の任意の二時点における実行結果を、前記装置設計製造支援システムのEESまたは装置コントローラから取得する実行結果取得部と、
前記取得した実行結果に基づいて、各時点におけるPIDパラメータを算出するパラメータ算出部と、
算出したそれぞれのPIDパラメータの差分を算出する差分算出部と、
算出した差分について、単位期間あたりの変化値を算出する変化値算出部と、を有しており、
前記装置設計製造支援システムでは、前記算出した変化値と装置シミュレータで記憶しているPIDパラメータとを演算して新たなPIDパラメータを算出し、該新たなPIDパラメータでPID制御を該装置シミュレータで実行する、
ことを特徴とする装置パラメータ設定支援システム。 - 処理装置の設計、製造を支援する装置設計製造支援システムで用いる装置パラメータ設定支援システムであって、
前記装置パラメータ設定支援システムは、
少なくとも、実装置の任意の二時点における実行結果を、前記装置設計製造支援システムのEESまたは装置コントローラから取得する実行結果取得部と、
前記取得した実行結果に基づいて、各時点におけるPIDパラメータを算出するパラメータ算出部と、
算出したそれぞれのPIDパラメータに基づいてPID波形を算出する波形算出部と、
前記算出したそれぞれのPID波形を比較する波形比較部と、
前記比較の結果、所定の条件を充足している場合には、前記二時点での変化値について、単位期間あたりの変化値を算出する変化値算出部と、を有しており、
前記装置設計製造支援システムでは、前記算出した変化値と装置シミュレータで記憶しているPIDパラメータとを演算して新たなPIDパラメータを算出し、該新たなPIDパラメータでPID制御を該装置シミュレータで実行する、
ことを特徴とする装置パラメータ設定支援システム。 - 前記装置パラメータ設定支援システムは、さらに、
前記算出したPIDパラメータの変化値を前記単位期間の到来ごとに前記装置シミュレータに渡すデータ送出部を備えており、
前記装置設計製造支援システムは、
前記装置シミュレータで記憶しているPIDパラメータに、前記変化値を演算して新たなPIDパラメータとして算出させ、該新たなPIDパラメータでPID制御を該装置シミュレータで実行させる、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の装置パラメータ設定支援システム。 - 前記装置パラメータ設定支援システムは、さらに、
前記算出したPIDパラメータの変化値を前記装置シミュレータに渡すデータ送出部を備えており、
前記装置設計製造支援システムは、
前記装置シミュレータにおいて、前記単位期間の到来ごとに、前記装置シミュレータで記憶しているPIDパラメータに、前記変化値を演算して新たなPIDパラメータとして算出させ、該新たなPIDパラメータでPID制御を該装置シミュレータで実行させる、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の装置パラメータ設定支援システム。 - 前記装置パラメータ設定支援システムは、
前記装置シミュレータにおいてエラーとなるシミュレーションを行うためのPIDパラメータの入力を受け付け、
前記入力を受け付けたPIDパラメータを前記装置シミュレータに渡し、
前記装置シミュレータは、
前記PIDパラメータに基づいてシミュレーション処理を実行することで、装置トラブルをシミュレーションする、
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の装置パラメータ設定支援システム。 - 処理装置の設計、製造を支援する装置設計製造支援システムであって、
前記装置設計製造支援システムは、装置シミュレータと装置コントローラとEESとパラメータ設定システムとを有しており、
前記装置シミュレータは、
実装置の装置レイアウトデータの入力を受け付け、前記装置レイアウトデータと前記装置コントローラからの制御指令とに基づいて、前記実装置の各階層に対応したシミュレーションプログラムにより、仮想的な処理装置として、PID制御を用いたシミュレーション処理を実行し、
前記装置コントローラは、
前記実装置及び前記装置シミュレータにおける仮想的な処理装置を制御するための制御指令を、前記実装置及び前記装置シミュレータに渡し、
前記EESは、
前記装置シミュレータにおける仮想的な処理装置でのシミュレーション処理の実行結果と、前記実装置における実行結果とをそれぞれ取得し、
前記パラメータ設定システムは、
少なくとも二時点における前記実装置での実行結果を取得し、
取得した実行結果に基づいて、それぞれの時点における前記装置シミュレータで用いるPIDパラメータを算出し、
算出したPIDパラメータを用いて、PIDパラメータの単位期間あたりの変化値を算出し、
前記装置シミュレータは、
前記パラメータ設定システムで算出した変化値に基づいて、前記PIDパラメータを更新する、
ことを特徴とする装置設計製造支援システム。 - 処理装置の設計、製造を支援する装置設計製造支援システムであって、
前記装置設計製造支援システムは、装置シミュレータと装置コントローラとEESとパラメータ設定システムとを有しており、
前記装置シミュレータは、
実装置の装置レイアウトデータの入力を受け付け、前記装置レイアウトデータと前記装置コントローラからの制御指令とに基づいて、前記実装置の各階層に対応したシミュレーションプログラムにより、仮想的な処理装置として、PID制御を用いたシミュレーション処理を実行し、
前記装置コントローラは、
前記実装置及び前記装置シミュレータにおける仮想的な処理装置を制御するための制御指令を、前記実装置及び前記装置シミュレータに渡し、
前記EESは、
前記装置シミュレータにおける仮想的な処理装置でのシミュレーション処理の実行結果と、前記実装置における実行結果とをそれぞれ取得し、
前記パラメータ設定システムは、
少なくとも二時点における前記実装置での実行結果を取得し、
取得した実行結果に基づいて、それぞれの時点における前記装置シミュレータで用いるPIDパラメータを算出し、
算出したPIDパラメータを用いて、それぞれの時点におけるPID波形を算出し、
算出したそれぞれのPID波形を比較することで、PIDパラメータの単位期間あたりの変化値を算出し、
前記装置シミュレータは、
前記パラメータ設定システムで算出した変化値に基づいて、前記PIDパラメータを更新する、
ことを特徴とする装置設計製造支援システム。 - 前記装置設計製造支援システムは、さらに再現装置を備えており、
前記再現装置は、
前記実装置における制御指令および/または実行結果とに基づいて、前記実装置の各階層に対応したシミュレーションプログラムにより、仮想的な処理装置としてシミュレーション処理を実行する、
ことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の装置設計製造支援システム。 - 前記実行結果には、制御指令で処理対象となったマテリアルの位置情報を含んでおり、
前記再現装置は、
前記実行結果におけるマテリアルの位置情報に基づいて、マテリアル視点でのシミュレーション処理の表示を行う、
ことを特徴とする請求項8に記載の装置設計製造支援システム。
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CN104903798B (zh) * | 2013-01-16 | 2019-09-10 | 西门子公司 | 用于所模拟的可编程逻辑控制器的自动化输入模拟 |
CN103105774B (zh) * | 2013-01-30 | 2015-07-08 | 上海交通大学 | 基于改进的量子进化算法的分数阶pid控制器整定方法 |
CN103543641B (zh) * | 2013-09-30 | 2016-03-16 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种舵机铰链力矩实时动态加载装置 |
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JP6789871B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2020-11-25 | 株式会社荏原製作所 | 半導体製造装置の動作に関する表示を制御する方法を実行するプログラム、当該方法及び半導体製造装置の動作に関する表示を行うシステム |
CN111684541A (zh) * | 2018-02-08 | 2020-09-18 | 东京毅力科创株式会社 | 信息处理装置、程序、工艺处理执行装置及信息处理系统 |
US11429409B2 (en) * | 2018-09-04 | 2022-08-30 | Lam Research Corporation | Software emulator for hardware components in a gas delivery system of substrate processing system |
EP4257324A1 (en) * | 2022-04-08 | 2023-10-11 | Evonik Operations GmbH | System and method for automatically setting parameters for foam production |
EP4257323A1 (en) * | 2022-04-08 | 2023-10-11 | Evonik Operations GmbH | System and method for determining parameters for foam production |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05216896A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-08-27 | Toshiba Corp | 製造工程管理システム |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5410634A (en) * | 1984-09-19 | 1995-04-25 | Li; Chou H. | Self-optimizing method and machine |
JPH0616475B2 (ja) * | 1987-04-03 | 1994-03-02 | 三菱電機株式会社 | 物品の製造システム及び物品の製造方法 |
DE3811086A1 (de) * | 1987-04-03 | 1988-10-20 | Hitachi Ltd | Pid-reglersystem |
US5475291A (en) * | 1992-12-10 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Adjustment device for adjusting control parameters of a servo motor and an adjustment method therefor |
JP3178202B2 (ja) * | 1992-12-10 | 2001-06-18 | 松下電器産業株式会社 | サーボモータの制御パラメータ調整装置及び調整方法 |
JPH06274205A (ja) * | 1993-03-22 | 1994-09-30 | Toshiba Corp | ゲイン適応形調節装置 |
US5980096A (en) * | 1995-01-17 | 1999-11-09 | Intertech Ventures, Ltd. | Computer-based system, methods and graphical interface for information storage, modeling and stimulation of complex systems |
US6144954A (en) * | 1998-01-27 | 2000-11-07 | Li; Chou H. | Automatic development of computer software |
US6173249B1 (en) * | 1998-07-24 | 2001-01-09 | Tandem Computers Incorporated | Method of determining termination of a process under a simulated operating system |
JP3437807B2 (ja) * | 1999-10-18 | 2003-08-18 | 株式会社山武 | 制御演算装置及び制御演算方法 |
US6510353B1 (en) * | 1999-11-04 | 2003-01-21 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Determining tuning parameters for a process controller from a robustness map |
US6519498B1 (en) * | 2000-03-10 | 2003-02-11 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for managing scheduling in a multiple cluster tool |
US7006939B2 (en) * | 2000-04-19 | 2006-02-28 | Georgia Tech Research Corporation | Method and apparatus for low cost signature testing for analog and RF circuits |
US6970750B2 (en) * | 2001-07-13 | 2005-11-29 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Model-free adaptation of a process controller |
US7499766B2 (en) * | 2002-10-11 | 2009-03-03 | Invistics Corporation | Associated systems and methods for improving planning, scheduling, and supply chain management |
TW200535583A (en) * | 2003-12-26 | 2005-11-01 | Renesas Tech Corp | Mass-production transfer support system and semiconductor manufacturing system |
JP2007536634A (ja) * | 2004-05-04 | 2007-12-13 | フィッシャー−ローズマウント・システムズ・インコーポレーテッド | プロセス制御システムのためのサービス指向型アーキテクチャ |
US7260812B2 (en) * | 2004-08-02 | 2007-08-21 | Synopsys, Inc | Method and apparatus for expediting convergence in model-based OPC |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05216896A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-08-27 | Toshiba Corp | 製造工程管理システム |
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