JP4670640B2 - カーボンナノチューブの製造方法、並びにカーボンナノチューブ構造体を用いた素子、及び配線 - Google Patents
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Description
基板の表面から離間した位置に炭素構造体を形成する方法としては、種々の方法を用いることができる。たとえば、基板上にカーボンドットを設け、これを利用して炭素構造体を形成する方法が挙げられる。この場合、上記製造方法は以下のような構成とすることができる。すなわち、基板上に第一のカーボンドットおよび第二のカーボンドットを形成する工程と、前記第一のカーボンドットを起点としてアモルファスカーボンを成長させ前記第二のカーボンドットへ到達させ、アモルファスカーボンからなる線状の炭素構造体を形成する工程と、前記第一のカーボンドットまたは第二のカーボンドットから触媒物質を炭素構造体中に導入し、該触媒物質を炭素構造体に沿って移動させ、その軌跡となる領域を結晶化してカーボンナノチューブを得る工程を含む構成とすることができる。この構成によれば、第一のカーボンドットから第二のカーボンドットへアモルファスカーボンを成長させるため、カーボンナノチューブの前駆体となる線状の炭素構造体を所望の位置に所望のサイズ、配向にて形成できる。この結果、カーボンナノチューブの位置、サイズおよび配向を高精度に制御できる。
本実施形態に係るカーボンナノチューブの製造方法について説明する。
本実施形態は、金属触媒微粒子の作製において、リソグラフィ手法によるパターニングを行う作製方法である。従って、よりカーボンナノチューブ及びそれを含むデバイスの大量生産に適する作製方法に関する。
本実施形態について、図4を参照して詳細に説明する。
Claims (11)
- 炭素構造体中に触媒物質を導入し、該触媒物質を前記炭素構造体中で移動させ、その軌跡となる領域を結晶化してカーボンナノチューブを得る工程を含み、前記炭素構造体は、レジストパターンであることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記炭素構造体を基板上の所定の位置に固定した後、前記炭素構造体を結晶化する前記工程を実施することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1または2に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記触媒物質を炭素構造体中で移動させる際、前記炭素構造体を加熱することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項3に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記炭素構造体を加熱することにより前記触媒物質の少なくとも一部を液状化することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1乃至4いずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記炭素構造体は線状構造体であり、前記触媒物質を前記炭素構造体に沿って移動させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項5に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記触媒物質は触媒粒子であって、該触媒粒子の直径が前記線状構造体の直径の0.5〜3倍であることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 基板を準備する工程と、
該基板の表面から離間した位置に炭素構造体を形成する工程と、
触媒物質を前記炭素構造体中で移動させ、その軌跡となる領域を結晶化してカーボンナノチューブを得る工程とを含み、前記炭素構造体は、レジストパターンであることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項7に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記触媒物質を炭素構造体中で移動させる際、前記炭素構造体を加熱することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項8に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記炭素構造体を加熱することにより前記触媒物質の少なくとも一部を液状化することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1乃至9いずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法によりカーボンナノチューブ構造体を形成した後、前記カーボンナノチューブ構造体の両端にソース電極およびドレイン電極をそれぞれ形成するとともにゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とするトランジスタの製造方法。
- カーボンナノチューブにより構成される配線構造の製造方法であって、請求項1乃至9いずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法によりカーボンナノチューブ構造体を形成する工程を含むことを特徴とする配線構造の製造方法。
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