JP4676736B2 - 窒化ガリウム系発光ダイオード - Google Patents
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酸化アルミニウム単結晶(Sapphire)を材料とする基板と、
窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N)を材料とし、そのうち0≦x<1、0≦y<1であり該基板の上に位置する第1バッファ層と、窒化シリコン(SiN)を材料とし該第1バッファ層の上に位置する第2バッファ層とを具えて該基板の上に位置するダブルバッファ層と、
該ダブルバッファ層の上に位置するn型窒化ガリウム(GaN)層と、
該n型窒化ガリウム(GaN)層の上に位置する短周期超結晶デジタルコンタクト層であり、該短周期超結晶デジタルコンタクト層は該n型窒化ガリウム(GaN)層の上に位置する複数のベース層を具え、該ベース層が、
シリコンヘビードープのn型窒化アルミニウムガリウムインジウム(n++−Al1-x-y Gax Iny N)、そのうち0≦x<1、0≦y<1、を材料とする第1ベース層と、 該第1ベース層の上に位置し、窒化シリコン(SiN)を材料とする第2ベース層とを具えている、上記短周期超結晶デジタルコンタクト層と、
該短周期超結晶デジタルコンタクト層の上に位置し材料が窒化インジウムガリウム(InGaN)とされる活性発光層と、
該活性発光層の上に位置し、材料がマグネシウムドープ(Mg−doped)窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N)、そのうち0≦x<1、0≦y<1、とされるp型クラッド層と、
該p型クラッド層の上に位置し、材料がマグネシウムドープ(Mg−doped)p型窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N)、そのうち0≦x<1、0≦y<1であるコンタクト層と、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項2の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層がn型窒化ガリウム(GaN)層或いは第2ベース層の上に位置することを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項3の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層の厚さが5Åから50Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項4の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層の成長温度が摂氏600度から1200度の間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項5の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層のヘビードープ濃度が毎立方センチメートル当たり1019個より多い(n>1×1019cm-3)ことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項6の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第2ベース層の厚さが2Åから10Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項7の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第2ベース層の成長温度が摂氏600度から1200度の間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項8の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、ベース層の個数が5以上とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
請求項9の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、電極層を更に具え、該電極層はコンタクト層或いは短周期超結晶デジタルコンタクト層の上に位置し且つ良好なオームコンタクトを形成し、該電極層は、Ti/Al、Cr/Au、Cr/Al、Cr/Pt/Au、Ti/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Pd/Au、Ti/Al/Ti/Au、Ti/Al/Pt/Au、Ti/Al/Ni/Au、Ti/Al/Pd/Au、Ti/Al/Cr/Au、Ti/Al/Co/Au、Cr/Al/Cr/Au、Cr/Al/Pt/Au、Cr/Al/Pd/Au、Cr/Al/Ti/Au、Cr/Al/Co/Au、Cr/Al/Ni/Au、Pd/Al/Ti/Au、Pd/Al/Pt/Au、Pd/Al/Ni/Au、Pd/Al/Pd/Au、Pd/Al/Cr/Au、Pd/Al/Co/Au、Nd/Al/Pt/Au、Nd/Al/Ti/Au、Nd/Al/Ni/Au、Nd/Al/Cr/Au、Nd/Al/Co/Au、Hf/Al/Ti/Au、Hf/Al/Pt/Au、Hf/Al/Ni/Au、Hf/Al/Pd/Au、Hf/Al/Cr/Au、Hf/Al/Co/Au、Zr/Al/Ti/Au、Zr/Al/Pt/Au、Zr/Al/Ni/Au、Zr/Al/Pd/Au、Zr/Al/Cr/Au、Zr/Al/Co/Au、TiNx/Ti/Au、TiNx/Pt/Au、TiNx/Ni/Au、TiNx/Pd/Au、TiNx/Cr/Au、TiNx/Co/Au、TiWNx/Ti/Au、TiWNx/Pt/Au、TiWNx/Ni/Au、TiWNx/Pd/Au、TiWNx/Cr/Au、TiWNx/Co/Au、NiAl/Pt/Au、NiAl/Cr/Au、NiAl/Ni/Au、NiAl/Ti/Au、Ti/NiAl/Pt/Au、Ti/NiAl/Ti/Au、Ti/NiAl/Ni/Au、Ti/NiAl/Cr/Au、或いは上述の材料で形成された任意の化合物で形成されることを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードとしている。
12 ダブルバッファ層
121 第1バッファ層
122 第2バッファ層
13 n型窒化ガリウム層
14 短周期超結晶デジタルコンタクト層
141 ベース層
1411 第1ベース層
1412 第2ベース層
15 活性発光層
16 p型クラッド層
17 コンタクト層
18 電極層
21 基板
22 ダブルバッファ層
221 第1バッファ層
222 第2バッファ層
23 n型窒化ガリウム層
24 短周期超結晶デジタルコンタクト層
240 ベース層
2401 第1ベース層
2402 第2ベース層
25 活性発光層
26 p型クラッド層
27 コンタクト層
28 電極層
Claims (9)
- 窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、
酸化アルミニウム単結晶(Sapphire)を材料とする基板と、
窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N)を材料とし、そのうち0≦x<1、0≦y<1であり該基板の上に位置する第1バッファ層と、窒化シリコン(SiN)を材料とし該第1バッファ層の上に位置する第2バッファ層とを具えて該基板の上に位置するダブルバッファ層と、
該ダブルバッファ層の上に位置するn型窒化ガリウム(GaN)層と、
該n型窒化ガリウム(GaN)層の上に位置する短周期超結晶デジタルコンタクト層であり、該短周期超結晶デジタルコンタクト層は該n型窒化ガリウム(GaN)層の上に位置する複数のベース層を具え、該ベース層が、
シリコンヘビードープのn型窒化アルミニウムガリウムインジウム(n++−Al1-x-y Gax Iny N)、そのうち0≦x<1、0≦y<1、を材料とする第1ベース層と、 該第1ベース層の上に位置し、窒化シリコン(SiN)を材料とする第2ベース層とを具えている、上記短周期超結晶デジタルコンタクト層と、
該短周期超結晶デジタルコンタクト層の上に位置し材料が窒化インジウムガリウム(InGaN)とされる活性発光層と、
該活性発光層の上に位置し、材料がマグネシウムドープ(Mg−doped)窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N)、そのうち0≦x<1、0≦y<1、とされるp型クラッド層と、
該p型クラッド層の上に位置し、材料がマグネシウムドープ(Mg−doped)p型窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N)、そのうち0≦x<1、0≦y<1であるコンタクト層と、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。 - 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層がn型窒化ガリウム(GaN)層或いは第2ベース層の上に位置することを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層の厚さが5Åから50Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層の成長温度が摂氏600度から1200度の間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第1ベース層のヘビードープ濃度が毎立方センチメートル当たり1019個より多い(n>1×1019cm-3)ことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第2ベース層の厚さが2Åから10Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、第2ベース層の成長温度が摂氏600度から1200度の間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、ベース層の個数が5以上とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードにおいて、電極層を更に具え、該電極層はコンタクト層或いは短周期超結晶デジタルコンタクト層の上に位置し且つ良好なオームコンタクトを形成し、該電極層は、Ti/Al、Cr/Au、Cr/Al、Cr/Pt/Au、Ti/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Pd/Au、Ti/Al/Ti/Au、Ti/Al/Pt/Au、Ti/Al/Ni/Au、Ti/Al/Pd/Au、Ti/Al/Cr/Au、Ti/Al/Co/Au、Cr/Al/Cr/Au、Cr/Al/Pt/Au、Cr/Al/Pd/Au、Cr/Al/Ti/Au、Cr/Al/Co/Au、Cr/Al/Ni/Au、Pd/Al/Ti/Au、Pd/Al/Pt/Au、Pd/Al/Ni/Au、Pd/Al/Pd/Au、Pd/Al/Cr/Au、Pd/Al/Co/Au、Nd/Al/Pt/Au、Nd/Al/Ti/Au、Nd/Al/Ni/Au、Nd/Al/Cr/Au、Nd/Al/Co/Au、Hf/Al/Ti/Au、Hf/Al/Pt/Au、Hf/Al/Ni/Au、Hf/Al/Pd/Au、Hf/Al/Cr/Au、Hf/Al/Co/Au、Zr/Al/Ti/Au、Zr/Al/Pt/Au、Zr/Al/Ni/Au、Zr/Al/Pd/Au、Zr/Al/Cr/Au、Zr/Al/Co/Au、TiNx/Ti/Au、TiNx/Pt/Au、TiNx/Ni/Au、TiNx/Pd/Au、TiNx/Cr/Au、TiNx/Co/Au、TiWNx/Ti/Au、TiWNx/Pt/Au、TiWNx/Ni/Au、TiWNx/Pd/Au、TiWNx/Cr/Au、TiWNx/Co/Au、NiAl/Pt/Au、NiAl/Cr/Au、NiAl/Ni/Au、NiAl/Ti/Au、Ti/NiAl/Pt/Au、Ti/NiAl/Ti/Au、Ti/NiAl/Ni/Au、Ti/NiAl/Cr/Au、或いは上述の材料で形成された任意の化合物で形成されることを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオード。
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