JP4674641B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態にかかる真空処理装置及び方法は、図1に示すように、真空室1と、上記真空室1に連接されて上記真空室1内の真空排気を行う真空排気装置50と、上記真空室1内に被処理基板処理用ガスをガス吹き出し部8の多数のガス吹き出し穴から供給するガス供給装置3と、上記真空室1内に配置されかつ被処理基板4を載置する基板保持台5とを備えて、上記真空室1、上記ガス供給装置3の上記ガス吹き出し穴の配置、上記真空排気装置20の自動圧力調整機構10の弁体10a、排気口11、メインの真空ポンプ2のそれぞれの中心軸が上記被処理基板4の中心軸Xと同心上にあり、この中心軸Xに対してこれらすべての形状が対称な状態で上記被処理基板4の表面処理を行うものである。
本発明の第2実施形態にかかる真空処理装置及び方法について説明する。
本発明の第3実施形態にかかる真空処理装置及び方法について説明する。
本発明の第4実施形態にかかる真空処理装置及び方法について説明する。
本発明の第5実施形態にかかる真空処理装置及び方法について説明する。
本発明の第6実施形態にかかる真空処理装置及び方法について説明する。
本発明の第7実施形態にかかる真空処理装置及び方法について説明する。
2 真空ポンプ
3 ガス供給部
3a ガス容器
3b マスフローコントローラ
3c バルブ
3d ガス供給管
4 被処理基板
5 基板保持台
6 プラズマ源
7 高周波電源
8 ガス吹き出し部
8a 穴
9 ガス流れ
10 自動圧力調整機構
10a,10b 弁体
11 排気口
12 自動圧力調整機構の弁体の切り欠き
13 ステージ
13d−1,13d−2,13d−3,13d−4 通路
14 足
14A 貫通口
15 被処理基板冷却用ガス導入口
15a 導入管
15b 排出管
16 突き上げ機構導入口
17 基板保持台冷却水導入口
17a 導入管
17b 排出管
18 高周波印加系導入口
19 ESC用DC導入口
20 支柱
20c 案内板部
21 連結プレート
21c 凹部
22 ボールネジ
23 タイミングベルト
24 プーリ
25 モータ
25a 回転駆動プーリ
26 シリンダ
26a シリンダロッド
27 圧縮ばね
28 ベローズ
29 メンテナンス窓
40 タイミングベルト
41 案内ロッド
41a 大径部
42 案内板
50 真空排気装置
151 バルブ
152 フィルタ
153 レギュレータ
170 弁体本体
171 下側円柱部
172 リング状部材
173 ボルト
178 Oリング
179 突き上げ駆動用モータ
180 シャフト
181,182 ベアリング
183 ギヤ
184 ラック
185 リニアブッシュ
186 リフタ
187 突き上げピン
X 中心軸
Claims (3)
- 真空室と、
上記真空室内の自動圧力調整機構の弁体、上記真空室に開口された排気口、前記排気口に接続される真空ポンプを備え、かつ、上記真空室に連接されて上記真空室内の真空排気を行う真空排気装置と、
上記真空室内に被処理基板処理用ガスをガス吹き出し穴から供給するガス供給装置と、
上記真空室内に配置されると共に上記ガス吹き出し穴と対向して配置されかつ被処理基板を載置する基板保持台とを備え、
上記弁体は、上記基板保持台と上記排気口との間に配置され、
上記真空室、上記ガス供給装置の上記ガス吹き出し穴の配置及び上記基板保持台、並びに上記真空排気装置の上記自動圧力調整機構の上記弁体、上記排気口、上記真空ポンプのそれぞれの中心軸が上記被処理基板の中心軸と同心上にあり、この中心軸に対して、これらすべての形状が対称であると共に、上記基板保持台には上記被処理基板の中心軸に対して対称に4つの足が設けられ、かつ、上記4つの足の間に形成され上記排気口に通じ上記基板保持台の側方に設けられる空間も全て同形状であること
を特徴とする真空処理装置。
- 上記排気口は、上記基板保持台の真下に設けられ、上記基板に対して等方的に排気する請求項1に記載の真空処理装置。
- 上記真空ポンプは1つのみで構成される請求項1又は2に記載の真空処理装置。
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JPS6329523A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
JPH09168732A (ja) * | 1996-12-02 | 1997-06-30 | Hitachi Ltd | 真空処理装置 |
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Patent Citations (2)
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