JP4670453B2 - 無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法 - Google Patents
無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4670453B2 JP4670453B2 JP2005120770A JP2005120770A JP4670453B2 JP 4670453 B2 JP4670453 B2 JP 4670453B2 JP 2005120770 A JP2005120770 A JP 2005120770A JP 2005120770 A JP2005120770 A JP 2005120770A JP 4670453 B2 JP4670453 B2 JP 4670453B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alcohol
- liquid crystal
- substrate
- inorganic oxide
- crystal panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/133734—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by obliquely evaporated films, e.g. Si or SiO2 films
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K2323/00—Functional layers of liquid crystal optical display excluding electroactive liquid crystal layer characterised by chemical composition
- C09K2323/02—Alignment layer characterised by chemical composition
Description
これらの垂直配向タイプの液晶表示素子に用いられる垂直配向膜としては、例えば液晶テレビにはポリイミド等の有機配向膜が用いられ、液晶プロジェクタにはSiO2等の斜方蒸着膜(無機配向膜)が多用されている。
ここで、不純物には、シール剤中の不純物および未反応成分、液晶層中の不純物および水分、製造過程で付着した汚れ等が含まれる。
そこで、斜方蒸着膜(無機酸化物膜)の表面改質法として、無機配向膜の表面の水酸基を高級アルコールやシランカップリング剤で処理する方法が提案されている(例えば、特許文献1、2参照。)。
ところが、この方法では、処理温度が低いため、高級アルコールが斜方蒸着膜の表面に物理的に吸着するに留まり、結合力が極めて弱い。このため、液晶分子と接触させることにより、高級アルコールが斜方蒸着膜の表面から容易に脱離して、初期的に安定な垂直配向力が得られないという問題がある。
しかしながら、斜方蒸着膜の細孔(空孔)径は小さく、斜方蒸着膜にシランカップリング剤を単に接触させるだけでは、表面にある水酸基にしか化学結合をさせることができない。すなわち、空孔内に存在する水酸基には、シランカップリング剤を化学結合さることができない。
このため、特許文献2に記載の方法では、斜方蒸着膜の細孔内に存在する水酸基の影響により、液晶分子の配向性が比較的短時間で低下するという問題がある。
前記無機酸化物膜の表面に、前記第1の処理液中のアルコールを化学結合させる工程と、
前記無機酸化物膜を、少なくとも前記第1のアルコールより分子量の小さい第2のアルコールを含有する第2の処理液中に浸漬する工程と、
該第2の処理液が設置された空間を減圧することにより、前記無機酸化物膜の細孔内に前記第2の処理液を浸透させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面および細孔の内面に、前記第2の処理液中のアルコールを化学結合させる工程とを有することを特徴とする。
これにより、アルコールを無機酸化物膜の表面のみならず、これが有する細孔の内面にも確実に化学結合させることができる。
前記基板の一方の面側に、斜方蒸着法により、複数の細孔を有する無機酸化物膜を形成する工程と、
前記無機酸化物膜に、少なくとも第1のアルコールを含有する第1の処理液を接触させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面に、前記第1の処理液中のアルコールを化学結合させる工程と、
前記無機酸化物膜が形成された基板を、少なくとも前記第1のアルコールより分子量の小さい第2のアルコールを含有する第2の処理液中に浸漬する工程と、
該第2の処理液が設置された空間を減圧することにより、前記無機酸化物膜の細孔内に前記第2の処理液を浸透させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面および細孔の内面に、前記第2の処理液中のアルコールを化学結合させて、前記配向膜を得る工程とを有することを特徴とする。
これにより、アルコールを無機酸化物膜の表面のみならず、これが有する細孔の内面にも確実に化学結合させることができ、例えば液晶分子等の配向性に優れ、その配向性が経時的に低下し難い配向膜を有する電子デバイス用基板を得ることができる。
これにより、液晶分子に対する垂直アンカリング力がさらに増大し、液晶分子をより確実に垂直配向させることができる。
加熱による方法を用いることにより、無機酸化物膜の表面および細孔の内面に存在する水酸基との反応を比較的容易かつ確実に行うことができる。
本発明の電子デバイス用基板の製造方法では、前記基板の加熱温度は、80〜250℃であることが好ましい。
これにより、アルコールの種類や、無機酸化物の種類等によらず、無機酸化物膜にアルコールを十分に化学結合させることができる。
これにより、加熱温度等の他の条件によらず、無機酸化物膜にアルコールを十分に化学結合させることができる。
本発明の電子デバイス用基板の製造方法では、前記第2の処理液を浸透させる工程において、前記空間の真空度は、10−4〜104Paであることが好ましい。
これにより、無機酸化物膜の細孔内から十分に空気が取り除かれ、細孔内に処理液を十分に浸透させることができる。
これにより、無機酸化物膜が有する水酸基とアルコールとをより確実に反応させることができる。
本発明の電子デバイス用基板の製造方法では、前記基板の加熱温度は、80〜250℃であることが好ましい。
加熱による方法を用いることにより、無機酸化物膜の表面および細孔の内面に存在する水酸基との反応を比較的容易かつ確実に行うことができる。
これにより、アルコールの種類や、無機酸化物の種類等によらず、無機酸化物膜にアルコールを十分に化学結合させることができる。
本発明の電子デバイス用基板の製造方法では、前記第1のアルコールは、その炭素数が5〜30のものであることが好ましい。
常温で液状であるか、または半固形状(固形状)であっても比較的低温で液状とすることができる。このため、後述する処理液により無機酸化物膜を処理する際の取り扱いが容易である。また、このような炭素数のアルコールは、液晶分子に対する親和性がより高いため、液晶分子に対する垂直アンカリング力を確実に増大させることができる。
脂肪族アルコール、脂環アルコールまたはこれらのフッ素置換体を用いることにより、液晶分子に対する垂直アンカリング力がさらに増大し、液晶分子をより確実に垂直配向させることができる。
ステロイド骨格を有する脂環アルコールまたはそのフッ素置換体は、平面性の高い構造を有するため、液晶分子を配向制御する機能に特に優れるものである。
本発明の電子デバイス用基板の製造方法では、前記第2のアルコールは、その炭素数が1〜4のものであることが好ましい。
このような炭素数の第1のアルコールは、分子サイズが小さいため、細孔の奥深くにまで確実に浸透させることができる。
脂肪族アルコールまたはそのフッ素置換体は、その分子構造が直線に近いため、細孔の奥深くにまでより確実に浸透させることができる。
本発明の電子デバイス用基板の製造方法では、前記第1のアルコールの炭素数をAとし、第2のアルコールの炭素数をBとしたとき、A−Bが3以上なる関係を満足することが好ましい。
例えば液晶分子等の配向性をより向上させ、その配向性が経時的により低下し難いものとすることができる。
前記配向膜の前記基板と反対側に設けられた液晶層とを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い液晶パネルが得られる。
本発明の液晶パネルは、本発明の電子デバイス用基板を一対備え、
一対の前記電子デバイス用基板の前記配向膜同士の間に、液晶層を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い液晶パネルが得られる。
本発明の電子機器は、本発明の液晶パネルを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
まず、本発明の液晶パネルについて説明する。
<第1実施形態>
まず、本発明の液晶パネルの第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の液晶パネルの第1実施形態を模式的に示す縦断面図、図2は、図1に示す液晶パネルが備える配向膜の構成を模式的に示す縦断面図である。なお、図1では、シール材、配線等の記載は省略した。また、以下の説明では、図1および図2中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
このような構成において、基板9、透明導電膜5(電極)および配向膜3Aにより、また、基板10、透明導電膜6(電極)および配向膜4Aにより、それぞれ、本発明の電子デバイス用基板が構成されている。
なお、図示の構成では、透明導電膜5、6は、いずれも、分割されていないが、通常、これらのうちの少なくとも一方は、分割され、個別電極(画素電極)を構成している。
液晶層2は、液晶分子(液晶材料)を含有している。
なお、後述するように、配向膜3A、4Aを用いた場合、液晶分子は垂直配向し易くなるが、垂直配向に適する液晶分子としては、例えば、下記化1〜化3で表される化合物等が挙げられる。
液晶層2の両面には、配向膜3A、4Aが配置されている。
また、配向膜3Aは、透明導電膜5と基板9とからなる基材100上に形成されており、配向膜4Aは、透明導電膜6と基板10とからなる基材101上に形成されている。
なお、配向膜3A、4Aは、いずれも同様の構成であるため、以下では、配向膜3Aを代表にして説明する。
配向膜3Aは、図2に示すように、斜方蒸着法により形成された無機酸化物膜31と、この無機酸化物膜31に、後述するような方法により処理を施すことにより形成された被膜32とで構成されている。
ここで、各細孔30の軸が一軸配向しているとは、大多数の細孔30の軸がほぼ等しい方向を向いていること(細孔30の軸の平均的な方向が制御されていること)をいい、複数の細孔30の中には、軸の方向が大多数のものと異なる方向を向いた細孔30が含まれていてもよい。
このような構成により、液晶層2が含有する液晶分子は、垂直配向(ホメオトロピック配向)し易くなる。したがって、このような構成の配向膜3Aは、VA(Vertical Alignment)型の液晶パネルの構築に有用である。
なお、細孔30と基材100の上面とのなす角度(図2中角度θ)は、特に限定されないが、30〜70°程度であるのが好ましく、40〜60°程度であるのがより好ましい。これにより、液晶分子をより確実に垂直配向させることができる。
また、無機酸化物膜31を構成する無機酸化物は、その誘電率が比較的低いものが好ましい。これにより、液晶パネル1Aにおいて画像の焼き付き等をより効果的に防止することができる。
この被膜32は、後述する処理液を用いて無機酸化物膜31を処理することにより形成された膜、すなわち、無機酸化物膜31の表面および細孔30の内面に存在する活性な水酸基と、アルコールが有する水酸基とが化学反応(エーテル化反応)して形成された膜であり、アルコールの主骨格部分を主としてなる膜である。
アルコールとして、例えば、第1のアルコールと、第1のアルコールより分子量の小さい第2のアルコールとの2種のアルコールを含むものを用いると、次のような効果が得られる。
第二に、比較的高分子量の第1のアルコールは、無機酸化物膜31の表面において、主骨格部分である炭化水素部分を液晶層2側に向けて、無機酸化物膜31に化学結合するが、当該部分は、液晶分子に対する親和性が比較的高いため、液晶分子に対する高い垂直アンカリング力が得られる。
このようなことから、本発明の電子デバイス用基板を用いた液晶パネル1Aでは、液晶分子を確実に垂直配向させることができる。また、活性な水酸基の存在に起因して無機酸化物膜31に各種不純物が付着することや、無機酸化物膜31が液晶分子と反応すること等を防止することができる。これにより、例えば、配向膜3Aの液晶分子に対する垂直アンカリング力の低下等を防止することができ、液晶分子に配向異常が生じるのを防止することができる。
第1のアルコールは、その炭素数が5〜30のものであるのが好ましく、8〜30のものであるのがより好ましい。このような炭素数のアルコールは、常温で液状であるか、または半固形状(固形状)であっても比較的低温で液状とすることができる。このため、後述する処理液により無機酸化物膜31を処理する際の取り扱いが容易である。
また、この第1のアルコールとしては、脂肪族アルコール、芳香族アルコール、脂環アルコール、複素環アルコール、多価アルコールまたはこれらのハロゲン置換体(特に、フッ素置換体)が挙げられるが、これらの中でも、脂肪族アルコール、脂環アルコールまたはそのフッ素置換体(フルオロアルコール)が好ましい。脂肪族アルコール、脂環アルコールまたはそのフッ素置換体を用いることにより、液晶分子に対する垂直アンカリング力がさらに増大し、液晶分子をより確実に垂直配向させることができる。
これらのことを考慮した場合、第1のアルコールとしては、オクタノール、ノナノール、デカノール、ウンデカノール、ドデカノール、トリデカノール、テトラデカノール、ペンタデカノール、ヘキサデカノール、ヘプタデカノール、オクタデカノール、エイコサノール、ヘンエイコサノール、ドコサノール、トリコサノール、テトラコサノール等の脂肪族アルコール、コレステロール、エピコレステロール、コレスタノール、エピコレスタノール、エルゴスタノール、エピエルゴスタノール、コプロスタノール、エピコプロスタノール、α−エルゴステロール、β−シトステロール、スチグマステロール、カンペステロール等の脂環アルコールまたはこれらのフッ素置換体が好適である。
その他、第1のアルコールとしては、例えば、ヘキサノール、ヘプタノール、トリアコンタノール等の脂肪族アルコール、シクロヘキサノール、4−メチル−シクロヘキサノール、シクロペンタノール等の脂環アルコール、フェノール、ベンジルアルコール、p−クロル−ベンジルアルコール等の芳香族アルコール、フルフリルアルコール等の複素環アルコール、エチレングリコール、グリセリン等の多価アルコールまたはこれらのフッ素置換体を用いることができる。
また、この第2のアルコールとしては、脂肪族アルコール、多価アルコールまたはこれらのハロゲン置換体(特に、フッ素置換体)が挙げられるが、これらの中でも、脂肪族アルコールまたはそのフッ素置換体(フルオロアルコール)が好ましい。脂肪族アルコールまたはそのフッ素置換体は、その分子構造が直線に近いため、細孔30の奥深くにまでより確実に浸透させることができる。
その他、第2のアルコールには、例えば、エチレングリコール、グリセリン等の多価アルコールまたはそのフッ素置換体を用いることができる。
なお、液晶分子には、フッ素化されたものが多いことから、フッ素置換体を用いることにより、液晶分子との親和性が向上し、液晶分子を垂直配向させる効果がより高まる。
透明導電膜5、6は、これらの間で充放電を行うことにより、液晶層2が含有する液晶分子の配向を変化させる機能を有する。
透明導電膜5、6間での充放電の制御は、透明導電膜5、6に接続された制御回路(図示せず)から供給する電流を制御することにより行われる。
透明導電膜5の外表面(図1中上面)側には、基板9が配置されている。同様に、透明導電膜6の外表面(図1中下面)側には、基板10が配置されている。
基板9、10は、前述した液晶層2、配向膜3A、4A、透明導電膜5、6、および後述する偏光膜7A、8Aを支持する機能を有している。
基板9の外表面(図1中上面)側には、偏光膜(偏光板、偏光フィルム)7Aが配置されている。同様に、基板10の外表面(図1中下面)側には、偏光膜(偏光板、偏光フィルム)8Aが配置されている。
偏光膜としては、例えば、上記材料で構成された膜を一軸方向に延伸したものを用いることができる。
偏光膜7A、8Aの偏光軸の方向は、通常、配向膜3A、4Aの配向方向(本実施形態では、電圧印加時)に応じて決定される。
次に、本発明の無機酸化物膜の処理方法を適用した電子デバイス用基板の製造方法について説明する。
まず、本発明の電子デバイス用基板の製造方法の第1実施形態(第1の製造方法)について説明する。
電子デバイス用基板の第1の製造方法は、[1A]無機酸化物膜形成工程と、[2A]処理液Sへの浸漬工程と、[3A]処理液Sの浸透工程と、[4A]アルコールの反応工程とを有している。
図3に示す処理装置900は、チャンバ910と、チャンバ910内に設けられたステージ950と、ステージ950上に配置された容器920と、容器920内に処理液Sを供給する給液手段960と、容器920内の処理液Sを排液する排液手段940と、チャンバ910内の排気を行う排気手段930とを有している。
排気手段930は、ポンプ932と、ポンプ932とチャンバ910とを連通する排気ライン931と、排気ライン931の途中に設けられたバルブ933とで構成されている。
また、給液手段960は、処理液Sを貯留する貯留タンク964と、貯留タンク964から処理液Sを容器920に導く給液ライン961と、給液ライン961の途中に設けられたポンプ962およびバルブ963とで構成されている。
また、排液手段940および給液手段960には、それぞれ、図示しない加熱手段(例えば、ヒーター等)が設けられ、処理液Sを加熱し得るよう構成されている。
以下、各工程について、順に説明する。
まず、基材100上(基板9の一方の面側)に、斜方蒸着法により無機酸化物膜31を形成する。斜方蒸着法を用いることにより、複数の細孔30を有する無機酸化物膜31が得られる。
ここで、蒸発源から気化した無機酸化物が、基材100の上面に到達する角度を適宜設定することにより、細孔30の基材100の上面に対する角度を調整することができる。
また、基材100と蒸発源とは、できる限り離間しているのが好ましい。基材100と蒸発源とが十分に離間することにより、蒸発源から気化した無機酸化物がほぼ等しい方向から基材100の表面に到達するようになる。これにより、より配向性の高い無機酸化物膜31が形成される。
次に、無機酸化物膜31が形成された基材100を、前述したような第1のアルコールおよび第2のアルコールを含有する処理液Sに浸漬する。
具体的には、チャンバ910を開放し、無機酸化物膜31が形成された基材100を搬入して、容器920内に設置する。
そして、容器920内に所定量の処理液S、すなわち、基材100が完全に漬かる量の処理液を供給すると、ポンプ962を停止するとともに、バルブ963を閉じる。
常温で液状のアルコールを用いる場合、処理液Sには、このアルコールそのもの(アルコールの含有量がほぼ100%のもの)を用いることができる他、適当な溶媒にアルコールを混合して用いることができる。
アルコールを溶媒に混合または溶解する場合、溶媒には、アルコールを混合または溶解可能であり、かつ、アルコールより極性の低いものが選択される。これにより、溶媒が、後工程[4A]における無機酸化物膜31の水酸基とアルコールとの反応を妨げることを防止することができ、化学反応を確実に生じさせることができる。
次に、チャンバ910内(処理液Sが設置された空間)を減圧することにより、無機酸化物膜31の細孔30内に処理液Sを浸透させる。
具体的には、チャンバ910を密閉した状態とし、ポンプ932を作動し、この状態で、バルブ933を開くことにより、排気ライン931を介して、チャンバ910内の気体を処理装置900外に排出する。
そして、チャンバ910内が所定の圧力になると、ポンプ932を停止するとともに、バルブ933を閉じる。
次に、ポンプ942を作動し、この状態で、バルブ943を開くことにより、容器920内の余剰の処理液Sを排液ライン941を介して回収タンク944に回収する。
そして、容器920内から処理液Sのほぼ全てが回収されると、ポンプ942を停止するとともに、バルブ943を閉じる。
次に、無機酸化物膜31の表面および細孔30の内面に、アルコールを化学結合(エーテル結合)させる。
具体的には、ステージ950に設けられた加熱手段を作動させることにより、無機酸化物膜31が形成された基材100を加熱する。
コールが有する水酸基との間にエーテル化反応が生じ、無機酸化物膜31の表面および細
孔30の内面に、アルコールが化学結合する。
その結果、無機酸化物膜31の表面および細孔30の内面に沿って、アルコールの主骨
格部分を主としてなる被膜32が形成され、配向膜3Aが得られる。
基材100の加熱温度は、特に限定されないが、80〜250℃程度であるのが好ましく、100〜200℃程度であるのがより好ましい。加熱温度が低過ぎると、アルコールの種類や、無機酸化物の種類等によっては、無機酸化物膜31にアルコールを十分に化学結合させることができないおそれがあり、一方、加熱温度を前記上限値を超えて高くしても、それ以上の効果の増大が見込めない。
なお、前記反応は、加熱による方法に限定されず、例えば、紫外線の照射、赤外線の照射等により行うこともできる。これらの場合、各処理を行うのに必要な機構(手段)が処理装置900に設けられる。
なお、第1の製造方法では、処理液Sは、第1のアルコールと第2のアルコールとを含有するため、第1のアルコールと第2のアルコールとは、相溶性の高いものであるのが好ましく、具体的には、いずれも、脂肪族アルコールまたはそのフッ素置換体を用いるのが好ましい。
次に、本発明の電子デバイス用基板の製造方法の第2実施形態(第2の製造方法)について説明する。
以下、第2の製造方法について、前記第1の製造方法との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
以下、各工程について、順に説明する。
本工程[1B]は、前記工程[1A]と同様の条件で行う。
[2B]第1の処理液S1の接触工程
次に、常圧下で、無機酸化物膜31に、前述したような第1のアルコールを含有する第1の処理液S1を接触させる。
また、第1の処理液S1としては、前記処理液Sと同様のものを用いることができる。
本工程[3B]は、前記工程[4A]と同様の条件で行う。
[4B]第2の処理液S2への浸漬工程
本工程[4B]は、前記工程[2A]と同様の条件で行う。
また、第2の処理液S2としては、前記処理液Sと同様のものを用いることができ、第2の処理液S2中のアルコールの濃度は、70vol%以上であるのが好ましく、85vol%以上であるのがより好ましい。
本工程[5B]は、前記工程[3A]と同様の条件で行う。
[6B]アルコールの反応工程
本工程[6B]は、前記工程[4A]と同様の条件で行う。
このような第2の製造方法によっても、前記第1の製造方法と同様の効果が得られる。
また、この場合、第1の処理液S1は、さらに、前記第2のアルコールより分子量が大きく、かつ、前記第1のアルコールおよび前記第2のアルコールと異種の第3のアルコールを含有するのが好ましい。
なお、第2の製造方法において、第1の処理液S1による処理と第2の処理液S2による処理とは、逆に行うようにしてもよい。
以上、配向膜3Aを形成する場合について説明したが、配向膜4Aを形成する場合についても同様である。
次に、本発明の液晶パネルの第2実施形態について説明する。
図4は、本発明の液晶パネルの第2実施形態を模式的に示す縦断面図である。なお、図4では、シール材、配線等の記載は省略した。また、以下の説明では、図4中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
図4に示す液晶パネル(TFT液晶パネル)1Bは、TFT基板(液晶駆動基板)17と、TFT基板17に接合された配向膜3Bと、液晶パネル用対向基板12と、液晶パネル用対向基板12に接合された配向膜4Bと、配向膜3Bと配向膜4Bとの空隙に封入された液晶分子を含有する液晶層2と、TFT基板(液晶駆動基板)17の外表面(上面)側に接合された偏光膜7Bと、液晶パネル用対向基板12の外表面(下面)側に接合された偏光膜8Bとを有している。
なお、配向膜3B、4Bは、前記第1実施形態で説明した配向膜3A、4Aと同様の構成のものであり、偏光膜7B、8Bは、前記第1実施形態で説明した偏光膜7A、8Aと同様の構成のものである。
マイクロレンズ基板11は、凹曲面を有する複数(多数)の凹部(マイクロレンズ用凹部)112が設けられたマイクロレンズ用凹部付き基板111と、かかるマイクロレンズ用凹部付き基板111の凹部112が設けられた面に樹脂層(接着剤層)115を介して接合された表層114とを有している。
マイクロレンズ用凹部付き基板111は、平板状の母材(透明基板)より製造され、その表面には、複数(多数)の凹部112が形成されている。
凹部112は、例えば、マスクを用いた、ドライエッチング法、ウェットエッチング法等により形成することができる。
前記母材の熱膨張係数は、ガラス基板171の熱膨張係数とほぼ等しいもの(例えば両者の熱膨張係数の比が1/10〜10程度)であることが好ましい。これにより、得られる液晶パネル1Bでは、温度が変化したときに二者の熱膨張係数が違うことにより生じるそり、たわみ、剥離等が防止される。
かかる観点からは、マイクロレンズ用凹部付き基板111と、ガラス基板171とは、同種類の材質で構成されていることが好ましい。これにより、温度変化時の熱膨張係数の相違によるそり、たわみ、剥離等が効果的に防止される。
凹部112内には、樹脂層115の構成材料が充填されることにより、マイクロレンズ113が形成されている。
樹脂層115は、例えば、マイクロレンズ用凹部付き基板111の構成材料の屈折率よりも高い屈折率の樹脂(接着剤)で構成することができ、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリルエポキシ系のような紫外線硬化樹脂等で好適に構成することができる。
表層(ガラス層)114は、例えばガラスで構成することができる。この場合、表層114の熱膨張係数は、マイクロレンズ用凹部付き基板111の熱膨張係数とほぼ等しいもの(例えば両者の熱膨張係数の比が1/10〜10程度)とすることが好ましい。これにより、マイクロレンズ用凹部付き基板111と表層114の熱膨張係数の相違により生じるそり、たわみ、剥離等が防止される。このような効果は、マイクロレンズ用凹部付き基板111と表層114とを同種類の材料で構成すると、より効果的に得られる。
なお、表層(バリア層)114は、例えばセラミックスで構成することもできる。なお、セラミックスとしては、例えば、AlN、SiN、TiN、BN等の窒化物系セラミックス、Al2O3、TiO2等の酸化物系セラミックス、WC、TiC、ZrC、TaC等の炭化物系セラミックスなどが挙げられる。
なお、このような表層114は、必要に応じて省略することができる。
ブラックマトリックス13は、遮光機能を有し、例えば、Cr、Al、Al合金、Ni、Zn、Ti等の金属、カーボンやチタン等を分散した樹脂等で構成されている。
TFT基板17は、液晶層2が含有する液晶分子を駆動(配向制御)する基板であり、ガラス基板171と、かかるガラス基板171上に設けられ、マトリックス状(行列状)に配設された複数(多数)の画素電極172と、各画素電極172に対応する複数(多数)の薄膜トランジスタ(TFT)173とを有している。
画素電極172は、透明導電膜(共通電極)14との間で充放電を行うことにより、液晶層2の液晶分子を駆動する。この画素電極172は、例えば、前述した透明導電膜14と同様の材料で構成されている。
配向膜3Bは、TFT基板17の画素電極172と接合しており、配向膜4Bは、液晶パネル用対向基板12の透明導電膜14と接合している。
このような液晶パネル1Bでは、通常、1個のマイクロレンズ113と、かかるマイクロレンズ113の光軸Qに対応したブラックマトリックス13の1個の開口131と、1個の画素電極172と、かかる画素電極172に接続された1個の薄膜トランジスタ173とが、1画素に対応している。
このとき、マイクロレンズ基板11の入射側に偏光膜8Bが設けられているため、入射光Lが液晶層2を透過する際に、入射光Lは直線偏光となっている。
このように、液晶パネル1Bは、マイクロレンズ113を有しており、しかも、マイクロレンズ113を通過した入射光Lは、集光されてブラックマトリックス13の開口131を通過する。
この液晶パネル1Bは、例えば、次のようにして製造することができる。
次に、これらを用いて、本発明の電子デバイス用基板の製造方法により、それぞれ、配向膜3B、4Bを形成して、本発明の電子デバイス用基板を得る。
次に、シール材(図示せず)を介して両者を接合し、これにより形成された空隙部の封入孔(図示せず)から液晶を空隙部内に注入した後、かかる封入孔を塞ぐ。
次に、前述したような液晶パネル1Aを備える本発明の電子機器(液晶表示装置)について、図5〜図7に示す実施形態に基づき、詳細に説明する。
この図において、パーソナルコンピュータ1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
図6は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
図7は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、前述の液晶パネル1Aと、図示しないバックライトとが設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、液晶パネル1Aは、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図示の構成では裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が液晶パネル1Aに表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、回路基板1308のメモリに転送・格納される。
次に、本発明の電子機器の一例として、上記液晶パネル1Bを用いた電子機器(液晶プロジェクタ)について説明する。
図8は、本発明の電子機器(投射型表示装置)の光学系を模式的に示す図である。
なお、投射型表示装置300では、ダイクロイックプリズム21と投射レンズ22とで、光学ブロック20が構成されている。また、この光学ブロック20と、ダイクロイックプリズム21に対して固定的に設置された液晶ライトバルブ24、25および26とで、表示ユニット23が構成されている。
以下、投射型表示装置300の作用を説明する。
ダイクロイックミラー305を透過した赤色光は、ミラー306で図8中下側に反射し、その反射光は、集光レンズ310により整形され、赤色用の液晶ライトバルブ24に入射する。
ダイクロイックミラー307で反射した緑色光は、集光レンズ311により整形され、緑色用の液晶ライトバルブ25に入射する。
このように、光源301から出射された白色光は、色分離光学系により、赤色、緑色および青色の三原色に色分離され、それぞれ、対応する液晶ライトバルブに導かれ、入射する。
この際、液晶ライトバルブ24が有する液晶パネル1Bの各画素(薄膜トランジスタ173とこれに接続された画素電極172)は、赤色用の画像信号に基づいて作動する駆動回路(駆動手段)により、スイッチング制御(オン/オフ)、すなわち変調される。
前記液晶ライトバルブ24により形成された赤色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ24からの赤色光は、面213からダイクロイックプリズム21に入射し、ダイクロイックミラー面211で図8中左側に反射し、ダイクロイックミラー面212を透過して、出射面216から出射する。
また、前記液晶ライトバルブ26により形成された青色用の画像、すなわち液晶ライトバルブ26からの青色光は、面215からダイクロイックプリズム21に入射し、ダイクロイックミラー面212で図8中左側に反射し、ダイクロイックミラー面211を透過して、出射面216から出射する。
本実施形態の投射型表示装置300は、3個の液晶パネルを有するものであり、これらの全てに液晶パネル1Bを適用したものについて説明したが、これらのうちの少なくとも1つが、液晶パネル1Bであればよい。この場合、少なくとも、青色用の液晶ライトバルブに液晶パネル1Bを適用するのが好ましい。
例えば、本発明の無機酸化物膜の処理方法および電子デバイス用基板の製造方法では、任意の目的の工程が1または2以上追加されてもよい。
また、例えば、本発明の電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
さらに、本発明の電子デバイス用基板は、液晶パネルへの適用に限定されず、例えば、有機トランジスタ等に適用することもできる。この場合、かかる電子デバイス用基板を用いることにより、有機半導体層の配向方向を規制して、キャリア移動度の向上を図ることができる。
1.電子デバイス用基板の製造
(サンプルNo.1)
<1A> まず、ガラス基板(2.5cm×2.5cmの正方形)を用意し、真空蒸着装置に基板面が蒸着源に対して50°となるようにセットした。
そして、蒸着装置内を減圧(10−4Pa)し、SiO2を斜方蒸着して、斜方蒸着膜(無機酸化物膜)付き基板を作製した。
なお、得られた斜方蒸着膜は、その細孔のガラス基板の上面に対する角度が約70°であった。
<3A> 次に、1−オクタノール(第1のアルコール)と2−プロパノール(第2のアルコール)との混合液(重量比=80:20)を用意し、ろ過フィルターを用いてイオン性不純物を除去した後、窒素バブリングにより微量含有水分を除去して、処理液を調整した。
そして、チャンバを密閉した後、準備した処理液を容器内に供給して、斜方蒸着膜付き基板を処理液に浸漬させた。
<5A> 次に、前記工程<4A>の状態で、チャンバ内を100Paに減圧した。
これにより、斜方蒸着膜の細孔内の気体を処理液に置換した。すなわち、細孔内に処理液を浸透させた。
これにより、斜方蒸着膜の表面および細孔の内面に、1−オクタノールおよび2−プロパノールを化学結合させた。
<7A> 加熱終了後、減圧状態を維持しつつ、放冷した。
以上のようにして、電子デバイス用基板を得た。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが45nmであった。
また、斜方蒸着膜の表面付近に化学結合した1−オクタノールと2−プロパノールとのモル比率は、70:30であった。これは、飛行時間型二次イオン質量分析(TOF−SIMS分析)により確認した(以下において同様である)。
<1B> まず、前記工程<1A>と同様の工程を行った。
<2B> 次に、前記工程<2A>と同様の工程を行った。
<3B> 次に、1−オクタデカノール(第1のアルコール)をジエチルエーテル(溶媒)に溶解し、ろ過フィルターを用いてイオン性不純物を除去した後、窒素バブリングにより微量含有水分を除去して、第1の処理液を調整した。
なお、第1の処理液中の1−オクタデカノールの濃度は、90vol%とした。
<5B> 次に、大気圧下に、基板を150℃×1時間で加熱した。
これにより、斜方蒸着膜の表面付近に、1−オクタデカノールを化学結合させた。
<6B> 次に、2−プロパノール(第2のアルコール)を用意し、ろ過フィルターを用いてイオン性不純物を除去した後、窒素バブリングにより微量含有水分を除去して、第2の処理液を調整した。
<8B> 次に、前記工程<5A>と同様の工程を行った。
これにより、斜方蒸着膜の細孔内の気体を第2の処理液に置換した。すなわち、細孔内に第2の処理液を浸透させた。
<9B> 次に、前記工程<6A>と同様の工程を行った。
これにより、斜方蒸着膜の表面および細孔の内面に、2−プロパノールを化学結合させた。
以上のようにして、電子デバイス用基板を得た。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが45nmであった。
また、斜方蒸着膜の表面付近に化学結合した1−オクタデカノールと2−プロパノールとの比率は、モル比で80:20であった。
第1のアルコールとして、コレステロールを用い、溶媒としてトルエンを用いた以外は、前記サンプルNo.2と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが46nmであった。
また、斜方蒸着膜の表面付近に化学結合したコレステロールと2−プルパノールとの比率は、モル比で75:25であった。
第1のアルコールとして、1−オクタデカノールおよびコレステロールを用い、溶媒としてトルエンを用いた以外は、前記サンプルNo.2と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、1−オクタデカノールとコレステロールとは、モル比で50:50となるようにして用いた。
また、得られた配向膜は、その平均厚さが48nmであった。
また、斜方蒸着膜の表面付近に化学結合した1−オクタデカノールとコレステロールと2−プロパノールとのモル比率は、重量比で40:35:25であった。
SiO2に代えて、Al2O3を斜方蒸着して、斜方蒸着膜(無機酸化物膜)付き基板を作製した以外は、前記サンプルNo.1と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが45nmであった。
また、斜方蒸着膜の表面付近に化学結合した1−オクタノールと2−プロパノールとのモル比率は、70:30であった。
アルコールとして、1−オクタノールを単独で用いた以外は、前記サンプルNo.1と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが45nmであった。
(サンプルNo.7)
アルコールとして、2−プロパノールを単独で用いた以外は、前記サンプルNo.1と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが42nmであった。
前記工程<5A>において減圧を省略し、さらに、前記工程<6A>を省略した以外は、前記サンプルNo.1と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが40nmであった。
(サンプルNo.9)
前記工程<5A>において減圧を省略した以外は、前記サンプルNo.1と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが45nmであった。
前記工程<5A>において減圧を省略し、さらに、前記工程<6>を省略した以外は、前記サンプルNo.5と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが40nmであった。
(サンプルNo.11)
前記工程<5A>において減圧を省略した以外は、前記サンプルNo.5と同様にして、電子デバイス用基板を製造した。
なお、得られた配向膜は、その平均厚さが45nmであった。
サンプルNo.1、5およびサンプルNo.8〜11の電子デバイス用基板を、それぞれ、200℃に加熱し、発生したガスを、GC−MS(株式会社島津製作所製、「GC−MS QP5050A」)で分析した。
そして、得られたGC−MSのチャートから、プロピレンに由来するピークの面積を時間積算して、各サンプルNo.の電子デバイス用基板において発生したプロピレンおよびオクテンの量を求めた。
なお、発生したプロピレンおよびオクテンの量は、それぞれ、斜方蒸着膜に化学結合した2−プロパノールおよび1−オクタノールの量に比例する。
この結果を、下記表1に示す。
また、サンプルNo.11の電子デバイス用基板で発生したプロピレンおよびオクテンの量を「1.0」とし、それぞれ、サンプルNo.5および10の電子デバイス用基板で発生したプロピレンおよびオクテンの量を、それぞれ、相対値で示した。
さらに、斜方蒸着膜をアルコールに浸漬する際に減圧すること(サンプルNo.1および5)により、斜方蒸着膜に化学結合したアルコールの量をより増大させることができることが明らかとなった。これは、減圧により、斜方蒸着膜の細孔の奥深くにまでアルコールが浸透し、斜方蒸着膜の細孔の内面に化学結合したアルコールの量が増大したことを示唆する結果である。
(実施例1)
まず、サンプルNo.1と同様にして製造した電子デバイス用基板を2枚用意した。
次に、一方の電子デバイス用基板に対し、配向膜を形成した面の外周部に沿って、液晶注入口となる部分を残して、熱硬化型接着剤(日本化薬社製、「ML3804P」)を印刷し、80℃×10分間加熱して溶媒を除去した。
次に、他方の電子デバイス用基板の配向膜を形成した面を内側にして、2枚の基板を圧着しつつ、140℃×1時間で加熱することにより貼り合わせた。
なお、2枚の電子デバイス用基板は、配向膜の配向が互いに180°となるように配置した。
次に、液晶注入口をアクリル系のUV接着剤(ヘンケルジャパン社製、「LPD−204」)を用いて、波長365nmのUVを3000mJ/cm2照射して硬化し、液晶注入口を封止した。
以上のようにして、液晶パネルを製造した。
サンプルNo.2の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
(実施例3)
サンプルNo.3の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
サンプルNo.4の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
(実施例5)
サンプルNo.5の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
サンプルNo.6の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
(比較例2)
サンプルNo.7の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
サンプルNo.8の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
(比較例4)
サンプルNo.9の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
サンプルNo.10の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
(比較例6)
サンプルNo.11の電子デバイス用基板を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、液晶パネルを製造した。
耐光性試験としては、各実施例および各比較例で製造した液晶パネルを、それぞれ、図8に示す投射型表示装置の青色用の液晶ライトバルブとしてセットして、液晶パネルの表面温度を55℃に保ちつつ、光源を連続点灯し、表示異常が発生するまでの時間を測定した。
また、配向安定性試験としては、各実施例および各比較例で製造した液晶パネルを80℃の恒温槽内に放置し、100時間経過毎に、シール際の液晶配向異常領域の幅を測定し、初期の液晶配向異常領域の幅を「1.0」として、恒温槽内に放置後の異常領域の幅が「2.0」になるまでの時間を計測した。
この結果を、下記表2に示す。
また、比較例6の液晶パネルにおいて表示異常が発生するまでの時間を「1.0」とし、実施例5および比較例6の液晶パネルにおいて表示異常が発生するまでの時間を、それぞれ、相対値で示した。
これは、低分子量のアルコールが斜方蒸着膜の細孔の奥深くにまで浸透し、斜方蒸着膜の細孔の内面に化学結合したアルコールの量が増大したことを示唆する結果である。
また、表2の配向安定性の試験結果では、恒温槽内に放置後の異常領域の幅が「2.0」になるまで時間が、300時間未満を「×」、300時間以上600時間未満を「△」、600時間以上1000時間未満を「○」、1000時間以上放置しても幅が拡大しないものを「◎」とした。
また、アルコールとして、前述したような各種アルコールのフッ素置換体を用いて、前記と同様の電子デバイス用基板、および、液晶パネルを製造し、前記と同様にして評価を行ったところ、同様の結果が得られた。
Claims (14)
- 斜方蒸着法により形成され、複数の細孔を有する無機酸化物膜に、少なくとも第1のアルコールを含有する第1の処理液を接触させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面に、前記第1の処理液中のアルコールを化学結合させる工程と、
前記無機酸化物膜を、少なくとも前記第1のアルコールより分子量の小さい第2のアルコールを含有する第2の処理液中に浸漬する工程と、
該第2の処理液が設置された空間を減圧することにより、前記無機酸化物膜の細孔内に前記第2の処理液を浸透させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面および細孔の内面に、前記第2の処理液中のアルコールを化学結合させる工程とを有することを特徴とする液晶分子用の配向膜の無機酸化物膜の処理方法。 - 基板と、液晶層と、前記基板と前記液晶層との間に設けられた配向膜とを有する液晶パネルを製造する方法であって、
前記基板の一方の面側に、斜方蒸着法により、複数の細孔を有する無機酸化物膜を形成する工程と、
前記無機酸化物膜に、少なくとも第1のアルコールを含有する第1の処理液を接触させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面に、前記第1の処理液中のアルコールを化学結合させる工程と、
前記無機酸化物膜が形成された基板を、少なくとも前記第1のアルコールより分子量の小さい第2のアルコールを含有する第2の処理液中に浸漬する工程と、
該第2の処理液が設置された空間を減圧することにより、前記無機酸化物膜の細孔内に前記第2の処理液を浸透させる工程と、
前記無機酸化物膜の表面および細孔の内面に、前記第2の処理液中のアルコールを化学結合させて、前記配向膜を得る工程とを有することを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 前記第1の処理液は、さらに、前記第2のアルコールより分子量が大きく、かつ、前記第1のアルコールおよび前記第2のアルコールと異種の第3のアルコールを含有する請求項2に記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第1の処理液中のアルコールを化学結合させる工程は、前記基板を加熱することにより行われる請求項2または3に記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記基板の加熱温度は、80〜250℃である請求項4に記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第2の処理液を浸透させる工程において、前記空間の真空度は、10−4〜104Paである請求項2ないし5のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第2の処理液中のアルコールを化学結合させる工程は、前記基板を加熱することにより行われる請求項2ないし6のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記基板の加熱温度は、80〜250℃である請求項7に記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第1のアルコールは、その炭素数が5〜30のものである請求項2ないし8のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第1のアルコールは、脂肪族アルコール、脂環アルコールまたはこれらのフッ素置換体である請求項2ないし9のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記脂環アルコールは、ステロイド骨格を有するものである請求項10に記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第2のアルコールは、その炭素数が1〜4のものである請求項2ないし11のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第2のアルコールは、脂肪族アルコールまたはそのフッ素置換体である請求項2ないし12のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
- 前記第1のアルコールの炭素数をAとし、第2のアルコールの炭素数をBとしたとき、A−Bが3以上になる関係を満足する請求項2ないし13のいずれかに記載の液晶パネルの製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005120770A JP4670453B2 (ja) | 2005-04-19 | 2005-04-19 | 無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法 |
TW095112200A TW200643573A (en) | 2005-04-19 | 2006-04-06 | Method of treating inorganic oxide film, electronic device substrate, method of manufacturing electronic device substrate, liquid crystal panel, and electronic apparatus |
US11/402,317 US20060233971A1 (en) | 2005-04-19 | 2006-04-11 | Method of treating inorganic oxide film, electronic device substrate, method of manufacturing electronic device substrate, liquid crystal panel, and electronic apparatus |
CNB2006100743940A CN100403133C (zh) | 2005-04-19 | 2006-04-14 | 无机氧化物膜的处理方法、电子设备用基板及其制造方法、液晶面板及电子机器 |
KR1020060034970A KR100845363B1 (ko) | 2005-04-19 | 2006-04-18 | 무기 산화물막의 처리 방법, 전자 디바이스용 기판, 전자디바이스용 기판의 제조 방법, 액정 패널 및 전자 기기 |
KR1020080019805A KR100845365B1 (ko) | 2005-04-19 | 2008-03-03 | 전자 디바이스용 기판, 액정 패널 및 전자 기기 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005120770A JP4670453B2 (ja) | 2005-04-19 | 2005-04-19 | 無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006301158A JP2006301158A (ja) | 2006-11-02 |
JP4670453B2 true JP4670453B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=37108796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005120770A Expired - Fee Related JP4670453B2 (ja) | 2005-04-19 | 2005-04-19 | 無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060233971A1 (ja) |
JP (1) | JP4670453B2 (ja) |
KR (2) | KR100845363B1 (ja) |
CN (1) | CN100403133C (ja) |
TW (1) | TW200643573A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2623124C (en) * | 2005-09-23 | 2017-07-04 | The Governors Of The University Of Alberta C/O University Of Alberta | Transparent, conductive film with a large birefringence |
JP6229295B2 (ja) * | 2013-04-22 | 2017-11-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、液晶装置の製造方法、及び電子機器 |
WO2018150629A1 (ja) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光学デバイス及び光学デバイスの製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03158826A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-08 | Seiko Instr Inc | 液晶表示装置 |
JPH04345126A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液晶表示素子 |
JPH07159788A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | Victor Co Of Japan Ltd | 空間光変調素子の製造方法 |
JP2000047211A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Sony Corp | 液晶素子及びその製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4464134A (en) * | 1981-12-10 | 1984-08-07 | Hughes Aircraft Company | Process for inducing perpendicular alignment of liquid crystals |
JPS62202884A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | 工業技術院長 | 生体代替セラミツク材料 |
US5011267A (en) * | 1986-10-14 | 1991-04-30 | Hughes Aircraft Company | Method for tilted alignment of liquid crystals with improved photostability |
EP0518333B1 (en) * | 1991-06-14 | 2002-08-28 | Hughes Aircraft Company | Method for inducing tilted perpendicular alignment in liquid crystals |
CA2123658C (en) * | 1993-05-19 | 1999-01-19 | Willis H. Smith, Jr. | Inducing tilted parallel alignment in liquid crystals |
JPH0892400A (ja) * | 1994-09-26 | 1996-04-09 | Mitsubishi Chem Corp | ガスバリア性の付与された樹脂成形品 |
JPH11223813A (ja) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Sony Corp | 液晶素子及びその製造方法 |
US6606140B1 (en) * | 1998-07-31 | 2003-08-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Optical compensatory sheet comprising substrate, orientation layer and optically anisotropic layer |
JP3537709B2 (ja) * | 1999-07-05 | 2004-06-14 | 松下電器産業株式会社 | 液晶配向膜およびこれを用いた液晶表示装置 |
JP4455546B2 (ja) * | 2001-03-13 | 2010-04-21 | 三菱電機株式会社 | 高圧シェルタイプ圧縮機及び冷凍装置 |
JP2003131031A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 光学素子の製造方法および光学素子 |
US7351379B2 (en) * | 2002-06-14 | 2008-04-01 | Agilent Technologies, Inc. | Fluid containment structure |
-
2005
- 2005-04-19 JP JP2005120770A patent/JP4670453B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-04-06 TW TW095112200A patent/TW200643573A/zh unknown
- 2006-04-11 US US11/402,317 patent/US20060233971A1/en not_active Abandoned
- 2006-04-14 CN CNB2006100743940A patent/CN100403133C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-18 KR KR1020060034970A patent/KR100845363B1/ko active IP Right Grant
-
2008
- 2008-03-03 KR KR1020080019805A patent/KR100845365B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03158826A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-08 | Seiko Instr Inc | 液晶表示装置 |
JPH04345126A (ja) * | 1991-05-22 | 1992-12-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液晶表示素子 |
JPH07159788A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | Victor Co Of Japan Ltd | 空間光変調素子の製造方法 |
JP2000047211A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Sony Corp | 液晶素子及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080027474A (ko) | 2008-03-27 |
JP2006301158A (ja) | 2006-11-02 |
CN100403133C (zh) | 2008-07-16 |
US20060233971A1 (en) | 2006-10-19 |
TW200643573A (en) | 2006-12-16 |
CN1854869A (zh) | 2006-11-01 |
KR100845365B1 (ko) | 2008-07-10 |
KR20060110223A (ko) | 2006-10-24 |
KR100845363B1 (ko) | 2008-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006276501A (ja) | 配向膜、配向膜の形成方法、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
KR100847161B1 (ko) | 액정 패널, 액정 패널의 제조방법 및 전자 기기 | |
JP3739002B2 (ja) | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
JP3739001B2 (ja) | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
US7320815B2 (en) | Method for forming oriented film, oriented film, substrate for electronic device, liquid crystal panel, and electronic device | |
JP4670453B2 (ja) | 無機酸化物膜の処理方法、液晶パネルの製造方法 | |
JP4544048B2 (ja) | 液晶パネルおよび電子機器 | |
JP4670452B2 (ja) | 液晶パネルの製造方法 | |
JP4702198B2 (ja) | 配向膜、配向膜の形成方法、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
KR100722073B1 (ko) | 무기 배향막의 형성 방법 | |
JP4774782B2 (ja) | 配向膜の形成方法、配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
JP3767589B2 (ja) | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
JP2005078034A (ja) | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
JP4701888B2 (ja) | 電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
JP2006251701A (ja) | 液晶パネルおよび電子機器 | |
JP3838512B2 (ja) | 無機配向膜の形成方法、無機配向膜、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 | |
JP2006251700A (ja) | 無機配向膜、無機配向膜の形成方法、電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070404 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100913 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110103 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4670453 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |