JP4669456B2 - 揮散性物質採取装置および方法 - Google Patents
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Description
11 筒体
12 プラグ部材
13 パージガス噴出ノズル
14 パージガス入口ポート
15 ニップル部材
16 採取室
17 揮散性物質採取開口
18 吸引ポート
21 導管
22 パージガス供給側3方向切換弁
22b パージガス側大気開放ポート
23 導管
24 マスフローコントローラ
25 導管
26 プレッシャレギュレータ
27 導管
28 パージガスボンベ
29 ボンベ開閉弁
30 制御ユニット
31 吸着管設置部材
32 連通管
33 吸着管
34 ニップル部材
35 導管
36 吸引側3方向切換弁
36b 吸引側大気開放ポート
37 吸着管
38 導管
39 マスフローコントローラ
40 導管
41 吸引ポンプ
42 制御ユニット
50 電磁弁制御装置
Claims (6)
- 揮散性物質を採取する採取領域を画定する揮散性物質採取開口、パージガス入口ポート、吸引ポートを有する容器状の採取領域画定部材と、
前記吸引ポートに連通し、揮散性物質を吸着捕捉する吸着管が交換可能に設置される吸着管設置部材と、
パージガス供給源を前記パージガス入口ポートとパージガス側大気開放ポートとのいずれかに一方に接続するパージガス供給側3方向切換弁と、
ガス吸引源に接続されて吸引流量を計量設定する吸引流量制御手段と、
前記吸引流量制御手段を前記吸着管設置部材と吸引側大気開放ポートとのいずれかに一方に接続する吸引側3方向切換弁と、
を備え、
前記吸引側大気開放ポートに吸引抵抗付与部材が接続されている、
ことを特徴とする揮散性物質採取装置。 - 請求項1に記載の揮散性物質採取装置において、
前記パージガス供給側3方向切換弁と前記吸引側3方向切換弁とは、ともに電磁切換弁により構成されており、
前記パージガス供給側3方向切換弁を、前記パージガス供給源を前記パージガス入口ポートに接続する側に切り換えると同時に前記吸引側3方向切換弁を、前記吸引流量制御手段を前記吸着管設置部材に接続する側に切り換え、前記パージガス供給側3方向切換弁を、前記パージガス供給源を前記パージガス側大気開放ポートに接続する側に切り換えると同時に前記吸引側3方向切換弁を、前記吸引流量制御手段を前記吸引側大気開放ポートに接続する側に切り換える切換制御を行う電磁弁制御手段を有する、
ことを特徴とする揮散性物質採取装置。 - 請求項1または請求項2に記載の揮散性物質採取装置において、
前記吸引抵抗付与部材は前記吸着管設置部材に設置される吸着管と同一仕様の吸着管である、
ことを特徴とする揮散性物質採取装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の揮散性物質採取装置において、
前記パージガス供給源より前記パージガス供給側3方向切換弁に供給するパージガスの流量を計量設定するパージガス流量制御手段を有する、
ことを特徴とする揮散性物質採取装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の揮散性物質採取装置を用い、
先ず、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス側大気開放ポートに接続すると共に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸引側大気開放ポートに接続し、前記パージガス供給源をパージガス供給状態にすると共に、前記ガス吸引源をガス吸引動作状態とし、揮散性物質採取が終了するまで連続して前記パージガス供給源をパージガス供給状態に、前記ガス吸引源をガス吸引動作状態とし、
前記パージガス供給源がパージガス供給状態に、前記ガス吸引源がガス吸引動作状態になった時点より所定時間経過後に、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス入口ポートに接続すると同時に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸着管設置部材に接続して揮散性物質採取状態にし、
前記吸着管の交換時には、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス側大気開放ポートに接続すると同時に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸引側大気開放ポートに接続し、
前記吸着管の交換完了後には、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス入口ポートに接続すると同時に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸着管設置部材に接続して揮散性物質採取状態にし、
前記採取領域画定部材の前記揮散性物質採取開口によって画定されている採取領域から揮散性物質を、複数個の吸着管に、経時で連続的に採取する、
ことを特徴とする揮散性物質採取方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の揮散性物質採取装置を用い、
先ず、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス側大気開放ポートに接続すると共に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸引側大気開放ポートに接続し、前記パージガス供給源をパージガス供給状態にすると共に、前記ガス吸引源をガス吸引動作状態とし、揮散性物質採取が終了するまで連続して前記パージガス供給源をパージガス供給状態に、前記ガス吸引源をガス吸引動作状態とし、
前記パージガス供給源がパージガス供給状態に、前記ガス吸引源がガス吸引動作状態になった時点より所定時間経過後に、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス入口ポートに接続すると同時に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸着管設置部材に接続して揮散性物質採取状態にし、
揮散性物質の採取を行わない放置期間は、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス側大気開放ポートに接続すると同時に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸引側大気開放ポートに接続し、
放置期間中に前記吸着管の交換を行い、
放置期間終了後には、前記パージガス供給側3方向切換弁によって前記パージガス供給源を前記パージガス入口ポートに接続すると同時に前記吸引側3方向切換弁によって前記吸引流量制御手段を前記吸着管設置部材に接続して揮散性物質採取状態にし、
前記採取領域画定部材の前記揮散性物質採取開口によって画定されている採取領域から揮散性物質を、複数個の吸着管に、経時で断続的に採取する、
ことを特徴とする揮散性物質採取方法。
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